TWI406804B - Plate-type goods with a van - Google Patents
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Description
本發明係有關於使複數的板狀物品以沿著水平方向的姿勢在上下方向隔開間隔而以並列狀態收納的長方體狀的收納空間,係以和外部被遮蔽的狀態被設置,經由被收納於上述收納空間的上述複數的板狀物品的鄰接物品彼此之間而將淨化空氣通風般,從相當於上述收納空間的側周部中的側壁部的一個側壁部的通風場所向與此側壁部相對的側壁部而將淨化空氣通風的淨化空氣通風裝置被設置的板狀物品用搬運車。
上述般的板狀物品用搬運車係,淨化空氣通風裝置藉由經由被收納於收納空間的複數的板狀物品的鄰接物品彼此之間而將淨化空氣通風、從複數的板狀物品除去塵埃,使被收納於收納空間的複數的板狀物品在清淨的環境搬運。
習知的板狀物品用搬運車係,在收納空間中的矩形狀的底部中的、與相當於通風場所的一個側壁部相對的側壁部鄰接的端部側場所,形成將淨化空氣排出至收納空間的外部的淨化空氣排出用開口部,經由此淨化空氣排出用開口部、設置將被排出至收納空間的外部的淨化空氣導引至車體的底部的導引通路,藉由此導引通路,將導引至車體底部的淨化空氣從車體底部的排出口排出至外部。(例如,參考專利文獻1)。
[專利文獻1]日本特開平11-322068號公報
在上述習知的板狀物品用搬運車中,因為淨化空氣排出開口部係被設置於和相當於通風場所的側壁部相對的側壁部鄰接的底部的端部側場所,淨化空氣係成為從相當於通風場所的側壁部向與此側壁部相對的側壁部流動。此時,淨化空氣係藉由在和相當於通風場所的側壁部鄰接的側壁部的翻轉等,在相當於通風場所的側壁部中,其橫向寬度方向的中央側的一方流動容易。因此,因為在接近於和相當於通風場所的側壁部鄰接的側壁部的側,使充分的淨化空氣流動變難,無法在收納空間的全體橫跨,使充分的淨化空氣通風,有無法高度保持被收納於收納空間的複數的板狀物品的清淨度的疑慮。
本發明係著眼於上述缺點,其目的係提供可一邊高度保持被收納在收納空間的複數的板狀物品的清淨度、一邊搬運這些複數的板狀物品的板狀物品用搬運車。
為了達成此目的,有關本發明的板狀物品用搬運車的第一特徵構成係,使複數的板狀物品以沿著水平方向的姿勢在上下方向隔開間隔而以並列狀態收納的長方體狀的收納空間以和外部被遮蔽的狀態被設置,經由被收納於上述收納空間的上述複數的板狀物品的鄰接物品彼此之間而將淨化空氣通風般,從相當於上述收納空間的側周部中的一個側壁部的通風場所向與此側壁部相對的側壁部而將淨化空氣通風的淨化空氣通風裝置被設置的板狀物品用搬運車中,在上述收納空間中的矩形狀的底部中的、與上述通風場所相當的一個側壁部相對的側壁部鄰接的端部側場所、以及和相當於上述通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部鄰接的端部側場所,將上述淨化空氣排出至上述收納空間的外部的淨化空氣排出用開口部被形成。
亦即,淨化空氣排出用開口部係,因為不僅在收納空間中的矩形狀的底部中的、與通風場所相當的一個側壁部相對的側壁部鄰接的端部側場所形成,且在和相當於通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部鄰接的端部側場所也形成,淨化空氣係不僅從相當於通風場所的側壁部向與此側壁部相對的側壁部流動,且對於與通風場所相當的側壁部鄰接的側壁部也積極地流動。
因此,可在收納空間的全體橫跨,使充分的淨化空氣通風,達到可提供一邊高度保持被收納在收納空間的複數的板狀物品的清淨度、一邊搬運這些複數的板狀物品的板狀物品用搬運車。
有關本發明的板狀物品用搬運車的第二特徵構成係,在上述收納空間中的矩形狀的底部中的、與上述通風場所相當的一個側壁部鄰接的端部側場所,將上述淨化空氣排出至上述收納空間的外部的淨化空氣排出用開口部被形成。
亦即,有藉由根據板狀物品的翻轉等、向相當於通風場所的側壁部流動的淨化空氣,此類的淨化空氣係有藉由淨化空氣通風裝置阻礙被通風的淨化空氣的流動的疑慮。
因此,藉由在收納空間中的矩形狀的底部中的、與通風場所相當的一個側壁部鄰接的端部側場所,可藉由形成淨化空氣排出用開口部,在淨化空氣排出用開口部積極地排出至收納空間的外部。因此,因為可將向相當於通風場所的側壁部流動的淨化空氣藉由淨化空氣排出用開口部積極地排出至收納空間的外部,可防止藉由淨化空氣通風裝置阻礙被通風的淨化空氣的流動。其結果,將藉由淨化空氣通風裝置被通風的淨化空氣在收納空間的全體橫跨,通風變容易,可確實地高度保持複數的板狀物品的清淨度。
有關本發明的板狀物品用搬運車的第三特徵構成係,經由上述淨化空氣排出用開口部、將被排出至上述收納空間的外部的淨化空氣導引至車體的底部的蓋體係,以在與覆蓋上述收納空間的側周部的上述側壁部相連的狀態下,且在經由其下端緣部的下方、將淨化空氣朝外部流動的狀態下被設置。
亦即,藉由僅設置蓋體,經由淨化空氣排出用開口部、可將被排出至收納空間的外部的淨化空氣導引至車體的底部,且經由蓋體的下端緣部的下方、可將淨化空氣朝外部流動。
因此,沒有必要新設將淨化空氣導引至車體底部的導引通路或將淨化空氣流動至外部的開口部,可達到構成的簡單化。
有關本發明的板狀物品用搬運車的第四特徵構成係,在上述蓋體中的周方向中的至少一部份,且在比其下端緣部上方的相當場所,經由上述淨化空氣排出用開口部、將被排出的淨化空氣向車體橫外方排出的外部排出用開口被形成。
亦即,不僅將經由淨化空氣排出用開口部而被排出的淨化空氣經由蓋體的下端緣部的下方、向外部流動,且可經由外部排出用開口、向車體橫外方排出。
藉由僅經由淨化空氣排出用開口部而將被排出的淨化空氣經由蓋體的下端緣部的下方、向外部流動,在蓋體的下端緣部的下方被導引的淨化空氣的量變多量,可確實地使淨化空氣排出至外部變難。又,排出至外部的淨化空氣的流速變快,淨化空氣在板狀物品用搬運車的行走路面翻轉,也有使其行走路面上的塵埃捲起的疑慮。
然而,由於經由淨化空氣排出用開口部而將被排出的淨化空氣經由外部排出用開口、可向車體橫外方排出,可使導引至蓋體的下端緣部的下方的淨化空氣的量盡量少,可經由淨化空氣排出用開口部而將被排出的淨化空氣確實地排出至外部,且可防止上述般的塵埃的捲起的發生。
有關本發明的板狀物品用搬運車的第五特徵構成係,上述收納空間係以在上下方向使間隔並列的狀態下使保持複數的板狀物品的物品保持體收納的方式被構成,和相當於上述收納空間的側周部中的上述通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部係為了上述物品保持體的搬出搬入,以可自由開閉般被構成。
亦即,因為收納空間係以在上下方向使間隔並列的狀態下使保持複數的板狀物品的物品保持體收納,可一邊使複數的板狀物品在物品保持體確實地保持,一邊在複數的板狀物品的鄰接物品彼此之間使淨化空氣通風。又,藉由僅使和相當於收納空間的側周部中的通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部開閉,可進行對於收納空間的物品保持體的搬出搬入。
因此,可一邊使複數的板狀物品在清淨的環境確實地保持而搬運,可一邊容易地進行對於板狀物品搬運車的複數的板狀物品的裝貨以及裝卸。
有關本發明的板狀物品用搬運車的第六特徵構成係,在上述收納空間的底部,使上述物品保持體裝載搬運的搬運運送器被設置。
亦即,因為搬運運送器係設置於收納空間的底部,可在藉由搬運運送器載置支持物品保持體的狀態下,將物品保持體在收納空間收納。又,藉由以搬運運送器載置搬運物品保持體,可進行對於收納空間的物品保持體的搬出搬入。
因此,藉由僅以搬運運送器載置搬運物品保持體,可一邊進行對於收納空間的物品保持體的搬出搬入,一邊高度保持複數的板狀物品的清淨度。
以下基於圖示說明有關本發明的板狀物品用搬運車的實施例。
此板狀物品搬運車1係如第1圖所示般,在清淨室內,沿著行走路線2自動行走,在複數的工作站3分別搬運板狀物品般被構成。
雖然圖示省略,在清淨室,從天花板部向複數的孔部被形成的地板部,將淨化空氣通風,使浮游的塵埃在地板部的下方排出般被構成。
上述行走路線2係經由複數的工作站3般被設置。複數的工作站3係分別依據自由載置搬運板狀物品的運送器被構成,沿著行走路線2隔開間隔而被配設。又,行走路線2上係,由於板狀物品搬運車1行走,在地板部不設置孔部,強化地板部的強度。
關於上述板狀物品用搬運車1的車體4,如第2圖以及第4~7圖所示般,包括:複數的行走車輪5、以及對於沿著行走路線2設置的反射體6投射光、接受依據反射體6被反射的光的投射接受光部7。
圖示雖然省略,行走車輪5中的驅動車輪係由互相分離而並置的一對驅動輪體被構成。關於驅動輪體的各方面,電動式的驅動馬達被直接連結,兩驅動輪體係可分別正逆迴轉驅動般被設置。又,藉由在兩驅動輪體的迴轉速度上給予差別、或相互地在逆方向上旋轉驅動,一邊在縱軸心周圍變更車體4的方向,一邊自由行走的構成。又,在驅動馬達方面,檢測出旋轉量的旋轉解碼器被設置。
上述投射接受光部7係,在車體4的後方側中,從橫向寬度方向的中央部延伸至上方側的投射接受光部用支持體8的上端部被支持。又,投射接受光部7係將雷射光在四方向投射光,接受由反射體6反射的雷射光般被構成。反射體6係利用清淨室的壁部等,沿著行走路線2被設置複數個。
在上述車體4,控制板狀物品用搬運車1的行走的控制部9被設置。此控制部9係基於藉由投射接受光部7接受的反射光情報,檢測出板狀物品用搬運車1的位置,使板狀物品搬運車1沿著行走路線2行走般,控制板狀物品用搬運車1的行走般被構成。
加上說明的話,在控制部9,有關於包含複數的反射體6的位置情報的行走路線2的位置情報係作為佈局圖(layout map)被記憶。上述控制部9係藉由投射接受光部7將雷射光投射至四方,從由投射接受光部7接受的雷射光的角度等,演算對於反射體6的板狀物品用搬運車1的車體4的角度以及距離,基於此檢測情報以及被記憶的佈局圖,藉由三角測量演算板狀物品用搬運車1的現在位置般被構成。
又,控制部9係基於演算的板狀物品搬運車1的現在位置,沿著行走路線2,行走車體4行走般,控制驅動車輪的驅動馬達的作動的同時,基於轉動解碼器的檢測情報,管理板狀物品用搬運車1的行走距離般被構成。
板狀物品用搬運車1搬運的物品係為玻璃基板等的板狀物品10。又,如第3圖所示般,在上下方向隔開間隔而在並列的狀態下保持複數個板狀物品10的物品保持體11被設置。此物品保持體11係由以格子狀形成的上框體11a以及下框體11b、連結上框體11a和下框體11b的複數的連結體11c、以及在連結體11c上下方向隔開間隔被設置而使在水平方向相對的連結體11c彼此連結的線(wire)狀的支持部11d構成。又,在由各支持部11d載置支持的狀態下,使板狀物品10在上下方向隔開間隔而並列保持,在物品保持體11的上部、下部、以及側部的全部中,可使空氣流動般被構成。
上述車體4係,如第4~7圖所示般,由蓋體17覆蓋,在此蓋體17的內部的中空空間,以和外部遮蔽的狀態下,矩方體狀的收納空間12被形成。此收納空間12係以可自由收納保持複數的板狀物品10的物品保持體11般被構成。
又,在相當於收納空間12的側周部中的車體前方側的側壁部15a的通風場所,作為從此車體前方側的側壁部15a向車體後方側的側壁部15b將淨化空氣通風的淨化空氣通風裝置的風扇過濾器單元(以下簡稱為FFU)13被設置。FFU13係經由空氣淨化用過濾器,將淨化空氣通風般被構成,在車體前方側的側壁部15a中,在車體橫向寬度方向並列的狀態下,被設置兩個。又,FFU 13係,經由在收納空間12被收納的物品保持體11被保持的複數的板狀物品10的鄰接物品彼此之間,將淨化空氣通風般被構成。
上述收納空間12的底部14係如第5圖所示般,以矩形狀被形成,在其底部14的端部側場所,將收納空間12內的淨化空氣排出至收納空間12的外部的淨化空氣排出用開口部16被形成。此淨化空氣排出用開口部16係在底部14中,和車體前方側的側壁部15a鄰接的車體前方側的端部側場所14a、和車體後方側的側壁部15b鄰接的車體後方側的端部側場所14b、以及和車體前方側的側壁部15a鄰接的車體橫向側的側壁部15c鄰接的車體橫向側的端部側場所14c分別形成。又,淨化空氣排出用開口部16係以縱長狀的開口被構成,使矩形狀的底部14的四方以藉由淨化空氣排出用開口部16包圍的狀態被設置。
上述蓋體17係如第6圖以及第7圖所示般,經由淨化空氣排出用開口部16,將被排出至收納空間12的外部的淨化空氣導引至車體4的底部般被設置。又,蓋體17係以在包覆收納空間12的側周部的側壁部連結的狀態下,且經由其下端緣部的下方、將淨化空氣朝外部流動的狀態下被設置。
雖然上述蓋體17係經由其下端緣部的下方、將淨化空氣朝外部流動,但在比蓋體17的下端緣部上方,將經由淨化空氣排出用開口部16而被排出的淨化空氣向車體橫向外方排出的外部排出用開口18被形成。亦即,外部排出用開口18係,在蓋體17的周方向中,相當於車體橫向側的場所,在比收納空間12下方側且比蓋體17的下端緣部上方側被設置。
又,外部排出用開口18係由第一外部排出用開口18a和第二外部排出用開口18b被構成。第一外部排出用開口18a係在比第二外部排出用開口18b上方側被設置,在車體前後方向以長條狀被形成。第二外部排出用開口18b係以使複數的孔部並列的矩形狀被形成,在車體前後方向隔開間隔被設置複數個。
在上述收納空間12的底部14,如第5~7圖所示般,載置搬運物品保持體11的搬運運送器19被設置。此搬運運送器19係使物品保持體11的搬運方向作為車體橫向寬度方向,在搬運方向使驅動滾子20複數並列的滾子運送器被構成。
上述驅動滾子20係為較短狀的驅動滾子,在左右一對的支持框架38分別被迴轉自如地支持,在和搬運方向正交的方向隔開間隔的狀態下,被設置左右一對。又,搬運運送器19係在由左右一對的驅動滾子20使物品保持體11的兩端部載置支持的狀態下搬運般被構成。在搬運方向並列的複數的驅動滾子20係分別,藉由在配置於搬運方向的中間部的驅動輪體21、以及在搬運方向上隔開間隔而被配置的複數的從動輪體22上掛設的確動皮帶23在縱長方向被移動而被迴轉驅動。又,藉由以搬運運送器用電動馬達24迴轉驅動連結軸25,使左右一對的驅動滾子20一體地被迴轉驅動,載置搬運物品保持體11。
上述驅動滾子20係其上端部在比收納空間12的底部14上方側突出般被設置,在由複數的驅動滾子20載置支持的狀態下使物品保持體11收納在收納空間12般被構成。
上述搬運運送器19係藉由旋轉用電動馬達26的迴轉驅動,在旋轉用基台27旋轉自如地被設置的運送器支持部28被支持。又,旋轉用基台27係,由藉由升降用電動馬達40的迴轉驅動被作動的升降機構41而升降自如地被支持。
如上述,搬運運送器19係藉由旋轉用電動馬達26的迴轉驅動而旋轉自如,且藉由升降用電動馬達40的迴轉驅動而升降自如地被設置。
在和相當於上述收納空間12的側周部中的通風場所的車體前方側的側壁部15a鄰接的車體橫向側的側壁部15c係,為了物品保持體11的搬出搬入,而開閉自如地被構成。
亦即,如第4圖所示般,車體橫向寬度方向的一方側的車體橫向側的側壁部15b以可自由開閉的擋門(shutter)30被構成。又,在第4圖中,擋門30關閉的狀態以實線表示,擋門30開啟的狀態以虛線表示。
擋門30的下端部的左右兩側係,以升降導引體32被支持。左右一對的升降導引體32係分別,藉由導引滾子31沿著導引軌道33可自由升降移動地被設置。在左右一對的升降導引體32,分別在配置於上方的驅動輪體34和配置於下方的從動輪體35掛設的確動皮帶39的一部分被固定。驅動輪體34彼此係由連結軸36被連結,藉由以擋門用電動馬達37使連結軸36迴轉驅動,被一體地迴轉驅動。又,藉由以擋門用電動馬達37使連結軸36迴轉驅動,使左右一對的升降導引體32升降,使擋門30開閉般被構成。
又,在擋門30關閉的狀態中,在擋門30的下方側鄰接場所設置間隙般,第一外部排出用開口18a被配設。因此,藉由此第一外部排出用開口18a,關閉擋門30時,作業者可防止夾住手指。
上述控制部9係控制板狀物品用搬運車1的行走,且藉由控制搬運運送車19的搬運作動以及擋門30的開閉作動,複數的工作站3中,進行從搬運起點的工作站3朝搬運目的的工作站3搬運物品保持體11的搬運處理般被構成。
說明有關上述搬運處理的動作。
上述控制部9係移動至對應於搬運起點的工作站3的停止位置般,控制板狀物品搬運車1的行走。上述控制部9係,板狀物品用搬運車1移動至停止位置的話,藉由使擋門用電動馬達37作動,使擋門30開啟作動。之後,控制部9係,在搬運起點的工作站3中,運送器被作動的話,使搬運運送器19搬運作動,使物品保持體11從搬運起點的工作站3接收,由搬運運送器19將物品保持體11搬運至搬運用適當位置為止。又,從搬運起點的工作站3接受物品保持體11時,控制部9係基於圖外的各種感測器的檢測情報,檢測出在工作站3中,對於運送器的搬運運送器19的高度或角度,在工作站3中,對於運送器從適當移載位置偏移的話,使旋轉用電動馬達26以及升降用電動馬達40作動,進行搬運運送器19的位置調整。
又,控制部9係由搬運運送器19搬運物品保持體11至搬運用適當位置為止的話,藉由使擋門用電動馬達37作動,使擋門30關閉作動,收納在收納空間12的物品保持體11。
之後,控制部9係以移動至對應於搬運目的的工作站3的停止位置的方式,控制板狀物品用搬運車1的行走,板狀物品搬運車1移動至對應於搬運目的的工作站3的停止位置的話,和搬運起點的工作站3時相同,在使擋門30開啟作動後,使搬運運送器19搬運作動,使物品保持體11在搬運目的的工作站3卸下。
上述控制部9係在有關於FFU 13方面,使板狀物品用搬運車1的行走中以及板狀物品用搬運車1停止,在工作站3之間,物品保持體11的移載中等、搬運處理中時常作動般被構成。又,使擋門30開啟作動,在收納空間12被開放至外部的狀態下,藉由根據FFU 13的淨化空氣的通風,可防止朝收納空間12的塵埃的侵入。
又,FFU 13的作動係可僅在板狀物品用搬運車1的行走中作動,有關是否作動FFU 13係可適當變更。
在上述收納空間12收納物品保持體11,關閉擋門30的狀態中,有關從FFU 13被通風的淨化空氣的流動,基於第5~7圖說明。又,在第5~7圖中,使淨化空氣的流動以箭頭表示。
上述FFU 13係從車體前方側的側壁部15a通過由物品保持體11保持的複數的板狀物品10的鄰接物品彼此之間般,將淨化空氣通風。又,淨化空氣係,向車體後方側的側壁部15b流動的同時,也向車體橫向側的側壁部15c流動。向車體後方側的側壁部15b流動的淨化空氣係,經由在其車體後方側的側壁部15b鄰接的底部14的車體後方側的端部側場所14b被形成的淨化空氣排出用開口部16,在收納空間12的外部下方側被排出。向車體橫向側的側壁部15c流動的淨化空氣也,經由在其車體橫向側的側壁部15c鄰接的底部14的車體橫向側的端部側場所14c被形成的淨化空氣排出用開口部16,在收納空間12的外部下方側被排出。
又,從FFU 13通風的淨化空氣中,也有藉由根據板狀物品10的翻轉等、向車體前方側的側壁部15a的流動。此類的淨化空氣也,經由在底部14的車體前方側的端部側場所14a被形成的淨化空氣排出用開口部16,在收納空間12的外部下方側被排出。
如上述,從FFU 13通風的淨化空氣係,一邊在矩方體狀的收納空間12的全體橫跨而被通風,在矩形狀的收納空間12的底部14中,從在其四方的全部的端部側場所14a~14c被形成的淨化空氣排出用開口部16被排出至收納空間12的外部下方。
經由淨化空氣排出用開口部16、被排出至收納空間12的外部下方側的淨化空氣係,其一部份從第一外部排出用開口18a以及第二外部排出用開口18b向車體橫向外方被排出。又,殘餘的一部份係,經由蓋體17的下端緣部的下方,被排出至外部。
如上述,不僅在蓋體17的下端緣部的下方,藉由從第一外部排出用開口18a以及第二外部排出用開口18b向車體橫向外方被排出,經由淨化空氣排出用開口部16、可確實地進行被排出至收納空間12的外部下方側的淨化空氣朝外部的排出。
(1)在上述實施例中,在矩形狀的收納空間12的底部14中,雖然在其四方的全部的端部側場所14a~14c設置淨化空氣排出用開口部16,但在和車體前方側的側壁部15a鄰接的車體前方側的端部側場所14a不設置淨化空氣排出用開口部16而可實施。
(2)在上述實施例中,雖然蓋體17係經由淨化空氣排出用開口部16、將被排出至收納空間12的外部下方側的淨化空氣導引至車體4的底部般,但例如,設置經由淨化空氣排出用開口部16、將被排出至收納空間12的外部下方側的淨化空氣導引至車體4的底部的導引通路也可,在有關如何進行導引淨化空氣係可適當變更。
(3)在上述實施例中,雖然在相當於蓋體17的車體橫向側的場所設置外部排出用開口18,但使外部排出用開口18配置在哪一位置係可適當變更。又,有關外部排出用開口18的配設數目係可適當變更。
(4)在上述實施例中,雖然在收納空間12的底部14設置搬運運送器19,但代替此搬運運送器19,設置具備可自由進退的叉(fork)的叉式的移載裝置而可實施。在工作站3之間,為了移載物品保持體11設置的移載裝置係可適應各種的移載裝置。
(5)在上述實施例中,雖然將FFU 13配置在車體前方側的側壁部15a,但也可在車體後方側的側壁部15b配置FFU 13。
(6)在上述實施例中,雖然使淨化空氣排出口開口部16作為同一寬度的較長狀的開口,但淨化空氣排出用開口部16係可適當變更。例如,使在和車體橫向側的側壁部15c鄰接的車體橫向側的端部側場所14c形成的淨化空氣排出用開口部16,作為在越車體前方側寬度窄且在越車體後方側寬度寬的形狀,在車體前方側中,抑制多量的淨化空氣朝收納空間12的外部被排出,可使由FFU 13通風的淨化空氣盡量通過複數的板狀物品10的鄰接物品彼此之間。
1...板狀物品搬運車
4...車體
10...板狀物品
11...物品保持體
13...淨化空氣通風裝置
12...收納空間
14a、14b、14c...端部側場所
14...底部
15a、15b、15c...側壁部
17...蓋體
16...淨化空氣排出用開口部
18...外部排出用開口
19...搬運運送器
20...驅動滾子
24...電動馬達
25...連結軸
30...擋門
第1圖係表示板狀物品用搬運車的行走路線的平面圖;第2圖係為板狀物品用搬運車的立體圖;第3圖係為物品保持體的立體圖;第4圖係為在板狀物品用搬運車的車體橫向寬度方向所看的縱剖面圖;第5圖係為板狀物品用搬運車的橫剖面圖;第6圖係為在板狀物品用搬運車的車體橫向寬度方向所看的縱剖面圖;以及第7圖係為在板狀物品用搬運車的車體前後寬度方向所看的縱剖面圖。
1...板狀物品搬運車
4...車體
13...淨化空氣通風裝置
14...底部
14a、14b、14c...端部側場所
19...搬運運送器
15a、15b、15c...側壁部
20...驅動滾子
16...淨化空氣排出用開口部
24...電動馬達
25...連結軸
30...檔門
Claims (6)
- 一種板狀物品用搬運車,在使複數的板狀物品以沿著水平方向的姿勢在上下方向隔開間隔而以並列狀態收納的長方體狀的收納空間以和外部被遮蔽的狀態被設置,經由被收納於上述收納空間的上述複數的板狀物品的鄰接物品彼此之間而將淨化空氣通風般,從相當於上述收納空間的側周部中的一個側壁部的通風場所向與此側壁部相對的側壁部而將淨化空氣通風的淨化空氣通風裝置被設置的板狀物品用搬運車中,其中,經由上述淨化空氣通風裝置而通風的淨化空氣,從上述一個側壁部的通風場所,流向此側壁部對向之側壁部的同時,也流向對於鄰接上述一個側壁部的通風場所之側壁部般,在上述收納空間中的矩形狀的底部中的、與上述通風場所相當的一個側壁部相對的側壁部鄰接的端部側場所、以及和相當於上述通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部鄰接的端部側場所,將上述淨化空氣排出至上述收納空間的外部的淨化空氣排出用開口部被形成。
- 如申請專利範圍第1項所述之板狀物品用搬運車,其中在上述收納空間中的矩形狀的底部中的、與上述通風場所相當的一個側壁部鄰接的端部側場所,將上述淨化空氣排出至上述收納空間的外部的淨化空氣排出用開口部被形成。
- 如申請專利範圍第1或2項所述之板狀物品用搬運車,其中經由上述淨化空氣排出用開口部、將被排出至上 述收納空間的外部的淨化空氣導引至車體的底部的蓋體係,以在與覆蓋上述收納空間的側周部的上述側壁部相連的狀態下,且在其下端緣部的下方、淨化空氣朝外部流動的狀態下被設置。
- 如申請專利範圍第3項所述之板狀物品用搬運車,其中在上述蓋體中的周方向中的至少一部份,且在比其下端緣部上方的相當場所,經由上述淨化空氣排出用開口部、將被排出的淨化空氣向車體橫外方排出的外部排出用開口被形成。
- 如申請專利範圍第1項所述之板狀物品用搬運車,其中上述收納空間係以在上下方向使間隔並列的狀態下使保持複數的板狀物品的物品保持體收納的方式被構成,和相當於上述收納空間的側周部中的上述通風場所的一個側壁部鄰接的側壁部係為了上述物品保持體的搬出搬入,以可自由開閉般被構成。
- 如申請專利範圍第5項所述之板狀物品用搬運車,其中在上述收納空間的底部,使上述物品保持體裝載搬運的搬運運送器被設置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007002544A JP4310712B2 (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 板状物品用搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200829492A TW200829492A (en) | 2008-07-16 |
TWI406804B true TWI406804B (zh) | 2013-09-01 |
Family
ID=39629867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW096138642A TWI406804B (zh) | 2007-01-10 | 2007-10-16 | Plate-type goods with a van |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4310712B2 (zh) |
KR (1) | KR20080065903A (zh) |
CN (1) | CN101219736B (zh) |
TW (1) | TWI406804B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5585236B2 (ja) * | 2010-06-23 | 2014-09-10 | 村田機械株式会社 | 有軌道台車システム |
CN106219176A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-12-14 | 芜湖新泉汽车饰件系统有限公司 | 仪表板的运输装置 |
TWI643799B (zh) * | 2017-12-01 | 2018-12-11 | 瑩耀科技股份有限公司 | 半導體輸送系統 |
JP7115356B2 (ja) * | 2019-02-25 | 2022-08-09 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
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JP3788296B2 (ja) * | 2001-09-10 | 2006-06-21 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム用の物品保管設備 |
TWI327128B (en) * | 2003-07-08 | 2010-07-11 | Daifuku Kk | Plate-shaped work piece transporting apparatus |
WO2005045920A1 (ja) * | 2003-11-06 | 2005-05-19 | Shinko Electric Co., Ltd. | 基板搬入出装置、基板搬送方法及びその装置 |
-
2007
- 2007-01-10 JP JP2007002544A patent/JP4310712B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-16 TW TW096138642A patent/TWI406804B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-11-22 KR KR1020070119648A patent/KR20080065903A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-12-25 CN CN2007101598686A patent/CN101219736B/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200829492A (en) | 2008-07-16 |
CN101219736A (zh) | 2008-07-16 |
JP4310712B2 (ja) | 2009-08-12 |
JP2008168982A (ja) | 2008-07-24 |
KR20080065903A (ko) | 2008-07-15 |
CN101219736B (zh) | 2013-04-17 |
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