JP2935444B2 - クリーンルーム用垂直搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム用垂直搬送装置Info
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- JP2935444B2 JP2935444B2 JP25386291A JP25386291A JP2935444B2 JP 2935444 B2 JP2935444 B2 JP 2935444B2 JP 25386291 A JP25386291 A JP 25386291A JP 25386291 A JP25386291 A JP 25386291A JP 2935444 B2 JP2935444 B2 JP 2935444B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、隔離した複数のクリー
ンルーム間に配置され、半導体等の部品を積んだ台車を
搭載する台車移載装置を垂直方向に搬送するクリーンル
ーム用垂直搬送装置に関する。
ンルーム間に配置され、半導体等の部品を積んだ台車を
搭載する台車移載装置を垂直方向に搬送するクリーンル
ーム用垂直搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近の工場においては、製造する部品の
精密化等の要請から、室内の塵埃を極めて少ない状態に
保つクリーンルームが採用されている。例えば、半導体
のチップの集積度が高くなるにつれて、半導体製造工場
におけるクリーンルームの清浄度も高くすることが要求
されている。工場内に複数のクリーンルームを隔離して
レイアウトした場合や多層階にレイアウトした場合、多
層階のクリーンルーム間を人や物を運ぶためのクリーン
ルーム用垂直搬送装置が設置されるが、このクリーンル
ーム用垂直搬送装置内も、クリーンルームの清浄度を高
く維持し、搬送される部品をクリーンに保護する必要が
ある。
精密化等の要請から、室内の塵埃を極めて少ない状態に
保つクリーンルームが採用されている。例えば、半導体
のチップの集積度が高くなるにつれて、半導体製造工場
におけるクリーンルームの清浄度も高くすることが要求
されている。工場内に複数のクリーンルームを隔離して
レイアウトした場合や多層階にレイアウトした場合、多
層階のクリーンルーム間を人や物を運ぶためのクリーン
ルーム用垂直搬送装置が設置されるが、このクリーンル
ーム用垂直搬送装置内も、クリーンルームの清浄度を高
く維持し、搬送される部品をクリーンに保護する必要が
ある。
【０００３】かかる要求に沿ったクリーンルーム用垂直
搬送装置として、例えば、特開平３−１５２００４号公
報に示すものが知られている。このクリーンルーム用垂
直搬送装置は、前面と後面とを開放した荷収納部の後面
側にフィルタを配設するととともに、このフィルタの後
方に隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供給路
に吐出部が連通し、かつ、荷収納部を通ったクリーンエ
アを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔壁
の後方に本体外板を介してエア回収路を形成するととと
もに、このエア回収路を、前記送風機を配設した区画室
内に連通したものである。
搬送装置として、例えば、特開平３−１５２００４号公
報に示すものが知られている。このクリーンルーム用垂
直搬送装置は、前面と後面とを開放した荷収納部の後面
側にフィルタを配設するととともに、このフィルタの後
方に隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供給路
に吐出部が連通し、かつ、荷収納部を通ったクリーンエ
アを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔壁
の後方に本体外板を介してエア回収路を形成するととと
もに、このエア回収路を、前記送風機を配設した区画室
内に連通したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のクリ
ーンルーム用垂直搬送装置にあっては、フィルタにより
清浄空気が荷収納部に供給されるものの、荷収納部は、
通路に向いた前面が開放され、通路内の昇降台等の機械
装置と荷収納部上の荷物は同じ空間内に配されているの
で、機械装置から発生する塵埃の一部が荷物に付着し、
荷物が汚染されるという問題があった。
ーンルーム用垂直搬送装置にあっては、フィルタにより
清浄空気が荷収納部に供給されるものの、荷収納部は、
通路に向いた前面が開放され、通路内の昇降台等の機械
装置と荷収納部上の荷物は同じ空間内に配されているの
で、機械装置から発生する塵埃の一部が荷物に付着し、
荷物が汚染されるという問題があった。
【０００５】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、垂直に搬送される荷物の
汚染を防止するクリーンルーム用垂直搬送装置を提供す
ることである。
なされたもので、その目的は、垂直に搬送される荷物の
汚染を防止するクリーンルーム用垂直搬送装置を提供す
ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、台車が搬出入
される搬入ステーション及び搬出ステーションを有する
シャフトを、垂直スリットを有する仕切壁を介して、搬
入ステーション及び搬出ステーションに連結される昇降
用シャフトと機械用シャフトとに分割して構成し、シャ
フト内に、昇降用シャフト内に位置する台車支持部と機
械用シャフト内に位置する機械部を有し台車支持部と機
械部が連結部を介して一体化される台車移載装置を、該
シャフトの仕切壁の垂直スリットに前記連結部を貫通さ
せて垂直方向移動自在に設け、機械用シャフト内に、台
車移載装置を垂直方向に移動自在にさせる昇降手段を配
設し、昇降用シャフトの壁面に沿って、該壁面に沿う給
気経路を該昇降用シャフト内と隔てて形成するように多
数の給気孔を有する給気壁を配設し、昇降用シャフトの
頂部または底部に、給気経路に連通し清浄空気が供給さ
れる吹出口を設け、機械用シャフトの壁面に沿って、該
機械用シャフト内の汚染空気を排出する排気経路を該機
械用シャフト内と隔てて形成するように多数の排出孔を
有する排気壁を設け、機械用シャフトに、排気経路に連
通し汚染空気を排出する排気口を設けたことを特徴とす
る。
される搬入ステーション及び搬出ステーションを有する
シャフトを、垂直スリットを有する仕切壁を介して、搬
入ステーション及び搬出ステーションに連結される昇降
用シャフトと機械用シャフトとに分割して構成し、シャ
フト内に、昇降用シャフト内に位置する台車支持部と機
械用シャフト内に位置する機械部を有し台車支持部と機
械部が連結部を介して一体化される台車移載装置を、該
シャフトの仕切壁の垂直スリットに前記連結部を貫通さ
せて垂直方向移動自在に設け、機械用シャフト内に、台
車移載装置を垂直方向に移動自在にさせる昇降手段を配
設し、昇降用シャフトの壁面に沿って、該壁面に沿う給
気経路を該昇降用シャフト内と隔てて形成するように多
数の給気孔を有する給気壁を配設し、昇降用シャフトの
頂部または底部に、給気経路に連通し清浄空気が供給さ
れる吹出口を設け、機械用シャフトの壁面に沿って、該
機械用シャフト内の汚染空気を排出する排気経路を該機
械用シャフト内と隔てて形成するように多数の排出孔を
有する排気壁を設け、機械用シャフトに、排気経路に連
通し汚染空気を排出する排気口を設けたことを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】本発明においては、昇降用シャフトの吹出口に
清浄空気が供給される。清浄空気は、昇降用シャフトの
給気経路を介して給気壁の給気孔から平均に昇降用シャ
フト内に供給され、さらに、昇降用シャフト内から仕切
壁の垂直スリットを通り抜けて機械用シャフト内に導か
れる。
清浄空気が供給される。清浄空気は、昇降用シャフトの
給気経路を介して給気壁の給気孔から平均に昇降用シャ
フト内に供給され、さらに、昇降用シャフト内から仕切
壁の垂直スリットを通り抜けて機械用シャフト内に導か
れる。
【０００８】このような昇降用シャフト内から機械用シ
ャフト内への清浄空気の流れが形成される中において、
機械用シャフト内に台車移載装置の機械部や昇降手段か
ら塵等が発生し、機械用シャフト内の空気が汚染されて
も、機械用シャフト内を流れる清浄空気は、塵等を含ん
だ汚染空気となって排気壁へと向かう。汚染空気は、排
気壁の排気孔を介して排気経路に導かれ、さらに、排気
口に導かれる。即ち、機械用シャフト内で台車移載装置
の機械部や昇降手段から塵等が発生して生じた汚染空気
は、昇降用シャフト内へは流れない。
ャフト内への清浄空気の流れが形成される中において、
機械用シャフト内に台車移載装置の機械部や昇降手段か
ら塵等が発生し、機械用シャフト内の空気が汚染されて
も、機械用シャフト内を流れる清浄空気は、塵等を含ん
だ汚染空気となって排気壁へと向かう。汚染空気は、排
気壁の排気孔を介して排気経路に導かれ、さらに、排気
口に導かれる。即ち、機械用シャフト内で台車移載装置
の機械部や昇降手段から塵等が発生して生じた汚染空気
は、昇降用シャフト内へは流れない。
【０００９】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例について説
明する。図１ないし図４は本発明の実施例に係わるクリ
ーンルーム用垂直搬送装置を示す。
明する。図１ないし図４は本発明の実施例に係わるクリ
ーンルーム用垂直搬送装置を示す。
【００１０】図４において、符号１は第１の建屋を、符
号２は第２の建屋をそれぞれ示し、第１の建屋１には第
１のクリーンルーム用垂直搬送装置３及びクリーンルー
ム１Ａが、第２の建屋２には第２のクリーンルーム用垂
直搬送装置４及びクリーンルーム２Ａがそれぞれ設置さ
れ、第１のクリーンルーム用垂直搬送装置３と第２のク
リーンルーム用垂直搬送装置４とはリニアクリーンチュ
ーブ５を介して連結されている。リニアクリーンチュー
ブ５内には、走行自在の台車６が配されている。
号２は第２の建屋をそれぞれ示し、第１の建屋１には第
１のクリーンルーム用垂直搬送装置３及びクリーンルー
ム１Ａが、第２の建屋２には第２のクリーンルーム用垂
直搬送装置４及びクリーンルーム２Ａがそれぞれ設置さ
れ、第１のクリーンルーム用垂直搬送装置３と第２のク
リーンルーム用垂直搬送装置４とはリニアクリーンチュ
ーブ５を介して連結されている。リニアクリーンチュー
ブ５内には、走行自在の台車６が配されている。
【００１１】図１ないし図４において、第１のクリーン
ルーム用垂直搬送装置３は、シャフト７を有し、シャフ
ト７は、昇降用シャフト８と、機械用シャフト９とで構
成されている。昇降用シャフト８の上部にはリニアクリ
ーンチューブ５に連結される搬入ステーション１０が、
昇降用シャフト８の下部にはクリーンルーム１Ａに連結
される搬出ステーション１１がそれぞれ設けられてい
る。
ルーム用垂直搬送装置３は、シャフト７を有し、シャフ
ト７は、昇降用シャフト８と、機械用シャフト９とで構
成されている。昇降用シャフト８の上部にはリニアクリ
ーンチューブ５に連結される搬入ステーション１０が、
昇降用シャフト８の下部にはクリーンルーム１Ａに連結
される搬出ステーション１１がそれぞれ設けられてい
る。
【００１２】上記シャフト７は、垂直スリット１２Ａを
有する仕切壁１２を介して、昇降用シャフト８と機械用
シャフト９とに分割されて構成されている。シャフト７
内に、台車移載装置１３が垂直方向移動自在に設けら
れ、台車移載装置１３は、昇降用シャフト８内に位置す
る台車支持部１４と、機械用シャフト９内に位置する機
械部１５と、シャフト７の仕切壁１２の垂直スリット１
２Ａを貫通する連結部１６とから構成されている。
有する仕切壁１２を介して、昇降用シャフト８と機械用
シャフト９とに分割されて構成されている。シャフト７
内に、台車移載装置１３が垂直方向移動自在に設けら
れ、台車移載装置１３は、昇降用シャフト８内に位置す
る台車支持部１４と、機械用シャフト９内に位置する機
械部１５と、シャフト７の仕切壁１２の垂直スリット１
２Ａを貫通する連結部１６とから構成されている。
【００１３】機械用シャフト９内に、台車移載装置１３
を垂直方向に移動自在にする昇降手段１７が配設されて
いる。即ち、この昇降手段１７は、機械用シャフト９内
の上部に配設された巻上げ装置１７Ａと、この巻上げ装
置１７Ａから繰り出す索体１７Ｂとを有し、索体１７Ｂ
の途中に、上記台車移載装置１３の機械部１５が取り付
けられている。
を垂直方向に移動自在にする昇降手段１７が配設されて
いる。即ち、この昇降手段１７は、機械用シャフト９内
の上部に配設された巻上げ装置１７Ａと、この巻上げ装
置１７Ａから繰り出す索体１７Ｂとを有し、索体１７Ｂ
の途中に、上記台車移載装置１３の機械部１５が取り付
けられている。
【００１４】そして、上記昇降用シャフト８の頂部８Ａ
に、清浄空気が供給される吹出口１８が形成されてい
る。昇降用シャフト８の壁面８Ｃに沿って、吹出口１８
からの清浄空気を導く給気経路１９を介して給気壁２０
が、壁面８Ｃから所定の距離隔てて平行配置され、給気
壁２０は多数の給気孔２０Ａ（図４）を有している。
に、清浄空気が供給される吹出口１８が形成されてい
る。昇降用シャフト８の壁面８Ｃに沿って、吹出口１８
からの清浄空気を導く給気経路１９を介して給気壁２０
が、壁面８Ｃから所定の距離隔てて平行配置され、給気
壁２０は多数の給気孔２０Ａ（図４）を有している。
【００１５】機械用シャフト９の壁面９Ｃに沿って、該
機械用シャフト９内の汚染空気を排出する排気経路２１
を介して排気壁２２が配置され、排気壁２２は多数の排
気孔２２Ａを有している。
機械用シャフト９内の汚染空気を排出する排気経路２１
を介して排気壁２２が配置され、排気壁２２は多数の排
気孔２２Ａを有している。
【００１６】機械用シャフト９の壁面９Ｃの上端に、排
気経路２１内と連通する排気口２３が設けられている。
そして、第１の建屋１の床部１Ｃには、循環空調機２４
が設置され、この循環空調機２４の還流側は、ダクト２
５を介して排気口２３に連結されている。この循環空調
機２４の送気側は、ダクト２６を介して、シャフト７の
頂部８Ａ上に設置したＨＥＰＡフィルタからなる超高性
能フィルタ２７の入口部に連結し、さらに、超高性能フ
ィルタ２７の出口部は吹出口１８に連結されている。
気経路２１内と連通する排気口２３が設けられている。
そして、第１の建屋１の床部１Ｃには、循環空調機２４
が設置され、この循環空調機２４の還流側は、ダクト２
５を介して排気口２３に連結されている。この循環空調
機２４の送気側は、ダクト２６を介して、シャフト７の
頂部８Ａ上に設置したＨＥＰＡフィルタからなる超高性
能フィルタ２７の入口部に連結し、さらに、超高性能フ
ィルタ２７の出口部は吹出口１８に連結されている。
【００１７】しかして、本実施例においては、例えば、
第２のクリーンルーム用垂直搬送装置４から、リニアク
リーンチューブ５内を、部品を収納した台車６が搬送さ
れ、第１のクリーンルーム用垂直搬送装置３のシャフト
７の搬入ステーション１０に到着する。搬入ステーショ
ン１０では、リニアクリーンチューブ５の端部に到着し
た台車６が、該搬入ステーション１０に上昇位置する台
車移載装置１３のシャトルフォーク機構の作動により、
台車移載装置１３上に乗り移る。
第２のクリーンルーム用垂直搬送装置４から、リニアク
リーンチューブ５内を、部品を収納した台車６が搬送さ
れ、第１のクリーンルーム用垂直搬送装置３のシャフト
７の搬入ステーション１０に到着する。搬入ステーショ
ン１０では、リニアクリーンチューブ５の端部に到着し
た台車６が、該搬入ステーション１０に上昇位置する台
車移載装置１３のシャトルフォーク機構の作動により、
台車移載装置１３上に乗り移る。
【００１８】次いで、昇降手段１７の巻上げ装置１７Ａ
を駆動させると、台車６を搭載した台車移載装置１３が
シャフト７内を下降し、搬出ステーション１１に到達す
る。搬出ステーション１１では、台車移載装置１３上の
台車６は、クリーンルーム１Ａに搬出される。
を駆動させると、台車６を搭載した台車移載装置１３が
シャフト７内を下降し、搬出ステーション１１に到達す
る。搬出ステーション１１では、台車移載装置１３上の
台車６は、クリーンルーム１Ａに搬出される。
【００１９】一方、循環空調機２４から、超高性能フィ
ルタ２７を介して清浄空気（イ）が、昇降用シャフト８
の吹出口１８に供給される。清浄空気（イ）は、昇降用
シャフト８の給気経路１９を介して給気壁２０の給気孔
２０Ａから平均に昇降用シャフト８内に供給され、さら
に、昇降用シャフト８内から仕切壁１２の垂直スリット
１２Ａを介して機械用シャフト９内に導かれる。
ルタ２７を介して清浄空気（イ）が、昇降用シャフト８
の吹出口１８に供給される。清浄空気（イ）は、昇降用
シャフト８の給気経路１９を介して給気壁２０の給気孔
２０Ａから平均に昇降用シャフト８内に供給され、さら
に、昇降用シャフト８内から仕切壁１２の垂直スリット
１２Ａを介して機械用シャフト９内に導かれる。
【００２０】このような昇降用シャフト８内から機械用
シャフト９内への清浄空気（イ）の流れが形成される中
において、機械用シャフト９内に台車移載装置１３の機
械部１５や昇降手段１７から塵等が発生し、機械用シャ
フト９内の空気が汚染されても、機械用シャフト９内を
流れる清浄空気（イ）は、塵等を含んだ汚染空気（ロ）
となって排気壁２２へと向かう。汚染空気（ロ）は、排
気壁２２を介して排気経路２１に導かれ、さらに、排気
口２３に導かれ、ダクト２５を介して循環空調機２４に
還流する。
シャフト９内への清浄空気（イ）の流れが形成される中
において、機械用シャフト９内に台車移載装置１３の機
械部１５や昇降手段１７から塵等が発生し、機械用シャ
フト９内の空気が汚染されても、機械用シャフト９内を
流れる清浄空気（イ）は、塵等を含んだ汚染空気（ロ）
となって排気壁２２へと向かう。汚染空気（ロ）は、排
気壁２２を介して排気経路２１に導かれ、さらに、排気
口２３に導かれ、ダクト２５を介して循環空調機２４に
還流する。
【００２１】従って、機械用シャフト９内で台車移載装
置１３の機械部１５や昇降手段１７から塵等が発生して
生じた汚染空気（ロ）は、昇降用シャフト８内へは流れ
ない。
置１３の機械部１５や昇降手段１７から塵等が発生して
生じた汚染空気（ロ）は、昇降用シャフト８内へは流れ
ない。
【００２２】以上の如き構成によれば、昇降用シャフト
８から機械用シャフト９へと清浄空気（イ）の流れが形
成されている。機械用シャフト９内に塵等が発生し、機
械用シャフト９内の空気が汚染されても、発生した汚染
空気（ロ）は機械用シャフト９内から排気壁２２を介し
て排気経路２１に導かれる。
８から機械用シャフト９へと清浄空気（イ）の流れが形
成されている。機械用シャフト９内に塵等が発生し、機
械用シャフト９内の空気が汚染されても、発生した汚染
空気（ロ）は機械用シャフト９内から排気壁２２を介し
て排気経路２１に導かれる。
【００２３】従って、機械用シャフト９内で発生した汚
染空気（ロ）は昇降用シャフト８内へは流れず、昇降用
シャフト８内を常に清浄状態に保持し、台車移載装置１
３に乗った台車６を清浄空気（イ）で包み込み、台車６
に積み込まれた半導体等の部品を空気汚染から防止する
ことができる。
染空気（ロ）は昇降用シャフト８内へは流れず、昇降用
シャフト８内を常に清浄状態に保持し、台車移載装置１
３に乗った台車６を清浄空気（イ）で包み込み、台車６
に積み込まれた半導体等の部品を空気汚染から防止する
ことができる。
【００２４】なお、本実施例においては、昇降用シャフ
ト８の頂部８Ａに、清浄空気（イ）が供給される吹出口
１８が形成され、清浄空気（イ）は給気経路１９内を下
降しながら給気壁２０を介して昇降用シャフト８内に供
給されているが、昇降用シャフト８の底部８Ｂに、清浄
空気が供給される吹出口を形成することもできる。
ト８の頂部８Ａに、清浄空気（イ）が供給される吹出口
１８が形成され、清浄空気（イ）は給気経路１９内を下
降しながら給気壁２０を介して昇降用シャフト８内に供
給されているが、昇降用シャフト８の底部８Ｂに、清浄
空気が供給される吹出口を形成することもできる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
昇降用シャフトから機械用シャフトへと清浄空気の流れ
が形成されている。機械用シャフト内に塵等が発生し、
機械用シャフト内に流入した清浄空気が汚染されても、
清浄空気から変化して発生した汚染空気は、機械用シャ
フト内から排気壁を介して排気経路に導かれる。
昇降用シャフトから機械用シャフトへと清浄空気の流れ
が形成されている。機械用シャフト内に塵等が発生し、
機械用シャフト内に流入した清浄空気が汚染されても、
清浄空気から変化して発生した汚染空気は、機械用シャ
フト内から排気壁を介して排気経路に導かれる。
【００２６】従って、機械用シャフト内で発生した汚染
空気は昇降用シャフト内へは流れず、昇降用シャフト内
を常に清浄状態に保持し、台車移載装置に乗った台車を
清浄空気で包み込み、台車に積み込まれた半導体等の部
品を空気汚染から防止することができる効果を奏する。
空気は昇降用シャフト内へは流れず、昇降用シャフト内
を常に清浄状態に保持し、台車移載装置に乗った台車を
清浄空気で包み込み、台車に積み込まれた半導体等の部
品を空気汚染から防止することができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例に係わるクリーンルーム用垂直
搬送装置の内部を示す側面図である。
搬送装置の内部を示す側面図である。
【図２】同クリーンルーム用垂直搬送装置の内部を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】同クリーンルーム用垂直搬送装置の台車移載装
置の内部を示す平面図である。
置の内部を示す平面図である。
【図４】同クリーンルーム用垂直搬送装置のレイアウト
図である。
図である。
３ 第１のクリーンルーム用垂直搬送装置 ６ 台車 ７ シャフト ８ 昇降用シャフト ８Ａ 頂部 ８Ｂ 底部 ９ 機械用シャフト １０ 搬入ステーション １１ 搬出ステーション １２ 仕切壁 １２Ａ 垂直スリット １３ 台車移載装置 １４ 台車支持部 １５ 機械部 １６ 連結部 １８ 吹出口 １９ 給気経路 ２０ 給気壁 ２０Ａ 給気孔 ２１ 排気経路 ２２ 排気壁 ２２Ａ 排気孔 ２３ 排気口 イ 清浄空気 ロ 汚染空気
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−267612（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−93037（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−291381（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−8673（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−130568（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−73936（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B66B 9/00 B65G 49/00 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】 台車が搬出入される搬入ステーション及
び搬出ステーションを有するシャフトを、垂直スリット
を有する仕切壁を介して、搬入ステーション及び搬出ス
テーションに連結される昇降用シャフトと機械用シャフ
トとに分割して構成し、 シャフト内に、昇降用シャフト内に位置する台車支持部
と機械用シャフト内に位置する機械部を有し台車支持部
と機械部が連結部を介して一体化される台車移載装置
を、該シャフトの仕切壁の垂直スリットに前記連結部を
貫通させて垂直方向移動自在に設け、 機械用シャフト内に、台車移載装置を垂直方向に移動自
在にさせる昇降手段を配設し、 昇降用シャフトの壁面に沿って、該壁面に沿う給気経路
を該昇降用シャフト内と隔てて形成するように多数の給
気孔を有する給気壁を配設し、 昇降用シャフトの頂部または底部に、給気経路に連通し
清浄空気が供給される吹出口を設け、 機械用シャフトの壁面に沿って、該機械用シャフト内の
汚染空気を排出する排気経路を該機械用シャフト内と隔
てて形成するように多数の排出孔を有する排気壁を設
け、 機械用シャフトに、排気経路に連通し汚染空気を排出す
る排気口を設けたことを特徴とするクリーンルーム用垂
直搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25386291A JP2935444B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | クリーンルーム用垂直搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25386291A JP2935444B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | クリーンルーム用垂直搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0597352A JPH0597352A (ja) | 1993-04-20 |
| JP2935444B2 true JP2935444B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=17257166
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-10-01 JP JP25386291A patent/JP2935444B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH0597352A (ja) | 1993-04-20 |
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