CN115483129A - 输送系统及处理系统 - Google Patents
输送系统及处理系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115483129A CN115483129A CN202210599341.XA CN202210599341A CN115483129A CN 115483129 A CN115483129 A CN 115483129A CN 202210599341 A CN202210599341 A CN 202210599341A CN 115483129 A CN115483129 A CN 115483129A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tray
- load
- empty
- conveying mechanism
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 380
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 35
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 description 29
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 229920001875 Ebonite Polymers 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明提供一种能够抑制作业者的负担并搬入、搬出多个托盘的输送系统。输送系统(1)具有:空载托盘提供用的第一台车(3);分离机构(5),其包括将多个空载托盘(15A)中的最下层的空载托盘(15A)输送到第一托盘载置位置(60B)的第一托盘输送机构(6);第二托盘输送机构(7),其用于将空载托盘(15A)从第一托盘载置位置(60B)输送到工件搭载位置(101A);工件移载机构(8),其将显示面板(100)载置在输送到工件搭载位置(101A)的空载托盘(15A)上;堆叠机构(9),其包括将负载托盘(15B)从工件搭载位置(101A)输送到负载托盘排出位置(101B)的第三托盘输送机构(10),将负载托盘(15B)堆叠在载置于负载托盘排出位置(101B)的负载托盘(15B)的下层;以及空载托盘排出用的第二台车(4),其转移多个负载托盘(15B)。
Description
技术领域
本发明涉及输送液晶面板等显示面板的输送系统以及具备该输送系统的处理系统。
背景技术
已知有组装到在便携设备等中使用的液晶显示装置的组装生产线中的输送系统(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的输送系统具备:将收纳有显示面板的托盘以堆叠的状态搬入的搬入输送机;载置托盘的第一托盘台及第二托盘台;从载置于第一托盘台及第二托盘台的托盘取出显示面板的第一机器人;将空的托盘以堆叠的状态排出的排出输送机;将托盘从搬入输送机交接到第一托盘台及第二托盘台,并且将托盘从第一托盘台及第二托盘台交接到排出输送机的第二机器人。
在专利文献1记载的输送系统中,作业者通过手工作业将堆叠的多个托盘搬入到搬入输送机。另外,作业者通过手工作业将堆叠的多个托盘从排出输送机搬出。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1:日本特开2018-127332号公报
在专利文献1记载的输送系统中,在通过作业者的手工作业将多个托盘搬入、搬出的情况下,存在作业者的负担大的问题。另外,在托盘中收纳有显示面板的情况下,存在如下问题:当作业者在搬入、搬出时误将托盘放倒时,所收纳的显示面板破损。
发明内容
鉴于以上的问题,本发明的课题在于提供一种能够抑制作业者的负担并且能够搬入、搬出多个托盘的输送系统。
为了解决上述课题,本发明的输送系统的特征在于,具有:空载托盘提供用的第一台车,所述第一台车堆叠有未载置工件的多个空载托盘;分离机构,所述分离机构包括第一托盘输送机构,所述第一托盘输送机构在从所述第一台车转移所述多个空载托盘的空载托盘提供位置将所述多个空载托盘中的最下层的空载托盘输送到第一托盘载置位置;第二托盘输送机构,所述第二托盘输送机构用于将由所述分离机构分离后的所述空载托盘从所述第一托盘载置位置输送到工件搭载位置;工件移载机构,所述工件移载机构将工件载置在被输送至所述工件搭载位置的所述空载托盘上;堆叠机构,所述堆叠机构具有第三托盘输送机构,所述第三托盘输送机构将由所述工件移载机构载置有工件的负载托盘从所述工件搭载位置输送至负载托盘排出位置,所述堆叠机构将由所述第三托盘输送机构输送来的负载托盘堆叠在被载置于所述负载托盘排出位置的负载托盘的下层;以及空载托盘排出用的第二台车,所述第二台车将由所述堆叠机构堆叠的多个所述负载托盘从所述负载托盘排出位置转移。
在本发明中,使用空载托盘提供用的第一台车,将未载置工件的多个空载托盘搬入输送系统。另外,使用负载托盘排出用的第二台车,从输送系统搬出载置有工件的多个负载托盘。因此,由于不通过手工作业搬入、搬出多个托盘,所以能够减轻在输送系统中搬入、搬出多个托盘时的作业者的负担。
分离机构在空载托盘提供位置将多个空载托盘中的最下层的空载托盘输送到第一托盘载置位置。堆叠机构将由第三托盘输送机构输送来的负载托盘堆叠在载置于负载托盘排出位置的负载托盘的下层。在此,在分离机构对多个空载托盘中配置在最上层的空载托盘进行分离的情况下,需要使分离后的空载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。同样地,在堆叠机构将负载托盘堆叠在多个负载托盘中最上层的情况下,需要使负载托盘在高度方向上移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。但是,在本发明中,将多个空载托盘中最下层的空载托盘输送到第一托盘载置位置,并且将负载托盘堆叠在载置于负载托盘排出位置的负载托盘的下层。因此,输送系统能够与托盘的张数无关地以一定的周期进行托盘的分离以及托盘的堆叠。因此,能够缩短输送系统的生产节拍时间。另外,不需要使分离后的空载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构和使负载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构。
在本发明中,较为理想的是,在所述第一台车设置有从下方支撑堆叠的所述多个空载托盘的第一输送机,在所述第一托盘输送机构设置有与所述第一输送机连接的第二输送机,在所述第二台车设置有从下方支撑堆叠的所述多个负载托盘的第三输送机,在所述第三托盘输送机构设置有与所述第三输送机连接的第四输送机。如果这样构成,则在从第一台车向第一托盘输送机构搬入空载托盘时,容易搬入空载托盘。另外,在从第三托盘输送机构向第二台车排出负载托盘时,容易排出负载托盘。
在本发明中,优选所述第一托盘输送机构对所述空载托盘的输送方向以及所述第三托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向均为沿着第一方向的方向,所述第二托盘输送机构的输送方向是与所述第一方向交叉的第二方向。如果这样构成,则在使用于向第一托盘输送机构提供空载托盘的第一台车、以及接受从第三托盘输送机构排出的负载托盘的第二台车移动时,作业者能够使第一台车以及第二台车相对于输送系统从同一方向移动。
在本发明中,优选沿着所述第二方向配置有多个使用了所述第二台车的负载托盘搬出机构。在这种情况下,优选所述多个负载托盘搬出机构分别与检查所述工件时的结果对应。因此,在工件移载机构基于工件的检查结果使工件移动的情况下,如果配置有多个使用了第二台车的负载托盘搬出机构,则能够配置与检查结果对应的第二台车。由此,输送系统能够同时输送检查结果不同的多个工件。
在本发明中,能够采用上述工件移载机构是水平多关节机器人的方式。
在本发明中,优选在所述多个负载托盘搬出机构中的第一搬出机构和所述多个负载托盘搬出机构中的与所述第一搬出机构不同的第二搬出机构中,所述工件移载机构载置所述工件时的所述工件搭载位置在所述第一方向上错开,在所述第一搬出机构中,所述工件移载机构将所述工件载置于被输送至所述工件搭载位置的所述空载托盘,在所述第二搬出机构中,通过所述第三托盘输送机构,将所述第二托盘输送机构输送来的空载托盘沿着所述第一方向输送至所述工件搭载位置之后,输送至所述负载托盘排出位置。在此,在第一搬出机构和第二搬出机构沿第二方向排列的负载托盘搬出机构的情况下,工件移载机构的移动范围需要沿第二方向变大,工件移载机构大型化。但是,在本发明中,在第二搬出机构中,通过第三托盘输送机构,将第二托盘输送机构输送来的空载托盘沿着第一方向输送至所述工件搭载位置,所以在第一搬出机构和第二搬出机构中,工件移载机构载置工件时的工件搭载位置在第一方向上错开。由此,与第二搬出机构的第三托盘输送机构不将空载托盘沿着第一方向输送至所述工件搭载位置的情况相比,工件移载机构的第二方向的移动范围变小。其结果是,即使在输送系统具备多个负载托盘搬出机构的情况下,也能够抑制工件移载机构大型化。
本发明的输送系统的特征在于,具有:负载托盘提供用的第一台车,所述第一台车堆叠有多个负载托盘,所述负载托盘载置有工件;分离机构,所述分离机构包括第一托盘输送机构,所述第一托盘输送机构在所述多个负载托盘从所述第一台车转移的负载托盘提供位置将所述多个负载托盘中的最下层的负载托盘输送到第一托盘载置位置;第二托盘输送机构,所述第二托盘输送机构将由所述分离机构分离的所述负载托盘输送到工件取出位置;工件移载机构,所述工件移载机构在所述工件取出位置从负载托盘取出工件;堆叠机构,所述堆叠机构包括第三托盘输送机构,所述第三托盘输送机构将由所述工件移载机构取出了工件的空载托盘输送到空载托盘排出位置,所述堆叠机构将由所述第三托盘输送机构输送来的空载托盘堆叠在载置于所述空载托盘排出位置的空载托盘的下层;以及空载托盘排出用的第二台车,所述第二台车将由所述堆叠机构堆叠的多个所述空载托盘从所述空载托盘排出位置转移。
在本发明中,使用负载托盘提供用的第一台车,将载置有工件的多个负载托盘搬入输送系统。另外,使用空载托盘排出用的第二台车,将未载置工件的多个空载托盘从输送系统搬出。因此,由于不通过手工作业搬入、搬出多个托盘,所以能够减轻在输送系统中搬入、搬出多个托盘时的作业者的负担。
分离机构在负载托盘提供位置将多个负载托盘中的最下层的负载托盘输送到第一托盘载置位置。堆叠机构将由第三托盘输送机构输送来的空载托盘堆叠在载置于空载托盘排出位置的空载托盘的下层。在此,在分离机构将多个负载托盘中配置在最上层的负载托盘分离的情况下,需要使分离后的负载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。同样地,在堆叠机构将空载托盘堆叠在多个空载托盘中最上层的情况下,需要使空载托盘在高度方向上移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。但是,在本发明中,将多个负载托盘中的最下层的负载托盘输送到第一托盘载置位置,并且将空载托盘堆叠在载置于空载托盘排出位置的空载托盘的下层。因此,输送系统能够与托盘的张数无关地以一定的周期进行托盘的分离以及托盘的堆叠。因此,能够缩短输送系统的生产节拍时间。另外,不需要使分离后的负载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构和使空载托盘沿高度方向移动的托盘输送机构。
在本发明中,优选的是,在所述第一台车设置有从下方支撑多层堆叠的所述多个负载托盘的第一输送机,在所述第一托盘输送机构设置有与所述第一输送机连接的第二输送机,在所述第二台车设置有从下方支撑多层堆叠的所述多个空载托盘的第三输送机,在所述第三托盘输送机构设置有与所述第三输送机连接的第四输送机。如果这样构成,则在从第一台车向第一托盘输送机构搬入负载托盘时,容易搬入负载托盘。另外,在从第三托盘输送机构向第二台车排出空载托盘时,容易排出空载托盘。
在本发明中,优选所述第二托盘输送机构将在所述工件取出位置取出了所述工件的所述空载托盘输送到与所述第三托盘输送机构之间的空载托盘载置位置。如果这样构成,则不需要另外设置从工件取出位置到空载托盘载置位置输送空载托盘的机构。
在本发明中,优选所述第一托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向以及所述第三托盘输送机构对所述空载托盘的输送方向均为沿着第一方向的方向,所述第二托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向是与所述第一方向交叉的第二方向。如果这样构成,则在使用于向第一托盘输送机构提供负载托盘的第一台车、以及接受从第三托盘输送机构排出的空载托盘的第二台车移动时,作业者能够使第一台车以及第二台车相对于输送系统从同一方向移动。
在本发明中,能够采用上述工件移载机构是水平多关节机器人的方式。
本发明的处理系统是具备上述记载的输送系统的处理系统,其特征在于,包括检查装置,所述检查装置在从所述负载托盘提供位置到所述负载托盘排出位置输送工件为止的期间进行工件的检查。
在本发明中,由于能够通过第一台车及第二台车搬入、搬出多个托盘,因此能够抑制作业者的负担。另外,在搬入、搬出多个托盘时,能够抑制误将托盘放倒的情况。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的输送系统的俯视图。
图2是输送系统的主视图。
图3是从图1的A-A方向示出输送系统的主视图。
图4是第一托盘输送机构、第三托盘输送机构的侧视图。
图5是分离部和堆叠部的侧视图。
图6是说明分离部的动作的图。
图7是说明分离部的动作的图。
图8是说明堆叠部的动作的图。
图9是说明堆叠部的动作的图。
图10是本发明的第二实施方式的输送系统的俯视图。
图11是输送系统的主视图。
图12是从图10的A-A方向示出输送系统的主视图。
(符号说明)
1…输送系统、2…主体部、3…第一台车、4、4A、4B、4C…第二台车、5…分离机构、6…第一托盘输送机构、7…第二托盘输送机构、7…分离机构、8…工件移载机构、9、9A、9B、9C…堆叠机构、10、10A、10B、10C…第三托盘输送机构、11…负载托盘搬出机构、11A…第一搬出机构、11B…第二搬出机构、15…托盘、15A…空载托盘、15B…负载托盘、15a…凸缘部、16…搬入机构、17…检查装置、19…载置部、19A…工件取出位置、31…第一输送机、41…第三输送机、51…分离部、52…保持部、53…升降部、54…保持构件、55…驱动部、56…抵接部、57…支撑爪部、58…支撑部、58a…板部分、59…驱动部、60A…空载托盘提供位置、60B…第一托盘载置位置、60C…负载托盘提供位置、60D…第一托盘载置位置、61…第二输送机、62…辊、63…引导部、65…升降部、66…支撑部、67…驱动部、68…板部分、71…保持部、72…驱动部、81…保持部、82…臂主体部、91…堆叠部、92…保持部、93…升降部、94…保持构件、95…驱动部、96…抵接部、97…支撑爪部、98…支撑部、98a…板部分、99…驱动部、100…显示面板、101…第四输送机、101A…工件搭载位置、101B…负载托盘排出位置、101C…空载托盘载置位置、101D…空载托盘排出位置、102…辊、103…引导部、104…止动部、105…升降部、106…支撑部、106A…第一部分、106B…第二部分、107…驱动部、108…板部分、109…驱动部、161…载物台、162…驱动部、171…输送部、172…载物台、173…驱动部、191…载物台、192…定位构件、193…驱动部、311…辊、411…辊、721…Z轴驱动部、722…Y轴驱动部、S…间隙。
具体实施方式
(第一实施方式)
以下,参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。在以下的说明中,以工件为显示面板100的情况为中心进行说明。图1是本发明的第一实施方式的输送系统的俯视图。图2是输送系统的主视图。图3是从图1的A-A方向示出输送系统的主视图。图4是第一托盘输送机构和第三托盘输送机构的侧视图,图4(a)是示出第一托盘输送机构的图,图4(b)是示出第三托盘输送机构的图。图5是分离部及堆叠部的侧视图,图5(a)是示出分离部的图,图5(b)是示出堆叠部的图。
(输送系统的整体结构)
图1所示的本方式的输送系统1组装到在便携设备等中使用的小型的液晶显示器的制造生产线中来使用。当通过搬入机构16搬入作为在前工序中检查的工件的显示面板100时,输送系统1基于搬入的显示面板100的检查结果,将显示面板100输送到托盘15。显示面板100是液晶面板、有机EL面板等。显示面板100形成为矩形形状。在本实施方式中,前工序是显示面板100的点亮检查的工序,显示面板100基于点亮检查的检查结果被分类为合格品、不合格品、再检查品中的任一种。
如图1~图3所示,输送系统1具备主体部2、堆叠有未载置显示面板100的多个空载托盘15A的第一台车3、堆叠有载置有显示面板100的多个负载托盘15B的第二台车4。第一台车3和第二台车4沿着规定的移动方向从主体部2搬出,并且被搬入主体部2。在本实施方式中,作为第二台车4设置有第二台车4A、第二台车4B以及第二台车4C。
这里,在图中,将相互正交的方向设为X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向。将第一台车3及第二台车4的移动方向设为X轴方向,将第一台车3及第二台车4从主体部2搬出的方向设为X1方向,将第一台车3及第二台车4搬入主体部2的方向设为X2方向。第一台车3和第二台车4沿Y轴方向排列。在Z轴方向上,将上方设为Z1方向,将下方设为Z2方向。
主体部2具备:分离机构5,其包含输送多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A的第一托盘输送机构6;第二托盘输送机构7,其输送由分离机构5分离的空载托盘15A;工件移载机构8,其在由第二托盘输送机构7输送的空载托盘15A上载置显示面板100;以及堆叠机构9,其包含输送由工件移载机构8载置有显示面板100的负载托盘15B的第三托盘输送机构10,堆叠由第三托盘输送机构10输送的负载托盘15B。在本实施方式中,作为堆叠机构9,设置有包括第三托盘输送机构10A的堆叠机构9A、包括第三托盘输送机构10B的堆叠机构9B、包括第三托盘输送机构10C的堆叠机构9C。
在此,第二台车4、堆叠机构9构成负载托盘搬出机构11。在本实施方式中,设置有多个负载托盘搬出机构11。更具体地说,负载托盘搬出机构11具备第一搬出机构11A和第二搬出机构11B。第一搬出机构11A由第二台车4A、堆叠机构9A、第二台车4B及堆叠机构9B构成。第二搬出机构11B由第二台车4C及堆叠机构9C构成。
作为本实施方式的托盘15的空载托盘15A和负载托盘15B由同一托盘构成。空载托盘15A和负载托盘15B形成为大致长方形的平板状。在空载托盘15A及负载托盘15B的上表面形成有收纳显示面板100的凹部。
(搬入机构)
如图1~图3所示,搬入机构16将在前工序中检查过的显示面板100向输送系统1输送。搬入机构16具备载置显示面板100的载物台161和使载物台161沿X轴方向往复移动的驱动部162。载物台161的外形形状为四边形。驱动部162由电动缸等构成,沿X轴方向延伸。搬入机构16将在X2方向的端部载置于载物台161的显示面板100向X1方向的端部输送。
(第一台车)
如图1、图2所示,第一台车3用于将多个空载托盘15A搬入主体部2。第一台车3具备在停止于规定的位置时与主体部2连结的连结部。除了使第一台车3从主体部2移动的情况以外,连结部与主体部2连结,由此第一台车3固定于主体部2。另外,第一台车3具备从下方支撑堆叠的多个空载托盘15A的第一输送机31。第一输送机31具备多个辊311。
(分离机构)
如图1、图2所示,分离机构5具备第一托盘输送机构6,该第一托盘输送机构6在从第一台车3转移多个空载托盘15A的空载托盘提供位置60A将多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A输送到第一托盘载置位置60B。分离机构5具备在空载托盘提供位置60A分离多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A的分离部51。
第一托盘输送机构6具备与第一输送机31连接的第二输送机61、和支撑被输送到第一托盘载置位置60B的空载托盘15A的升降部65。在第二输送机61中,X1方向的端部是空载托盘提供位置60A,X2方向的端部是第一托盘载置位置60B。第二输送机61沿X轴方向延伸,具备多个辊62。在相邻的辊62之间形成有间隙。第二输送机61通过未图示的驱动源使辊62旋转,由此将空载托盘15A从空载托盘提供位置60A输送到第一托盘载置位置60B。第二输送机61具备限制多个空载托盘15A的位置的引导部63。引导部63在空载托盘提供位置60A与多个空载托盘15A的X2方向侧抵接,限制多个空载托盘15A的X轴方向的位置。另外,在辊62上,在引导部63的Z2方向的端部与辊62之间形成有间隙S。间隙S是一个空载托盘15A能够沿X轴方向通过的大小。
如图1、图2、图4(a)所示,升降部65在Z轴方向上与第二输送机61的第一托盘载置位置60B重叠。升降部65具备支撑空载托盘15A的支撑部66和使支撑部66沿Z轴方向移动的驱动部67。支撑部66以夹在空载托盘15A的Y轴方向的两侧的方式配置。支撑部66包括多个板部分68。板部分68在Z轴方向上位于相邻的辊62之间。驱动部67由气缸等构成。在第二输送机61输送空载托盘15A时,升降部65使板部分68的前端位于比辊62靠Z2方向的位置。然后,当空载托盘15A被输送到第一托盘载置位置60B时,升降部65通过驱动部67使板部分68的前端向Z1方向移动。由此,板部分68的前端从辊62向Z1方向移动,因此空载托盘15A被升降部65抬起。另外,在空载托盘15A被升降部65抬起时,板部分68的前端与设置于空载托盘15A的下表面的槽部卡合。由此,由升降部65抬起的空载托盘15A在X轴方向上被定位。
如图1、图2、图5(a)所示,分离部51具备保持多个空载托盘15A的保持部52和从下方支撑多个空载托盘15A的升降部53。保持部52具备保持多个空载托盘15A的一对保持部件54和使保持部件54沿Y轴方向移动的一对驱动部55。
保持部件54位于比第一输送机31靠Z1方向的位置。保持部件54具备与空载托盘15A的Y轴方向上的端部抵接的抵接部56和从抵接部56的Z2方向侧的端部突出的支撑爪部57。抵接部56由树脂或硬质橡胶等构成,是在Z轴方向上较长的长方体。抵接部56的Z轴方向的长度与重叠4~6张托盘15时的Z轴方向的长度为相同程度。支撑爪部57支撑空载托盘15A的下表面。
驱动部55由气缸等构成。驱动部55通过使保持部件54沿Y轴方向移动,保持部件54在空载托盘15A的Y轴方向的两端,以从抵接部56与空载托盘15A的凸缘部15a抵接的间隔变为与空载托盘15A的凸缘部15a不抵接的间隔的方式移动。通过抵接部56与空载托盘15A的凸缘部15a抵接,保持部52保持空载托盘15A。支撑爪部57在保持部52保持空载托盘15A时,与空载托盘15A的凸缘部15a在Z轴方向上重叠。
升降部53配置在空载托盘15A的Z2方向侧。升降部53具备从下方支撑空载托盘15A的支撑部58、和使支撑部58沿Z轴方向移动的驱动部59。支撑部58包括多个板部分58a。板部分58a沿Z轴方向延伸。板部分58a在Z轴方向上与相邻的辊62之间的间隙重叠。驱动部59由气缸等构成。升降部53通过驱动部59使板部分58a向Z1方向移动,从而板部分58a在Z轴方向上通过间隙,从辊62向Z1方向移动。由此,多个空载托盘15A被升降部53抬起。
(第二托盘输送机构)
第二托盘输送机构7将由分离机构5分离的空载托盘15A从第一托盘载置位置60B输送到第三托盘输送机构10。更具体地,第二托盘输送机构7在第一托盘载置位置60B处将由升降部65提升的空载托盘15A输送到第三托盘输送机构10。
如图1~图3所示,第二托盘输送机构7具备把持空载托盘15A的保持部71和使保持部71移动的驱动部72。驱动部72具备使保持部71沿上下方向移动的Z轴驱动部721、和经由Z轴驱动部721使保持部71沿Y方向移动的Y轴驱动部722。Z轴驱动部721和Y轴驱动部722由电动缸等构成。通过Z轴驱动部721和Y轴驱动部722使保持部71移动,由此第二托盘输送机构7从升降部65的支撑部66接受分离机构5分离的空载托盘15A,并输送到第三托盘输送机构10。
(工件移载机构)
工件移载机构8是水平多关节机器人。如图1~图3所示,工件移载机构8配置在第二托盘输送机构7的X2方向侧。工件移载机构8具备保持显示面板100的保持部81和使保持部81移动的臂主体部82。工件移载机构8基于显示面板100的检查结果,将显示面板100载置于被输送至工件搭载位置101A的空载托盘15A。
(堆叠机构)
如图1、图3所示,堆叠机构9将由第三托盘输送机构10输送来的负载托盘15B堆叠在载置于负载托盘排出位置101B的负载托盘15B的下层。堆叠机构9具备:第三托盘输送机构10,其通过工件移载机构8输送载置有显示面板100的负载托盘15B;以及堆叠部91,其将负载托盘15B堆叠在载置于负载托盘排出位置101B的负载托盘15B的下层。
第三托盘输送机构10具备第四输送机101和对输送到工件搭载位置101A的空载托盘15A进行支撑的升降部105。在第四输送机101中,X2方向的端部为工件搭载位置101A,X1方向的端部为负载托盘排出位置101B。第四输送机101沿X轴方向延伸,具备多个辊102。在相邻的辊102之间形成有间隙。第四输送机101通过未图示的驱动源使辊102旋转,由此将负载托盘15B从工件搭载位置101A输送到负载托盘排出位置101B。第四输送机101具备引导部103和止动部104。引导部103在负载托盘排出位置101B与多个负载托盘15B的X2方向侧抵接,限制多个负载托盘15B的X轴方向的位置。另外,在辊62上,在引导部63的Z2方向的端部与辊62之间形成有间隙S。间隙S是一个空载托盘15A能够沿X轴方向通过的大小。
止动部104在负载托盘排出位置101B与多个负载托盘15B的X1方向侧抵接,限制被输送的负载托盘15B的X轴方向的位置。止动部104通过驱动部109沿Z轴方向移动。在将多个负载托盘15B转移到第二台车4时,辊从辊102向Z2方向移动。
如图1、图2和图4(b)所示,升降部105在Z轴方向上与第三托盘输送机构10的工件搭载位置101A重叠。升降部105具备支撑空载托盘15A的支撑部106和使支撑部106沿Z轴方向移动的驱动部107。支撑部106以夹在空载托盘15A的Y轴方向的两侧的方式配置。支撑部106包括多个板部分108。板部分68在Z轴方向上位于相邻的辊102之间。驱动部107由气缸等构成。
在利用第二托盘输送机构7将空载托盘15A载置于工件搭载位置101A时,升降部105使板部分108的前端位于比辊102靠Z1方向的位置。并且,空载托盘15A载置于板部分108的前端。此时,板部分108的前端与设置在空载托盘15A的下表面的槽部卡合。由此,由第二托盘输送机构7载置的空载托盘15A在X轴方向上被定位。
这里,第三托盘输送机构10C在形状上不同于第三托盘输送机构10A和第三托盘输送机构10B。更具体地,第三托盘输送机构10C的第四输送机101在X2方向上从第三托盘输送机构10A和第三托盘输送机构10B的第四输送机101延伸。因此,构成第一搬出机构11A的第三托盘输送机构10A及第三托盘输送机构10B的工件搭载位置101A与构成第二搬出机构11B的第三托盘输送机构10C的工件搭载位置101A在X轴方向上错开。
此外,第三托盘输送机构10C的支撑部106在X2方向上从第三托盘输送机构10A和第三托盘输送机构10B的支撑部106延伸。第三托盘输送机构10B的支撑部106具备形成于X1方向侧的第一部分106A和形成于X2方向侧的第二部分106B。第一部分106A在Y轴方向上与第三托盘输送机构10A和第三托盘输送机构10B的工件搭载位置101A重叠。第二部分106B在Z轴方向上与第三托盘输送机构10C的工件搭载位置101A重叠。在第三托盘输送机构10C中,在通过第二托盘输送机构7载置空载托盘15A时,在支撑部106的第一部分106A载置空载托盘15A。之后,第三托盘输送机构10C的升降部105使板部分108的前端从辊102向Z2方向退避,之后,第三托盘输送机构10C的第四输送机101将空载托盘15A输送到工件搭载位置101A。然后,第三托盘输送机构10C的升降部105使板部分108的前端从辊102向Z1方向移动,利用支撑部106的第二部分106B将空载托盘15A抬起。
如图1、图2、图5(b)所示,堆叠部91具备保持多个负载托盘15B的保持部92和从下方支撑多个负载托盘15B的升降部93。保持部92具备保持多个负载托盘15B的一对保持部件94和使保持部件94沿Y轴方向移动的一对驱动部95。
保持部件94位于比第四输送机101靠Z1方向的位置。保持部件94具备与负载托盘15B的Y轴方向上的端部抵接的抵接部96、和从抵接部96的Z2方向侧的端部突出的支撑爪部97。抵接部96由树脂或硬质橡胶等构成,是在Z轴方向上较长的长方体。抵接部96的Z轴方向的长度与重叠4~6张托盘15时的Z轴方向的长度为相同程度。支撑爪部97支撑负载托盘15B的下表面。
驱动部95由气缸等构成。驱动部95通过使保持部件94沿Y轴方向移动,保持部件94在负载托盘15B的Y轴方向的两端,以从抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接的间隔变为与负载托盘15B的凸缘部15a不抵接的间隔的方式移动。通过抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接,保持部92保持负载托盘15B。当保持部92保持负载托盘15B时,支撑爪部97在Z轴方向上与负载托盘15B的凸缘部15a重叠。
升降部93配置在负载托盘15B的Z2方向侧。升降部93具备从下方支撑负载托盘15B的支撑部98和使支撑部98沿Z轴方向移动的驱动部99。支撑部98包括多个板部分98a。板部分98a沿Z轴方向延伸。板部分98a在Z轴方向上与相邻的辊102之间的间隙重叠。驱动部99由气缸等构成。升降部93通过驱动部99使板部分98a向Z1方向移动,由此板部分98a在Z轴方向上通过间隙,从辊102向Z1方向移动。由此,多个负载托盘15B被升降部93抬起。
(第二台车)
如图1、图3所示,第二台车4用于从主体部2搬出多个负载托盘15B。第二台车4具备在停止于规定的位置时与主体部2连结的连结部。除了使第二台车4从主体部2移动的情况以外,连结部与主体部2连结,由此第二台车4固定于主体部2。另外,第二台车4具备从下方支撑堆叠的多个负载托盘15B的第三输送机41。第三输送机41与第四输送机101连接。第三输送机41具备多个辊411。另外,在本实施方式中,第一台车3和第二台车4共用化。
在本实施方式中,作为第二台车4设置有第二台车4A、第二台车4B以及第二台车4C。沿着Y1方向,以第二台车4A、第二台车4B及第二台车4C的顺序配置。在第二台车4A上载置收纳有在前工序中被判断为“合格品”的显示面板100的负载托盘15B。在第二台车4B上载置收纳有在前工序中被判断为“不合格品”的显示面板100的负载托盘15B。在第二台车4C上载置有负载托盘15B,该负载托盘15B收纳有在前工序中判断为“再检查品”的显示面板100。
(输送系统的动作)
接着,对输送系统1的动作进行说明。图6是说明分离部的动作的图。图7是说明分离部的动作的图。图8是说明堆叠部的动作的图。图9是说明堆叠部的动作的图。另外,图6及图7示出Y1方向侧的分离部。图8及图9示出Y1方向侧的堆叠部。
最初,由作业员将载置有多个空载托盘15A的第一台车3设置于主体部2。同样地,由作业员将用于载置多个负载托盘15B的第二台车4设置于主体部2。当第一台车3被固定在主体部2上时,作业者通过沿X2方向按压多个空载托盘15A,将多个空载托盘15A向主体部2提供。
当多个空载托盘15A从第一输送机31向第二输送机61提供时,设置于第二输送机61的传感器检测多个空载托盘15A的提供。由此,第二输送机61的辊62开始旋转,第二输送机61将多个空载托盘15A输送到空载托盘提供位置60A。当传感器检测到多个空载托盘15A被输送到空载托盘提供位置60A时,第二输送机61停止输送多个空载托盘15A。
之后,分离部51将输送至空载托盘提供位置60A的多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A分离。首先,如图6(a)所示,当多个空载托盘15A被输送到空载托盘提供位置60A时,支撑部58位于比辊62靠Z2方向的位置。保持部52位于不与多个空载托盘15A抵接的位置。
如图6(b)所示,当驱动部59使支撑部58向Z1方向移动时,多个空载托盘15A被升降部53抬起。此时,支撑爪部57在Y轴方向上位于最下层的空载托盘15A的凸缘部15a与从下数第二个空载托盘15A的凸缘部15a之间。
接着,如图6(c)所示,当驱动部55使保持部52向空载托盘15A的方向移动时,抵接部56与从下数第二个上方的空载托盘15A的凸缘部15a抵接。由于抵接部56与从下数第二个上方的空载托盘15A的凸缘部15a抵接,因此保持部52保持多个空载托盘15A。此时,支撑爪部57支撑从下数第二个空载托盘15A的凸缘部15a的底面。如图6(d)所示,在保持部52保持多个空载托盘15A之后,驱动部59使支撑部58向Z2方向移动。由此,多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A被分离。并且,如图6(e)所示,当支撑部58从辊62向Z2方向移动时,空载托盘15A从支撑部58载置于第二输送机61。
之后,如图7(f)所示,第二输送机61将空载托盘15A从空载托盘提供位置60A向第一托盘载置位置60B输送。输送空载托盘15A后,如图7(g)所示,驱动部59使支撑部58向Z1方向移动,直到支撑部58与多个空载托盘15A的下表面抵接为止。之后,如图7(h)所示,驱动部55使保持部52移动到不与空载托盘15A抵接的位置。由此,在支撑部58上载置有多个空载托盘15A。
接着,如图7(i)所示,驱动部59使支撑部58向Z2方向移动。此时,支撑爪部57在Y轴方向上位于最下层的空载托盘15A的凸缘部15a与从下数第二个空载托盘15A的凸缘部15a之间。分离部51反复进行从图6(c)到图7(i)的动作,直到空载托盘15A消失为止。若未图示的托盘检测器检测到托盘15用完,则通过使灯等点亮,向作业者通知托盘15用完。
接着,当空载托盘15A被第二输送机61输送到第一托盘载置位置60B时,升降部65使支撑部66向Z1方向移动。由此,空载托盘15A被升降部65抬起。在空载托盘15A被升降部65提升之后,第二托盘输送机构7将被升降部65提升的空载托盘15A输送到第三托盘输送机构10A、第三托盘输送机构10B和第三托盘输送机构10C的支撑部106。此时,第三托盘输送机构10A、第三托盘输送机构10B及第三托盘输送机构10C的支撑部106的前端位于比辊102靠Z1方向的位置。另外,在由第二托盘输送机构7输送空载托盘15A之后,升降部65使支撑部66从辊62向Z2方向移动。
在此,在将空载托盘15A载置于支撑部106的第一部分106A之后,第三托盘输送机构10C利用升降部105使板部分108的前端从辊102向Z2方向退避,将空载托盘15A载置于第三托盘输送机构10C的第四输送机101。之后,第三托盘输送机构10C的第四输送机101将空载托盘15A输送到工件搭载位置101A。并且,第三托盘输送机构10C利用升降部105使板部分108的前端从辊102向Z1方向移动,利用支撑部106的第二部分106B将空载托盘15A抬起。
接着,工件移载机构8基于显示面板100的检查结果,使载置于载物台161的显示面板100向载置于工件搭载位置101A的空载托盘15A移动。具体而言,在显示面板100的检查结果为“合格品”的情况下,工件移载机构8使显示面板100从载物台161移动到由第三托盘输送机构10A的支撑部106支撑的空载托盘15A。在显示面板100的检查结果为“不合格品”的情况下,工件移载机构8使显示面板100从载物台161向由第三托盘输送机构10B的支撑部106支撑的空载托盘15A移动。在显示面板100的检查结果为“再检查品”的情况下,工件移载机构8使显示面板100从载物台161向由第三托盘输送机构10C的支撑部106支撑的空载托盘15A移动。
在通过工件移载机构8将显示面板100载置于空载托盘15A之后,各第三托盘输送机构10通过升降部105使板部分108的前端从辊102向Z2方向移动,将载置有显示面板100的负载托盘15B载置于辊102上。当负载托盘15B载置在辊102上时,第四输送机101通过使辊102旋转,将负载托盘15B从工件搭载位置101A输送到负载托盘排出位置101B。在负载托盘15B从工件搭载位置101A被输送到负载托盘排出位置101B之后,第三托盘输送机构10通过升降部105使板部分108的前端从辊102向Z1方向移动,以能够载置下一个空载托盘15A。
当负载托盘15B从工件搭载位置101A被输送到负载托盘排出位置101B时,堆叠部91堆叠负载托盘15B。首先,如图8(a)所示,在负载托盘15B被输送到负载托盘排出位置101B之前,支撑部98位于比辊102靠Z2方向的位置。保持部92位于不与负载托盘15B抵接的位置。另外,止动部104位于比辊102更靠Z1方向的位置。然后,如图8(b)所示,将负载托盘15B从工件搭载位置101A输送到负载托盘排出位置101B。
如图8(c)所示,当驱动部99使支撑部98向Z1方向移动时,负载托盘15B被升降部93抬起。此时,支撑爪部97在Y轴方向上位于比负载托盘15B的凸缘部15a靠Z2方向的位置。
接着,如图8(d)所示,当驱动部95使保持部92向负载托盘15B的方向移动时,抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接。由于抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接,因此保持部92保持负载托盘15B。此时,支撑爪部97支撑负载托盘15B的凸缘部15a的底面。之后,如图8(e)所示,驱动部99使支撑部98从辊102向Z2方向移动。然后,如图8(f)所示,下一个负载托盘15B被输送到负载托盘排出位置101B。
当下一个负载托盘15B被输送到负载托盘排出位置101B时,如图9(g)所示,下一个负载托盘15B被升降部93抬起。当负载托盘15B被升降部93提升时,下一个负载托盘15B从由保持部92保持的负载托盘15B的下方堆叠。之后,如图9(h)所示,驱动部95使保持部92移动到不与负载托盘15B抵接的位置。由此,在支撑部98上载置有多个负载托盘15B。
接着,如图9(i)所示,驱动部99使支撑部98向Z1方向移动。此时,支撑爪部57在Y轴方向上位于比最下层的负载托盘15B的凸缘部15a靠Z2方向的位置。并且,如图9(j)所示,当驱动部95使保持部92向负载托盘15B的方向移动时,抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接。由于抵接部96与负载托盘15B的凸缘部15a抵接,因此保持部92保持负载托盘15B。之后,如图9(k)所示,驱动部99使支撑部98从辊102向Z2方向移动。堆叠部91反复进行从图8(f)到图9(k)的动作,直到负载托盘15B为规定张数(例如50张)为止。当堆叠部91堆叠规定张数的负载托盘15B时,托盘检测传感器检测到负载托盘15B的数量已经达到规定张数。在托盘检测传感器检测到已经达到规定张数之后,如图9(l)所示,驱动部95将保持部92移动到保持部92不与负载托盘15B接触的位置,然后驱动部99使支撑部98从辊102沿Z2方向移动。由此,多个负载托盘15B从支撑部98被载置于第四输送机101。
在多个负载托盘15B移动到第四输送机101之后,止动部104从辊102向Z2方向移动。之后,第四输送机101通过使辊102旋转,将多个负载托盘15B转移到第二台车4的第三输送机41。
在将多个负载托盘15B转移到第二台车4之后,解除第二台车4的连结部与主体部2的连结。之后,作业员使载置有堆叠有规定张数的负载托盘15B的第二台车4从主体部2移动,将另外的第二台车4设置于主体部2。
(作用效果)
在本实施方式中,使用空载托盘提供用的第一台车3,将未载置显示面板100的多个空载托盘15A搬入到输送系统1。另外,使用负载托盘排出用的第二台车4将载置有显示面板100的多个负载托盘15B从输送系统1搬出。因此,通过作业者的手工作业,多个托盘15不被搬入、搬出输送系统1,所以能够减轻作业者的负担。
分离机构5在空载托盘提供位置60A将多个空载托盘15A中的最下层的空载托盘15A输送到第一托盘载置位置60B。堆叠机构9将由第三托盘输送机构10输送来的负载托盘15B堆叠到载置在负载托盘排出位置101B上的负载托盘15B的下层。在此,在分离机构5将多个空载托盘15A中配置在最上层的空载托盘15A分离的情况下,需要使分离后的空载托盘15A沿高度方向移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。同样地,在堆叠机构9将负载托盘15B堆叠在多个负载托盘15B中的最上层的情况下,需要使负载托盘15B沿高度方向移动的托盘输送机构。在这种情况下,由于托盘的高度根据托盘的数量而改变,所以托盘输送机构的节拍时间根据托盘的高度而改变。但是,本实施方式的输送系统1将多个空载托盘15A中最下层的空载托盘15A输送到第一托盘载置位置60B,并且将负载托盘15B堆叠到载置于负载托盘排出位置101B的负载托盘15B的下层。因此,输送系统1能够与托盘的张数无关地以一定的周期进行托盘的分离以及托盘的堆叠。由此,能够缩短输送系统1的生产节拍时间。另外,不需要使分离后的空载托盘15A沿高度方向移动的托盘输送机构和使负载托盘15B沿高度方向移动的托盘输送机构。
在本实施方式中,由第一托盘输送机构6输送空载托盘15A的输送方向以及由第三托盘输送机构10输送负载托盘15B的输送方向均为X轴方向。因此,能够使用于向第一托盘输送机构6提供空载托盘15A的第一台车3和从第三托盘输送机构10转移多个负载托盘15B的第二台车4的排列方向相对于主体部2为同一方向。由此,在使第一台车3及第二台车4移动时,能够将作业者的作业区域限定于X1方向侧。
在本实施方式中,沿着Y轴方向配置有多个使用了第二台车4的负载托盘搬出机构11。另外,多个负载托盘搬出机构11分别对应于观察显示面板100时的结果。更具体地说,沿着Y轴方向配置有多个使用第二台车4A及第二台车4B的第一搬出机构11A和使用第二台车4C的第二搬出机构11B。第一搬出机构11A的显示面板100的检查结果对应于“合格品”和“不合格品”,第二搬出机构11B的显示面板100的检查结果对应于“再检查品”。由此,输送系统1能够同时输送检查结果不同的多个显示面板100。
在本实施方式中,在第二搬出机构11B中,通过第三托盘输送机构10C,将第二托盘输送机构7输送来的空载托盘15A输送至工件搭载位置101A,因此在第一搬出机构11A和第二搬出机构11B中,工件移载机构8载置显示面板100时的空载托盘15A的位置在X轴方向上错开。由此,与第二搬出机构11B不通过第三托盘输送机构10C将空载托盘15A输送至工件搭载位置101A的情况相比,工件移载机构8的Y轴方向的移动范围变小。其结果是,即使在输送系统1具备多个负载托盘搬出机构11的情况下,也能够抑制工件移载机构8大型化。
在本实施方式中,第一台车3的第一输送机31与第一托盘输送机构6的第二输送机61连接。因此,在从第一台车3向第一托盘输送机构6搬入空载托盘15A时,容易搬入空载托盘15A。另外,第二台车4的第三输送机41与第三托盘输送机构10的第四输送机101连接。因此,在从第三托盘输送机构10向第二台车4排出负载托盘15B时,容易排出负载托盘15B。
(第二实施方式)
以下,参照附图说明本发明的第二实施方式。在第二实施方式中,对与第一实施方式相同的结构标注与第一实施方式相同的附图标记并省略详细说明。
图10是本发明的第二实施方式的输送系统的俯视图。图11是输送系统的主视图。图12是从图10的A-A方向示出输送系统的主视图。
(输送系统的整体结构)
图10所示的本方式的输送系统1向用于检查显示面板100的检查装置17提供显示面板100。在本实施方式中,在第一台车3上堆叠有载置有显示面板100的多个负载托盘15B。在第二台车4上堆叠有未载置显示面板100的多个空载托盘15A。
如图10~图12所示,输送系统1具备主体部2、堆叠有载置有显示面板100的多个负载托盘15B的第一台车3、和堆叠有未载置显示面板100的多个空载托盘15A的第二台车4。第一台车3和第二台车4沿着规定的移动方向从主体部2排出,并且被搬入主体部2。
主体部2具备:分离机构5,其包括在从第一台车3转移多个负载托盘15B的负载托盘提供位置60C输送多个负载托盘15B中的最下层的负载托盘15B的第一托盘输送机构6;第二托盘输送机构7,其将由分离机构5分离后的负载托盘15B输送到工件取出位置19A;工件移载机构8,其在工件取出位置19A从负载托盘15B取出显示面板100;堆叠机构9,其包括输送由工件移载机构8取出了显示面板100的空载托盘15A的第三托盘输送机构10,堆叠由第三托盘输送机构10输送的空载托盘15A;以及载置部19,其位于工件取出位置19A。
(检查装置)
检查装置17实施显示面板100的点亮检查等。如图10~图12所示,检查装置17在检查部具备用于输送显示面板100的输送部171。在本实施方式中,输送部171设置有两个。输送部171具备载置显示面板100的载物台172和使载物台172在X轴方向上往复移动的驱动部173。驱动部173由电动缸等构成,沿X轴方向延伸。当通过工件移载机构8将显示面板100载置于载物台172时,输送部171使载物台172向X2方向移动,输送显示面板100。
(第一台车)
第一台车3用于将多个负载托盘15B搬入主体部2。如图10、图11所示,第一台车3具备在停止于规定的位置时与主体部2连结的连结部。除了使第一台车3从主体部2移动的情况以外,连结部与主体部2连结,由此第一台车3固定于主体部2。
(分离机构)
如图10、图11所示,分离机构5具备第一托盘输送机构6,该第一托盘输送机构6在从第一台车3转移多个负载托盘15B的负载托盘提供位置60C将多个负载托盘15B中的最下层的负载托盘15B输送到第一托盘载置位置60D。分离机构5具备在负载托盘提供位置60C分离多个负载托盘15B中的最下层的负载托盘15B的分离部51。
第一托盘输送机构6具备与第一输送机31连接的第二输送机61、和支撑被输送到第一托盘载置位置60D的负载托盘15B的升降部65。在第二输送机61中,X1方向的端部是负载托盘提供位置60C,X2方向的端部是第一托盘载置位置60D。第二输送机61沿X轴方向延伸,具备多个辊62。在相邻的辊62之间形成有间隙。第二输送机61通过未图示的驱动源使辊62旋转,从而将负载托盘15B从负载托盘提供位置60C输送到第一托盘载置位置60D。第二输送机61具备限制多个负载托盘15B的位置的引导部63。引导部63在负载托盘提供位置60C与多个负载托盘15B的X2方向侧抵接,限制多个负载托盘15B的X轴方向的位置。另外,在辊62上,在引导部63的Z2方向的端部与辊62之间形成有间隙S。间隙S具有允许一个负载托盘15B沿X轴方向通过的尺寸。
升降部65在Z轴方向上与第二输送机61的第一托盘载置位置60D重叠。升降部65具备支撑负载托盘15B的支撑部66和使支撑部66沿Z轴方向移动的驱动部67。支撑部66配置在负载托盘15B的Z2方向侧。支撑部66包括多个板部分68。板部分68沿Z轴方向延伸。板部分68在Z轴方向上与相邻的辊62之间的间隙重叠。驱动部67由气缸等构成。在第二输送机61输送负载托盘15B时,升降部65使板部分68的前端位于比辊62靠Z2方向的位置。并且,当负载托盘15B被输送到第一托盘载置位置60D时,升降部65通过驱动部67使板部分68向Z1方向移动。由此,板部分68的前端在Z轴方向上通过间隙,从辊62向Z1方向移动,因此负载托盘15B被升降部65抬起。另外,在负载托盘15B被升降部65抬起时,负载托盘15B通过板部分68的前端在X轴方向上被定位。
分离部51具有与第一实施方式相同的结构。在本实施方式中,分离部51在负载托盘提供位置60C分离多个负载托盘15B中的最下层的负载托盘15B。
(载置部)
如图10、图11所示,载置部19在Y轴方向上配置在分离机构5与堆叠机构9之间。载置部19具备载置负载托盘15B的载物台191、和与载置于载物台191的负载托盘15B的角部抵接的定位部件192。定位部件192通过驱动部193从与载置在载物台191上的负载托盘15B的角部抵接的位置移动到不抵接的位置。定位部件192通过与负载托盘15B的角部抵接,进行负载托盘15B相对于载物台191的定位。
(第二托盘输送机构)
如图10~图12所示,第二托盘输送机构7将由分离机构5分离的负载托盘15B输送到工件取出位置19A,并且将由工件移载机构8取出了显示面板100的空载托盘15A输送到堆叠机构9。
(工件移载机构)
工件移载机构8是水平多关节机器人。如图10~图12所示,工件移载机构8配置在第二托盘输送机构7的X1方向侧。工件移载机构8具备保持显示面板100的保持部81和使保持部81移动的臂主体部82。工件移载机构8使载置于载置部19的载物台191的显示面板100移动到输送部171的载物台172。
(堆叠机构)
堆叠机构9将由第三托盘输送机构10输送来的空载托盘15A堆叠在载置于空载托盘排出位置101D的空载托盘15A的下层。如图10、图12所示,堆叠机构9具备:第三托盘输送机构10,其输送通过工件移载机构8取出了显示面板100的空载托盘15A;和堆叠部91,其将空载托盘15A堆叠在载置于空载托盘排出位置101D的空载托盘15A的下层。
第三托盘输送机构10具备第四输送机101和对输送到空载托盘载置位置101C的空载托盘15A进行支撑的升降部105。在第四输送机101中,X2方向的端部为空载托盘载置位置101C,X1方向的端部为空载托盘排出位置101D。第四输送机101沿X轴方向延伸,具备多个辊102。在相邻的辊102之间形成有间隙。第四输送机101通过未图示的驱动源使辊102旋转,从而将空载托盘15A从空载托盘载置位置101C输送到空载托盘排出位置101D。第四输送机101具备引导部103和止动部104。引导部103在空载托盘排出位置101D与多个空载托盘15A的X2方向侧抵接,限制多个空载托盘15A的X轴方向的位置。另外,在辊62上,在引导部63的Z2方向的端部与辊62之间形成有间隙S。间隙S具有空载托盘15A能够沿X轴方向通过的大小。
止动部104在空载托盘排出位置101D与多个空载托盘15A的X1方向侧抵接,限制被输送的空载托盘15A的X轴方向的位置。止动部104通过驱动部109沿Z轴方向移动。在将多个空载托盘15A转移到第二台车4时,辊从辊102向Z2方向移动。
升降部105在Z轴方向上与第三托盘输送机构10的空载托盘载置位置101C重叠。升降部105具备支撑空载托盘15A的支撑部106和使支撑部106沿Z轴方向移动的驱动部107。支撑部106配置在空载托盘15A的Z2方向侧。支撑部106包括多个板部分108。板部分108沿Z轴方向延伸。板部分108在Z轴方向上与相邻的辊102之间的间隙重叠。驱动部107由气缸等构成。驱动部107使支撑部106沿Z轴方向移动,由此,板部分108沿Z轴方向通过相邻的辊102之间的间隙。
在利用第二托盘输送机构7将空载托盘15A载置于空载托盘载置位置101C时,升降部105使板部分108的前端位于比辊102靠Z1方向的位置。并且,空载托盘15A载置于板部分108的前端。此时,空载托盘15A由板部分108的前端在X轴方向上定位。
堆叠部91具有与第一实施方式相同的结构。在本实施方式中,堆叠部91将由第三托盘输送机构10输送来的空载托盘15A堆叠在载置于空载托盘排出位置101D的空载托盘15A的下层。
(第二台车)
第二台车4用于从主体部2搬出多个空载托盘15A。如图10、图12所示,第二台车4具备在停止于规定的位置时与主体部2连结的连结部。除了使第二台车4从主体部2移动的情况以外,连结部与主体部2连结,由此第二台车4固定于主体部2。
(输送系统的动作)
接着,对输送系统1的动作进行说明。最初,由作业员将载置有多个负载托盘15B的第一台车3设置于主体部2。同样地,由作业员将用于载置多个空载托盘15A的第二台车4设置于主体部2。当第一台车3被固定在主体部2上时,作业者通过沿X2方向按压多个负载托盘15B,将多个负载托盘15B向主体部2提供。
当多个负载托盘15B从第一输送机31提供到第二输送机61时,设置在第二输送机61上的传感器检测多个负载托盘15B的提供。由此,第二输送机61的辊62开始旋转,第二输送机61将多个负载托盘15B输送到负载托盘提供位置60C。当传感器检测到多个负载托盘15B已经被输送到负载托盘供应位置60C时,第二输送机61停止输送多个负载托盘15B。
之后,分离部51通过与第一实施方式相同的动作,在负载托盘提供位置60C分离多个负载托盘15B中的最下层的负载托盘15B。
接着,当通过第二输送机61将负载托盘15B输送到第一托盘载置位置60D时,升降部65使支撑部66向Z1方向移动。由此,负载托盘15B被升降部65抬起。在负载托盘15B被升降部65提升之后,第二托盘输送机构7接收被升降部65提升的负载托盘15B。第二托盘输送机构7将接收到的负载托盘15B载置于载置部19的载物台191上。当负载托盘15B放置在载物台191上时,载置部19使定位部件192与负载托盘15B的角部抵接,进行负载托盘15B的定位。在进行了负载托盘15B的定位之后,第二托盘输送机构7使保持部71向Y2方向移动,然后工件移载机构8使显示面板100从载置于载物台191的负载托盘15B向输送部171的载物台172移动。在显示面板100从载置于载物台191的负载托盘15B移动之后,载置部19使定位部件192退避到不与空载托盘15A的角部抵接的位置。在定位部件192退避后,第二托盘输送机构7从载置部19的载物台191接受空载托盘15A,将接受的空载托盘15A输送到第三托盘输送机构10的支撑部106。此时,第三托盘输送机构10的支撑部106的前端位于比辊102靠Z1方向的位置。
第二托盘输送机构7将空载托盘15A输送到第三托盘输送机构10的支撑部106后,再次从第二托盘输送机构7的升降部65将负载托盘15B输送到载置部19的载物台191。
在通过第二托盘输送机构7将空载托盘15A载置于支撑部106之后,第三托盘输送机构10通过升降部105使板部分108的前端从辊102向Z2方向移动,将空载托盘15A载置于辊102上。当空载托盘15A位于辊102上时,第四输送机101通过使辊102旋转,将空载托盘15A从空载托盘载置位置101C输送到空载托盘排出位置101D。空载托盘15A将空载托盘15A从空载托盘载置位置101C输送到空载托盘排出位置101D后,第三托盘输送机构10通过升降部105使板部分108的前端从辊102向Z1方向移动,以能够载置下一个空载托盘15A。
当将空载托盘15A从空载托盘载置位置101C输送到空载托盘排出位置101D时,堆叠部91通过与第一实施方式相同的动作,将由第三托盘输送机构10输送来的空载托盘15A堆叠在载置于空载托盘排出位置101D的空载托盘15A的下层。
当堆叠部91堆叠规定张数的空载托盘15A时,托盘检测传感器检测到空载托盘15A的数量已经达到规定张数。在托盘检测传感器检测到达到规定张数之后,驱动部99使支撑部98从辊102向Z2方向移动,由此,多个空载托盘15A从支撑部98向第四输送机101移动。
多个空载托盘15A移动到第四输送机101之后,止动部104从辊102向Z2方向移动。之后,第四输送机101通过使辊102旋转,将多个空载托盘15A转移到第二台车4的第三输送机41。
在将多个空载托盘15A转移到第二台车4之后,解除第二台车4的连结部与主体部2的连结。之后,作业员使载置有规定张数堆叠的空载托盘15A的第二台车4从主体部2移动,将另外的第二台车4设置于主体部2。
(作用效果)
在本实施方式中,使用负载托盘排出用的第一台车3将载置有显示面板100的多个负载托盘15B搬入到输送系统1。另外,使用空载托盘提供用的第二台车4,将未载置显示面板100的多个空载托盘15A从输送系统1搬出。因此,通过作业者的手工作业,多个托盘15不被搬入、搬出输送系统1,所以能够减轻作业者的负担。
本实施方式的输送系统1将多个负载托盘15B中最下层的负载托盘15B输送到第一托盘载置位置60D,并且将空载托盘15A堆叠在载置于空载托盘排出位置101D的空载托盘15A的下层。因此,输送系统1能够与托盘的张数无关地以一定的周期进行托盘的分离以及托盘的堆叠。由此,能够缩短输送系统1的生产节拍时间。另外,不需要使分离后的负载托盘15B沿高度方向移动的托盘输送机构和使空载托盘15A沿高度方向移动的托盘输送机构。
在本实施方式中,由第一托盘输送机构6输送负载托盘15B的输送方向以及由第三托盘输送机构10输送空载托盘15A的输送方向均为X轴方向。因此,能够使用于向第一托盘输送机构6提供负载托盘15B的第一台车3和从第三托盘输送机构10转移多个空载托盘15A的第二台车4的排列方向相对于主体部2为同一方向。由此,在使第一台车3及第二台车4移动时,能够将作业者的作业区域限定于X1方向侧。
在本实施方式中,第一台车3的第一输送机31与第一托盘输送机构6的第二输送机61连接。因此,在从第一台车3向第一托盘输送机构6搬入负载托盘15B时,容易搬入负载托盘15B。另外,第二台车4的第三输送机41与第三托盘输送机构10的第四输送机101连接。因此,在从第三托盘输送机构10向第二台车4排出空载托盘15A时,容易排出空载托盘15A。
在本实施方式中,第二托盘输送机构7将在工件取出位置19A取出了显示面板100的空载托盘15A输送到与第三托盘输送机构10的空载托盘载置位置101C。因此,不需要另外设置将空载托盘15A从工件取出位置19A输送到空载托盘载置位置101C的机构。
(处理系统)
第一实施方式所记载的输送系统1和第二实施方式所记载的输送系统1也可以同时用于处理系统。更具体地说,可以是在进行显示面板100的检查的检查装置的上游侧配置第二实施方式所记载的输送系统1,在进行显示面板100的检查的检查装置的下游侧配置第一实施方式所记载的输送系统1的处理系统。由此,在向处理系统搬入、搬出多个托盘时,能够抬起第一台车3和第二台车4,因此能够减轻作业者的负担。
Claims (14)
1.一种输送系统,其特征在于,具有:
空载托盘提供用的第一台车,所述第一台车堆叠有未载置工件的多个空载托盘;
分离机构,所述分离机构包括第一托盘输送机构,所述第一托盘输送机构在从所述第一台车转移所述多个空载托盘的空载托盘提供位置将所述多个空载托盘中的最下层的空载托盘输送到第一托盘载置位置;
第二托盘输送机构,所述第二托盘输送机构用于将由所述分离机构分离后的所述空载托盘从所述第一托盘载置位置输送到工件搭载位置;
工件移载机构,所述工件移载机构将工件载置在被输送至所述工件搭载位置的所述空载托盘上;
堆叠机构,所述堆叠机构包括第三托盘输送机构,所述第三托盘输送机构将通过所述工件移载机构载置有工件的负载托盘从所述工件搭载位置输送至负载托盘排出位置,所述堆叠机构将由所述第三托盘输送机构输送来的负载托盘堆叠在被载置于所述负载托盘排出位置的负载托盘的下层;以及
空载托盘排出用的第二台车,所述第二台车将由所述堆叠机构堆叠的多个所述负载托盘从所述负载托盘排出位置转移。
2.根据权利要求1所述的输送系统,其特征在于,
在所述第一台车设置有从下方支撑堆叠的所述多个空载托盘的第一输送机,
在所述第一托盘输送机构设置有与所述第一输送机连接的第二输送机,
在所述第二台车设置有从下方支撑堆叠的所述多个负载托盘的第三输送机,
在所述第三托盘输送机构设置有与所述第三输送机连接的第四输送机。
3.根据权利要求1或2所述的输送系统,其特征在于,
所述第一托盘输送机构对所述空载托盘的输送方向以及所述第三托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向均为沿着第一方向的方向,
所述第二托盘输送机构的输送方向是与所述第一方向交叉的第二方向。
4.根据权利要求3所述的输送系统,其特征在于,
沿着所述第二方向配置有多个使用了所述第二台车的负载托盘搬出机构。
5.根据权利要求4所述的输送系统,其特征在于,
所述工件移载机构是水平多关节机器人。
6.根据权利要求4或5所述的输送系统,其特征在于,
在所述多个负载托盘搬出机构中的第一搬出机构和所述多个负载托盘搬出机构中的与所述第一搬出机构不同的第二搬出机构中,所述工件移载机构载置所述工件时的所述工件搭载位置在所述第一方向上错开,
在所述第一搬出机构中,所述工件移载机构将所述工件载置于被输送至所述工件搭载位置的所述空载托盘,
在所述第二搬出机构中,通过所述第三托盘输送机构,将所述第二托盘输送机构输送来的空载托盘沿着所述第一方向输送至所述工件搭载位置之后,输送至所述负载托盘排出位置。
7.根据权利要求4或5所述的输送系统,其特征在于,
所述多个负载托盘搬出机构分别与检查所述工件时的结果对应。
8.一种处理系统,包括权利要求1或2所述的输送系统,其特征在于,
所述处理系统包括检查装置,所述检查装置在工件被从所述负载托盘提供位置输送到所述负载托盘排出位置为止的期间进行工件的检查。
9.一种输送系统,其特征在于,具有:
负载托盘提供用的第一台车,所述第一台车堆叠有多个负载托盘,所述负载托盘载置有工件;
分离机构,所述分离机构包括第一托盘输送机构,所述第一托盘输送机构在所述多个负载托盘从所述第一台车转移的负载托盘提供位置将所述多个负载托盘中的最下层的负载托盘输送到第一托盘载置位置;
第二托盘输送机构,所述第二托盘输送机构将由所述分离机构分离的所述负载托盘输送到工件取出位置;
工件移载机构,所述工件移载机构在所述工件取出位置从负载托盘取出工件;
堆叠机构,所述堆叠机构包括第三托盘输送机构,所述第三托盘输送机构将由所述工件移载机构取出了工件的空载托盘输送到空载托盘排出位置,所述堆叠机构将由所述第三托盘输送机构输送来的空载托盘堆叠在载置于所述空载托盘排出位置的空载托盘的下层;以及
空载托盘排出用的第二台车,所述第二台车将由所述堆叠机构堆叠的多个所述空载托盘从所述空载托盘排出位置转移。
10.根据权利要求9所述的输送系统,其特征在于,
在所述第一台车设置有从下方支撑多层堆叠的所述多个负载托盘的第一输送机,
在所述第一托盘输送机构设置有与所述第一输送机连接的第二输送机,
在所述第二台车设置有从下方支撑多层堆叠的所述多个空载托盘的第三输送机,
在所述第三托盘输送机构设置有与所述第三输送机连接的第四输送机。
11.根据权利要求9或10所述的输送系统,其特征在于,
所述第二托盘输送机构将在所述工件取出位置取出了所述工件的所述空载托盘输送到与所述第三托盘输送机构之间的空载托盘载置位置。
12.根据权利要求9或10所述的输送系统,其特征在于,
所述第一托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向以及所述第三托盘输送机构对所述空载托盘的输送方向均为沿着第一方向的方向,
所述第二托盘输送机构对所述负载托盘的输送方向是与所述第一方向交叉的第二方向。
13.根据权利要求9或10所述的输送系统,其特征在于,
所述工件移载机构是水平多关节机器人。
14.一种处理系统,包括权利要求9或10所述的输送系统,其特征在于,
所述处理系统包括检查装置,所述检查装置在工件被从所述负载托盘提供位置输送到所述负载托盘排出位置为止的期间进行工件的检查。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021-091352 | 2021-05-31 | ||
JP2021091352A JP2022183851A (ja) | 2021-05-31 | 2021-05-31 | 搬送システムおよび処理システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115483129A true CN115483129A (zh) | 2022-12-16 |
Family
ID=84420714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210599341.XA Pending CN115483129A (zh) | 2021-05-31 | 2022-05-30 | 输送系统及处理系统 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022183851A (zh) |
CN (1) | CN115483129A (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024122079A1 (ja) * | 2023-04-12 | 2024-06-13 | 株式会社東光高岳 | ワーク搬送装置及びワーク検査装置 |
-
2021
- 2021-05-31 JP JP2021091352A patent/JP2022183851A/ja active Pending
-
2022
- 2022-05-30 CN CN202210599341.XA patent/CN115483129A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022183851A (ja) | 2022-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI732253B (zh) | 搬送系統 | |
JP5850661B2 (ja) | 部品供給装置 | |
WO2020103378A1 (zh) | 一种传输对位装置以及一种对接设备 | |
JP2006310336A (ja) | ガラス板収納用箱状容器の位置調整装置 | |
CN113715499B (zh) | 移印生产系统 | |
CN111717673A (zh) | 托盘输送装置及面板输送系统 | |
JP4537411B2 (ja) | 基板搬出入装置及び基板搬出入方法 | |
CN115483129A (zh) | 输送系统及处理系统 | |
CN111071782A (zh) | 一种显示器件的复检装置 | |
CN111717674A (zh) | 托盘输送装置及面板输送系统 | |
WO2019065205A1 (ja) | トレイ配置部および搬送システム | |
CN115477163A (zh) | 输送系统及处理系统 | |
JPH1179389A (ja) | 基板ガラス検査加工システム | |
CN112357590B (zh) | 一种屏幕全自动分离设备 | |
WO2012056893A1 (ja) | ワーク供給装置及びワーク処理装置 | |
CN111747116A (zh) | 面板搬运装置及面板搬运系统 | |
CN111747117A (zh) | 面板搬运系统 | |
JPWO2008129603A1 (ja) | 基板搬送システム | |
WO2019065202A1 (ja) | 搬送システム | |
CN113581851B (zh) | 搬运系统 | |
CN108352350B (zh) | 搬运系统 | |
JP3966167B2 (ja) | 搬送システム | |
CN112083588B (zh) | 检查系统 | |
CN220950032U (zh) | 自动上下料装置及加工设备 | |
JP2003094259A (ja) | 基板搬送ライン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |