JP2914003B2 - スタッカークレーンにおける塵埃飛散防止装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、塵埃を嫌う物品を収
納・保管する自動倉庫のスタッカークレーンにおける塵
埃飛散防止装置に関する。

【０００２】

【従来の自動倉庫】従来の自動倉庫として以下の如きも
のは知られている。即ち、前後方向に所定間隔をあける
ようにして設けられた、上下・左右に多数の物品収納棚
を有する前後一対のラック装置と、前記前後のラック装
置間において下部のガイドレールに沿って左右動自在に
設けられたスタッカークレーンとを有しており、前記ス
タッカークレーンが、走行台車と、この走行台車に設け
られたマストに昇降自在となされた昇降台と、この昇降
台に設けられた物品移載装置（例えば、前後方向に摺動
自在に設けられたスライドフォーク）とを有しているも
のは知られている。

【０００３】

【発明の背景】前記自動倉庫において、塵埃を嫌う物
品、例えば半導体ウエハ等を収納・保管する場合におい
ては、自動倉庫内において塵埃が飛散するのを防止する
必要がある。そのような場合、下部のガイドレールとそ
れに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行
車輪が回転することによって発生する塵埃が飛散するこ
とを防止することが必要となる。

【０００４】

【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、ガイドレールに沿って走行する中空状の走行台車
と、この走行台車にそれと連通するようにして設けられ
た筒状のマストと、このマストに昇降自在に設けられた
中空状昇降台とを有するスタッカークレーンにおける塵
埃飛散防止装置であって、前記走行台車の、ガイドレー
ルに載った走行車輪が設けられた部分に吸引口が形成さ
れ、この吸引口から空気を吸引して走行台車に形成され
た排気口から空気を排気する吸引装置が走行台車内に設
けられ、前記排気された空気が走行台車に設けられたフ
ィルターによってクリーンにされるようになされ、前記
筒状のマストにその高さ方向に沿ってスリットが形成さ
れ、このスリットを通じて中空状昇降台の被案内部がマ
スト内に収納されており、この被案内部がこれに設けら
れたローラーを介してマストの内部に設けられたガイド
レールに沿って上下動するようになされ、前記中空状昇
降台の上壁に空気噴出口及び吸引口が形成され、前記空
気噴出口に垂直ダクトが接続され、この垂直ダクトの上
端に下向きの空気噴出口を有する水平ダクトが接続さ
れ、中空状昇降台、垂直ダクト及 び水平ダクトによって
構成される空気通路にそれを横切るような状態でフィル
ターが設けられ、清浄空気を水平ダクトの空気噴出口か
ら下向きに噴出して中空状昇降台の上壁に形成された吸
引口から中空状昇降台内に吸引するファンが設けられて
いるものである。

【０００５】

【発明の効果】この発明は前記した如き構成によって以
下の如き効果を奏するものである。走行車輪が設けら
れた部分に形成された吸引口から、ガイドレールとそれ
に載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行車
輪が回転することによって発生する塵埃を空気もろとも
吸引して、フィルターでクリーンにして排気するので、
塵埃の飛散を防止することが出来る。中空状昇降台の
昇降案内部を筒状のマスト内に納め、且つ、筒状のマス
ト内で昇降案内部から発生する塵埃を吸引装置によって
空気もろとも吸引するようにしたので、昇降案内部にお
いて発生する塵埃の飛散を防止することが出来る。清
浄空気を水平ダクトの空気噴出口から下向きに噴出して
中空状昇降台の上壁に形成された吸引口から中空状昇降
台内に吸引するようになされているので、中空状昇降台
上方の物品収納空間を清浄に保持することが出来る。

【０００６】

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右と
は同図右側をいう。

【０００７】図１〜図３に示すごとく、クリーン倉庫１
の床２の上方に、床２との間に所定間隙３をあけるよう
にして前後一対の水平壁４が、両者の間に左右方向に長
い開口５を形成するようにして、設けられている。前記
前後一対の水平壁４各々に前後一対のラック装置７が設
けられ、これらラック装置７各々は上下・左右に多数の
物品収納棚８を有しており、これら前後の物品収納棚８
の出し入れ口９は相互に対向している。また、前記物品
収納棚８には後述のスライドフォーク３８が上下に移動
するのを許容するフォーク通過間隙１０が形成されてい
る。前記物品収納棚８に物品Ｗが載置・収納される。

【０００８】図１に示すごとく、クリーン倉庫１の、右
側部に前後一対の物品搬入・搬出ステーション１１が設
けられている。

【０００９】図３〜図５に示すごとく、前記クリーン倉
庫１の前後方向中央の上下部に左右方向に長い上下一対
のガイドレール１４が設けられ、これらガイドレール１
４にスタッカークレーン１６が左右動自在に案内されて
いる。更に具体的に云うなら、スタッカークレーン１６
の中空状の走行台車１７の下部左右部各々に、下側のガ
イドレール１４に載る走行車輪１８及び下側のガイドレ
ール１４を挟持する一対の挟持ローラー１９が設けら
れ、走行車輪１８の一方が走行台車１７内に収納・設置
された正逆回転自在なモーター２０によって回転させら
れるようになされている。また、後述のマスト２８の上
端に、上側のガイドレール１４を挟持する左右一対の挟
持ローラー２５が２組設けられている。

【００１０】図４及び図５に示すごとく、走行台車１７
の底部の、走行車輪１８が設けられた部分に吸引口２１
が形成され、これら吸引口２１から空気を吸引して走行
台車１７に形成された排気口２２から空気を排気する吸
引装置２３が走行台車１７内に設けられている。前記排
気口２２にはフィルター２４が取り付けられている。こ
のような構成によって、吸引口２１から、下側のガイド
レール１４と走行車輪１８や挟持ローラー１９との間で
発生する塵埃や、走行車輪１８や挟持ローラー１９が回
転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引し
て、フィルター２４でクリーンにして排気して、塵埃の
飛散を防止することが出来る。

【００１１】図４及び図６に示すごとく、前記走行台車
１７にそれと連通するようにしてマスト２８が設けられ
ている。このマスト２８は上端部が閉塞され、下端部が
開放（開口）した筒状である。このマスト２８に、その
高さ方向に沿ってスリット２９が形成され、このスリッ
ト２９を通じて中空状昇降台３０に連通・接続された中
空状被案内部３１がマスト２８内に収納されており、こ
の中空状被案内部３１が、これに設けられたローラー３
２を介して、マスト２８の内部に設けられたガイドレー
ル３３に沿って上下動するようになされている。前記中
空状昇降台３０は公知の昇降装置３５によって昇降させ
られるようになされている。前記マスト２８内の空気は
吸引装置２３によって吸引される。

【００１２】図４及び図６に示すごとく、前記中空状昇
降台３０には物品移載装置であるスライドフォーク３８
が前後いずれにも水平突出するように水平摺動自在に設
けられている。前記スライドフォーク２０は、公知のご
とく、物品Ｗの下方への突出・中空状昇降台３０の上昇
による物品Ｗの持ち上げ・中空状昇降台３０側への退入
という動作を行なって物品Ｗを中空状昇降台３０に引き
込み、前記と逆の動作によって物品収納棚８等に物品Ｗ
を降ろすことが出来る。なお、物品移載装置は、前記ス
ライドフォーク２０に限定されるものではなく、ロボッ
トハンドであってもよい。

【００１３】前記中空状昇降台３０の上壁左側に空気噴
出口５１が形成され、この空気噴出口５１に垂直ダクト
５２が接続され、この垂直ダクト５２の上端に、下向き
の空気噴出口５４を有する水平ダクト５３が接続されて
いる。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４にヘパフィ
ルター等からなるフィルター５５が取り付けられてい
る。なお、フィルター５５は、中空状昇降台３０、垂直
ダクト５２及び水平ダクト５３によって構成される空気
通路５６に、それを横切るような状態で、設けるように
すればよい。前記垂直ダクト５２に対向して、中空状昇
降台３０の上壁右側と、水平ダクト５３の右側とに跨っ
て垂直壁５８が渡されている。なお、この垂直壁５８
は、中空状被案内部３１の垂直壁の一部を構成するもの
となされている。このような構成によって、中空状昇降
台３０、垂直ダクト５２、水平ダクト５３及び垂直壁５
８によって、前後に貫通した物品収納空間が形成され
る。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４から空気を噴
出するファン５７が中空状昇降台３０に設けられてい
る。上記の如き構成によって、清浄空気を水平ダクト５
３の空気噴出口５４から下向きに噴出して、中空状昇降
台３０の上壁に形成さ れた吸引口３９から中空状昇降台
３０内に吸引して、スライドフォーク３８の上方の空間
（物品収納空間）に、上から下に向かう清浄空気の流れ
を作り、その空間を清浄に保持することが出来る。

【００１４】前記中空状被案内部３１にはマスト２８内
に開口した空気通路４０が形成されている。このような
構成によって、前記の吸引装置２３によって中空状昇降
台３０上部の空気を吸引してマスト２８内に引き込み、
中空状昇降台３０上部の空気をクリーンにすることが出
来る。

【００１５】次に、クリーン倉庫１内に一定の空気の流
れを作るための構成について説明する。図３に示すごと
く、水平壁４より上方のクリーン倉庫１の前壁とラック
装置７との間に空気通路４１を画するようにして、平板
状のフィルター及び網・多孔板等からなる整流板４３
が、クリーン倉庫１内に垂直状に設けられ、また、同様
に、水平壁４より上方のクリーン倉庫１の後壁とラック
装置７との間に空気通路４１を画するようにして、平板
状のフィルター及び網・多孔板等からなる整流板４３
が、クリーン倉庫１内に垂直状に設けられている。前記
空気通路４１に開口する、所要個の開口４４が水平壁４
に形成され（図１も参照）ている。

【００１６】前記水平壁４各々の下部の間隙３を前後に
画するようにして垂直な仕切り板４５が設けられ、この
仕切り板４５に所要個の開口４６が形成され、これら開
口４６にファン４７の吐出口が接続されている。前記開
口４６と開口４４を画するようにして垂直なフィルター
４８が設けられている。前記水平壁４の下方に位置する
ファン４７の設けられた空間と、下部のガイドレール１
４の設けられた空間とを区画するようにして、水平壁４
の、スタッカークレーン１６側の縁部と床２とに渡るよ
うなかたちで、平板状のフィルター４９がクリーン倉庫
１内に垂直状に設けられている。このような構成によっ
て、ファン４７から噴出された空気は、空気通路４１を
上昇し、物品収納棚８を通った後、前後のラック装置７
の間を通って下に行き、ファン４７に再び吸引されると
いう経路を循環する。そして、フィルター４９やフィル
ター４８を通過する間に空気は浄化される。

【００１７】

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す水平断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う中間省略の拡大
断面図である。

【図４】スタッカークレーンの拡大縦断面図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

【符号の説明】 １４ ガイドレール １６ スタッカークレーン １７ 走行台車 １８ 走行車輪 ２１ 吸引口 ２２ 排気口 ２３ 吸引装置 ２４ フィルター２８ マスト ２９ スリット ３０ 中空状昇降台 ３１ 中空状被案内部 ３２ ローラー ３３ ガイドレール ３９ 吸引口 ５１ 空気噴出口 ５２ 垂直ダクト ５３ 水平ダクト ５４ 空気噴出口 ５５ フィルター ５６ 空気通路 ５７ ファン

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイドレールに沿って走行する中空状の
   走行台車と、この走行台車にそれと連通するようにして
   設けられた筒状のマストと、このマストに昇降自在に設
   けられた中空状昇降台とを有するスタッカークレーンに
   おける塵埃飛散防止装置であって、前記走行台車の、ガ
   イドレールに載った走行車輪が設けられた部分に吸引口
   が形成され、この吸引口から空気を吸引して走行台車に
   形成された排気口から空気を排気する吸引装置が走行台
   車内に設けられ、前記排気された空気が走行台車に設け
   られたフィルターによってクリーンにされるようになさ
   れ、前記筒状のマストにその高さ方向に沿ってスリット
   が形成され、このスリットを通じて中空状昇降台の被案
   内部がマスト内に収納されており、この被案内部がこれ
   に設けられたローラーを介してマストの内部に設けられ
   たガイドレールに沿って上下動するようになされ、前記
   中空状昇降台の上壁に空気噴出口及び吸引口が形成さ
   れ、前記空気噴出口に垂直ダクトが接続され、この垂直
   ダクトの上端に下向きの空気噴出口を有する水平ダクト
   が接続され、中空状昇降台、垂直ダクト及び水平ダクト
   によって構成される空気通路にそれを横切るような状態
   でフィルターが設けられ、清浄空気を水平ダクトの空気
   噴出口から下向きに噴出して中空状昇降台の上壁に形成
   された吸引口から中空状昇降台内に吸引するファンが設
   けられているスタッカークレーンにおける塵埃飛散防止
   装置。