JPH1179389A - 基板ガラス検査加工システム - Google Patents
基板ガラス検査加工システムInfo
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- JPH1179389A JPH1179389A JP26925497A JP26925497A JPH1179389A JP H1179389 A JPH1179389 A JP H1179389A JP 26925497 A JP26925497 A JP 26925497A JP 26925497 A JP26925497 A JP 26925497A JP H1179389 A JPH1179389 A JP H1179389A
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- Japan
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- cassette
- substrate glass
- substrate
- inspection processing
- glass
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多段に複数枚のガラス類を収納可能なカセッ
トに対してガラス類を円滑に出し入れして検査加工部と
の間で枚葉処理し、ガラス類が大型化しても撓んだりす
ることがないようにした基板ガラス検査加工システムと
する。 【解決手段】 基板ガラスの検査加工部へのライン入口
に基板枚葉送り出し装置を配置するとともに、検査加工
部ライン出口に基板ガラスの良否判別仕分手段を配置
し、また仕分手段の仕分位置に対面して基板ガラス枚葉
受け入れ装置を配置している。前記基板枚葉送り出し装
置および基板枚葉受け入れ装置は基板ガラスを多段に間
隔をおいて収容するとともに前記基板ガラスの板面に対
面して開口する窓を設けたカセットが移載可能となって
いる。このカセットを間欠的に昇降させる昇降手段を具
備し、昇降されるカセットの前記窓に出入り可能とされ
前記基板ガラスの下面に転接するローラ搬送手段を備え
る。基板ガラスを枚葉単位で検査加工部にローラ送り出
しをなすとともに、検査加工終了後に枚葉単位で送り出
される基板ガラスをカセットに多段収容可能とした。
トに対してガラス類を円滑に出し入れして検査加工部と
の間で枚葉処理し、ガラス類が大型化しても撓んだりす
ることがないようにした基板ガラス検査加工システムと
する。 【解決手段】 基板ガラスの検査加工部へのライン入口
に基板枚葉送り出し装置を配置するとともに、検査加工
部ライン出口に基板ガラスの良否判別仕分手段を配置
し、また仕分手段の仕分位置に対面して基板ガラス枚葉
受け入れ装置を配置している。前記基板枚葉送り出し装
置および基板枚葉受け入れ装置は基板ガラスを多段に間
隔をおいて収容するとともに前記基板ガラスの板面に対
面して開口する窓を設けたカセットが移載可能となって
いる。このカセットを間欠的に昇降させる昇降手段を具
備し、昇降されるカセットの前記窓に出入り可能とされ
前記基板ガラスの下面に転接するローラ搬送手段を備え
る。基板ガラスを枚葉単位で検査加工部にローラ送り出
しをなすとともに、検査加工終了後に枚葉単位で送り出
される基板ガラスをカセットに多段収容可能とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板ガラス検査加工
システムに係り、特にプラズマディスプレイの検査加工
を自動で行うためのもので、基板ガラスを枚葉単位にで
検査加工部に送り出し、検査加工が終了し枚葉単位で送
り出されてくる基板ガラスを多段にカセット収容するこ
とができるようにした基板ガラス検査加工システムに関
する。
システムに係り、特にプラズマディスプレイの検査加工
を自動で行うためのもので、基板ガラスを枚葉単位にで
検査加工部に送り出し、検査加工が終了し枚葉単位で送
り出されてくる基板ガラスを多段にカセット収容するこ
とができるようにした基板ガラス検査加工システムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般にＦＰＤ（Flat Panel Display）用
基板ガラスの通常運搬には専用収納カセットが用いられ
ている。基板ガラスがクリーンルーム内等で製品に加工
処理され、また検査するためには、カセットから１枚ず
つ搬出して検査加工処理部に送出し、また検査加工が終
了して１枚ずつ送られてくる基板ガラスを再度カセット
に収容するような処置が必要となる。したがって、カセ
ットからの基板ガラスを１枚ずつ出し入れする作業が必
須である。
基板ガラスの通常運搬には専用収納カセットが用いられ
ている。基板ガラスがクリーンルーム内等で製品に加工
処理され、また検査するためには、カセットから１枚ず
つ搬出して検査加工処理部に送出し、また検査加工が終
了して１枚ずつ送られてくる基板ガラスを再度カセット
に収容するような処置が必要となる。したがって、カセ
ットからの基板ガラスを１枚ずつ出し入れする作業が必
須である。
【０００３】ところで、最近では基板ガラスの生産性の
向上や大型化の傾向から、前記カセットに対する基板ガ
ラスの人力による出し入れ作業は極めて困難となってい
る。このような観点から、従来の基板ガラスの検査加工
部のライン出入口部分には、機械的に基板ガラスをカセ
ットから出し入れすることが行われている。これは一般
的には２本のロボットアームをカセット内の基板ガラス
の間に差込み、ガラスを少し浮かしてアーム上に載置
し、これを後方に移動させることで搬出するようにして
いる。搬入の作業は逆の動作である。
向上や大型化の傾向から、前記カセットに対する基板ガ
ラスの人力による出し入れ作業は極めて困難となってい
る。このような観点から、従来の基板ガラスの検査加工
部のライン出入口部分には、機械的に基板ガラスをカセ
ットから出し入れすることが行われている。これは一般
的には２本のロボットアームをカセット内の基板ガラス
の間に差込み、ガラスを少し浮かしてアーム上に載置
し、これを後方に移動させることで搬出するようにして
いる。搬入の作業は逆の動作である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の検査加
工システムでは、基板ガラスが大型化しているために、
アーム支持方式では円滑な搬出搬入作業が困難となる問
題があった。すなわち大型基板ガラスをアームによって
出し入れするとアームが撓んだり、ストロークを大きく
しなければならず、重量的にも重いためにカセットから
アームで出し入れすることができない。このような問題
は上述の基板ガラスに限らず、カセットに複数同時に収
納しつつ、枚葉で処理することが必要なガラスに類似し
た平板についても同様に問題である。
工システムでは、基板ガラスが大型化しているために、
アーム支持方式では円滑な搬出搬入作業が困難となる問
題があった。すなわち大型基板ガラスをアームによって
出し入れするとアームが撓んだり、ストロークを大きく
しなければならず、重量的にも重いためにカセットから
アームで出し入れすることができない。このような問題
は上述の基板ガラスに限らず、カセットに複数同時に収
納しつつ、枚葉で処理することが必要なガラスに類似し
た平板についても同様に問題である。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点に着目してな
されたもので、多段に複数枚のガラス類を収納可能なカ
セットに対してガラス類を円滑に出し入れして検査加工
部との間で枚葉処理できるとともに、ガラス類が大型化
しても撓んだりすることがないようにした基板ガラス検
査加工システムを提供することを目的とする。
されたもので、多段に複数枚のガラス類を収納可能なカ
セットに対してガラス類を円滑に出し入れして検査加工
部との間で枚葉処理できるとともに、ガラス類が大型化
しても撓んだりすることがないようにした基板ガラス検
査加工システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る基板ガラス検査加工システムは、基板
ガラスの検査加工部へのライン入口に基板枚葉送り出し
装置を配置するとともに、検査加工部ライン出口に基板
ガラスの良否判別仕分手段を配置し、当該仕分手段の仕
分位置に対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置を配置し
ており、前記基板枚葉送り出し装置および基板枚葉受け
入れ装置は基板ガラスを多段に間隔をおいて収容すると
ともに前記基板ガラスの板面に対面して開口する窓を設
けたカセットを移載可能とし、このカセットを間欠的に
昇降させる昇降手段を具備し、昇降されるカセットの前
記窓に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に転接す
るローラ搬送手段を備えてなり、基板ガラスを枚葉単位
で検査加工部にローラ送り出しをなすとともに、検査加
工終了後に枚葉単位で送り出される基板ガラスをカセッ
トに多段収容可能としたものである。
に、本発明に係る基板ガラス検査加工システムは、基板
ガラスの検査加工部へのライン入口に基板枚葉送り出し
装置を配置するとともに、検査加工部ライン出口に基板
ガラスの良否判別仕分手段を配置し、当該仕分手段の仕
分位置に対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置を配置し
ており、前記基板枚葉送り出し装置および基板枚葉受け
入れ装置は基板ガラスを多段に間隔をおいて収容すると
ともに前記基板ガラスの板面に対面して開口する窓を設
けたカセットを移載可能とし、このカセットを間欠的に
昇降させる昇降手段を具備し、昇降されるカセットの前
記窓に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に転接す
るローラ搬送手段を備えてなり、基板ガラスを枚葉単位
で検査加工部にローラ送り出しをなすとともに、検査加
工終了後に枚葉単位で送り出される基板ガラスをカセッ
トに多段収容可能としたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る基板ガラス
検査加工システムを、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用
基板ガラスの検査装置に適用した具体的実施形態につ
き、図面を参照して詳細に説明する。
検査加工システムを、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用
基板ガラスの検査装置に適用した具体的実施形態につ
き、図面を参照して詳細に説明する。
【０００８】実施形態に係る基板ガラス検査加工システ
ムは、図１に示しているように、基板ガラスの検査加工
部１へのライン入口に基板枚葉送り出し装置２を配置す
るとともに、検査加工部ライン出口に基板ガラスの良否
判別仕分手段３を配置し、当該仕分手段３の仕分位置に
対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置４を配置してい
る。そして、基板枚葉送り出し装置２および基板枚葉受
け入れ装置４は、基板ガラスを多段に間隔をおいて収容
するとともに前記基板ガラスの板面に対面して開口する
窓を設けたカセットを移載可能とし、このカセットを間
欠的に昇降させる昇降手段を具備し、昇降されるカセッ
トの前記窓に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に
転接するローラ搬送手段を備えているものである。
ムは、図１に示しているように、基板ガラスの検査加工
部１へのライン入口に基板枚葉送り出し装置２を配置す
るとともに、検査加工部ライン出口に基板ガラスの良否
判別仕分手段３を配置し、当該仕分手段３の仕分位置に
対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置４を配置してい
る。そして、基板枚葉送り出し装置２および基板枚葉受
け入れ装置４は、基板ガラスを多段に間隔をおいて収容
するとともに前記基板ガラスの板面に対面して開口する
窓を設けたカセットを移載可能とし、このカセットを間
欠的に昇降させる昇降手段を具備し、昇降されるカセッ
トの前記窓に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に
転接するローラ搬送手段を備えているものである。
【０００９】まず、検査加工部１のラインの入口と出口
部分に配置される基板ガラス枚葉送り出し装置２と、受
け入れ装置４について説明する。これらの装置は共通の
構成となっており、基板ガラスを間隔をおいて多段に複
数枚収容できるようにした専用カセットを受け入れ可能
としており、ボールネジ駆動により昇降をなすカセット
昇降装置、６基の基板ガラス搬出入用のローラ搬送手段
などを備えた構成となっている。
部分に配置される基板ガラス枚葉送り出し装置２と、受
け入れ装置４について説明する。これらの装置は共通の
構成となっており、基板ガラスを間隔をおいて多段に複
数枚収容できるようにした専用カセットを受け入れ可能
としており、ボールネジ駆動により昇降をなすカセット
昇降装置、６基の基板ガラス搬出入用のローラ搬送手段
などを備えた構成となっている。
【００１０】まず、基板ガラス１０を収容する専用カセ
ット１２の詳細を図４に示す。この図に示したように、
フレーム構造からなるカセット容器本体１４は矩形の天
板１４Ａと底板１４Ｂとを有し、両者を４ヵ所の支柱１
４Ｃにより連結して構成され、四方に開口を形成してい
る。このようなカセット容器本体１４の各支柱１４の内
面には上下に一定間隔に桟部材１６が設けられており、
同一高さの桟部材１６に基板ガラス１０の縁辺を支持さ
せることによりカセット１２内に複数段にわたって収納
できるようにしている。また、専用カセット１２には収
容した基板ガラス１０の板面に対面するように複数の窓
１８が開口している。この窓１８は少なくとも底板１４
Ｂに形成されており、詳細を後述する前記ローラ搬送手
段２０が出入りできるように開口されている。一方、装
置本体側には、専用カセット１２の窓１８の開口数（図
４では模式的に４箇所の窓を開口させている）に応じた
数のローラ搬送手段２０が設けられており、相対的に専
用カセットを昇降させることによりローラ搬送手段２０
の搬送面を内部に入れ、ローラ面上にガラス基板１０を
移載することでカセット外部にローラ搬送できるように
なっているのである。
ット１２の詳細を図４に示す。この図に示したように、
フレーム構造からなるカセット容器本体１４は矩形の天
板１４Ａと底板１４Ｂとを有し、両者を４ヵ所の支柱１
４Ｃにより連結して構成され、四方に開口を形成してい
る。このようなカセット容器本体１４の各支柱１４の内
面には上下に一定間隔に桟部材１６が設けられており、
同一高さの桟部材１６に基板ガラス１０の縁辺を支持さ
せることによりカセット１２内に複数段にわたって収納
できるようにしている。また、専用カセット１２には収
容した基板ガラス１０の板面に対面するように複数の窓
１８が開口している。この窓１８は少なくとも底板１４
Ｂに形成されており、詳細を後述する前記ローラ搬送手
段２０が出入りできるように開口されている。一方、装
置本体側には、専用カセット１２の窓１８の開口数（図
４では模式的に４箇所の窓を開口させている）に応じた
数のローラ搬送手段２０が設けられており、相対的に専
用カセットを昇降させることによりローラ搬送手段２０
の搬送面を内部に入れ、ローラ面上にガラス基板１０を
移載することでカセット外部にローラ搬送できるように
なっているのである。
【００１１】このような専用カセット１２に対して基板
ガラス１０を搬出入させる枚葉処理装置の具体的構成を
図２〜３に示している。この装置は中央内部にローラ搬
送手段２０を固定設置しており、これは図示の例では６
基設けている。このローラ搬送手段２０は支持ブラケッ
ト２２を介して固定され、ローラ搬送面が装置フレーム
２４の上部開口面より若干上部に位置するように設定さ
れている。このようなローラ搬送手段２０を内包するよ
うに装置フレーム２４には昇降テーブル２６が設けられ
ている。この昇降テーブル２６は上述した専用カセット
１２を搭載して昇降可能とされている。昇降機構は、装
置フレーム２４に取り付けられたスクリュウシャフト２
８と、昇降テーブル２６に設けたナット部材３０により
構成され、ボールねじ機構によって昇降される。昇降駆
動はモータ３２によって行うが、これはテーブル２６に
載せた専用カセット１２における最上段格納位置もしく
は最下段格納位置にローラ面が一致した時を基準とし
て、以後はガラス格納ピッチ間隔で間欠昇降されるよう
に制御される。
ガラス１０を搬出入させる枚葉処理装置の具体的構成を
図２〜３に示している。この装置は中央内部にローラ搬
送手段２０を固定設置しており、これは図示の例では６
基設けている。このローラ搬送手段２０は支持ブラケッ
ト２２を介して固定され、ローラ搬送面が装置フレーム
２４の上部開口面より若干上部に位置するように設定さ
れている。このようなローラ搬送手段２０を内包するよ
うに装置フレーム２４には昇降テーブル２６が設けられ
ている。この昇降テーブル２６は上述した専用カセット
１２を搭載して昇降可能とされている。昇降機構は、装
置フレーム２４に取り付けられたスクリュウシャフト２
８と、昇降テーブル２６に設けたナット部材３０により
構成され、ボールねじ機構によって昇降される。昇降駆
動はモータ３２によって行うが、これはテーブル２６に
載せた専用カセット１２における最上段格納位置もしく
は最下段格納位置にローラ面が一致した時を基準とし
て、以後はガラス格納ピッチ間隔で間欠昇降されるよう
に制御される。
【００１２】上述したローラ搬送手段２０は図示の例で
は６基設けられているが、固定配置されたローラ搬送手
段２０を内蔵した状態で昇降テーブル２６が昇降動する
ために、テーブル２６にはローラ搬送手段２０に位置に
対応して昇降窓３４が設けられている。一方、専用カセ
ット１２にも同一の形状、配置にて窓１８が開口されて
いるのである。これによって、専用カセット１２が昇降
テーブル２６上に移動されて定位置に停止した場合、昇
降テーブル２６の動作によって昇降するカセット１２内
にローラ搬送手段２０が出入りし、適宜ローラ搬送面を
基板ガラス１０の収納高さに位置合わせすることによっ
て、基板ガラス１０を１枚ずつ搬出し、あるいはカセッ
ト内部に搬入することができる。
は６基設けられているが、固定配置されたローラ搬送手
段２０を内蔵した状態で昇降テーブル２６が昇降動する
ために、テーブル２６にはローラ搬送手段２０に位置に
対応して昇降窓３４が設けられている。一方、専用カセ
ット１２にも同一の形状、配置にて窓１８が開口されて
いるのである。これによって、専用カセット１２が昇降
テーブル２６上に移動されて定位置に停止した場合、昇
降テーブル２６の動作によって昇降するカセット１２内
にローラ搬送手段２０が出入りし、適宜ローラ搬送面を
基板ガラス１０の収納高さに位置合わせすることによっ
て、基板ガラス１０を１枚ずつ搬出し、あるいはカセッ
ト内部に搬入することができる。
【００１３】前記昇降テーブル２６には専用カセット１
２をテーブル上に移動させ、あるいはテーブル外に移動
させるために、カセット移動ローラ手段３６が設けられ
ている。これは図２（１）に示しているように、カセッ
ト１２の下面縁辺に対応する４ヵ所に設けられ、カセッ
ト移動に際して上方にせりあがってカセット１２の移動
ができるようになっている。
２をテーブル上に移動させ、あるいはテーブル外に移動
させるために、カセット移動ローラ手段３６が設けられ
ている。これは図２（１）に示しているように、カセッ
ト１２の下面縁辺に対応する４ヵ所に設けられ、カセッ
ト移動に際して上方にせりあがってカセット１２の移動
ができるようになっている。
【００１４】ここで、実施形態に係る基板ガラス検査加
工システムでは、上述した基板ガラス１０の枚葉処理装
置は検査加工部１のライン入口に配置すると基板枚葉送
り出し装置２として機能し、ライン出口に配置される基
板枚葉受け入れ装置４として機能する。特に図１に示し
ているように、加工検査部１のライン出口にはラインと
直交する方向に移動可能な製品良否判別仕分手段として
のトラバースコンベア３８が設けられ、このトラバース
コンベア３８の取り得る２つの位置に対面してそれぞれ
基板枚葉受け入れ装置４が一対配置されているのであ
る。検査加工部１にて加工もしくは検査された基板ガラ
ス１０の良否によってトラバースコンベア３８が良品位
置か不良品位置のいずれか一方に選択移動し、良品と不
良品とを分別してカセット１２に受け入れ収納するよう
になっている。
工システムでは、上述した基板ガラス１０の枚葉処理装
置は検査加工部１のライン入口に配置すると基板枚葉送
り出し装置２として機能し、ライン出口に配置される基
板枚葉受け入れ装置４として機能する。特に図１に示し
ているように、加工検査部１のライン出口にはラインと
直交する方向に移動可能な製品良否判別仕分手段として
のトラバースコンベア３８が設けられ、このトラバース
コンベア３８の取り得る２つの位置に対面してそれぞれ
基板枚葉受け入れ装置４が一対配置されているのであ
る。検査加工部１にて加工もしくは検査された基板ガラ
ス１０の良否によってトラバースコンベア３８が良品位
置か不良品位置のいずれか一方に選択移動し、良品と不
良品とを分別してカセット１２に受け入れ収納するよう
になっている。
【００１５】ライン入口に配置された基板枚葉送り出し
装置２に並列してその側部には空カセットのためのバッ
ファステーション４０が形成され、また、これらの入側
には更に実カセット１２（基板ガラス１０が収納された
ものを意味する。）を搬入するために、カセットステー
ション４２が設けられている。各ステーション４０、４
２はローラ搬送面を有し、基板枚葉送り出し装置２への
実カセットの供給と、払い出された後の空カセットの払
い出しを可能としている。
装置２に並列してその側部には空カセットのためのバッ
ファステーション４０が形成され、また、これらの入側
には更に実カセット１２（基板ガラス１０が収納された
ものを意味する。）を搬入するために、カセットステー
ション４２が設けられている。各ステーション４０、４
２はローラ搬送面を有し、基板枚葉送り出し装置２への
実カセットの供給と、払い出された後の空カセットの払
い出しを可能としている。
【００１６】更に、ライン出口におけるトラバースコン
ベア３８の停止位置の２ヵ所の丁度中間には空カセット
を左右一対の基板枚葉受け入れ装置４にそれぞれ供給で
きるカセットソーティングステーション４４が設けられ
ている。そして、一対の基板枚葉受け入れ装置４の出側
には払い出しステーション４６が、カセットソーティン
グステーション４４の出側には空カセットの受け入れス
テーション４８が設けられている。
ベア３８の停止位置の２ヵ所の丁度中間には空カセット
を左右一対の基板枚葉受け入れ装置４にそれぞれ供給で
きるカセットソーティングステーション４４が設けられ
ている。そして、一対の基板枚葉受け入れ装置４の出側
には払い出しステーション４６が、カセットソーティン
グステーション４４の出側には空カセットの受け入れス
テーション４８が設けられている。
【００１７】このように構成された基板ガラス検査加工
システムでの枚葉処理は次のように作動させられる。ま
ず、基板ガラス１０の枚葉化して検査加工部１に払い出
す手順は次のようになる。図５（１）に示しているよう
に、基板ガラス送り出し装置２にセットされた実カセッ
ト１２が外部より移送され、実カセット１２が上昇した
状態であり、カセット移動ローラ手段３６がテーブル２
６面から下降することにより、図５（２）に示す如く、
カセット最下段収納高さ位置と搬送コンベアと高さ位置
が一致し、基板搬出準備が完了する。このように外部搬
送コンベアと昇降テーブル２６の内部に配置されている
ローラ搬送手段２０の搬送面高さが一致した後、最下段
の基板ガラス１０から搬出方向にローラ搬送手段２０を
駆動することにより、専用カセット１２から外部の搬送
コンベアに基板ガラス１０は移動し、検査加工部１の場
所へと１枚搬送できる。
システムでの枚葉処理は次のように作動させられる。ま
ず、基板ガラス１０の枚葉化して検査加工部１に払い出
す手順は次のようになる。図５（１）に示しているよう
に、基板ガラス送り出し装置２にセットされた実カセッ
ト１２が外部より移送され、実カセット１２が上昇した
状態であり、カセット移動ローラ手段３６がテーブル２
６面から下降することにより、図５（２）に示す如く、
カセット最下段収納高さ位置と搬送コンベアと高さ位置
が一致し、基板搬出準備が完了する。このように外部搬
送コンベアと昇降テーブル２６の内部に配置されている
ローラ搬送手段２０の搬送面高さが一致した後、最下段
の基板ガラス１０から搬出方向にローラ搬送手段２０を
駆動することにより、専用カセット１２から外部の搬送
コンベアに基板ガラス１０は移動し、検査加工部１の場
所へと１枚搬送できる。
【００１８】２枚目の基板ガラス１０の取り出しは、昇
降テーブル２６の昇降装置を駆動して、カセット高さを
１段下げ、下から２段面の基板ガラス１０を外部に搬送
できるようにし、以後同様な操作を行うことで外部に搬
出することができる。以降同じ操作を繰り返すことによ
り、実カセット１２から基板ガラス１０を１枚ずつ外部
に搬送することができ（図５（３））、基板ガラス１０
の枚葉化処理して検査加工部１に簡単に送り出しができ
る。
降テーブル２６の昇降装置を駆動して、カセット高さを
１段下げ、下から２段面の基板ガラス１０を外部に搬送
できるようにし、以後同様な操作を行うことで外部に搬
出することができる。以降同じ操作を繰り返すことによ
り、実カセット１２から基板ガラス１０を１枚ずつ外部
に搬送することができ（図５（３））、基板ガラス１０
の枚葉化処理して検査加工部１に簡単に送り出しができ
る。
【００１９】次に、検査加工が終了した基板ガラス１０
は検査加工部１から１枚ずつ送り出されて、まず製品良
否判別仕分手段としてのトラバースコンベア３８に送ら
れ、これが検査結果に基づいてＧＯ位置あるいはＮＧ位
置に仕分移動される。各位置に対面して配置された基板
ガラス受け入れ装置４に配置されている空の専用カセッ
ト１２に基板ガラス１０を挿入する場合は次のようにな
る。
は検査加工部１から１枚ずつ送り出されて、まず製品良
否判別仕分手段としてのトラバースコンベア３８に送ら
れ、これが検査結果に基づいてＧＯ位置あるいはＮＧ位
置に仕分移動される。各位置に対面して配置された基板
ガラス受け入れ装置４に配置されている空の専用カセッ
ト１２に基板ガラス１０を挿入する場合は次のようにな
る。
【００２０】受け入れ装置４の昇降テーブル２６に専用
カセット１２を設置し、昇降機構により空カセット１２
を下限位置に下げる。ローラ搬送手段２０は昇降テーブ
ル２６の昇降窓３４と、専用カセット１２の窓１８を利
用することにより、空カセット最上部格納棚位置にな
る。この状態で、外部基板搬送コンベアの高さ位置と空
カセット収納高さ位置が一致し、基板ガラス１０の移動
が可能となる。すなわち、外部コンベアから空専用カセ
ット１２方向へ基板ガラス１０が移動してくれば、基板
ガラス１０は内部のローラ搬送手段２０を介して最上部
格納位置に送られてくる。格納位置まできた基板ガラス
１０は、手動でローラを停止するか、別途設けてある基
板位置検出装置により自動停止する。
カセット１２を設置し、昇降機構により空カセット１２
を下限位置に下げる。ローラ搬送手段２０は昇降テーブ
ル２６の昇降窓３４と、専用カセット１２の窓１８を利
用することにより、空カセット最上部格納棚位置にな
る。この状態で、外部基板搬送コンベアの高さ位置と空
カセット収納高さ位置が一致し、基板ガラス１０の移動
が可能となる。すなわち、外部コンベアから空専用カセ
ット１２方向へ基板ガラス１０が移動してくれば、基板
ガラス１０は内部のローラ搬送手段２０を介して最上部
格納位置に送られてくる。格納位置まできた基板ガラス
１０は、手動でローラを停止するか、別途設けてある基
板位置検出装置により自動停止する。
【００２１】次の基板ガラス１０を挿入するためには、
最上部格納位置に最初の基板ガラス収納確認後、カセッ
ト昇降装置を作動させて、昇降テーブル２６を一段階上
昇させる。一段階上昇させることにより、外部搬送コン
ベアと搬送高さが一致することにより、搬入準備が完了
する。この受け入れ準備完了で、外部搬送コンベアを移
動させることにより、２枚目の基板ガラスを同様に２段
目収容位置に格納できる。
最上部格納位置に最初の基板ガラス収納確認後、カセッ
ト昇降装置を作動させて、昇降テーブル２６を一段階上
昇させる。一段階上昇させることにより、外部搬送コン
ベアと搬送高さが一致することにより、搬入準備が完了
する。この受け入れ準備完了で、外部搬送コンベアを移
動させることにより、２枚目の基板ガラスを同様に２段
目収容位置に格納できる。
【００２２】以降同様な手順で最下段格納棚まで基板ガ
ラス１０を収納できる。専用カセット１２に基板ガラス
１０が収納完了すれば、枚葉化装置のカセット昇降支持
部よりカセット移動ローラ手段３６が上昇して、専用カ
セット１２を外部に移送する。全体としては、専用カセ
ット１２の外部へ移送後、空の専用カセット１２が枚葉
化装置に移送され、受け入れ準備が行われ、以降同じ手
順で、空カセット１２に基板ガラス１０が収納される。
ラス１０を収納できる。専用カセット１２に基板ガラス
１０が収納完了すれば、枚葉化装置のカセット昇降支持
部よりカセット移動ローラ手段３６が上昇して、専用カ
セット１２を外部に移送する。全体としては、専用カセ
ット１２の外部へ移送後、空の専用カセット１２が枚葉
化装置に移送され、受け入れ準備が行われ、以降同じ手
順で、空カセット１２に基板ガラス１０が収納される。
【００２３】このように、本実施の形態では、基板ガラ
ス１０を専用カセット１２に複数収納した状態から、１
枚ずつ検査加工処理工程に送り出すための枚葉処理を簡
単に行うことができ、更に検査加工処理が終了した基板
ガラス１０を再度カセット１２に多段に収容することが
できる。この作業は自動で行うことができ、特に基板ガ
ラス１０が大型化していても、カセット１２に対する出
入り操作は、カセット１２の内部に入り込むことができ
るローラ搬送手段２０によって行われるので、基板ガラ
ス１０が撓まない位置で支持しつつ適正に送り出すこと
ができ、基板ガラスに対する悪影響を与えることがな
い。
ス１０を専用カセット１２に複数収納した状態から、１
枚ずつ検査加工処理工程に送り出すための枚葉処理を簡
単に行うことができ、更に検査加工処理が終了した基板
ガラス１０を再度カセット１２に多段に収容することが
できる。この作業は自動で行うことができ、特に基板ガ
ラス１０が大型化していても、カセット１２に対する出
入り操作は、カセット１２の内部に入り込むことができ
るローラ搬送手段２０によって行われるので、基板ガラ
ス１０が撓まない位置で支持しつつ適正に送り出すこと
ができ、基板ガラスに対する悪影響を与えることがな
い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は基板ガラ
スの検査加工部へのライン入口に基板枚葉送り出し装置
を配置するとともに、検査加工部ライン出口に基板ガラ
スの良否判別仕分手段を配置し、当該仕分手段の仕分位
置に対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置を配置してな
り、前記基板枚葉送り出し装置および基板枚葉受け入れ
装置は基板ガラスを多段に間隔をおいて収容するととも
に前記基板ガラスの板面に対面して開口する窓を設けた
カセットを移載可能とし、このカセットを間欠的に昇降
させる昇降手段を具備し、昇降されるカセットの前記窓
に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に転接するロ
ーラ搬送手段を備えてなり、基板ガラスを枚葉単位で検
査加工部にローラ送り出しをなすとともに、検査加工終
了後に枚葉単位で送り出される基板ガラスをカセットに
多段収容可能とした構成としたので、多段に複数枚のガ
ラス類を収納可能なカセットに対してガラス類を円滑に
出し入れして検査加工部との間で枚葉処理できるととも
に、ガラス類が大型化しても撓んだりすることがないよ
うにした基板ガラス検査加工システムとすることができ
る。
スの検査加工部へのライン入口に基板枚葉送り出し装置
を配置するとともに、検査加工部ライン出口に基板ガラ
スの良否判別仕分手段を配置し、当該仕分手段の仕分位
置に対面して基板ガラス枚葉受け入れ装置を配置してな
り、前記基板枚葉送り出し装置および基板枚葉受け入れ
装置は基板ガラスを多段に間隔をおいて収容するととも
に前記基板ガラスの板面に対面して開口する窓を設けた
カセットを移載可能とし、このカセットを間欠的に昇降
させる昇降手段を具備し、昇降されるカセットの前記窓
に出入り可能とされ前記基板ガラスの下面に転接するロ
ーラ搬送手段を備えてなり、基板ガラスを枚葉単位で検
査加工部にローラ送り出しをなすとともに、検査加工終
了後に枚葉単位で送り出される基板ガラスをカセットに
多段収容可能とした構成としたので、多段に複数枚のガ
ラス類を収納可能なカセットに対してガラス類を円滑に
出し入れして検査加工部との間で枚葉処理できるととも
に、ガラス類が大型化しても撓んだりすることがないよ
うにした基板ガラス検査加工システムとすることができ
る。
【図１】実施形態に係る基板ガラス検査加工システムの
構成図である。
構成図である。
【図２】同システムに用いられる基板ガラスの枚葉処理
装置の平面図と正面図である。
装置の平面図と正面図である。
【図３】同装置の側面断面図である。
【図４】専用カセットの斜視図である。
【図５】枚葉処理装置の基板ガラス取り出し作業工程の
説明図である。
説明図である。
１０ 基板ガラス １２ 専用カセット １４ カセット容器本体 １４Ａ 天板 １４Ｂ 底板 １４Ｃ 支柱 １６ 桟部材 １８ ローラ出入り窓 ２０ ローラ搬送手段 ２２ 支持ブラケット ２４ 装置フレーム ２６ 昇降テーブル ２８ スクリュウシャフト ３０ ナット部材 ３２ モータ ３４ 昇降窓 ３６ カセット移動ローラ手段
Claims (1)
- 【請求項１】 基板ガラスの検査加工部へのライン入口
に基板枚葉送り出し装置を配置するとともに、検査加工
部ライン出口に基板ガラスの良否判別仕分手段を配置
し、当該仕分手段の仕分位置に対面して基板ガラス枚葉
受け入れ装置を配置しており、前記基板枚葉送り出し装
置および基板枚葉受け入れ装置は基板ガラスを多段に間
隔をおいて収容するとともに前記基板ガラスの板面に対
面して開口する窓を設けたカセットを移載可能とし、こ
のカセットを間欠的に昇降させる昇降手段を具備し、昇
降されるカセットの前記窓に出入り可能とされ前記基板
ガラスの下面に転接するローラ搬送手段を備えてなり、
基板ガラスを枚葉単位で検査加工部にローラ送り出しを
なすとともに、検査加工終了後に枚葉単位で送り出され
る基板ガラスをカセットに多段収容可能としたことを特
徴とする基板ガラス検査加工システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26925497A JPH1179389A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 基板ガラス検査加工システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26925497A JPH1179389A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 基板ガラス検査加工システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1179389A true JPH1179389A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17469801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26925497A Pending JPH1179389A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 基板ガラス検査加工システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1179389A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002167038A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板移載装置 |
| JP2005060110A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Chi Mei Optoelectronics Corp | 順次式基板カセット用基板搬送装置 |
| WO2005045920A1 (ja) * | 2003-11-06 | 2005-05-19 | Shinko Electric Co., Ltd. | 基板搬入出装置、基板搬送方法及びその装置 |
| JP2005138944A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Shinko Electric Co Ltd | 基板搬入出装置 |
| WO2006091836A1 (en) * | 2005-02-24 | 2006-08-31 | Teva Pharmaceutical Industries, Ltd. | Formulations of ladostigil tartrate |
| WO2005091919A3 (en) * | 2004-03-05 | 2006-09-21 | Corning Inc | Closed cassette and method for heat treating glass sheets |
| KR100788733B1 (ko) | 2005-12-05 | 2007-12-26 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 검사장치 및 방법 |
| CN101219736A (zh) * | 2007-01-10 | 2008-07-16 | 大福股份有限公司 | 板状物品用搬运车 |
| CN105480633A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-13 | 英德欧姆智能机械有限公司 | 全自动穿梭智能仓储系统 |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP26925497A patent/JPH1179389A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002167038A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 基板移載装置 |
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| KR100847627B1 (ko) | 2003-11-06 | 2008-07-21 | 신꼬오덴끼가부시끼가이샤 | 기판 반입출 장치 |
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| CN100426484C (zh) * | 2003-11-06 | 2008-10-15 | 神钢电机株式会社 | 基板搬入搬出装置 |
| JP4608870B2 (ja) * | 2003-11-06 | 2011-01-12 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 基板搬入出装置 |
| WO2005091919A3 (en) * | 2004-03-05 | 2006-09-21 | Corning Inc | Closed cassette and method for heat treating glass sheets |
| US7363777B2 (en) | 2004-03-05 | 2008-04-29 | Corning Incorporated | Closed cassette and method for heat treating glass sheets |
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| CN105480633A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-13 | 英德欧姆智能机械有限公司 | 全自动穿梭智能仓储系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040609 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060808 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060829 |