JP2555685Y2 - クリーンルーム内の物品保管設備 - Google Patents
クリーンルーム内の物品保管設備Info
- Publication number
- JP2555685Y2 JP2555685Y2 JP1990401758U JP40175890U JP2555685Y2 JP 2555685 Y2 JP2555685 Y2 JP 2555685Y2 JP 1990401758 U JP1990401758 U JP 1990401758U JP 40175890 U JP40175890 U JP 40175890U JP 2555685 Y2 JP2555685 Y2 JP 2555685Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article storage
- air
- stacker crane
- cover
- exhaust port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエハを取り扱
うクリーンルーム内において、物品保管棚に対して物品
を搬入・搬出するのに用いられるスタッカークレーンの
カバー構造に関する。
うクリーンルーム内において、物品保管棚に対して物品
を搬入・搬出するのに用いられるスタッカークレーンの
カバー構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】 クリーンルーム内の物品保管設備とし
ては、従来、特公平１−４１５６１号公報に記載された
ものがある。ここに開示されている物品保管設備は、物
品保管室内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収
納空間を有する物品保管棚と、両側に並ぶ物品保管棚間
の中央通路に沿って敷設された一定経路上を走行自在に
且つ昇降ならびに横方向進退自在な荷出し入れ機構を有
する搬入出装置を備えている。この搬入出装置は、自走
台車上に、荷出し入れ機構を案内する昇降案内装置や昇
降駆動装置を搭載しているので、磨耗による塵埃が発生
し、そのままでは、この塵埃が床下側に吸引除去される
ことなく物品保管棚側へ移行して半導体ウエハ等に付着
することになるので、上従来例では、搬入出装置の自走
台車上に搭載している昇降案内装置や昇降駆動装置等の
全体にカバーを被せるとともに自走台車下面側にエア吸
引装置を設けて、カバー内で発生した上記塵埃をエア吸
引装置で下に吸引して、床下側へ吸引除去するようにし
ている。
ては、従来、特公平１−４１５６１号公報に記載された
ものがある。ここに開示されている物品保管設備は、物
品保管室内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収
納空間を有する物品保管棚と、両側に並ぶ物品保管棚間
の中央通路に沿って敷設された一定経路上を走行自在に
且つ昇降ならびに横方向進退自在な荷出し入れ機構を有
する搬入出装置を備えている。この搬入出装置は、自走
台車上に、荷出し入れ機構を案内する昇降案内装置や昇
降駆動装置を搭載しているので、磨耗による塵埃が発生
し、そのままでは、この塵埃が床下側に吸引除去される
ことなく物品保管棚側へ移行して半導体ウエハ等に付着
することになるので、上従来例では、搬入出装置の自走
台車上に搭載している昇降案内装置や昇降駆動装置等の
全体にカバーを被せるとともに自走台車下面側にエア吸
引装置を設けて、カバー内で発生した上記塵埃をエア吸
引装置で下に吸引して、床下側へ吸引除去するようにし
ている。
【０００３】更に、物品保管棚の背部にエア供給装置を
設け、このエア供給装置からのエアをフイルタを通しク
リーンエアにして、物品保管棚の背部から搬入出装置側
へ吹き出されるようにして、塵埃が物品保管棚側へ浮遊
し、滞留するのを防止している。
設け、このエア供給装置からのエアをフイルタを通しク
リーンエアにして、物品保管棚の背部から搬入出装置側
へ吹き出されるようにして、塵埃が物品保管棚側へ浮遊
し、滞留するのを防止している。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】このように、クリーン
ルーム内の物品保管設備では、物品保管棚の背部から上
記中央通路側に向かうクリーンエアの気流を形成せしめ
て、浮遊塵埃が物品保管棚の物品に付着するのを防止し
ているが、中央通路にある上記搬入出装置がその全体を
カバーで覆われているので、上記気流がこのカバーに衝
突して、ところどころに乱流域が生成されることにな
り、この乱流域内では塵埃の滞留・巻き込みが発生し、
床下側へ吸引除去されずに残っているこれらの塵埃が物
品保管棚に出入れされる物品に付着する。
ルーム内の物品保管設備では、物品保管棚の背部から上
記中央通路側に向かうクリーンエアの気流を形成せしめ
て、浮遊塵埃が物品保管棚の物品に付着するのを防止し
ているが、中央通路にある上記搬入出装置がその全体を
カバーで覆われているので、上記気流がこのカバーに衝
突して、ところどころに乱流域が生成されることにな
り、この乱流域内では塵埃の滞留・巻き込みが発生し、
床下側へ吸引除去されずに残っているこれらの塵埃が物
品保管棚に出入れされる物品に付着する。
【０００５】本考案は上記問題を解消するためになされ
たもので、物品保管棚から中央通路側へ吹き出されたク
リーンエアが搬入出装置に衝突して乱流を生起するのを
防止することができ、クリーンエアの流れを常に正常状
態に保つことができるクリーンルーム内の物品保管設備
を提供することを目的とする。
たもので、物品保管棚から中央通路側へ吹き出されたク
リーンエアが搬入出装置に衝突して乱流を生起するのを
防止することができ、クリーンエアの流れを常に正常状
態に保つことができるクリーンルーム内の物品保管設備
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 本考案は上記目的を達
成するために背部にエアフィルタを取着した物品保管棚
と、この物品保管棚の各棚に対して物品を出し入れする
昇降可能な移載機構を搭載し上記物品保管棚の前面通路
に配設されたレール上を走行するスタッカークレーン
と、上記物品保管棚の背部にエアを送り上記エアフィル
タを通して上記前面通路側に向かうエア流を発生させる
エア供給装置と、下部排気口とを備えるクリーンルーム
内の物品保管設備において、上記スタッカークレーンの
全体を覆うカバーの上記物品保管棚に面するカバー壁に
多数の通気孔が形成されるとともにこのカバー壁の下部
もしくはスタッカークレーン自走台車の下面に排気口が
形成され、該スタッカークレーン自走台車上に上記排気
口に向かうエア流を生起する排気装置を搭載する構成と
した。
成するために背部にエアフィルタを取着した物品保管棚
と、この物品保管棚の各棚に対して物品を出し入れする
昇降可能な移載機構を搭載し上記物品保管棚の前面通路
に配設されたレール上を走行するスタッカークレーン
と、上記物品保管棚の背部にエアを送り上記エアフィル
タを通して上記前面通路側に向かうエア流を発生させる
エア供給装置と、下部排気口とを備えるクリーンルーム
内の物品保管設備において、上記スタッカークレーンの
全体を覆うカバーの上記物品保管棚に面するカバー壁に
多数の通気孔が形成されるとともにこのカバー壁の下部
もしくはスタッカークレーン自走台車の下面に排気口が
形成され、該スタッカークレーン自走台車上に上記排気
口に向かうエア流を生起する排気装置を搭載する構成と
した。
【０００７】
【作用】本考案では、前面通路にあるスタッカークレー
ンに達したエアは、カバーの通気孔を通して該カバー内
に入り、排気装置により、スタッカークレーンの排気口
から流出し、下部排気口（側排気口や床排気口）から排
気される。
ンに達したエアは、カバーの通気孔を通して該カバー内
に入り、排気装置により、スタッカークレーンの排気口
から流出し、下部排気口（側排気口や床排気口）から排
気される。
【０００８】
【実施例】以下、本考案の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【０００９】図１において、１０は物品保管棚、１１は
区分棚、１２は物品保管棚１０の背面に設けられたエア
フィルタ、１３は中央通路、１４は中央通路１３の床に
設けられた走行レールである。
区分棚、１２は物品保管棚１０の背面に設けられたエア
フィルタ、１３は中央通路、１４は中央通路１３の床に
設けられた走行レールである。
【００１０】１５Ａ、１５ＢはエアフィルタＦを有する
側排気口であって、仕切り壁１９Ａ、１９Ｂに設けられ
ている。２０は搬入出装置であるスタッカークレーン、
Ｗは半導体ウエハなどの物品である。
側排気口であって、仕切り壁１９Ａ、１９Ｂに設けられ
ている。２０は搬入出装置であるスタッカークレーン、
Ｗは半導体ウエハなどの物品である。
【００１１】
【実施例】 このスタッカークレーン２０は、走行レー
ル１４上を走行する自走台車２１上に立設されたカバー
２２を有し、このカバー２２内に、荷出し入れ用移載機
構２５を案内する昇降装置や昇降駆動装置（共に図示し
ない）を収納するとともに、排気装置を自走台車２１上
に搭載している。カバー２２の物品保管棚１２に面する
カバー壁２２Ａ、２２Ｂには下部の開口部を除いて、多
数の通気孔２３が形成されており、この開口部はエアフ
ィルタＦを取着された排気口２４となっている。この排
気口の裏面側には上記排気装置が位置している。
ル１４上を走行する自走台車２１上に立設されたカバー
２２を有し、このカバー２２内に、荷出し入れ用移載機
構２５を案内する昇降装置や昇降駆動装置（共に図示し
ない）を収納するとともに、排気装置を自走台車２１上
に搭載している。カバー２２の物品保管棚１２に面する
カバー壁２２Ａ、２２Ｂには下部の開口部を除いて、多
数の通気孔２３が形成されており、この開口部はエアフ
ィルタＦを取着された排気口２４となっている。この排
気口の裏面側には上記排気装置が位置している。
【００１２】図２は、本実施例の物品保管設備を模式的
に縦断面図で示したもので、１６Ａ、１６Ｂはエア供給
装置、１７Ａ、１７ＢはエアフィルタＦを有する吸気
口、１８は床排気口であり、矢印は空気の流れる方向を
示している。なお、３１、３２は物品保管室のそれぞれ
天井、床であり、３３Ａ、３３Ｂは物品保管室の側壁で
ある。
に縦断面図で示したもので、１６Ａ、１６Ｂはエア供給
装置、１７Ａ、１７ＢはエアフィルタＦを有する吸気
口、１８は床排気口であり、矢印は空気の流れる方向を
示している。なお、３１、３２は物品保管室のそれぞれ
天井、床であり、３３Ａ、３３Ｂは物品保管室の側壁で
ある。
【００１３】本実施例においては、エア供給装置１６
Ａ、１６Ｂから送り出された空気は物品保管棚１０、１
０のエアフィルタ１２を通過してクリーンエアとなり、
物品保管棚１０、１０の前面から中央通路１３に向かっ
て吹き出し、流下して側排気口１５Ａ、１５Ｂから物品
保管棚１０、１０の背部側へ、また、床排気口１８から
クリーンルーム外へ排気される。中央通路１３にあるス
タッカークレーン２０に達したクリーンエアは、黒塗り
矢印で示すように、カバー２２の通気孔２３を通して該
カバー２２内に入り、上記した排気装置により、前記昇
降装置や昇降駆動装置が発生する塵埃とともに下方へ吸
引されて、排気口２４から流出し、側排気口１５Ａ、１
５Ｂから物品保管棚１０、１０の背部側へ、また、床排
気口１８からクリーンルーム外へ排気される。
Ａ、１６Ｂから送り出された空気は物品保管棚１０、１
０のエアフィルタ１２を通過してクリーンエアとなり、
物品保管棚１０、１０の前面から中央通路１３に向かっ
て吹き出し、流下して側排気口１５Ａ、１５Ｂから物品
保管棚１０、１０の背部側へ、また、床排気口１８から
クリーンルーム外へ排気される。中央通路１３にあるス
タッカークレーン２０に達したクリーンエアは、黒塗り
矢印で示すように、カバー２２の通気孔２３を通して該
カバー２２内に入り、上記した排気装置により、前記昇
降装置や昇降駆動装置が発生する塵埃とともに下方へ吸
引されて、排気口２４から流出し、側排気口１５Ａ、１
５Ｂから物品保管棚１０、１０の背部側へ、また、床排
気口１８からクリーンルーム外へ排気される。
【００１４】このように、本実施例では、スタッカーク
レーン２０のカバー２２に通気孔２３を形成してあるの
で、物品保管棚１０、１０から吹き出すクリーンエアは
このカバー２２に当っても、通気孔２３を通してカバー
２２内に流れるので、クリーンエアがカバー２２に衝突
して乱気流が生起するような事態は避けられる。
レーン２０のカバー２２に通気孔２３を形成してあるの
で、物品保管棚１０、１０から吹き出すクリーンエアは
このカバー２２に当っても、通気孔２３を通してカバー
２２内に流れるので、クリーンエアがカバー２２に衝突
して乱気流が生起するような事態は避けられる。
【００１５】従って、浮遊滞留する塵埃が従来に比して
低減し、移載機構２５により物品保管棚１０、１０に出
し入れされる物品Ｗの塵埃による汚染は減少する。
低減し、移載機構２５により物品保管棚１０、１０に出
し入れされる物品Ｗの塵埃による汚染は減少する。
【００１６】なお、通気孔２３の大きさと数はクリーン
エアの風量と風速により調整する。また、本実施例で
は、カバー壁２２Ａ、２２Ｂの下部にエアフィルタを取
着した排気口２４を設けているが、自走台車２１の下面
に排気口を形成する場合もある。
エアの風量と風速により調整する。また、本実施例で
は、カバー壁２２Ａ、２２Ｂの下部にエアフィルタを取
着した排気口２４を設けているが、自走台車２１の下面
に排気口を形成する場合もある。
【００１７】
【考案の効果】本考案は以上説明した通り、スタッカー
クレーンのカバーに通気孔を形成して、このカバーに達
したエア流が通気孔を通してカバー内に流入し得る構成
としたことにより、エア流がカバーに衝突して乱流を生
起するのを防止し、常に、エア流の正常な流れを確保す
ることができるので、塵埃による半導体ウエハなどの汚
染を低減し、従来に比し、製品歩留りを向上することが
できる。
クレーンのカバーに通気孔を形成して、このカバーに達
したエア流が通気孔を通してカバー内に流入し得る構成
としたことにより、エア流がカバーに衝突して乱流を生
起するのを防止し、常に、エア流の正常な流れを確保す
ることができるので、塵埃による半導体ウエハなどの汚
染を低減し、従来に比し、製品歩留りを向上することが
できる。
【図１】本考案の実施例の斜視図である。
【図２】本考案の実施例を模式的に示して縦断面図であ
る。
る。
１０ 物品保管棚 １１ 区分棚 １２ エアフィルタ １３ 前面通路である中央通路 １４ 走行レール １５Ａ、１５Ｂ 側部排気口 １６Ａ、１６Ｂ エア供給装置 １８ 床排気口 ２０ スタッカークレーン ２１ 自走台車 ２２ カバー ２２Ａ、２２Ｂ カバー壁 ２３ 通気孔 ２４ 排気口 ２５ 移載機構
Claims (1)
- 【請求項１】 背部にエアーフィルタを取着した物品
保管棚と、この物品保管棚の各棚に対して物品を出し入
れする昇降可能な移載機構を搭載し上記物品保管棚の前
面通路に配設されたレール上を走行するスタッカークレ
ーンと、上記物品保管棚の背部にエアーを送り上記エア
ーフィルタを通して上記前面通路側に向かうエア流を発
生させるエア供給装置と、下部排気口とを備えるクリー
ンルーム内の物品保管設備において、上記スタッカーク
レーンの全体を覆うカバーの上記物品保管棚に面するカ
バー壁に多数の通気孔が形成されるとともにこのカバー
壁の下部もしくはスタッカークレーン自走台車の下面に
排気口が形成され、該スタッカークレーン自走台車上に
上記排気口に向かうエアー流を生起する排気装置を搭載
していることを特徴とするクリーンルーム内の物品保管
設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990401758U JP2555685Y2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | クリーンルーム内の物品保管設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990401758U JP2555685Y2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | クリーンルーム内の物品保管設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0491906U JPH0491906U (ja) | 1992-08-11 |
| JP2555685Y2 true JP2555685Y2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=31879797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990401758U Expired - Fee Related JP2555685Y2 (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | クリーンルーム内の物品保管設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2555685Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101805572B1 (ko) * | 2013-05-16 | 2017-12-07 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 스태커 크레인 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005311260A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 液晶基板の保管倉庫室 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044403A (ja) * | 1983-08-17 | 1985-03-09 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
| JPS638105A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-01-13 | Mitsubishi Electric Corp | クリ−ン収納装置 |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP1990401758U patent/JP2555685Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101805572B1 (ko) * | 2013-05-16 | 2017-12-07 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 스태커 크레인 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0491906U (ja) | 1992-08-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6358143B2 (ja) | 半導体容器保管設備 | |
| EP0250596B1 (en) | Clean room | |
| JP4688000B2 (ja) | 物品収納設備 | |
| KR100524359B1 (ko) | 클린 룸용의 물품 보관 설비 | |
| TWI408090B (zh) | 物品保管庫 | |
| JP4378659B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
| JP2555685Y2 (ja) | クリーンルーム内の物品保管設備 | |
| TWI406803B (zh) | Clean air ventilation of the items storage equipment | |
| JP4780396B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
| JP4126619B2 (ja) | 物品保管設備 | |
| JPH0141561B2 (ja) | ||
| JP4688001B2 (ja) | 物品収納設備 | |
| JP2000016518A (ja) | 自動倉庫 | |
| JP5656003B2 (ja) | カセットストッカ | |
| JP4811677B2 (ja) | 物品収納設備 | |
| JPH0217441B2 (ja) | ||
| JPH1179318A (ja) | 自動倉庫 | |
| JPH036580Y2 (ja) | ||
| JPH03192005A (ja) | クリーンルーム内の荷保管設備 | |
| KR101184320B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
| JP3086910B2 (ja) | 半導体処理装置 | |
| JP2009126631A (ja) | 保管倉庫設備 | |
| JP2516156Y2 (ja) | クリーンルーム用天井走行車 | |
| JPH0735209B2 (ja) | クリ−ンル−ム等における被加工物の搬送方法および搬送装置 | |
| JPH0512669Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |