JP2009126631A

JP2009126631A - 保管倉庫設備

Info

Publication number: JP2009126631A
Application number: JP2007302557A
Authority: JP
Inventors: Matsuo Kamiya; 松雄神谷; Satoru Sugitani; 悟杉谷; Ryusuke Gotoda; 龍介後藤田
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2007-11-22
Filing date: 2007-11-22
Publication date: 2009-06-11

Abstract

【課題】保管倉庫設備に配置される移動体の走行に伴う発塵に対して、発生した塵埃の空間内への拡散を防止できる保管倉庫設備を提供する。
【解決手段】空間内をあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段３０と、前記空間内を区分けした保管棚２２と、前記保管棚２２に保管物を搬入または搬出するクレーン４６と台車４４を具備した移動体４０と、を備えた保管倉庫設備１０において、前記空間内の床下であって前記空調手段３０のリターン流路内に前記台車４４と走行レール４８を取り付け、前記移動体４０の搬送方向に沿って形成した床の開口から前記クレーン４６を前記空間内に突出させたことを特徴としている。
【選択図】図１

Description

本発明は、保管倉庫設備に関し、特にファンフィルターユニット（ＦＦＵ）を備え、高い清浄度で基板などを収容する保管倉庫設備に関するものである。

液晶など半導体製品の製造に用いられるガラス基盤やウェハの一時保管のため、高い清浄度に保持された保管倉庫設備がある。

このような保管倉庫設備の一例として、図３は従来の液晶基板用保管倉庫の構成概略図を示している。図示のように液晶基板用保管倉庫１は、基板等を保管する複数の保管棚２を室内に設けている。この保管棚２に収容されるカセット３がある。カセット３には、複数の基盤やウェハが一部露出して保持されている。そしてカセット３は、液晶基板用保管倉庫１に備えられたスタッカークレーン４で保管棚２に搬入される。スタッカークレーン（移動体）４は、クリーンルーム内に施工されたレール５上を移動する台車６を備えている。また空間内では、上部から下部へ流れる気流を形成し、清浄空気の循環を行って空間内の高い清浄度を維持している。

従来、液晶基板用保管倉庫１内では、仕切られた複数の保管棚２へカセット３を搬送する際、速やかな搬送・搬入のためスタッカークレーン４が高速で走行する。スタッカークレーンは、カセットの搬入・搬出のたびにレール上を移動する。このため、クレーンの台車６の車輪とレール５の磨耗または摩擦により塵埃が発生する。またクレーンの高速移動によって、空間内の気流が乱流となり、発生した塵埃は微量であっても、空間内を巻き上がり基板に付着してしまい、空間内の塵埃拡散が問題となっていた。よって空間内の高い清浄度の維持が困難となっていた。

このような移動体の走行部における発塵対策としては、空間内を通過した気流を導入する床下スペースを設けて、開口床の上にレールとスタッカークレーンを配設することにより、発生した塵埃をこの床下スペースに流れるようにしていた。しかし、ガラス基板の大型化に伴い、基板を支持するスタッカークレーンの重量が重くなり、開口床上では支えきれず、室内のべた床に設置せざるを得なくなってきている。そこで、このような走行部の発塵に対する対策方法として特許文献１の設備がある。

特許文献１のクリーンストッカー設備では、収容スペースの下部側面にファンフィルターユニットを設けて、横向きの清浄空気流を形成するようにしている。このファンフィルターユニットから流れる横向きの清浄空気は、収容スペースを通過した後その近傍に設けた吸込み口にただちに吸い込まれるようになっている。これによりスタッカークレーンの駆動機構から生じる塵埃は、横向きの清浄空気流によって速やかに吸込み口に吸い込まれる。よって上流、すなわち空間内の上部に吹き上がることがなく、収容スペース全体の清浄度を維持することができる。

また特許文献２の気流制御方法では、クリーンストッカー内の上下方向の気流に対して、水平方向に移動するクレーンによって生じる気流の乱れによる塵埃の舞い上がりを防止すべく、保管棚の間を移動するクレーンの移動に追随して個別にブロアの流量を制御する制御方法が開示されている。
特開２００６−２５６７９４号広報特開２００４−２９９８１３号広報

しかしながら、特許文献１によるクリーンストッカー設備では、収容スペースの下部側面からの横向きの清浄空気流によって、発生した塵埃を横方向に流して近傍の吸い込み口に吸引させている。よって空間内の発塵を防止することはできず、発生した塵埃を完全に除去し、巻き上がりを防止するには限界がある。

また特許文献２による気流制御方法では、保管棚の下側のクレーン通路をはさんで複数の空気循環用ブロアや、制御手段を配置することにより、設置するブロアおよびフィルタ数が増加し、設備コストが増大してしまうという問題がある。またクリーンストッカー内で塵埃が発生することに変わりがない。

上記従来技術の問題点を解決するため、本発明は、保管倉庫設備に配置される移動体であるスタッカークレーンの走行に伴う発塵に対して、発生した塵埃の部屋内への拡散や巻き上がりを効果的に防止できる保管倉庫設備を提供することを目的としている。

上記目的を達成するため、本発明の保管倉庫設備は、保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、前記収容スペースを通気した清浄空気の吸い込み領域に前記移動体の台車と走行レールを形成したことを特徴としている。

また本発明の保管倉庫設備は、保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、前記収容スペースの床下の清浄空気のリターン流路内に前記台車と走行レールを取り付け、前記移動体の搬送方向に沿って前記収容スペースの床に開口を形成し、前記開口から前記クレーンを前記収容スペース内に突出させるとともに、前記収容スペースを通気した清浄空気を吸引することを特徴としている。

さらに本発明の保管倉庫設備は、保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、前記移動体の移動方向に沿って前記台車と走行レールを囲むケーシングと、前記ケーシングに接続して前記収容スペースを通気した清浄空気を吸引する吸引手段とを取り付け、前記移動体の搬送方向に沿って前記ケーシングの上面に開口を形成し、前記開口から前記移動体のクレーンを突出させて、前記清浄空気を吸引することを特徴としている。

上記構成による本発明によれば、発塵の発生源となる移動体の台車および走行レールをリターン流路内に配置したことから、スタッカークレーンなどの移動体から発生した塵埃を高い清浄度に維持された収容スペース内への拡散を防止するとともに、移動体の走行に伴う塵埃の巻き上がりを収容スペースと隔離したリターン流路内に留めることができる。したがって、空間内への塵埃拡散を抑制し、収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持することができる。

また、スタッカークレーン走行部と保管倉庫設備の隔離方法として、移動体の台車および走行レールを囲むケーシングを形成し、移動体の搬送方向に沿ってケーシングの上面に開口を形成し、移動体のクレーンをケーシングの開口から突出させている。

この構成により、従来の床下スペースに相当する空間が模擬的に確保でき、走行部でのダウンフローが確実に形成でき、保管倉庫設備への塵埃拡散を抑制できる。

本発明の保管倉庫設備の実施形態を添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。

図１は第１実施形態の保管倉庫設備の構成概略図である。図示のように、保管倉庫設備１０は、主に、保管物の収容スペース２０と、空調手段３０と、移動体４０から構成されている。

保管物は、本実施形態では、液晶など半導体製品の製造に用いられるガラス基盤やウェハ等である。保管物を搬送する場合、カセット型のケース容器（搬送カセット１４）に一部露出させて収容し、後述する移動体４０を用いて搬送している。

収容スペース２０は、空間内を複数に区分けして搬送カセット１４を収容する保管棚２２を形成している。保管棚２２は図示のように複数段に積み重ねて、後述する移動体４０の搬送路４２を挟んで両側に並べている。

また収容スペース２０上面には空調手段３０を取り付けている。空調手段３０は、本実施形態では、複数のファンフィルターユニット（ＦＦＵ）を用いている。空調手段３０は、収容スペース２０の上方から下方に向けて清浄空気を供給している。また収容スペース２０の床面には、空間内を通気した清浄空気の吸い込み口となる通気穴３１を形成してある。

さらに収容スペース２０の周りには空調手段３０の清浄空気を循環させるリターン流路となる循環スペース３２を形成している。

循環スペース３２は、収容スペース２０の床下の床下領域３４と、収容スペース２０の外側面に沿ったリターン領域３６と、収容スペース２０の天井裏の天井裏領域３８とから構成している。

収容スペース２０を通過した空気は、通気穴３１から床下領域３４に導入される。そして床下領域３４から隣接するリターン領域３６に供給され、さらに天井裏領域に導入され、再度空調手段３０に戻る。

移動体４０は、本実施形態では一例としてスタッカークレーン等を用いており、前述の複数の保管棚２２の間に形成した搬送路４２上を走行させている。移動体４０は台車４４とクレーン４６を主な構成要件としている。台車４４は搬送路４２に形成した走行レール４８上を移動可能な車輪４９を備えている。また台車４４の中央部には、移動方向（図１の紙面に直行する方向）と直行する方向にクレーン４６を立設している。クレーン４６は、搬送カセット１４の支持手段を備えている。支持手段は、クレーン４６の上下方向に移動可能な昇降手段に形成している。また台車４４の上方の収容スペース２０の床面には、クレーン４６が搬送方向に沿って移動可能な矩形の開口２４を形成している。

次に、上記構成による本発明の保管倉庫設備１０の作用について以下説明する。
まず収容スペース２０の上部に取り付けた空調手段３０から清浄空気が下方に向けて供給される。このとき収容スペース２０内の複数の保管棚２２間を清浄空気が通流する。そして床面に設けた通気穴３１および開口２４から収容スペース２０を通気した清浄空気が吸い込まれ、床下領域３４に供給される。床下領域３４に供給された清浄空気は、隣接するリターン領域３６に導入され、さらに天井裏領域３８に導入される。天井裏領域３８の清浄空気は空調手段３０によって再び収容スペース２０に導入される。保管倉庫設備１０ではこのように高い清浄度が維持された清浄空気の循環経路が形成されている。

移動体４０は、保管倉庫設備１０の収容スペース２０内を、搬送カセット１４を保持しながら、保管棚２２や図示しない製造装置などの必要な箇所に移動している。近年スタッカークレーンなどの移動体は、本体の密閉度を向上させ、スタッカークレーン内部からの発塵は非常に対策されつつある。これに対し車輪と走行レールからの発塵については対策がされにくい。またスタッカークレーンは高速（２〜３ｍ／ｓ以上）で稼動するため、僅かながらの発塵であっても、車輪と走行レールで発生した塵埃の巻き上がりが懸念される。よってスタッカークレーンの車輪と走行レールの摺動部から発塵する可能性がある。

そこで台車４４と走行レール４８を床下の床下領域３４に設置し、クレーン４６のみ収容スペース２０に突出させて、保管物の収容スペース２０と隔離するように設置している。

このように走行レール４８と、車輪４９、台車４４を含めたスタッカークレーンの走行部の部分を、収容スペース２０と隔離されたスペース、いわゆる床下領域３４に設置し、床の開口２４から収容スペース２０の清浄空気を吸い込むことにより、移動体４０の下部の台車４４の周りの発塵を床下領域３４を通して戻り空気として天井裏領域３８に戻し、収容スペース２０への拡散を抑制することが可能となる。

なお、通気穴３１の開口率は、例えば、移動体４０付近が次第に大きくするように変えることにより、できる限り移動体４０のクレーン４６の立設している開口から収容スペースを通気した清浄空気が流れ込むようにするとよい。これにより効果的に空間内への塵埃の拡散を抑制することが可能となる。

さらに収容スペースの床面は、クレーン４６の突出する開口２４以外の開口率を０としてもよい。この開口２４は、クレーン４６のメンテナンスを可能とする大きさを有していればよい。

図２は、第２実施形態の保管倉庫設備を示す構成概略図である。図示のように第２実施形態の保管倉庫設備１００は、第１実施形態の保管倉庫設備１０のように移動体の台車と走行レールの隔離方法として床下スペースを用いていない。すなわち、保管倉庫設備１００は、移動体の台車４４と走行レール４８を覆うケーシング５０を形成している。

具体的にケーシング５０は、移動体４０の搬送方向（図２の紙面と直行する方向）、走行レール４８に沿って台車４４を覆うように形成している。そしてケーシング５０の上面には、移動体４０のクレーン４６が突出する開口２４０を形成してある。

またケーシング５０にはリターン領域３６に形成した吸引ファン６０の吸引配管６２が接続している。

上記構成による第２実施形態の保管倉庫設備１００は、まず第１実施形態と同様に空調手段３０から清浄空気が収容スペース２０に供給される。そして、収容スペース２０下方のケーシング５０内は、リターン領域３６の吸引ファン６０により負圧状態となっている。よってケーシング５０の開口２４０から収容スペース２０を通気した清浄空気が吸い込まれる。

また移動体４０は、保管倉庫設備１０の収容スペース２０内を、搬送カセット１４を保持しながら、保管棚２２や図示しない製造装置などの必要な箇所に移動している。このとき移動体４０の下部の台車４４の周りの発塵は、吸引ファン６０によりケーシング５０からリターン領域３６に供給される。また、ケーシングの開口２４０からは、収容スペース２０の清浄空気が流れ込むため、ケーシング５０外への塵埃の拡散を防止することができる。

本発明は、クリーンルームなど高い清浄度を要求される保管設備の分野において特に利用可能である。

第１実施形態の保管倉庫設備の構成概略図である。第２実施形態の保管倉庫設備の構成概略図である。従来の保管倉庫設備の説明図である。

符号の説明

１………液晶基板用保管倉庫、２………保管棚、３………カセット、４………スタッカークレーン、５………レール、６………台車、１０、１００………保管倉庫設備、１４………搬送カセット、２０………収容スペース、２２………保管棚、２４、２４０………開口、３０………空調手段、３１………通気穴、３２………循環スペース、３４………床下領域、３６………リターン領域、３８………天井裏領域、４０………移動体、４２………搬送路、４４………台車、４６………クレーン、４８………走行レール、４９………車輪、５０………ケーシング、６０………吸引ファン、６２………吸引配管。

Claims

保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、
前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、
前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、
を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、
前記収容スペースを通気した清浄空気の吸い込み領域に前記移動体の台車と走行レールを形成したことを特徴とする保管倉庫設備。
保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、
前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、
前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、
を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、
前記収容スペースの床下の清浄空気のリターン流路内に前記台車と走行レールを取り付け、前記移動体の搬送方向に沿って前記収容スペースの床に開口を形成し、
前記開口から前記クレーンを前記収容スペース内に突出させるとともに、前記収容スペースを通気した清浄空気を吸引することを特徴とする保管倉庫設備。
保管物の収容スペースを区分けした保管棚と、
前記収容スペースをあらかじめ設定した清浄度に維持する空調手段と、
前記保管物を前記保管棚に搬入または搬出するクレーンと台車を具備した移動体と、
を備え、前記収容スペースの清浄度を維持して前記保管物を収容する保管倉庫設備において、
前記移動体の移動方向に沿って前記台車と走行レールを囲むケーシングと、前記ケーシングに接続して前記収容スペースを通気した清浄空気を吸引する吸引手段とを取り付け、
前記移動体の搬送方向に沿って前記ケーシングの上面に開口を形成し、前記開口から前記移動体のクレーンを突出させて、前記清浄空気を吸引することを特徴とする保管倉庫設備。