JP4780401B2 - クリーンルーム用の物品保管設備 - Google Patents

Description

本発明は、物品収納部を棚横幅方向に並べて備える物品保管棚とその物品保管棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動する物品搬送車を備えた物品保管庫が、クリーンルーム内に設けられ、
浄化空気を前記物品保管棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させ且つその搬送車移動空間から前記クリーンルーム外に流動させる浄化空気通風手段が設けられたクリーンルーム用の物品保管設備に関する。

かかるクリーンルーム用の物品保管設備（以下、単に物品保管設備と記載する場合がある）は、物品収納部を棚横幅方向に並べて備える物品保管棚とその物品保管棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動する物品搬送車を備えた物品保管庫を、クリーンルーム内に設けて、物品搬送車により、半導体製品や液晶表示素子等の製品の仕掛かり品等の物品を物品収納部に搬送したり、物品収納部に保管されている物品をその物品に処理を施す物品処理装置や外部等に搬送するものである。
そして、浄化空気通風手段により、浄化空気を物品保管棚の後部側から物品収納部を通過させて搬送車移動空間に流動させ且つその搬送車移動空間からクリーンルーム外に流動させることにより、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持するように構成してある（例えば、特許文献１参照。）。

前記特許文献１には明確に記載されていないが、このような物品保管設備においては、仕切り壁にて、搬送車移動空間における棚横幅方向側の端部をクリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切っていた。

特開２００３−８１４０６号公報

ところで、搬送車移動空間は、物品搬送車が移動することから塵埃が発生し易いものであるが、従来の物品保管設備では、仕切り壁にて、搬送車移動空間における棚横幅方向側の端部をクリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切ってあるので、塵埃が発生し易い搬送車移動空間からクリーンルーム内に浄化空気が流動するのを防止して、クリーンルーム内の清浄度が低下するのを抑制することができる。

しかしながら、従来の物品保管設備では、物品搬送車が搬送車移動空間を移動するときに、物品搬送車と搬送車移動空間の棚横幅方向側の端部を仕切る仕切り壁との間で浄化空気が圧縮されて、その物品搬送車と仕切り壁との間の空間の空気圧が上昇するので、浄化空気が搬送車移動空間を仕切り壁の方から物品搬送車に向かって流動して、物品収納部に逆流する虞があった。
そして、浄化空気が搬送車移動空間から物品収納部に逆流すると、搬送車移動空間の浄化空気には塵埃が含まれ易いので、物品収納部にて物品を保管する物品保管状態の清浄度が低下する虞があった。

本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーンルーム内の清浄度を維持しながら、物品保管状態の清浄度を向上し得るクリーンルーム用の物品保管設備を提供することにある。

本発明のクリーンルーム用の物品保管設備は、物品収納部を棚横幅方向に並べて備える物品保管棚とその物品保管棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動する物品搬送車を備えた物品保管庫が、クリーンルーム内に設けられ、
浄化空気を前記物品保管棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させ且つその搬送車移動空間から前記クリーンルーム外に流動させる浄化空気通風手段が設けられたものであって、
第１特徴構成は、前記物品収納部が、前記物品収納棚に、棚横幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で棚横幅方向に複数並べて備えられ、
前記搬送車移動空間が前記物品保管棚よりも棚横幅方向外方に突出する形態で設けられて、その外方突出部と空気流動可能に連通する排気用空間が、前記物品保管棚の横側部に、その物品保管棚と隔壁体にて空気流動不能に仕切られた状態で設けられ、
前記搬送車移動空間の外方突出部及び前記排気用空間を前記クリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切る仕切り壁が設けられ、
前記排気用空間を前記クリーンルーム外と空気流動可能に連通するクリーンルーム外連通路、又は、前記排気用空間を前記クリーンルーム内と空気流動可能に連通し且つ空気浄化手段を備えたクリーンルーム内連通路が設けられている点を特徴とする。

即ち、物品搬送車が搬送車移動空間をその外方突出部に向かって移動するときに、物品搬送車と仕切り壁との間で浄化空気が圧縮される傾向となるが、そのように圧縮傾向となる浄化空気は、搬送車移動空間の外方突出部からクリーンルーム内に流動するのが仕切り壁により阻止される状態で、搬送車移動空間の外方突出部から排気用空間に流動し、その排気用空間に流動した浄化空気は、物品保管棚内に流動するのが隔壁体にて阻止される状態で、クリーンルーム外連通路を通ってクリーンルーム外に流動する、又は、クリーンルーム内連通路を通って、空気浄化手段にて浄化された後、クリーンルーム内に流動するので、物品搬送車と仕切り壁との間の空間の空気圧が上昇するのが抑制される。

つまり、物品保管棚の横側部に、搬送車移動空間の外方突出部と空気流動可能に連通する排気用空間を設けて、その排気用空間からクリーンルーム外連通路を通ってクリーンルーム外に流動する形態、又は、その排気用空間からクリーンルーム内連通路を通って空気浄化手段にて浄化された後にクリーンルーム内に流動する形態の浄化空気の流動経路を形成してあるので、物品搬送車が搬送車移動空間をその外方突出部に向かって移動するときに、クリーンルーム内の清浄度を維持しながら、物品搬送車と仕切り壁との間の空間の空気圧が上昇するのを抑制することができるものとなって、塵埃が発生し易い搬送車移動空間から浄化空気が物品収納部に逆流するのを抑制することができるのである。
従って、クリーンルーム内の清浄度を維持しながら、物品保管状態の清浄度を向上し得るクリーンルーム用の物品保管設備を提供することができるようになった。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記排気用空間と前記搬送車移動空間の外方突出部とを空気流動可能に連通する連通用開口が、前記クリーンルームの床から前記物品保管棚の上端部にわたる状態で設けられ、
前記連通用開口の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体が設けられている点を特徴とする。

即ち、排気用空間と搬送車移動空間の外方突出部とを空気流動可能に連通する連通用開口が、クリーンルームの床から物品保管棚の上端部にわたる状態で設けられ、連通用開口の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体が設けられているので、クリーンルームの床から物品保管棚の上端部にわたる状態にて十分に広く設けられている連通用開口を通して浄化空気を搬送車移動空間の外方突出部から排気用空間に良好に流動させることができ、又、多孔状板状体により、作業者が連通用開口を通って搬送車移動空間に進入したり、指等を搬送車移動空間に突き出したりするのを防止することが可能となる。
ちなみに、多孔状板状体の孔の大きさは、作業者が手の指等を搬送車移動空間に突き出すのを防止できるように、手の指が通らない大きさにするのが好ましい。

つまり、連通用開口を十分に広く設けて、浄化空気を搬送車移動空間の外方突出部から排気用空間に良好に流動させることができるようにすることにより、浄化空気が搬送車移動空間から物品収納部に逆流するのを十分に抑制することができるので、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができる。

又、排気用空間はデッドスペースとなるが、その排気用空間に、例えば、物品保管設備の運転を制御する制御装置等を設けることにより、排気用空間を有効利用することができる。
そして、制御装置等を設けて排気用空間を有効活用するようにすることにより、その排気用空間には、制御装置の操作やメンテナンスのために作業者が入り込むことになるが、連通用開口の下方側部分には多孔状板状体が設けられているので、作業者が連通用開口を通って搬送車移動空間に進入したり、指等を搬送車移動空間に突き出したりするのを防止することができるのである。
従って、連通用開口を十分に広く設けることにより、浄化空気が搬送車移動空間から物品収納部に逆流するのを十分に抑制して、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができ、又、排気用空間に制御装置等を設けることにより排気用空間を有効活用しながらも、作業者が連通用開口を通って搬送車移動空間に進入したり、指等を搬送車移動空間に突き出したりするのを防止することができる。

第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、
前記クリーンルームの多孔状の床部を通して吸引した吸引空気を前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出す形態で、浄化空気を前記クリーンルームに循環させるクリーンルーム用循環通風手段が設けられ、
前記クリーンルーム外連通路が、前記排気用空間の浄化空気を前記多孔状の床部を通して流動させる形態で構成されている点を特徴とする。

即ち、クリーンルーム用循環通風手段により、クリーンルーム内を浄化空気が天井側から床に向かって下向きに通流されることになって、クリーンルームが所謂ダウンフロー式に構成される。
そして、クリーンルーム外連通路が、排気用空間の浄化空気を多孔状の床部を通して流動させる形態で構成されているので、物品搬送車が搬送車移動空間を移動するときに、その搬送車移動空間の外方突出部から排気用空間に流動した浄化空気を、多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させることができる。

つまり、クリーンルームをダウンフロー式に構成することにより、そのクリーンルーム内における浄化空気の下向きの流動によって、塵埃をクリーンルーム外に排出し易くなるので、クリーンルーム内の清浄度を向上することができる。
そして、そのようなダウンフロー式のクリーンルーム内に物品保管庫を設置して、物品搬送車が搬送車移動空間をその外方突出部に向かって移動するときにその外方突出部から排気用空間に流動する浄化空気を、その排気用空間から下向きに流動させて多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させるようにすることにより、搬送車移動空間にて発生する塵埃を、搬送車移動空間における浄化空気の下向きの流動によってクリーンルーム外により一層排出し易くなるので、搬送車移動空間や物品収納部内の清浄度をより一層向上することができて、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができる。
従って、クリーンルーム用の物品保管設備をダウンフロー式のクリーンルームに設置する場合に、そのダウンフロー式の浄化空気の流動形態を有効利用して、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができるようになった。

第４特徴構成は、上記第３特徴構成に加えて、
前記物品保管棚の後部に、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を前記物品収納部に案内するための空気流通空間が、上部が開口され且つ側周囲が流通路形成用仕切り体にて前記クリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切られた状態で設けられ、
前記浄化空気通風手段が、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を前記空気流通空間にて案内して前記物品収納部に供給し且つその物品収納部を通過して前記搬送車移動空間に流動する浄化空気をその搬送車移動空間から前記多孔状の床部を通して流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成されている点を特徴とする。

即ち、浄化空気通風手段の通風作用により、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気が、物品保管棚の後部の空気流通空間に案内されて物品収納部にその後部側から供給され、その物品収納部に供給された浄化空気は、その物品収納部を通過して搬送車移動空間に流動して、その搬送車移動空間から多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動する。

つまり、ダウンフロー式のクリーンルームにおいて、天井吹出部から吹き出された浄化空気を、物品収納部をその後部側から通過させて搬送車移動空間に流動させ、その搬送車移動空間から多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させるようにすることにより、クリーンルーム用循環通風手段によりクリーンルームに循環させる浄化空気の一部を、物品収納部を通過させるための浄化空気として用いるので、ＨＥＰＡフィルタ等からなるエアーフィルタを用いて浄化空気を生成するための構成を簡略化することができる。
従って、浄化空気を生成するための構成を簡略化して、クリーンルーム用の物品保管設備の低廉化を図ることができるようになった。

第５特徴構成は、上記第４特徴構成に加えて、
前記搬送車移動空間の上部及び前記物品保管棚の上部が、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を導入するよう開口され、
前記物品保管棚の下端部に、浄化空気の流動用空間が形成され、
前記多孔状の床部における前記物品保管棚の設置箇所に対応する床部分の開口率が、前記多孔状の床部における前記搬送車移動空間に対応する床部分及び前記排気用空間に対応する床部分の開口率よりも小さく形成されている点を特徴とする。

即ち、搬送車移動空間の上部が、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を導入するよう開口されているので、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気が搬送車移動空間の上部に導入されて、その搬送車移動空間を下向きに流動することとなって、搬送車移動空間にて発生する塵埃を浄化空気の下向きの流動によってクリーンルーム外により一層排出し易くなり、搬送車移動空間の清浄度をより一層向上することができる。
又、物品保管棚の上部も、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を導入するよう開口され、物品保管棚の下端部に浄化空気の流動用空間が形成されているので、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気が物品保管棚の上部に導入されて、その物品保管棚を下向きに流動することになり、浄化空気が物品収納部を後部側から前部側に向けて横向きに流動することと合わせて、浄化空気を物品収納部に保管されている物品に流動させ易くなる。
つまり、搬送車移動空間の清浄度を向上することができると共に、浄化空気を物品収納部に保管されている物品に流動させ易くなるので、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができる。

又、多孔状の床部における物品保管棚の設置箇所に対応する床部分の開口率が、多孔状の床部における搬送車移動空間に対応する床部分及び排気用空間に対応する床部分の開口率よりも小さく形成されているので、物品保管棚の設置箇所に対応する床部分よりも搬送車移動空間に対応する床部分及び排気用空間に対応する床部分を浄化空気が通過し易い。
つまり、クリーンルーム用循環通風手段の通風作用により、クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を搬送車移動空間及び物品保管棚夫々を下向きに流動させながら、浄化空気を、物品保管棚の後部の空気流通空間に案内して、物品収納部をその後部側から前部側に通過させて搬送車移動空間に流動させ、その搬送車移動空間の下部に対応する多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させることができ、並びに、浄化空気を、物品収納部に逆流するのを十分に抑制しながら、搬送車移動空間の外方突出部から排気用空間に流動させて、その排気用空間の下部に対応する多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させることができる。
つまり、クリーンルーム用循環通風手段に備えられる送風機を、浄化空気通風手段用の送風機、及び、浄化空気を排気用空間から多孔状の床部を通してクリーンルーム外に流動させるための送風機として兼用することができるので、クリーンルーム用の物品保管設備の低廉化を図ることができる。
要するに、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができながら、クリーンルーム用の物品保管設備の低廉化を図ることができるようになった。

第６特徴構成は、上記第５特徴構成に加えて、
前記物品保管棚が、前後一対の支柱を棚横幅方向に並べて、棚横幅方向に間隔を隔てて並ぶ左右一対の物品支持枠を、前記支柱にて支持する状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて構成され。
前記物品収納部が、前記左右一対の物品支持枠にて物品を載置支持する形態で物品を収納するように構成されている点を特徴とする。

即ち、物品収納部が、棚横幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通し且つ棚上下幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて設けられることになるので、物品保管能力を向上しながらも、物品保管棚の後部側から物品収納部を通過して搬送車移動空間に流動する浄化空気、及び、物品保管棚の上部側から下方側に向けて物品保管棚を流動する浄化空気を、物品収納部に保管されている物品の外周部のより広い範囲にわたって流動させることができる。
そして、浄化空気を、物品収納部に保管されている物品の外周部のより広い範囲にわたって流動させることにより、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができる。
従って、物品保管能力を向上しながら、物品保管状態の清浄度をより一層向上することができるようになった。

〔第１実施形態〕
以下、図面に基づいて、本発明の第１実施形態を説明する。
図１及び図２に示すように、本発明に係る物品保管設備は、塵埃の少ない清浄化されたクリーンルーム１内に設置して、例えば、半導体製品や液晶表示素子等の製品の仕掛かり品等の物品を塵埃の少ない環境にて保管するようになっている。ちなみに、この第１実施形態では、物品を容器Ｃに収容したままの状態で、搬送したり保管したりするように構成してある。

図２に示すように、この物品保管設備を設置するクリーンルーム１は、清浄化された浄化空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式に構成してある。
このダウンフロー式のクリーンルーム１について説明を加えると、クリーンルーム１の床部を、通気孔が多数形成された多孔状のグレーティング床２（多孔状の床部に相当する）に形成し、クリーンルーム１の天井に天井吹出部３を形成して、グレーティング床２を通して吸引した吸引空気を天井吹出部３から吹き出す形態で、浄化空気をクリーンルーム１に循環させるクリーンルーム用循環通風手段Ｆを設けてある。

このクリーンルーム用循環通風手段Ｆについて、説明を加えると、前記グレーティング床２の下方側に、吸気室４を設け、前記天井吹出部３にＨＥＰＡフィルタ等からなるエアーフィルタ５を並設し、その天井吹出部３の上方側に空気チャンバ室６を設けて、それら吸気室４と空気チャンバ室６とを接続流路７にて連通接続してある。
又、接続流路７に、循環用送風機８を前記吸気室４に吸引作用するように設け、更に、接続流路７における循環用送風機８の空気吐出側の部分に、プレフィルタ９を設けてある。
つまり、クリーンルーム用循環通風手段Ｆを、前記グレーティング床２、前記吸気室４、前記接続流路７、前記循環用送風機８、前記プレフィルタ９、前記空気チャンバ室６、前記天井吹出部３及び前記プレフィルタ９等を備えて構成してある。

そして、循環用送風機８の通風作用により、クリーンルーム１内の空気がグレーティング床２を通して吸気室４に吸い込まれ、その吸気室４に吸い込まれた空気が接続流路７を流動してプレフィルタ９を通過して清浄化された後、空気チャンバ室６に流入し、更に、天井吹出部３に設けられたエアーフィルタ５を通過して清浄化された後、天井吹出部３からクリーンルーム１内に向けて下向きに吹き出されるように構成してある。
従って、クリーンルーム１内の空気が、プレフィルタ９及びエアーフィルタ５を通過しながら上述の経路を通して循環されることにより、常に浄化空気が天井吹出部３から下方に吹き出される状態でクリーンルーム１に供給されて、クリーンルーム１内が清浄度の高い状態に維持される構成となっている。

更に、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吸い込み側の部分に、外気取入流路１０を接続すると共に、その外気取入流路１０に外気取入量調節用ダンパ１１を設け、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吐出側の部分に、排気流路１２を接続すると共に、その排気流路１２に排気量調節用ダンパ１３を設けてある。
そして、外気取入量調節用ダンパ１１及び排気量調節用ダンパ１３夫々の開度を調節することにより、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆにて循環されるクリーンルーム１内の浄化空気のうちの所定量を新鮮な空気と交換するように構成してある。

次に、図１ないし図５に基づいて、物品保管設備の構成について説明する。
尚、図２は、図１のイ−イ矢視図、図３は、図１のロ−ロ矢視図、図４は、図１のハ−ハ矢視図である。
この物品保管設備は、物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて備えた物品保管棚Ｓとその物品保管棚Ｓの前方の搬送車移動空間１５を棚横幅方向に移動する物品搬送車Ｖとを備えた物品保管庫Ｗをクリーンルーム１内に設け、更に、浄化空気を前記物品保管棚Ｓの後部側から前記物品収納部１４を通過させて前記搬送車移動空間１５に流動させ且つその搬送車移動空間１５から前記クリーンルーム１外に流動させる浄化空気通風手段Ｂを設けて構成してある。

この第１実施形態では、一対の前記物品保管棚Ｓを夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で、互いの間に前記搬送車移動空間１５を形成すべく間隔を隔てて、前記クリーンルーム１のグレーティング床２上に設けてある。
そして、このように設けた一対の物品保管棚Ｓの側周囲を、矩形筒状の周壁２５にて、各物品保管棚Ｓの両横側部夫々とは後述する搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び排気用空間１６を形成すべく間隔を隔てた状態で、且つ、各物品保管棚Ｓの後部とは後述する空気流通空間１９を形成すべく間隔を隔てた状態で囲んである。

つまり、搬送車移動空間１５を物品保管棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する形態で設けて、その外方突出部１５ｔと空気流動可能に連通する排気用空間１６を、物品保管棚Ｓの横側部に、その物品保管棚Ｓと隔壁体としての横隔壁体１７にて空気流動不能に仕切られた状態で設け、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び排気用空間１６を、前記周壁２５にてクリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切り、排気用空間１６をクリーンルーム１外と空気流動可能に連通するクリーンルーム外連通路１８を設けてある。
前記横隔壁体１７は、各物品保管棚Ｓの棚横幅方向両側の側部夫々に、物品保管棚Ｓの棚上下幅方向及び棚前後幅方向夫々の全長にわたって設けて、物品保管棚Ｓとその横側部の前記排気用空間１６とを空気流動不能に仕切ってある。
ちなみに、前記周壁２５を、前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び前記排気用空間１６を前記クリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切る仕切り壁として機能させるように構成してある。

つまり、この第１実施形態では、各物品保管棚Ｓの両横側部に、前記排気用空間１６を設け、搬送車移動空間１５における棚横幅方向の両端に、前記外方突出部１５ｔを設けてある。
そして、前記周壁２５において各排気用空間１６に対応する部分には、その排気用空間１６に出入りするための開口部を形成すると共に、その開口部を開閉する扉２６を設け、前記周壁２５において搬送車移動空間１５の一方の外方突出部１５ｔに対応する部分には、搬送車移動空間１５に出入りするための開口部を形成すると共に、その開口部を開閉する扉２７を設けてある。
図示は省略するが、前記排気用空間１６には、物品保管設備の運転を制御する制御装置や分電盤等を、前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔからの浄化空気の流動を妨げない状態で設けてある。

又、各物品保管棚Ｓの後部に、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を物品収納部１４に案内するための空気流通空間１９を、上部が開口され且つ側周囲が流通路形成用仕切り体として機能させる前記周壁２５にてクリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切られた状態で設けて、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を前記空気流通空間１９にて案内して前記物品収納部１４に供給し且つその物品収納部１４を通過して前記搬送車移動空間１５に流動する浄化空気をその搬送車移動空間１５から前記クリーンルーム１のグレーティング床２を通して流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成してある。

更に、各物品保管棚Ｓの各横側部における後端縁部と棚横幅方向側の周壁２５との間を、後部隔壁体４６にて、物品保管棚Ｓの上下幅方向全長にわたって仕切って、前記排気用空間１６を前記空気流通空間１９と空気流動不能に仕切ってある。

各物品保管棚Ｓは、前後一対の支柱２１を棚横幅方向に並べて、棚横幅方向に間隔を隔てて並ぶ左右一対の物品支持枠２２を、前記支柱２１にて支持する状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて構成し、物品収納部１４を、前記左右一対の物品支持枠２２にて容器Ｃを載置支持する形態で容器Ｃを収納するように構成してある。
つまり、物品収納部１４を、棚横幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通し且つ棚上下幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて設けて、物品収納効率を向上するようにしてある。

物品保管棚Ｓについて説明を加えると、棚横幅方向に複数並ぶ前後一対の支柱２１の上端を、矩形状の上部枠体２３にて一体的に連結し、各前後一対の支柱２１における物品収納部内方側、即ち、棚横幅方向側の側部に、複数の前記物品支持枠２２を棚上下幅方向に間隔を隔てて支持してある。つまり、棚横幅方向の両端に位置する前後一対の支柱２１以外の前後一対の支柱２１には、棚横幅方向両側の側部に、前記物品支持枠２２を支持してある。

棚上下幅方向に並ぶ複数の物品支持枠２２のうちの最下部の物品支持枠２２は、支柱２１の下端よりも上側に支持して、物品保管棚Ｓの下端部に、浄化空気の流動用空間２４を形成してある。

そして、上述のように構成した一対の物品保管棚Ｓを、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で、互いの間に前記搬送車移動空間１５を形成すべく間隔を隔てて配設して、そのように配設した一対の物品保管棚Ｓの側周囲を周壁２５にて囲むことにより、搬送車移動空間１５の上部及び各物品保管棚Ｓの上部を、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を導入するように開口してある。

又、前記排気用空間１６を前記グレーティング床２の上部に形成することにより、その排気用空間１６を前記クリーンルーム１外と空気流動可能に連通する前記クリーンルーム外連通路１８を、排気用空間１６の浄化空気をグレーティング床２を通して流動させる形態で構成してある。

前記グレーティング床２における各物品保管棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を、前記グレーティング床２における前記搬送車移動空間１５に対応する床部分及び前記排気用空間１６に対応する床部分の開口率よりも小さく形成してある。
具体的には、グレーティング床２における各物品保管棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を１８％、グレーティング床２における搬送車移動空間１５に対応する床部分及び排気用空間１６に対応する床部分夫々の開口率を５０％に設定してある。

又、前記物品保管棚Ｓの各横側部における前端縁部と前記周壁２５との間の開口部分を、前記排気用空間１６と前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔとを空気流動可能に連通する連通用開口２８とするように構成して、その連通用開口２８を、クリーンルーム１のグレーティング床２から前記物品保管棚Ｓの上端部にわたる状態で設けてある。
そして、その連通用開口２８の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体２９を設けてある。

ちなみに、前記多孔状板状体２９は、開口率が４０％程度になる状態で長円形の孔が多数形成されたパンチングメタルにて、高さが２ｍ程度になるように形成してある。
つまり、前記多孔状板状体２９にて、前記連通用開口２８における床上２ｍの範囲を閉じることにより、排気用空間１６に入り込んだ作業者が、搬送車移動空間１５に進入できないことはもちろんのこと、多孔状板状体２９の上方から搬送車移動空間１５側に手を大きく突き出すこともできないようにしてある。
又、多孔状板状体２９を、前記パンチングメタルにて形成することにより、作業者が指等の体の一部を多孔状板状体２９の孔を通して搬送車移動空間１５に突き出すことができないようにしてある。

尚、図示は省略するが、物品保管棚Ｓに備えた複数の物品収納部１４のうちの１個を用いて、クリーンルーム１から物品保管棚Ｓに容器Ｃを搬入するための搬入口を形成し、他の１個を用いて、物品保管棚Ｓからクリーンルーム１に容器Ｃを搬出するための搬出口を形成してある。

次に、前記物品搬送車Ｖについて、説明を加える。
図１、図２、図３、図６及び図７に示すように、前記物品搬送車Ｖは、前後に一対ずつ車輪３１を備えて、搬送車移動空間１５のグレーティング床２上に設けた一対のガイドレール３２および天井側に設けたガイドレール３３に案内されて走行モータ（図示省略）の駆動力で走行する台車部分３４と、この台車部分３４上に立設した昇降案内用支柱３５に前記台車部分３４における車体前後方向の中央部の上方にて昇降自在なように支持された物品移載手段Ｔと、その物品移載手段Ｔを昇降駆動する昇降駆動手段としての昇降モータ３０とを備えて構成してある。ちなみに、前記台車部分３４は、平面視で略矩形状に形成してある。

そして、物品搬送車Ｖに、その物品搬送車Ｖの移動方向の前端部に当たって物品保管棚Ｓ側に流動する浄化空気を物品搬送車Ｖの後方側に受け止め案内する整流板４１を、物品搬送車Ｖに対して車体横幅方向に間隔を隔てる状態で設けてある。

以下、図６及び図７に基づいて、前記物品搬送車Ｖの各部について、説明を加える。
前記物品移載手段Ｔは、前記昇降モータ３０にて昇降駆動されるように設けた昇降台３６、この昇降台３６の上部に車体上下方向に沿う軸心Ｐ１周りで旋回モータ（図示省略）にて旋回駆動されるように設けた旋回台３７、及び、この旋回台３７の上部にリンク機構３８によって出退駆動されるように設けた物品載置台３９等を備えて構成してある。

前記昇降モータ３０により前記昇降台３６を昇降駆動するための構成は、公知の種々の構成を採用することができるので詳細な説明及び図示は省略するが、例えば、昇降モータ３０にて回転ドラムを正逆転させて、昇降台３６に接続したワイヤを巻き取り又は巻き出しすることにより、昇降台３６を昇降駆動するように構成することができる。

前記リンク機構３８は、旋回台３７の上面側の物品載置台３９の横幅方向に並ぶ２箇所に基端側が車体上下方向に沿う軸芯Ｐ２まわりで回動自在に連結している操作リンク４４、この一対の操作リンク４４の遊端側を物品載置台３９の基端部の下面側に各別に連動させている一対の揺動リンク４５を備えて構成してある。

一対の操作リンク４４は、旋回台３７の下面側に設けた出退電動モータ（図示せず）によって連動させて軸芯Ｐ２まわりで揺動操作されるように構成してある。各揺動リンク４５は、操作リンク４４の遊端側に対しては車体上下方向に沿う軸芯Ｐ３まわりで、物品載置台３９の基端側に対しては車体上下方向に沿う軸芯Ｐ４まわりでそれぞれ相対回動自在に連結している。

これにより、リンク機構３８は、出退電動モータによって一対の操作リンク４４を連動させてそれぞれの軸芯Ｐ２まわりで揺動操作し、揺動する一対の操作リンク４４によって一対の連動リンク４５を介して物品載置台３９の基端側を押し操作したり引き操作することにより、物品載置台３９を旋回台３７に対して物品載置台３９の前後方向に出退操作する。すなわち、旋回台３７の旋回操作によって物品載置台３９の先端側が一方の物品保管棚Ｓ又は他方の物品保管棚Ｓの方に向くように物品載置台３９の昇降台３６に対する向き調整が行なわれた後において、図７の如く物品載置台３９の先端側が物品収納部１４に届くように旋回台３７から物品保管棚Ｓの方に長く突出した物品収納や物品取り出しのための突出状態と、図６の如く物品載置台３９の全体が前記突出状態の場合よりも旋回台３７の方に引退した物品搬送のための引退状態とに切り換え操作するようになっている。

図１、図２、図３、図６及び図７に示すように、前記台車部分３４の上部における車体前後方向の両端部の夫々に、一対の制御ボックス４０を車体横幅方向の両側に振り分けた状態で設けてある。つまり、４つの制御ボックス４０を、略矩形状の台車部分３４の上部にその４つの角部に振り分けた状態で設けてある。
各制御ボックス４０の高さは、例えば、昇降案内用支柱３５の高さの１／７〜１／８程度として、各制御ボックス４０を、物品搬送車Ｖの下方側部分に存在させるように構成してある。
図示は省略するが、物品搬送車Ｖの運転を制御する搬送車制御装置、その搬送車制御装置が地上側の主制御装置等との間で通信を行う通信装置、電源部等を前記制御ボックス４０に収容してある。

各制御ボックス４０の物品保管棚側の側面部に、その４箇所の角部に振り分けた状態で、４本のブラケット４３を物品保管棚側に突出するように設けてある。
そして、各制御ボックス４０の前記側面部に設けた４本のブラケット４３の先端に、矩形状の前記整流板４１を、車体前後方向と車体上下方向とに沿わせた姿勢で支持してある。
ちなみに、車体前後方向に沿わせた姿勢とは、平面視で、前記ガイドレール３２と平行又は略平行となる姿勢を意味し、車体上下方向に沿わせた姿勢とは、鉛直方向に沿う又は略沿う姿勢を意味する。

つまり、前記整流板４１を、物品搬送車Ｖにおける車体前後方向の中央部に物品移載手段Ｔにて物品の移載を行うための移載用空間４２を形成すべく、車体前後方向の両端側夫々に位置させる状態で、且つ、物品搬送車Ｖの下方側部分の両横外側夫々に位置させる状態で４箇所に設けてある。

ところで、この第１実施形態では、物品保管棚Ｓの下端部に浄化空気の流動用空間２４を形成して、その流動用空間２４の上方に物品収納部１４を設けてあって、物品搬送車Ｖの台車部分３４の横側方には、物品収納部１４を存在させないように構成してあるので、台車部分Ｖの走行方向の前端部に当たった浄化空気が物品保管棚Ｓ側に流動するのを抑制する必要がない。
又、前記昇降案内用支柱３５における車体横幅方向の物品保管棚Ｓ側の端部を、制御ボックス４０における車体横幅方向の物品保管棚Ｓ側の端部よりも内側に存在させて、昇降案内用支柱３５の走行方向の前端部に当たって物品保管棚Ｓ側に流動する浄化空気が、物品保管棚Ｓの前部には達し難いように構成してある。
つまり、物品搬送車Ｖの移動方向の前端部に当たって物品保管棚Ｓ側に流動する浄化空気が物品収納部１４に逆流しないようにするには、前記整流板４１を、物品搬送車Ｖの横外側における制御ボックス４０の下端部から上端部にわたる範囲に存在させるようにすれば十分である。
そこで、この第１実施形態では、各整流板４１を、物品搬送車Ｖにおける制御ボックス４０の下端部から上端部にわたる範囲に対応する下方側部分の両横外側に位置させる状態で設けてある。

この物品搬送車による物品の収納及び取り出しは、周知であるので、以下、簡単に説明する。
即ち、物品収納部１４から物品を収容した容器Ｃを取り出すときは、走行モータによる台車部分３４の走行駆動、昇降モータ３０による昇降台３６の昇降駆動、及び、旋回モータによる旋回台３７の旋回駆動により、物品載置台３９を、容器Ｃを取り出すべき物品収納部１４の前方における容器Ｃを取り出すための所定の位置に位置させる。
そして、リンク機構３８によって物品載置台３９を突出状態に切り換え操作して、物品載置台３９の先端側を物品収納部１４に収納されている容器Ｃの下側に入り込ませ、次に、昇降モータによって昇降台３６を上昇操作することにより物品載置台３９を上昇させて、容器Ｃを物品載置台３９上に載置支持し、次に、リンク機構３８によって物品載置台３９を引退状態に切り換え操作することにより、容器Ｃを物品収納部１４から取り出す。

一方、物品を収容した容器Ｃを物品収納部１４に収納するときは、物品載置台３９に容器Ｃを載置支持した状態で、走行モータによる台車部分３４の走行駆動、昇降モータ３０による昇降台３６の昇降駆動、及び、旋回モータによる旋回台３７の旋回駆動により、物品載置台３９を、容器Ｃを収納すべき物品収納部１４の前方における容器Ｃを収納するための所定の位置に位置させる。
そして、リンク機構３８によって、物品が収容されている容器Ｃを載置した物品載置台３９を突出状態に切り換え操作し、物品載置台３９の先端側を物品収納部１４に入り込ませ、昇降モータによって昇降台３６を下降操作することにより物品載置台３９を下降させて、容器Ｃを一対の物品支持枠２２上に載置し、容器Ｃを物品収納部１４に収納する。

以下、図１ないし図４に基づいて、上述のように構成した物品保管設備における浄化空気の通風形態について、説明する。尚、図１ないし図４の各図において、浄化空気の流動形態を破線矢印にて示す。
図２ないし図４に示すように、前記循環用送風機８の通風作用により、浄化空気が天井吹出部３からクリーンルーム１内に向けて下向きに吹き出されて、クリーンルーム１内を下向きに流動して、グレーティング床２を通過してクリーンルーム１外に流動する。

又、上述したように、前記グレーティング床２における各物品保管棚Ｓの設置箇所に対応する床部分の開口率を、前記グレーティング床２における前記搬送車移動空間１５に対応する床部分及び前記排気用空間１６に対応する床部分の開口率よりも小さく形成してあるので、前記循環用送風機８の通風作用により、クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出されて、搬送車移動空間１５、物品保管棚Ｓの上部及びその物品保管棚Ｓの後部の空気流通空間１９に導入された浄化空気は、夫々、以下のような形態で流動する。

即ち、図２及び図３に示すように、搬送車移動空間１５の上部に導入された浄化空気は、その搬送車移動空間１５を下向きに流動してグレーティング床２からクリーンルーム１外に流動する。

又、図３に示すように、物品保管棚Ｓの上部に導入された浄化空気は、上下方向に並ぶ各物品収納部１４を前部側に流動して搬送車移動空間１５に流動する形態で分散しながら、上下方向に並ぶ各物品収納部１４を通過して下方側に向けて流動し、上下方向に並ぶ各物品収納部１４から搬送車移動空間１５に流動した浄化空気は、その搬送車移動空間１５を下方側に向けて流動して、搬送車移動空間１５の下部のグレーティング床２からクリーンルーム１外に流動し、上下方向に並ぶ各物品収納部１４を通過して、物品保管棚Ｓの下端部の流動用空間２４に達した浄化空気は、その流動用空間２４の下部のグレーティング床２からクリーンルーム１外に流動する。

又、図３に示すように、空気流通空間１９に導入された浄化空気は、上下方向に並ぶ各物品収納部１４をその後部側から通過して搬送車移動空間１５に流動する形態で分散しながら、空気流通空間１９を下方側に向けて流動し、上下方向に並ぶ各物品収納部１４から搬送車移動空間１５に流動した浄化空気は、その搬送車移動空間１５を下方側に向けて流動して、搬送車移動空間１５の下部のグレーティング床２からクリーンルーム１外に流動し、空気流通空間１９を下方側に向けて流動してその下端部に達した浄化空気は、その空気流通空間１９の下部のグレーティング床２からクリーンルーム１外に流動する。

つまり、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記空気流通空間１９、前記グレーティング床２、前記接続流路７及び前記循環用送風機８等を備えて構成して、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する前記循環用送風機８を、浄化空気通風手段Ｂ用の送風機に兼用する状態で構成してある。

又、図１及び図４に示すように、物品搬送車Ｖが搬送車移動空間１５をその外方突出部１５ｔに向かって移動するときに、物品搬送車Ｖと外方突出部１５ｔを仕切る周壁２５との間で浄化空気が圧縮される傾向となるが、そのように圧縮傾向となる浄化空気は、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔからクリーンルーム１内に流動するのが周壁２５により阻止される状態で、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔから連通用開口２８を通って排気用空間１６に流動し、その排気用空間１６に流動した浄化空気は、物品保管棚Ｓ内に流動するのが横隔壁体１７にて阻止され且つ空気流通空間１９内に流動するのが後部隔壁体４６にて阻止される状態で、前記循環用送風機８の通風作用により、排気用空間１６の下部のグレーティング床２を通ってクリーンルーム１外に流動する。
つまり、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する前記循環用送風機８を、排気用空間１６に流動した浄化空気をグレーティング床２を通してクリーンルーム１外に流動させるための送風機として兼用するように構成してある。

又、図６において破線矢印にて示すように、物品搬送車Ｖが搬送車移動空間１５を移動するときに、その物品搬送車Ｖの移動方向の前端部に当たって物品保管棚Ｓ側に流動する浄化空気は、整流板４１によって、物品搬送車Ｖの後方側に受け止め案内されて、整流板１４よりも物品保管棚Ｓ側に流動するのが抑制されるので、移動する物品搬送車Ｖと物品保管棚Ｓとの間の空間の気流を乱し難い。
つまり、移動する物品搬送車Ｖと物品保管棚Ｓとの間の空間の気流を、浄化空気が物品収納部１４から搬送車移動空間１５へ流動する形態の適正な状態に維持し易いので、搬送車移動空間１５から物品収納部１４に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。

従って、物品搬送車Ｖが移動するときに、その物品搬送車Ｖの移動方向の前端部に当たって物品保管棚Ｓ側に流動する浄化空気は、整流板４１によって、物品搬送車Ｖの後方側に受け止め案内され、並びに、その物品搬送車Ｖと外方突出部１５ｔを仕切る周壁２５との間で圧縮傾向となる浄化空気は、排気用空間１６からクリーンルーム外連通路１８を通ってクリーンルーム１外に流動するので、クリーンルーム１内の清浄度を維持しながら、塵埃が発生し易い搬送車移動空間１５から浄化空気が物品収納部１４に逆流するのを抑制することができて、物品収納部１４での物品保管状態の清浄度を向上することができる。

〔第２実施形態〕
以下、図８ないし図９に基づいて、本発明の第２実施形態を説明するが、この第２実施形態は、浄化空気通風手段Ｂの別の実施形態を説明するものであるので、第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付すことにより説明を省略して、主として、浄化空気通風手段Ｂ及びその他の第１実施形態と異なる構成について説明する。
尚、図８は、物品保管設備の平面図であり、図９は、図８のニ−ニ矢視図、図１０は、図８のホ−ホ矢視図である。

上記の第１実施形態では、前記一対の物品保管棚Ｓの側周囲を、矩形筒状の周壁２５にて囲んであるが、この第２実施形態では、図９及び図１０に示すように、更に、矩形筒状の周壁２５の上部開口部に閉じるように、天井６１を設けて、それら周壁２５と天井６１とによりブース６２を形成して、そのブース６２にて、一対の物品保管棚Ｓの側周囲及び上方を囲んである。
そして、第１実施形態と同様に、前記周壁２５を、前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び前記排気用空間１６を前記クリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切る仕切り壁として機能させるように構成してある。

この第２実施形態では、前記排気用空間１６と前記物品保管棚Ｓとを空気流動不能に仕切る前記隔壁体としての前記横隔壁体１７は、前記クリーンルーム１の前記グレーティング床２から前記ブース６２の天井６１にわたるように設けてある。
又、この第２実施形態では、前記空気流通空間１９を設けず、前記後部隔壁体４６を、前記クリーンルーム１の前記グレーティング床２から前記ブース６２の天井６１にわたるように設けて、その後部隔壁体４６により、排気用空間１６とブース６２内における物品保管棚Ｓの後部の空間とを空気流動不能に仕切ってある。

図８ないし図１０に示すように、各物品保管棚Ｓは、第１実施形態と同様に、前記物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて備えてあり、この第２実施形態では、各物品収納部１４を、ガラス基板等の板状の複数の物品ｇを上下方向に間隔を隔てて保持可能な物品保持体Ｋを収納自在に構成してある。

更に、この第２実施形態では、図８及び図９に示すように、各物品保管棚Ｓにおける最下段の物品収納部１４の一部に代えて、物品ｇに所定の処理を施す物品処理装置６３に対する物品ｇの搬出入を行う物品搬出入部６４を設けてある。この物品搬出入部６４では、物品保持体Ｋから物品ｇを一つずつ取り出して物品処理装置６３に供給すると共に、物品処理装置６３から一つずつ物品ｇを物品保持体Ｋに保持させるように構成してある。
前記物品搬出入部６４には、物品保持体Ｋを昇降自在に載置支持する左右一対の昇降支持体６５と、物品ｇを載置支持自在で且つ載置支持した物品ｇを搬送自在な複数の駆動ローラを備えた搬送体６６とを設けてある。

図８ないし図１０に示すように、この第２実施形態では、前記ブース６２の周壁２５における各物品保管棚Ｓの後方に対応する部分に、複数の物品収納部１４の後部の開口部に各別に対向させた状態で、複数のファンフィルタユニット６７を設け、更に、前記ブース６２の周壁２５における一方の物品保管棚Ｓの後方に対応する部分の下端部に、前記流動用空間２４に対向させた状態で、複数の排気用開口部６８を設けてある。
各ファンフィルタユニット６７は、塵埃を除去する除塵フィルタ６７ｆと、ブース６２外の浄化空気を吸引して除塵フィルタ６７ｆを通過させる状態で物品収納部１４の後部側から物品収納部１４を通過させるように浄化空気を通風させる送風ファン６７ｂにて構成してある。

ブース６２内では、ファンフィルタユニット６７の送風ファン６７ｂにより浄化空気が通風されるので、その浄化空気の圧力が高くなり、それに対して、排気用開口部６８により浄化空気が排気されるので、その浄化空気の圧力が低くなる。そして、この浄化空気の圧力差により、ブース６２内の浄化空気は、物品収納部１４の後部側から前部側に向けて流動して搬送車移動空間１５を上方側から下方側に向けて流動するダウンフローとなる。搬送車移動空間１５を上方側から下方側に向けて流動する浄化空気は、その一部が、排気用開口部６８に向けて流動してブース６２外に排気された後、下方側に向けて流動してグレーティング床２を通して吸気室４に至り、残部が、そのまま下方側に流動してグレーティング床２を通して吸気室４に至る。

そして、この第２実施形態では、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記複数のファンフィルタユニット６７にて、前記クリーンルーム１内の浄化空気を清浄化してブース６２内に通風させる状態で浄化空気を各物品収納部１４の後部側から各物品収納部１４を通過させ、且つ、その物品収納部１４を通過して搬送車移動空間１５を下方側に向けて流動する浄化空気の一部を排気用開口部６８からブース６２外に流動させた後、グレーティング床２を通して流動させ、残部をそのまま下方に流動させた後、グレーティング床２を通して流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成してある。
つまり、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記複数のファンフィルタユニット６７、前記排気用開口部６８、前記グレーティング床２、前記接続流路７及び前記循環用送風機８等を備えて構成して、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する前記循環用送風機８を、浄化空気通風手段Ｂ用の送風機に兼用する状態で構成してある。

図８ないし図１０に示すように、前記物品搬送車Ｖは、前記グレーティング床２上に設けた１本のガイドレール３２および天井側に設けた１本のガイドレール３３にて案内される点、及び、前記整流板４１を設けていない点で異なる以外は、上記の第１実施形態と同様に構成してある。

図８に示すように、物品搬送車Ｖが搬送車移動空間１５をその外方突出部１５ｔに向かって移動するときに、物品搬送車Ｖと外方突出部１５ｔを仕切る周壁２５との間で浄化空気が圧縮される傾向となるが、そのように圧縮傾向となる浄化空気は、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔからクリーンルーム１内に流動するのが周壁２５により阻止される状態で、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔから連通用開口２８を通って排気用空間１６に流動し、その排気用空間１６に流動した浄化空気は、物品保管棚Ｓ内に流動するのが横隔壁体１７にて阻止され且つ物品保管棚Ｓの後部に流動するのが後部隔壁体４６にて阻止される状態で、前記循環用送風機８の通風作用により、排気用空間１６の下部のグレーティング床２を通ってクリーンルーム１外に流動する。
従って、物品搬送車Ｖが移動するときに、その物品搬送車Ｖと外方突出部１５ｔを仕切る周壁２５との間で圧縮傾向となる浄化空気は、排気用空間１６からクリーンルーム外連通路１８を通ってクリーンルーム１外に流動するので、クリーンルーム１内の清浄度を維持しながら、塵埃が発生し易い搬送車移動空間１５から浄化空気が物品収納部１４に逆流するのを抑制することができて、物品収納部１４での物品保管状態の清浄度を向上することができる。

更に、この第２実施形態では、上述のように、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記複数のファンフィルタユニット６７にて、前記クリーンルーム１内の浄化空気を清浄化してブース６２内に通風させる状態で浄化空気を各物品収納部１４の後部側から各物品収納部１４を通過させる構成としてあるので、各物品収納部１４を通過させる浄化空気を一段と清浄化することができるものとなり、物品保管状態の清浄化を一段と向上することができる。

〔別実施形態〕
次に別実施形態を説明する。
（イ） 上記の第１及び第２の各実施形態において設けたクリーンルーム外連通路１８に代えて、図１１及び図１２に示すように、前記排気用空間１６を前記クリーンルーム１内と空気流動可能に連通し且つ空気浄化手段としてのファンフィルタユニット５１を備えたクリーンルーム内連通路５２を設けても良い。尚、図１１及び図１２は、この別実施形態を第１実施形態に適用した場合を示し、第２実施形態に適用した場合の図示は、省略する。
説明を加えると、前記後部隔壁体４６を省略し、前記横隔壁体１７を、物品保管棚Ｓの後方へ周壁２５にまで延びるように設ける。
そして、前記仕切り壁として機能させる前記周壁２５において、前記排気用空間１６における物品保管棚Ｂの後方側に対応する部分を仕切る部分に、連通開口５３を形成し、この連通開口５３に、排気用空間１６に吸引作用する送風機（図示省略）及びこの送風機により通風される浄化空気を清浄化するフィルタ（図示省略）を備えた前記ファンフィルタユニット５１を設ける。
つまり、前記クリーンルーム内連通路５２を、排気用空間１６の浄化空気を前記連通開口５３を通して流動させる形態で構成してある。

この場合は、図１２に破線矢印にて示すように、物品搬送車Ｖが移動するときに、その物品搬送車Ｖと外方突出部１５ｔを仕切る周壁２５との間で圧縮傾向となる浄化空気は、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔから連通用開口２８を通って排気用空間１６に流動して、その排気用空間１６から、ファンフィルタユニット５１を通過して浄化される状態で、クリーンルーム内連通路５３を通ってクリーンルーム１内に流動する。

（ロ） 前記浄化空気通風手段Ｂの具体構成は、上記の実施形態において例示した構成に限定されるものではなく、種々の構成が可能である。
例えば、物品保管棚Ｓの後部に、クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を物品収納部１４に案内するための空気流通空間１９を、上部が開口され且つ側周囲が流通路形成用仕切り体にてクリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切られた状態で設けて、浄化空気通風手段Ｂを、クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を空気流通空間１９にて案内して物品収納部１４に供給し且つその物品収納部１４を通過して搬送車移動空間１５に流動する浄化空気をその搬送車移動空間１５からクリーンルーム１のグレーティング床２を通して流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成する場合に、上記の第１実施形態では、上述のような形態で浄化空気を流動させるための送風機を、クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する循環用送風機８にて兼用するように構成したが、浄化空気通風手段Ｂ専用に設けても良い。

又、上記の第１実施形態において、各物品収納部１４の後部の開口部に、ファンフィルタユニットを、クリーンルーム１内の浄化空気を物品収納部１４に取り入れてその物品収納部１４を通過させて搬送車移動空間１５に流動させるように設けて、前記浄化空気通風手段Ｂを各物品収納部１４に設けたファンフィルタユニットを備えて構成しても良い。

（ハ） 上記の第１及び第２の各実施形態において、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔから排気用空間１６に流動した浄化空気をグレーティング床２を通してクリーンルーム１外に流動させるために、専用の送風機を設けても良い。

（ニ） 前記整流板４１の設置形態は、車体前後方向と車体上下方向との両方に沿わせた姿勢に限定されるものではなく、車体前後方向には沿わせる必要があるが、車体上下方向には多少傾斜させた姿勢でも良い。

（ホ） 前記整流板４１を物品搬送車Ｖの下方側部分の両横外側に位置させる状態で設けるに当たって、その車体上下方向での存在範囲は、上記の実施形態において例示した範囲、即ち、制御ボックス４０の下端部から上端部にわたる範囲に限定されるものではない。
例えば、台車部分３４の横側方に物品収納部１４が存在する場合は、台車部分３４の横外側にも存在するように設けても良い。
又、昇降案内用支柱３５の横外側にも存在するように設けても良い。

（ヘ） 上記の第１及び第２の各実施形態においては、物品を容器Ｃや物品保持体Ｋに収容した状態で、物品収納部１４に収納したり、物品搬送車Ｖにより移載並びに搬送する場合について例示したが、物品そのものを物品収納部１４に収納したり、物品搬送車Ｖにより移載並びに搬送するように構成しても良い。

第１実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の平面図 図１におけるイ−イ矢視図 図１におけるロ−ロ矢視図 図１におけるハ−ハ矢視図 第１実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の要部の斜視図 第１実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の物品搬送車を示す平面図 第１実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の物品搬送車を示す平面図 第２実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の平面図 図８におけるニ−ニ矢視図 図８におけるホ−ホ矢視図 別実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の縦断正面図 別実施形態に係るクリーンルーム用の物品保管設備の縦断側面図

符号の説明

１ クリーンルーム
２ 多孔状の床部
３ 天井吹出部
１４ 物品収納部
１５ 搬送車移動空間
１５ｔ 外方突出部
１６ 排気用空間
１７ 隔壁体
１８ クリーンルーム外連通路
１９ 空気流通空間
２１ 支柱
２２ 物品支持枠
２４ 流動用空間
２５ 仕切り壁、流通路形成用仕切り体
２８ 連通用開口
２９ 多孔状板状体
５１ 空気浄化手段
５２ クリーンルーム内連通路
Ｂ 浄化空気通風手段
Ｆ クリーンルーム用循環通風手段
Ｓ 物品保管棚
Ｖ 物品搬送車
Ｗ 物品保管庫

Claims (6)

1. 物品収納部を棚横幅方向に並べて備える物品保管棚とその物品保管棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動する物品搬送車を備えた物品保管庫が、クリーンルーム内に設けられ、
   浄化空気を前記物品保管棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させ且つその搬送車移動空間から前記クリーンルーム外に流動させる浄化空気通風手段が設けられたクリーンルーム用の物品保管設備であって、
   前記物品収納部が、前記物品収納棚に、棚横幅方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で棚横幅方向に複数並べて備えられ、
   前記搬送車移動空間が前記物品保管棚よりも棚横幅方向外方に突出する形態で設けられて、その外方突出部と空気流動可能に連通する排気用空間が、前記物品保管棚の横側部に、その物品保管棚と隔壁体にて空気流動不能に仕切られた状態で設けられ、
   前記搬送車移動空間の外方突出部及び前記排気用空間を前記クリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切る仕切り壁が設けられ、
   前記排気用空間を前記クリーンルーム外と空気流動可能に連通するクリーンルーム外連通路、又は、前記排気用空間を前記クリーンルーム内と空気流動可能に連通し且つ空気浄化手段を備えたクリーンルーム内連通路が設けられているクリーンルーム用の物品保管設備。
2. 前記排気用空間と前記搬送車移動空間の外方突出部とを空気流動可能に連通する連通用開口が、前記クリーンルームの床から前記物品保管棚の上端部にわたる状態で設けられ、
   前記連通用開口の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体が設けられている請求項１記載のクリーンルーム用の物品保管設備。
3. 前記クリーンルームの多孔状の床部を通して吸引した吸引空気を前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出す形態で、浄化空気を前記クリーンルームに循環させるクリーンルーム用循環通風手段が設けられ、
   前記クリーンルーム外連通路が、前記排気用空間の浄化空気を前記多孔状の床部を通して流動させる形態で構成されている請求項１又は２記載のクリーンルーム用の物品保管設備。
4. 前記物品保管棚の後部に、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を前記物品収納部に案内するための空気流通空間が、上部が開口され且つ側周囲が流通路形成用仕切り体にて前記クリーンルーム内と空気流動不能に区分けするように仕切られた状態で設けられ、
   前記浄化空気通風手段が、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を前記空気流通空間にて案内して前記物品収納部に供給し且つその物品収納部を通過して前記搬送車移動空間に流動する浄化空気をその搬送車移動空間から前記多孔状の床部を通して流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成されている請求項３記載のクリーンルーム用の物品保管設備。
5. 前記搬送車移動空間の上部及び前記物品保管棚の上部が、前記クリーンルームの天井吹出部から吹き出された浄化空気を導入するよう開口され、
   前記物品保管棚の下端部に、浄化空気の流動用空間が形成され、
   前記多孔状の床部における前記物品保管棚の設置箇所に対応する床部分の開口率が、前記多孔状の床部における前記搬送車移動空間に対応する床部分及び前記排気用空間に対応する床部分の開口率よりも小さく形成されている請求項４記載のクリーンルーム用の物品保管設備。
6. 前記物品保管棚が、前後一対の支柱を棚横幅方向に並べて、棚横幅方向に間隔を隔てて並ぶ左右一対の物品支持枠を、前記支柱にて支持する状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に複数並べて構成され、
   前記物品収納部が、前記左右一対の物品支持枠にて物品を載置支持する形態で物品を収納するように構成されている請求項５記載のクリーンルーム用の物品保管設備。

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