JPH04115804U - クリーン倉庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フィルターの交換作業を行ない易くする。 【構成】 クリーン倉庫１内に上下・左右に多数の物品
収納棚１６を有するラック装置１５が設けられ、前記ラ
ック装置１５の背面とクリーン倉庫１の垂直壁との間
に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２０
を有する空気ダクト１９が形成され、前記空気ダクト１
９の下部のフィルター室１１に外周面が空気噴出面３０
となされた円筒状フィルター２８が収納され、この円筒
状フィルター２８の軸心部空気入口２９に、空気を空気
ダクト１９に送り出すファン２２の空気噴出口２４が接
続されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は半導体ウエハ等の塵埃を嫌う物品を収納するクリーン倉庫に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

従来この種クリーン倉庫として以下の如きものは知られている。即ち、クリー ン倉庫内に設けられた、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック装置と、 このクリーン倉庫内において、ラック装置の前方で左右動自在に設けられたスタ ッカークレーンとを有しており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、この 走行台車に立設されたマストに昇降自在に設けられた昇降台と、この昇降台に搭 載されたロボットハンド等の物品移載装置とを有しており、前記ラック装置の背 面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって開口した空気噴出口 を有する空気ダクトが形成され、吸い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送 り出すファンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記空気ダクトの空気噴出口にフ ィルターが取り付けられたものは知られている。

【０００３】

【従来技術の欠点】

前記従来クリーン倉庫には以下の如き欠点があった。即ち、物品収納棚に向か って開口した空気噴出口にフィルターが設けられていたため、即ち、ラック装置 の背面にフィルターが設けられたものであったため、フィルターの交換作業が行 ないにくいという欠点があった。

【０００４】

【前記欠点を解消するための手段】

この考案は前記欠点を解消するために以下の如き手段を採用した。 この考案は、クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック 装置が設けられ、前記ラック装置の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品 収納棚に向かって開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、前記空気 ダクトの下部のフィルター室に外周面が空気噴出面となされた円筒状フィルター が収納され、この円筒状フィルターの軸心部空気入口に、空気を空気ダクトに送 り出すファンの空気噴出口が接続されているものである。

【０００５】

【考案の作用】

この考案は以下の如き作用をなすものである。 空気ダクトの下部のフィルター室に外周面が空気噴出面となされた円筒状フィ ルターが収納されたものであるから、ラック装置の背面に設けられたフィルター より交換が行ないやすい。

【０００６】

【実施例】

以下にこの考案を図面に示す実施例に基づいて説明する。なお、この明細書に おいて、前とは図１下側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右とは 同右側をいう。 クリーン倉庫１は、図示略の物品搬入搬出口（図示略）及び下部に設けられた 外気取入口３等の所定の開口を除いて密閉室となされている。 前記クリーン倉庫１の床６の上方に間隙７をあけるようにして水平壁８が設け られ、この水平壁８の前後方向中央に左右方向に長い開口９が形成されている。 また、水平壁８の前端部及び水平壁８の後端部各々に２つの開口１０が形成され ている。前記水平壁８の直ぐ下に各開口１０につながるフィルター室１１を画す るようにして囲い壁体１２が設けられている。前記水平壁８の、開口９の縁部と クリーン倉庫１の床６との間に、垂直な仕切フィルター１３が渡されている。

【０００７】 前記水平壁８に、前後方向に所定間隔をあけて前後一対のラック装置１５が立 設され、これらラック装置１５は上下・左右に多数の物品収納棚１６を有してお り、これら前後の物品収納棚１６の物品出し入れ口１７は相互に対向している。 なお、水平壁８は物品収納棚として使用される。

【０００８】 前記ラック装置１５の背面（物品出し入れ口１７と逆側の部分）とクリーン倉 庫１の前後側壁との間に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２０を 有する空気ダクト１９が形成されている。前記空気噴出口２０には、シルクスク リーン等からなる精密整流板２１が設けられている。上記の構成を更に具体的に 説明すれば、精密整流板２１をクリーン倉庫１の前後側壁との間に空気通路を形 成するようにして、水平壁８に立設したものである。

【０００９】 前記空気ダクト１９の下部の各フィルター室１１に円筒状フィルター２８が取 外し自在に収納されている。この円筒状フィルター２８は、軸心部に空気入口２ ９を有し、外周面が空気噴出面３０となされたものであって、空気入口２９から 入った空気は、空気噴出面３０面から噴出されるが、その間に空気は清浄化され る。前記空気入口２９は、フィルター室１１と外部とを連通させるダクト２５に 取外し自在となされている。 前記クリーン倉庫１の下部に、各フィルター室１１に対応するようにしてファ ン２２が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるようにして、且つ、空気噴出口 ２４をダクト２５に接続させるようにして、設けられている。このような構成に よって、吸い込み口２３から吸引された空気は、空気噴出口２４、円筒状フィル ター２８、フィルター室１１、開口１０、空気ダクト１９、精密整流板２１を経 て物品収納棚１６の物品収納空間に噴出され、その空気はラック装置１５間の間 隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３を経て再びファン２２の吸い込 み口２３に吸引される。また、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２ ３に吸引される。なお、ファン２２は前側・後側各々１つでも、３つ以上であっ ても良い。前記フィルター室１１を構成するクリーン倉庫１の側壁に円筒状フィ ルター２８の交換のための開口２７が形成され、この開口２７は通常は閉塞され 、円筒状フィルター２８交換のときにのみ開かれるようになされている。

【００１０】 前記開口９の下方に位置するようにして左右方向に長い前後一対のケーシング ３１が配され、これらケーシング３１は上部に左右方向に長いスリット３２を有 している。前記ケーシング３１内には左右方向に長い前後一対のガイドレール３ ３が設けられ、これらガイドレール３３に左右摺動体３４が左右動自在に案内さ れ、これら左右摺動体３４は図示略の駆動装置によって左右に摺動するようにな されている。前記左右摺動体３４は連結板３５によって連結されており、この連 結板３５と左右摺動体３４とによってスタッカークレーン３７の走行台車３８が 構成されている。

【００１１】 前記連結板３５に筒状のマスト４０が立設され、このマスト４０に昇降台４１ が、マスト４０内に収納されたタイミングベルト等を含む昇降装置４２によって 、昇降自在となされている。

【００１２】 前記昇降台４１に中空状の水平旋回テーブル４４が水平旋回自在に設けられ、 この水平旋回テーブル４４にロボットハンド４６が、水平旋回テーブル４４内に 納められたボールねじ機構やベルト駆動機構等の公知の駆動機構によって水平摺 動自在に設けられ、このロボットハンド４６は、本体ケース４７と、この本体ケ ース４７に、相互近接・離隔自在となされた一対のハンドアーム４８とを有して いる。これらハンドアーム４８は本体ケース４７内に収納された駆動機構によっ て、相互に接近したり、相互に離隔したりするようになされている。なお、物品 移載装置として実施例以外のロボットハンド等を使用し得ることは云うまでもな い。

【００１３】

【実施例の作用】

次に実施例のクリーン倉庫の作用を説明する。 まず、クリーン倉庫１内の空気の流れについて説明する。 吸い込み口２３から吸引された空気は、空気噴出口２４、円筒状フィルター２ ８、フィルター室１１、開口１０、空気ダクト１９、精密整流板２１を経て物品 収納棚１６の物品収納空間に噴出され、その空気はラック装置１５間の間隙を上 から下に向かって流れ仕切フィルター１３を経て再びファン２２の吸い込み口２ ３に吸引される。また、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３に吸 引される。 空気は円筒状フィルター２８、仕切フィルター１３、フィルター２６を通過す る間に清浄化される。

【００１４】 次に、物品Ｗを物品収納棚１６に収納する作業について説明する。 クリーン倉庫１内の物品搬入搬出ステーションの台（図示略）上に物品Ｗが自 動または人手によって載置されると、その物品Ｗにハンドアーム４８が対向する ように、走行台車３８及び昇降台４１が停止する。その後、ハンドアーム４８の 自由端を物品Ｗに向けるように水平旋回テーブル４４が旋回する。その後、ハン ドアーム４８を離隔した状態でロボットハンド４６が物品Ｗに向けて突出し、ハ ンドアーム４８を物品Ｗの外側に位置させる。その後、ハンドアーム４８が相互 に接近して物品Ｗを挟持する。その後、昇降台４１がやや上昇した後、ロボット ハンド４６は物品Ｗを挟持したまま後退して、物品Ｗを水平旋回テーブル４４の 上方に引き込む。この説明から明らかなごとく、物品Ｗと水平旋回テーブル４４ とは衝突・干渉しないようになされている。その後、走行台車３８が左右に走行 し、昇降台４１が昇降して、収納すべき物品収納棚１６の上面より物品Ｗの底面 がやや上方に位置するようにする。その間に水平旋回テーブル４４が水平旋回し て又はせずに、物品Ｗを所定の物品収納棚１６に対向させる。その後、ロボット ハンド４６が当該物品収納棚１６に向かって突出し、然る後、昇降台４１がやや 下降して物品Ｗを物品収納棚１６に降ろす。その後、ハンドアーム４８が相互に 離隔して物品Ｗを離す。その後、ロボットハンド４６は水平旋回テーブル４４側 に後退する。 なお、前記と逆の作動によって、物品Ｗを物品搬入搬出ステーションの台（図 示略）に搬出することが出来る。

【００１５】

【考案の効果】

この考案は、前記した如き構成によって、以下の如き効果を奏するものである 。 空気ダクトの下部のフィルター室に外周面が空気噴出面となされた円筒状フ ィルターが収納されたものであるから、ラック装置の背面に設けられたフィルタ ーより交換が行ないやすい。 請求項２の考案によれば、空気ダクトの空気噴出口に整流板が設けられてい るので、物品収納棚の物品収納空間に乱れのない空気の流れを作って、物品収納 空間をクリーンに保持することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を示す簡略水平断面図であ
る。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。

【符号の説明】

１ クリーン倉庫 １１ フィルター室 １５ ラック装置 １６ 物品収納棚 １９ 空気ダクト ２０ 空気噴出口 ２２ ファン ２３ 吸い込み口 ２４ 空気噴出口 ２８ 円筒状フィルター ２９ 空気入口 ３０ 空気噴出面

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物
   品収納棚を有するラック装置が設けられ、前記ラック装
   置の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚
   に向かって開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形
   成され、前記空気ダクトの下部のフィルター室に外周面
   が空気噴出面となされた円筒状フィルターが収納され、
   この円筒状フィルターの軸心部空気入口に、空気を空気
   ダクトに送り出すファンの空気噴出口が接続されている
   クリーン倉庫。
2. 【請求項２】 前記空気ダクトの空気噴出口に整流板が
   設けられている請求項１記載のクリーン倉庫。