JPH04350008A - クリーン倉庫内で使用される物品搬入搬出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば多数の半導体
ウエハが収納されたキャリア等の塵埃を嫌う物品を収納
・保管するクリーン倉庫内で使用される物品搬入搬出装
置に関する。

【０００２】

【発明の背景】クリーン倉庫内に設備され、物品収納棚
に物品を搬入したり、その物品収納棚から物品を搬出し
たりする物品搬入搬出装置にあっては、当然のことなが
ら塵埃に対する対応がなされることが必要である。この
発明は、そのような要請に基づいてなされたものである
。

【０００３】

【実施例】以下にこの考案を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同上側をいい、左とは図１左側を、右とは
同右側をいう。クリーン倉庫１の床２の上方後方に、床
２との間に所定間隔３をあけるようにして、且つ、前方
に左右方向に長い開口５を形成するようにして、水平壁
４が設けられている。前記水平壁４にラック７が設けら
れ、このラック７は上下・左右に多数の物品収納棚８を
有しており、これら物品収納棚８の出し入れ開口９は前
方を向いている。そして、これら物品収納棚８に物品Ｗ
が載置・収納される。

【０００４】前記開口５の下方に位置するようにして左
右方向に長い前後一対のケーシング１１が配され、これ
らケーシング１１は上部に左右方向に長いスリット１２
を有している。前記ケーシング１１内には左右方向に長
い一対のガイドレール１３が設けられ、これらガイドレ
ール１３に左右摺動体１４が左右動自在に案内され、こ
の左右摺動体１４の左右端部に、軸心を前後に向けるよ
うにしてホイール１６が回転自在に設けられ、これらホ
イール１６に下側にずれた状態で対向するようにして、
ケーシング１１の左端部及び右端部各々にホイール１８
が回転自在に設けられ、左側のホイール１８がモーター
１９によって駆動させられるようになされている。前記
ケーシング１１の左端部に左端が固定された、タイミン
グベルト等の駆動帯２０が、左右摺動体１４の左側のホ
イール１６、左側のホイール１８、右側のホイール１８
、左右摺動体１４の右側のホイール１６に、列挙の順で
掛け渡され、駆動帯２０の右端がケーシング１１の右端
部に固定されている。

【０００５】前記前後の左右摺動体１４に連結板４１が
渡し止められ、この連結板４１と左右摺動体１４とによ
ってスタッカークレーン３９の走行台車４０が構成され
ている。前記連結板４１にマスト２３が立設されている
。なお、マスト２３は、物品収納棚８の数や形状によっ
ては左右に移動せず、クリーン倉庫１内に固定されるこ
ともある。前記マスト２３は上端が閉塞され、下端が開
放（開口）した筒状である。このマスト２３に、その高
さ方向に沿ってスリット２４が形成され、このスリット
２４を通じて中空状昇降台２５の被案内部２６がマスト
２３内に収納されており、この被案内部２６が、これに
設けられたローラー２７を介して、マスト２３の内部に
設けられたガイドレール２８に沿って上下動するように
なされている。

【０００６】前記被案内部２６の上下部に軸心をスリッ
ト２４の幅方向と平行にした上下一対のホイール２９が
回転自在に設けられ、これらホイール２９と右側にずれ
て対向するようにして、マスト２３の上部及びマスト２
３の下部各々にホイール３０が回転自在に設けられ、下
側のホイール３０がモーター３２によって駆動させられ
るようになされている。前記マスト２３の上端に上端が
固定された駆動ベルト３１が、被案内部材２６の上側の
ホイール２９、マスト２３の上部のホイール３０、マス
ト２３の下部のホイール３０、被案内部材２６の下側の
ホイール２９に、列挙の順で掛け渡され、駆動ベルト３
１の下端がマスト２３の下部に固定され、前記駆動ベル
ト３１の幅がスリット２４の幅以上となされ、駆動ベル
ト３１はスリット２４をほぼ閉塞する状態にある。

【０００７】前記中空状昇降台２５の内部には、長手方
向を前後方向に向けたガイドレール４４が設けられ、こ
のガイドレール４４に前後摺動体４５が前後摺動自在に
設けられ、この前後摺動体４５はボールねじ機構・ベル
ト駆動機構等の公知の機構にによって前後動させられる
ようになされている。前記前後摺動体４５の上端首部４
６が、中空状昇降台２５の上壁に形成された空気吸引口
である前後方向に長いスリット４７を通じて上方に突出
しており、この上端首部４６に物品移載装置であるスラ
イドフォーク４８が設けられている。このスライドフォ
ーク４８は、公知のごとく、物品Ｗの下方への突出・中
空状昇降台２５の上昇による物品Ｗの持ち上げ、中空状
昇降台２５側への退入という動作を行なって、物品Ｗを
中空状昇降台２５に引き込み、前記と逆の動作によって
、物品収納棚８等に物品Ｗを降ろすことが出来る。なお
、スライドフォーク４８に代えて、公知のロボットハン
ドを物品移載装置として使用してもよい。

【０００８】前記中空状昇降台２５の上壁左側に空気噴
出口５１が形成され、この空気噴出口５１に垂直ダクト
５２が接続され、この垂直ダクト５２の上端に、下向き
の空気噴出口５４を有する水平ダクト５３が接続されて
いる。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４にヘパフィ
ルター等からなるフィルター５５が取り付けられている
。なお、フィルター５５は、中空状昇降台２５、垂直ダ
クト５２及び水平ダクト５３によって構成される空気通
路５６に、それを横切るような状態で、設けるようにす
ればよい。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４から空
気を噴出するファン５７が中空状昇降台２５に設けられ
ている。このような構成によって、清浄空気を水平ダク
ト５３の空気噴出口５４から下向きに噴出して、スリッ
ト４７から中空状昇降台２５内に吸引して、スライドフ
ォーク４８の上方の物品収納空間５８に、上から下に向
かう清浄空気の流れを作り、物品収納空間５８を清浄に
保持することが出来る。

【０００９】なお、クリーン倉庫１には搬入・搬出ステ
ーション（図示略）が設けられている。図において、３
６はクリーン倉庫１のファン、３７はフィルターである
。前記マスト２３の下端には、マスト２３内の空気を下
から排気するファン３５が設けられている。前記の如き
構成によって、モーター１９の駆動によって走行台車４
０が左右動し、モーター３２の駆動によって中空状昇降
台２５が昇降する。

【００１０】

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によって
、以下の如き効果を奏するものである。空気吸引口及び
空気噴出口を有する中空状昇降台と、この中空状昇降台
に設けられた物品移載装置と、前記中空状昇降台の空気
噴出口に接続された垂直ダクトと、この垂直ダクトの上
端に中空状昇降台に対向するようにして接続された、下
向きの空気噴出口を有する水平ダクトとを有しており、
前記水平ダクトの空気噴出口から空気を噴出するファン
が、中空状昇降台、垂直ダクト又は水平ダクト内に設け
られ、且つ、中空状昇降台、垂直ダクト及び水平ダクト
によって構成される空気通路に、それを横切るような状
態で、フィルターが設けられているので、中空状昇降台
の上方の物品収納空間に、上から下に向かう清浄空気の
流れを作り、物品収納空間を清浄に保持することが出来
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す簡略平面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う高さ方向中間省
略の拡大断面図である。

【図４】スタッカークレーンの要部拡大断面図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。

【符号の説明】

２３　　マスト ２５　　中空状昇降台 ４７　　スリット ４８　　スライドフォーク ５１　　空気噴出口 ５２　　垂直ダクト ５３　　水平ダクト ５４　　空気噴出口 ５５　　フィルター ５６　　空気通路 ５７　　ファン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　マストに沿って昇降自在に設けられた
   、空気吸引口及び空気噴出口を有する中空状昇降台と、
   この中空状昇降台に設けられた物品移載装置と、前記中
   空状昇降台の空気噴出口に接続された垂直ダクトと、こ
   の垂直ダクトの上端に中空状昇降台に対向するようにし
   て接続された、下向きの空気噴出口を有する水平ダクト
   とを有しており、前記水平ダクトの空気噴出口から空気
   を噴出するファンが、中空状昇降台、垂直ダクト又は水
   平ダクト内に設けられ、且つ、中空状昇降台、垂直ダク
   ト及び水平ダクトによって構成される空気通路に、それ
   を横切るような状態で、フィルターが設けられているク
   リーン倉庫内で使用される物品搬入搬出装置。
2. 【請求項２】　　前記フィルターが水平ダクトの空気噴
   出口に設けられている請求項１記載のクリーン倉庫内で
   使用される物品搬入搬出装置。