JP2623190B2 - クリーン倉庫 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体ウエハ等の塵埃
を嫌う物品を収納するクリーン倉庫に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来この種のクリーン倉庫として以下の
如きものは知られている。即ち、クリーン倉庫内に設け
られた、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック
装置と、このクリーン倉庫内において、ラック装置の前
方で左右動自在に設けられたスタッカークレーンとを有
しており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、こ
の走行台車に立設されたマストに昇降自在に設けられた
昇降台と、この昇降台に搭載されたロボットハンド等の
物品移載装置とを有しており、前記ラック装置の背面と
クリーン倉庫の外側壁との間に、物品収納棚に向かって
開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸
い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファ
ンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記空気ダクトの空
気噴出口にフィルターが取り付けられたものは知られて
いる。

【０００３】

【従来技術の欠点】前記従来クリーン倉庫には以下の如
き欠点があった。即ち、物品収納棚に向かって開口した
空気噴出口にフィルターが設けられていたため、即ち、
ラック装置の背面にフィルターが設けられたものであっ
たため、フィルターの交換作業が行ないにくいという欠
点があった。

【０００４】

【前記欠点を解消するための手段】この発明は前記欠点
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック装置
及びラック装置の前方において左右動自在に設けられた
スタッカークレーンを有するクリーン倉庫において、ク
リーン倉庫の床との間に間隔をあけるようにして左右方
向にわたる水平壁がクリーン倉庫内に設けられ、この水
平壁に前記ラック装置が載置され、前記ラック装置の背
面とクリーン倉庫の外側壁との間に、物品収納棚に向か
って開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成さ
れ、吸い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出
すファンが水平壁の下方に設けられ、ファンの空気噴出
口と水平壁に形成された、空気ダクトに臨む開口とが囲
い壁体によって連通・接続され、前記ファンの吸い込み
口とスタッカークレーンの通路側とを仕切るようにして
水平壁とクリーン倉庫の床とに仕切フィルターが渡さ
れ、また、前記ファンの空気噴出口と水平壁に形成され
た、空気ダクトに臨む開口とを仕切るようにして囲い壁
体内にフィルターが設けられ、前記空気ダクトの空気噴
出口に整流板のみが設けられ、クリーン倉庫の外側壁
に、ファンの吸い込み口につながると共にフィルターが
取り付けられた外気取入口が形成されているものであ
る。

【０００５】

【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。ファンの吸い込み口とスタッカークレーンの通路
側とを仕切るようにして水平壁とクリーン倉庫の床とに
仕切フィルターが渡され、また、前記ファンの空気噴出
口と水平壁に形成された、空気ダクトに臨む開口とを仕
切るようにして囲い壁体内にフィルターが設けられてい
て、空気ダクトの空気噴出口には整流板のみが設けられ
ているものであるから、即ち、フィルターがフィルター
の交換容易なクリーン倉庫の下部に設けられ、ラック装
置の背面にはフィルターが設けられていないので、従来
に比較してフィルターの交換が行ないやすい。

【０００６】

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右と
は同右側をいう。クリーン倉庫１は、図示略の物品搬入
搬出口（図示略）及び下部に設けられた外気取入口３等
の所定の開口を除いて密閉室となされている。前記クリ
ーン倉庫１の床６との間に間隔７をあけるようにして、
左右方向にわたる水平壁８が設けられ、この水平壁８の
前後方向中央に左右方向に長い開口９（スタッカークレ
ーン３７の走行のための開口９）が形成されている。ま
た、水平壁８の前端部とクリーン倉庫１の前壁との間及
び水平壁８の後端部とクリーン倉庫１の後壁との間には
開口１０が形成されている。前記水平壁８の直ぐ下に空
気通路１１を画するようにして囲い壁体１２が設けられ
ている。前記水平壁８の、開口９の縁部とクリーン倉庫
１の床６との間に、垂直な仕切フィルター１３が渡され
ている。

【０００７】前記水平壁８に、前後方向に所定間隔をあ
けて前後一対のラック装置１５が立設され、これらラッ
ク装置１５は上下・左右に多数の物品収納棚１６を有し
ており、これら前後の物品収納棚１６の物品出し入れ口
１７は相互に対向している。なお、水平壁８は物品収納
棚としても使用される。

【０００８】前記ラック装置１５の背面（物品出し入れ
口１７と逆側の部分）とクリーン倉庫１の前後側壁との
間に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２
０を有する空気ダクト１９が形成されている。前記空気
噴出口２０には、シルクスクリーン等からなる精密整流
板２１が設けられている。上記の構成を更に具体的に説
明すれば、精密整流板２１をクリーン倉庫１の前後側壁
との間に空気通路を形成するようにして、水平壁８の端
に立設したものである。

【０００９】前記クリーン倉庫１の水平壁８の下方に、
ファン２２が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるよ
うにして、且つ、空気噴出口２４を囲い壁体１２に形成
された開口に接続させるようにして、設けられている。
この説明から明らかなごとく、前記仕切フィルター１３
が、ファン２２の吸い込み口２３とスタッカークレーン
３７の通路側とを仕切る仕切フィルターである。前記空
気通路１１（囲い壁体１２内）には空気噴出口２４と開
口１０とを画するようにして、フィルター２５が収納さ
れている。また、前記外気取入口３にもフィルター２６
が取り付けられている。このような構成によって、吸い
込み口２３から吸引された空気は、空気噴出口２４、空
気通路１１、開口１０、空気ダクト１９、精密整流板２
１を経て物品収納棚１６の物品収納空間に噴出され、そ
の空気はラック装置１５間の間隙を上から下に向かって
流れ仕切フィルター１３を経て再びファン２２の吸い込
み口２３に吸引される。また、外気取入口３からも所要
量の外気が吸い込み口２３に吸引される。なお、ファン
２２を２つ以上設けるようにしてもよい。空気通路１１
を構成するクリーン倉庫１の側壁にフィルター２５の交
換のための開口２７が形成され、この開口２７は通常は
閉塞され、フィルター２５交換のときにのみ開かれるよ
うになされている。

【００１０】前記開口９の下方に位置するようにして左
右方向に長い前後一対のケーシング３１が配され、これ
らケーシング３１は上部に左右方向に長いスリット３２
を有している。前記ケーシング３１の上方がスタッカー
クレーン３７の通路となされている。前記ケーシング３
１内には左右方向に長い前後一対のガイドレール３３が
設けられ、これらガイドレール３３に左右摺動体３４が
左右動自在に案内され、これら左右摺動体３４は図示略
の駆動装置によって左右に摺動するようになされてい
る。前記左右摺動体３４は連結板３５によって連結され
ており、この連結板３５と左右摺動体３４とによってス
タッカークレーン３７の走行台車３８が構成されてい
る。

【００１１】前記連結板３５に筒状のマスト４０が立設
され、このマスト４０に昇降台４１が、マスト４０内に
収納されたタイミングベルト等を含む昇降装置４２によ
って、昇降自在となされている。

【００１２】前記昇降台４１に中空状の水平旋回テーブ
ル４４が水平旋回自在に設けられ、この水平旋回テーブ
ル４４にロボットハンド４６が、水平旋回テーブル４４
内に納められたボールねじ機構やベルト駆動機構等の公
知の駆動機構によって水平摺動自在に設けられ、このロ
ボットハンド４６は、本体ケース４７と、この本体ケー
ス４７に、相互近接・離隔自在となされた一対のハンド
アーム４８とを有している。これらハンドアーム４８は
本体ケース４７内に収納された駆動機構によって、相互
に接近したり、相互に離隔したりするようになされてい
る。なお、物品移載装置として実施例以外のロボットハ
ンド等を使用し得ることは云うまでもない。

【００１３】

【実施例の作用】次に実施例のクリーン倉庫の作用を説
明する。まず、クリーン倉庫１内の空気の流れについて
説明する。吸い込み口２３から吸引された空気は、空気
噴出口２４、空気通路１１、開口１０、空気ダクト１
９、精密整流板２１を経て物品収納棚１６の物品収納空
間に上方から噴出され、その空気はラック装置１５間の
間隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３を経
て再びファン２２の吸い込み口２３に吸引される。ま
た、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３
に吸引される。空気はフィルター２５、仕切フィルター
１３、フィルター２６を通過する間に清浄化される。

【００１４】次に、物品Ｗを物品収納棚１６に収納する
作業について説明する。クリーン倉庫１内の物品搬入搬
出ステーションの台（図示略）上に物品Ｗが自動または
人手によって載置されると、その物品Ｗにハンドアーム
４８が対向するように、走行台車３８及び昇降台４１が
停止する。その後、ハンドアーム４８の自由端を物品Ｗ
に向けるように水平旋回テーブル４４が旋回する。その
後、ハンドアーム４８を離隔した状態でロボットハンド
４６が物品Ｗに向けて突出し、ハンドアーム４８を物品
Ｗの外側に位置させる。その後、ハンドアーム４８が相
互に接近して物品Ｗを挟持する。その後、昇降台４１が
やや上昇した後、ロボットハンド４６は物品Ｗを挟持し
たまま後退して、物品Ｗを水平旋回テーブル４４の上方
に引き込む。この説明から明らかなごとく、物品Ｗと水
平旋回テーブル４４とは衝突・干渉しないようになされ
ている。その後、走行台車３８が左右に走行し、昇降台
４１が昇降して、収納すべき物品収納棚１６の上面より
物品Ｗの底面がやや上方に位置するようにする。その間
に水平旋回テーブル４４が水平旋回して又はせずに、物
品Ｗを所定の物品収納棚１６に対向させる。その後、ロ
ボットハンド４６が当該物品収納棚１６に向かって突出
し、然る後、昇降台４１がやや下降して物品Ｗを物品収
納棚１６に降ろす。その後、ハンドアーム４８が相互に
離隔して物品Ｗを離す。その後、ロボットハンド４６は
水平旋回テーブル４４側に後退する。なお、前記と逆の
作動によって、物品Ｗを物品搬入搬出ステーションの台
（図示略）に搬出することが出来る。

【００１５】図４及び図５にこの発明の変形例を示す。
これら図において、実施例と同一の部材は同一の符号で
示す。この変形例においては、２個のファン２２が設備
されている。

【００１６】

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。 ファンの吸い込み口とスタッカークレーンの通路側と
を仕切るようにして水平壁とクリーン倉庫の床とに仕切
フィルターが渡され、また、前記ファンの空気噴出口と
水平壁に形成された、空気ダクトに臨む開口とを仕切る
ようにして囲い壁体内にフィルターが設けられていて、
空気ダクトの空気噴出口には整流板のみが設けられてい
るものであるから、即ち、フィルターがフィルターの交
換容易なクリーン倉庫の下部に設けられ、ラック装置の
背面にはフィルターが設けられていないので、従来に比
較してフィルターの交換が行ないやすい。 空気ダクトの空気噴出口に整流板が設けられているの
で、物品収納棚の物品収納空間に乱れのない空気の流れ
を作って、物品収納空間をクリーンに保持することが出
来る。クリーン倉庫の外側壁に、ファンの吸い込み口につな
がると共にフィルターが取り付けられた外気取入口が形
成されているので、即ち、外気取入口から所要量の外気
がクリーン倉庫内に取り込まれるようになされているの
で、スタッカークレーンの駆動部分等が発する熱によっ
て上昇するクリーン倉庫内の温度を外気によって抑制す
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す簡略水平断面図であ
る。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図であ
る。

【図４】この発明の変形例を示す側面から見た断面図で
ある。

【図５】図４の変形例の正面から見た断面図である。

【符号の説明】

１ クリーン倉庫 １５ ラック装置 １６ 物品収納棚 １９ 空気ダクト ２０ 空気噴出口 ２１ 精密整流板 ２２ ファン ２３ 吸い込み口 ２４ 空気噴出口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−217036（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−120640（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−197213（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−1130（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下・左右に多数の物品収納棚を有する
   ラック装置及びラック装置の前方において左右動自在に
   設けられたスタッカークレーンを有するクリーン倉庫に
   おいて、クリーン倉庫の床との間に間隔をあけるように
   して左右方向にわたる水平壁がクリーン倉庫内に設けら
   れ、この水平壁に前記ラック装置が載置され、前記ラッ
   ク装置の背面とクリーン倉庫の外側壁との間に、物品収
   納棚に向かって開口した空気噴出口を有する空気ダクト
   が形成され、吸い引み口から空気を吸引して空気ダクト
   に送り出すファンが水平壁の下方に設けられ、ファンの
   空気噴出口と水平壁に形成された、空気ダクトに臨む開
   口とが囲い壁体によって連通・接続され、前記ファンの
   吸い込み口とスタッカークレーンの通路側とを仕切るよ
   うにして水平壁とクリーン倉庫の床とに仕切フィルター
   が渡され、また、前記ファンの空気噴出口と水平壁に形
   成された、空気ダクトに臨む開口とを仕切るようにして
   囲い壁体内にフィルターが設けられ、前記空気ダクトの
   空気噴出口に整流板のみが設けられ、クリーン倉庫の外
   側壁に、ファンの吸い込み口につながると共にフィルタ
   ーが取り付けられた外気取入口が形成されているクリー
   ン倉庫。