JP2543741B2 - マガジン移送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体部品等の組立、製造及び検査工程に
おいて用いられるリードフレーム、基板、キヤリアプレ
ート等の試料を収納するマガジンの移送装置に関する。

［従来の技術］ 半導体部品は、組立、製造、検査工程の途中で運搬、
取扱いに便利なようにマガジンに収納される。特に、ダ
イボンダー、ワイヤボンダー等の自動作業においては、
通常、半導体部品はローダ側のマガジンから試料送り装
置に自動的に供給され、試料送り装置の途中でボンダー
等の加工装置で加工が施された後はアンローダ側のマガ
ジンに自動的に収納されるようにマガジンが必要不可欠
である。

ところで、従来、マガジンの交換作業を省くために、
ローダ側のマガジンをアンローダ側に転送して使用する
マガジン移送装置が知られている。

この種のマガジン移送装置は、例えば特開昭53−5206
6号公報及び特公昭61−57251号公報に示すように、ロー
ダ側のマガジンを立体的にアンローダ側に転送してい
る。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、マガジンを立体的、即ち試料送り装
置の下方又は上方を送るので、次のような不具合があっ
た。

試料送り装置の下方には試料送り装置及び加工装置の
駆動機構等が配設されるので、マガジンを立体的に送る
と、装置全体の高さが非常に高くなり、特に天井が低い
工場には設置できない場合が生じる。また試料送り装置
の下方よりマガジンを送る場合には、試料送り装置の試
料送りレベルが目視できる位置より高くなり、試料の送
り状態及び加工状態が観察できなくなる。また試料送り
装置の上方よりマガジンを送る場合には、マガジンの送
り状態が観察できなくなる。更に装置の高さが非常に高
くなることにより、保守、点検にも困難性が伴う。

本発明の目的は、装置の高さを低く抑えることができ
るマガジン移送装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、途中に加工装置が配設された試料送り装
置と、この試料送り装置の一方側に配設され、試料送り
装置に提供する試料を充填したマガジンを上下動させる
ローダ側エレベータ装置と、前記試料送り装置の他方側
に配設され、加工が終って試料送り装置より送り出され
る試料を収納するマガジンを上下動させるアンローダ側
エレベータ装置とを備え、ローダ側エレベータ装置より
マガジンを受け取ってアンローダ側エレベータ装置ヘマ
ガジンを送るマガジン移送装置において、ローダ側エレ
ベータ装置より試料送り方向と直角に平面的に配設さ
れ、ローダ側エレベータ装置よりマガジンを受け取って
送るローダ側マガジン移送装置と、アンロータ側エレベ
ータ装置より前記ローダ側マガジン移送装置と同方向に
配設され、アンローダ側エレベータ装置へマガジンを送
るアンローダ側マガジン移送装置と、ローダ側マガジン
移送装置よりマガジンを受け取ってアンローダ側マガジ
ン移送装置へマガジンを送るマガジン転送装置とから構
成することにより達成される。

［作用］ ローダ側エレベータ装置上のマガジン内の試料が全て
試料送り装置に送り出されると、この空のマガジンはロ
ーダ側エレベータ装置上よりローダ側マガジン移送装置
が受け取ってマガジン転送装置側へ送る。次にマガジン
転送装置はローダ側マガジン移送装置よりマガジンを受
け取り、アンローダ側マガジン移送装置側へ送る。その
後、アンローダ側マガジン移送装置がマガジン転送装置
よりマガジンを受け取り、マガジン転送装置とアンロー
ダ側エレベータ装置との途中まで移送して待機する。そ
して、アンローダ側エレベータ装置上のマガジン内へ全
ての試料が収納され、このマガジンがアンローダ側エレ
ベータ装置より搬出された後、アンローダ側マガジン移
送装置により空のマガジンがアンローダ側エレベータ装
置へ受け渡しされる。このようにして、ローダ側エレベ
ータ装置上のマガジンはアンローダ側エレベータ装置に
転送される。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図
は本発明の一実施例であるマガジン移送装置の全体構成
を示す概略平面図、第２図は第１図の要部詳細平面図で
ある。試料１を送る試料送り装置２の途中には、試料１
に加工を施すボンダー等の加工装置３が配設されてい
る。これらの装置は公知であり、また本発明の要旨では
ないので、以下その詳細説明は省略する。

本実施例のマガジン移送装置は、試料送り装置２に供
給する試料１を充填したマガジン４を上下動させるロー
ダ側エレベータ装置10と、加工が終って試料送り装置２
より送り出される試料１を収納するマガジン４を上下動
させるアンローダ側エレベータ装置40と、ローダ側エレ
ベータ装置10より試料送り方向と直角に平面的に配設さ
れ、ローダ側エレベータ装置10よりマガジン４を受け取
って送るローダ側マガジン移送装置50と、アンローダ側
エレベータ装置40より前記ローダ側マカジン移送装置50
と同方向に配設され、アンローダ側エレベータ装置40へ
マガジン４を送るアンローダ側マガジン移送装置70と、
ローダ側マガジン移送装置50よりマガジン４を受け取っ
てアンローダ側マガジン移送装置70へマガジン４を送る
マガジン転送装置80とから構成されている。

従って、ローダ側エレベータ装置10上のマガジン４内
の試料１が全て試料送り装置２に送り出されると、この
空のマガジン４はローダ側エレベータ装置10上よりロー
ダ側マガジン移送装置50が受け取ってマガジン転送装置
80側へ送る。次にマガジン転送装置80はローダ側マガジ
ン移送装置50よりマガジン４を受け取り、アンローダ側
マガジン移送装置70側へ送る。その後、アンローダ側マ
ガジン移送装置70がマガジン転送装置80よりマガジン４
を受け取り、マガジン転送装置80とアンローダ側エレベ
ータ装置40との途中まで移送して待機する。そして、ア
ンローダ側エレベータ装置40上のマガジン４内に試料１
が満杯に収納され、このマガジン４がアンローダ側エレ
ベータ装置40より搬出された後、アンローダ側マガジン
移送装置70により空のマガジン４がアンローダ側エレベ
ータ装置40へ受け渡しされる。このようにして、ローダ
側エレベータ装置10上の空のマガジン４はアンローダ側
エレベータ装置40に転送される。

次に前記した各装置10、40、50、70、80の詳細な構造
について説明する。

ローダ側エレベータ装置10（第２図、第３図、第６
図、主として第６図を参照） ベース板11には支持板12が固定されており、この支持
板12には２個のガイド支持板13が対向して固定されてい
る。このガイド支持板13の内側にはマガジン４の四隅を
ガイドする４個のガイド板14が固定されている。また一
方のガイド支持板13には下から２番目のマガジン４をク
ランプするシリンダ15が取付けられている。また前記支
持板12と反対側におけるベース板11上には底板20が固定
され、この底板20の両側には側板21が固定され、更に側
板21上には天板22が固定されている。底板20と天板22に
は垂直に配設された送りねじ23が回転自在に支承されて
おり、この送りねじ23には雌ねじ24が螺合されている。
また底板20と天板22とには送りねじ23と平行に配設され
たガイド棒25が固定されており、このガイド棒25には雌
ねじ24に固定されたガイドブツシユ26が上下動自在に嵌
挿されている。雌ねじ24にはマガジン受け支持板27が固
定されており、このマガジン受け支持板27には前記ガイ
ド板14の内側に位置するように隙間を持って配設された
マガジン受け部27aを有する。

前記送りねじ23の上端側には歯車30が固定されてお
り、この歯車30は天板22に固定された軸31に回転自在に
支承された歯車32に噛合している。また前記天板22には
モータ33が固定されており、このモータ33の出力軸に固
定された歯車34が前記歯車32に噛合している。

従って、モータ33が回転すると、歯車34、32、30を介
して送りねじ23が回転し、この送りねじ23に螺合した雌
ねじ24と一体のガイドブツシユ26及びマガジン受け部27
aが上下動し、マガジン４を上下動させることができ
る。

アンローダ側エレベータ装置40（第２図、第４図、第７
図、主として第７図を参照） アンローダ側エレベータ装置40は前記ローダ側エレベ
ータ装置10と殆ど同じ構造よりなるので、ローダ側エレ
ベータ装置10と同じ部材には同じ番号を付し、また両者
を区別するためにその番号の後に符号Ａを付し、その説
明は省略する。

ローダ側エレベータ装置10のマガジン受け部27aは、
マガジン４より試料１が送り出される毎に１ピツチ下降
させられたが、アンローダ側エレベータ装置40のマガジ
ン受け部27aAは、マガジン４に試料１が収納される毎に
１ピツチ上昇させられように逆の動作を行う。

またアンローダ側エレベータ装置40には、マガジン４
内に試料１が全て収納された後に、マガジン４を送り出
すシリンダ41が設けられており、このシリンダ41にプツ
シヤ板42が固定されている。また天板22A上にはポスト4
3を介してマガジン受台44が固定されている。

ローダ側マガジン移送装置50（第２図、第３図、第５
図、第８図、主として第８図を参照） ベース板11上には、ローダ側エレベータ装置10のガイ
ドブツシユ26側に支持板51が、ローダ側エレベータ装置
10より離れた位置に支持板52がそれぞれ固定され、これ
ら支持板51、52の両側上には試料１の送り方向と直角に
伸びた２本のガイドレール53が固定されている。このガ
イドレール53上には台車54が載置されている。

台車54は可動台55を有し、この可動台55の下面には２
本のガイドレール53の外側にそれぞれ位置するように２
個のローラ支持板56が固定されている。ローラ支持板56
には、ガイドレール53の側面に位置する位置決め板57を
介してローラ58がガイドレール53上に載置されるように
回転自在に支承されている。また可動台55上にはローダ
側エレベータ装置10のマガジン受け部27a間に位置する
ようにマガジン載置台59が固定されており、このマガジ
ン載置台59のローダ側エレベータ装置10側の側面にはマ
ガジン押し板60が固定されている。

また前記一方の支持板51の中央側面にはプーリ支持板
61が固定され、このプーリ支持板61にはプーリ62が回転
自在に支承されている。また前記他方の支持板52側のベ
ース板11上にはモータ63が固定されている。そして、モ
ータ63の出力軸に固定されたプーリ64と前記プーリ62と
にはベルト65が巻回され、このベルト65の両端は前記可
動台55に固定されている。

アンローダ側マガジン移送装置70（第２図、第４図、第
５図、第９図、主として第９図を参照） アンローダ側マガジン移送装置70は前記ローダ側マガ
ジン移送装置50と殆ど同じ構造よりなるので、ローダ側
マガジン移送装置50と同じ部材には同じ番号を付し、ま
た両者を区別するためにその番号の後に符号Ａを付し、
その説明は省略する。

しかし、ローダ側マガジン移送装置50の台車54と同じ
では、マガジン転送装置80よりマガジン４を受け取るこ
とができないので、アンローダ側マガジン移送装置70の
台車54Aのマガジン載置台59A上には爪支持板71が固定さ
れ、この爪支持板71には爪72が回動自在に支承されてい
る。爪72はマガジン転送装置80側がテーパに形成され、
ばね73で付勢されている。

マガジン転送装置80（第２図、第３図、第４図、第５
図、第10図、主として第10図を参照） ベース板11、11Aには支持板81、82がそれぞれ固定さ
れ、これら支持板81、82の両側上にはローダ側マガジン
移送装置50及びアンローダ側マガジン移送装置70と直角
方向に伸びた２本のガイドレール83が固定されている。
このガイドレール83上には台車84が載置されている。

台車84は可動台85を有し、この可動台85の下面には２
本のガイドレール83の外側にそれぞれ位置するように２
個のローラ支持板86が固定されている。ローラ支持板86
には、ガイドレール83の側面に位置する位置決め板87を
介してローラ88がガイドレール83上に載置されるように
回転自在に支承されている。また可動台85上にはローダ
側マガジン移送装置50のマガジン載置台59間に位置し、
かつマガジン載置台59の上面よりわずかに高くマガジン
載置台89が固定されており、このマガジン載置台89のロ
ーダ側マガジン移送装置50側にはマガジン４がスムーズ
にマガジン載置台89に乗り上げられるようにテーパ89a
が形成されている。また可動台85には前記テーパ89a形
成側と反対側にストツパ90が固定されている。また両側
のマガジン載置台89の側方にはマガジン４を案内するガ
イド板91が固定されている。

また前記一方の支持板81の中央側面にはプーリ支持板
92が固定され、このプーリ支持板92にはプーリ93が回転
自在に支承されている。また他方の支持板82側のベース
板11Aにはモータ94が固定されている。そして、モータ9
4の出力軸に固定されたプーリ95と前記プーリ93とには
ベルト96が巻回され、このベルト96の両端は前記可動台
85に固定されている。

次に作用について説明する。まず、試料１の送出及び
収納について説明する。初めに、試料１を積上げ充填し
たマガジン４をローダ側エレベータ装置10のガイド板14
に複数個か挿入してマガジン受け部27a上に積載する。
この状態においては、マガジン受け部27aは上昇位置に
ある。そして、モータ33が起動して歯車34を回転させる
と、歯車32、30を介して送りねじ23が回転し、雌ねじ2
4、即ちマガジン受け部27aが下降させられてマガジン４
が共に下降し、マガジン４内の最下位の試料１が試料送
り装置２の案内路レベルに位置する。

そして、最下位の試料１が図示しないプツシヤで試料
送り装置２上に送り出され、この試料１が試料送り装置
２により加工装置３に送られ、ここで加工が行われる。
最下位の試料１が送り出されると、モータ33が再び起動
してマガジン４は次の試料１が試料送り装置２の案内路
レベルと同じレベルに達するまで下降させられ、下から
２番目の試料１を送り出す用意が完了する。以下、マガ
ジン４より試料１が送り出される毎にこの動作が繰り返
される。

前記のように加工装置３で加工が終了した試料１は試
料送り装置２で送られ、アンローダ側エレベータ装置40
のマガジン４内に収納される。ここで、アンローダ側エ
レベータ装置40のマガジン４は最上位の溝が試料送り装
置２の案内路レベルに位置されており、マガジン４に試
料１が収納される毎にモータ33Aが回転して前記ローダ
側エレベータ装置10の場合と逆にマガジン４は１ピツチ
上昇させられる。

前記のようにしてアンローダ側エレベータ装置40のマ
ガジン４内に試料１が満杯に収納されると、シリンダ41
が作動してプツシヤ板42が前進及び後退する。これによ
り、マガジン４はマガジン受台44上に送り出される。そ
の後モータ33Aが起動してマガジン受け部27aAは下降さ
せられ、マガジン受け部27aAの上面はアンローダ側マガ
ジン移送装置70の台車54Aのマガジン載置台59Aの上面よ
りわずかに下方に位置させられ、空マガジン４を受け入
れする準備が完了する。

次にマガジン４の転送について説明する。前記のよう
にローダ側エレベータ装置10の一番下のマガジン４中の
全ての試料１を送り出し終ると、シリンダ15が作動して
下から２番目のマガジン４をクランプする。その後モー
タ33が再び起動してマガジン受け部27aが下降させられ
る。なお、この状態においては、ローダ側マガジン移送
装置50の台車54はローダ側エレベータ装置10のマガジン
受け部27aの下方に位置している。そこで、前記のよう
にマガジン受け部27aが下降させられると、一番下の空
のマガジン４のみが下降させられ、このマガジン４はロ
ーダ側マガジン移送装置50のマガジン載置台59上に載置
される。次にローダ側マガジン移送装置50のモータ63が
起動してプーリ64、ベルト65を介して台車54がマガジン
転送装置80側へ移動すると、マガジン押し板60によって
マガジン受け部27a上の空マガジン４はマガジン受け部2
7aより取り除かれ、台車54によってマガジン転送装置80
側へ搬出される。

このようにマガジン受け部27a上の空マガジン４が搬
出されると、次はモータ33が前記と逆方向に回転してマ
ガジン受け部27aは上昇させられ、シリンダ15で保持さ
れたマガジン４を支持する位置に位置する。その後シリ
ンダ15が作動してマガジン４のクランプを解除し、その
マガジン４がマガジン受け部27aへ載置される。以後、
このマガジン受け部27a上のマガジン４は前記した動作
によって処理される。

一方、前記のように台車54がマガジン転送装置80側へ
移動すると、台車54上のマガジン４は台車84のマガジン
載置台89のテーパ89aに沿ってマガジン載置台89に乗り
上げられ、マガジン載置台89上に載置され、台車54から
マガジン載置台89へマガジン４は受け渡しされる。その
後ローダ側マガジン移送装置50のモータ63が逆転し、台
車54はローダ側エレベータ装置10のマガジン受け部27a
の下方に位置して待機する。

台車54がローダ側エレベータ装置10側へ移動すると、
マガジン転送装置80のモータ94が起動し、プーリ95、ベ
ルト96を介して台車84はアンローダ側マガジン移送装置
70側へ移動する。この状態においては、アンローダ側マ
ガジン移送装置70の台車54Aはマガジン転送装置80とア
ンローダ側エレベータ装置40の中間に位置している。

台車84がアンローダ側マガジン移送装置70側へ移動し
て停止すると、アンローダ側マガジン移送装置70のモー
タ63Aが起動してプーリ64A、ベルト65Aを介して可動台5
5Aがマガジン転送装置80側へ移動する。これにより、爪
72が台車84上のマガジン４に当って回動し、爪72はマガ
ジン４の下面をすべりながら通過する。そして、爪72が
マガジン４の側面外に位置すると、爪72はばね73の付勢
力で復帰し、マガジン４の側面に係合する状態となる。

次にモータ63Aが逆転し、台車54Aはアンローダ側エレ
ベータ装置40側へ移動する。これにより、爪72がマガジ
ン４に係合してマガジン４をマガジン転送装置80の台車
84より取り除き、マガジン４は台車54Aによってアンロ
ーダ側マガジン移送装置70のマガジン受け部27aAの上方
に位置させられる。台車54Aがアンローダ側エレベータ
装置40側に移動して台車84よりマガジン４が取り除かれ
ると、モータ94が逆転して台車84はローダ側マガジン移
送装置50側に移動し、次の空マガジン４を受け入れる状
態となる。

前記のように、台車54A上のマガジン４がマガジン受
け部27aAの上方に位置させられると、モータ33Aが起動
してマガジン受け部27aAが上昇させられ、マガジン受け
部27aAはアンローダ側マガジン移送装置70の台車54Aよ
り受け取り、マガジン４の最上位の溝が試料送り装置２
の案内路レベルに位置させられ、試料１の収納の準備が
完了する。これにより、ローダ側マガジン移送装置50か
らアンローダ側マガジン移送装置70への空マガジン４の
転送が完了する。

このように、空マガジン４を転送するローダ側マガジ
ン移送装置50、アンローダ側マガジン移送装置70、マガ
ジン転送装置80は平面的に配置されているので、装置の
高さを低く抑えることができる。

なお、ローダ側マガジン移送装置50、アンローダ側マ
ガジン移送装置70、マガジン転送装置80は平面的に配置
されているので、設置面積は広くなるように思われる
が、これらの装置50、70、80は試料送り装置２及び加工
装置３の駆動機構の上方に配設することができるので、
特に設置面積が増えることもない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、装
置の高さを低く抑えることができるので、天井が低い工
場にも設置できる。また試料送り装置及びマガジン移送
装置は高くならないので、試料の送り状態及び加工状態
を容易に観察できると共に、保守、点検も容易に行え
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるマガジン移送装置の全
体構成を示す概略平面図、第２図は第１図の要部詳細平
面図、 第３図は第２図の左側面一部断面図、第４図は第２図の
右側面一部断面図、第５図は第２図のエレベータ装置を
除いた正面図、第６図はローダ側エレベータ装置を示
し、（ａ）は平面図、（ｂ）は駆動機構部の断面図、第
７図はアンローダ側エレベータ装置を示し、（ａ）は平
面図、（ｂ）は駆動機構部の断面図、第８図はローダ側
マガジン移送装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正
面図、（ｃ）は側面図、第９図はアンローダ側マガジン
移送装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は側面図、第10図はマガジン転送装置を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。 1:試料、2:試料送り装置、4:マガジン、 10:ローダ側エレベータ装置、 40:アンローダ側エレベータ装置、 50:ローダ側マガジン移送装置、 70:アンローダ側マガジン移送装置、 80:マガジン転送装置。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−52066（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−163232（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−191748（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−148646（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】途中に加工装置が配設された試料送り装置
   と、この試料送り装置の一方側に配設され、試料送り装
   置に供給する試料を充填したマガジンを上下動させるロ
   ーダ側エレベータ装置と、前記試料送り装置の他方側に
   配設され、加工が終って試料送り装置より送り出される
   試料を収納するマガジンを上下動させるアンローダ側エ
   レベータ装置とを備え、ローダ側エレベータ装置よりマ
   ガジンを受け取ってアンローダ側エレベータ装置へマガ
   ジンを送るマガジン移送装置において、ローダ側エレベ
   ータ装置より試料送り方向と直角に平面的に配設され、
   ローダ側エレベータ装置よりマガジンを受け取って送る
   ローダ側マガジン移送装置と、アンローダ側エレベータ
   装置より前記ローダ側マガジン移送装置と同方向に配設
   され、アンローダ側エレベータ装置へマガジンを送るア
   ンローダ側マガジン移送装置と、ローダ側マガジン移送
   装置よりマガジンを受け取ってアンローダ側マガジン移
   送装置へマガジンを送るマガジン転送装置とから構成さ
   れていることを特徴とするマガジン移送装置。