JPS62175324A - リ−ドフレ−ムの供給・排出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、リードフレームの供給・排出装置に関する。

［従来の技術］ 一般に、ＩＣ１ＬＳＩ等の半導体素子の製造に用いるリ
ードフレームは、一定の長さに切断され、マガジンに収
納する状態で移送あるいは保管を行うようにしている。

すなわち、マガジンは複数枚Ｅ数十枚〜数百枚］単位の
リードフレームを収納可能としてなり、例えば半導体製
造装置との間でリードフレームの供給・排出を行う場合
、マガジンをマガジン作業位置に移送し、位置決めする
ことにより行っていた。作業位置の対向位置には製造装
置のリードフレーム搬送部が備えられる。該作業位置と
リードフレーム搬送部との間のリードフレームの供給・
排出には、リードフレームの供給・排出装置が用いられ
、該装置によリリードフレーム移載作業を行うこととし
ていた。

ところで、従来のリードフレームの供給装置にあっては
、マガジン作業位置に対する作業前のマガジンの供給あ
るいはマガジン作業位置からの作業後のマガジンの排出
は、もっばら手作業により行うことが多かった。しかし
、最近例えば特開昭５９−８２２４２号公報に記載され
るマガジンの自動交換手段が用いられる傾向にある。こ
の手段は、ベースの上方側にマガジン待機位置を設け、
ベースの下方側にマガジン排出位置を設けることとして
いる。マガジン作業位置は上記待機位置と排出位置との
間に設けられ、待機位置から供給されるマガジンは、排
出位置へ下降する中間位置、すなわちマガジン作業位置
で順次リードフレームの移載作業が行われ、作業の終了
したマガジンは排出位置へと移送されるようにしている
。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来のリードフレームの供給・排出
装置にあっては、マガジンの待機、作業、排出のための
ラインが上下方向に多層化することとなっていた。この
ため、機械構成が複雑化してメンテナンス性が悪く、ま
た機械へのマガジンの搬入位置および搬出位置が上下２
段に隣接するため、その搬入、搬出作業がやりにくいも
のとなっていた。

本発明は、機械構成を単純化するとともに、マガジンの
搬入、搬出の作業性を良好にすることを目的としている
。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、複数枚のリード
フレームを収容可能とするマガジンをマガジン作業位置
に位置決めし、マガジン作業位置に位置決めされたマガ
ジンとリードフレーム搬送部との間でリードフレームの
移載作業を行うリードフレームの供給・排出装置におい
て、マガジン作業位置に隣接してマガジン交換位置を設
け、マガジン交換位置の入側における同一高さレベルに
マガジン待機位置を設け、マガジン交換位置の出側にお
ける同一高さレベルにマガジン排出位置を設け、マカジ
ン交換位置からマガジン作業位置に作業前のマガジンを
移載し、マガジン作業位置からマガジン交換位置に作業
後のマガジンを移載する手段と、マガジン待機位置に投
入された作業前のマガジンをマカジン交換位置に移送し
、かつマガジン交換位置に移載された作業後のマガジン
をマガジン排出位置に移送する手段とを有することとし
ている。

［作用］ 本発明によれば、マガジン作業位置に隣接する位置にマ
ガジン交換位置を設け、該交換位置に対するマガジン待
機位置およびマガジン排出位置の高さレベルを同一の高
さレベルとしたため、待機位置から排出位置に対するマ
ガジンの搬送ラインが？ｌｉ純化し、機械の構成部分で
ある種々の駆動機構をｒｌ純化することができる。さら
に、待機位置へのマガジンの搬入および排出位置からの
マガジンの搬出も一定高さレベル上で行うことが可能と
なり、従来に比べ作業性が向上されることとなる。

［実施例］ 以下１本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例に係るリードフレームの供給
・排出装置を示す平面図、第２図は第１図のＩＩ　−Ｉ
Ｉ線に沿う断面図、第３図は第１図の矢視ｍ方向から観
た斜視図、第４図は第１図の■−■線に沿う断面図であ
る。

リードフレームの供給・排出装置ｌＯは、マガジン作業
位置ｌｌに対して位置決めされたマガジン１２と、半導
体製造装置のリードフレーム搬送部１３との間でリード
フレーム１４の移載作業、すなわち、リードフレーム１
４の供給もしくは排出を行うことを可能としている。以
下、本装置１０の構成をリードフレーム搬送部１３にリ
ードフレーム１４を供給する場合を中心に説明する。

リードフレームの供給争排出装置ｔｏは、マガジン待機
位置１５に投入、待機されるマガジン１２を、マガジン
交換位置１６に矢示Ａ方向に移送可能とするコンベア１
７を備えてなる。このコンベア１７は、マガジン待機位
置１５とマガジン交換位ｆｉ１６よりもさらに前方［ｆ
ＩＳ１図Ａ方向］に位置するマガジン積出位置１８との
間を周回駆動する搬送ベルト１９を備えてなり、該搬送
ベルト１９は回転ローラ２０に懸回されてなる［第２図
参照］。すなわち、搬送ベル）１９は、回転ローラ２０
の矢示Ｂ方向の回転により周回駆動可能とされる。マガ
ジン待機位１１５、マガジン交換位置１６、さらにマガ
ジン排出位置１８の３位置は平面Ｙ方向に連続され、そ
れぞれ同一の高さレベルとされる。

移送されるマガジン１２は略直方形状の函体とされ、第
２図に示すように内部に数十枚のリードフレーム１４を
積層状態で収納可能としてなる。

マガジン１２の内部に対するリードフレーム１４の出入
れは、上方の開口部より行われる。さらにマガジン１２
の底部には、収納されるリードフレーム１４のうち、最
下段のリードフレーム１４を臨む底開口部２１が備えら
れる。待機位置１５に投入される作業前のマガジン１２
には、内部にリードフレーム１４が充填されてなり、該
マガジン１２は第２図に示すように搬送ベルト１９に載
置される状態でコンベア１７により矢示Ａ方向に移送さ
れる。マガジン待機位ｉ１５とマガジン交換位１１６の
間の搬送ベル）１９上には、所定の間隔Ｐをもって作業
前のマガジン１２が複数載置され、搬送ベル）１９の駆
動は間隔Ｐをもって間欠的に行われる。

コンベア１７によりマガジン交換位置１６に移送された
作業前のマガジン１２は、マガジン作業位置１１に移載
可能とされる。マガジン交換位置１６はマガジン作業位
ｉｔｔに対してＸ方向で隣接する状態で設けられ、それ
ぞれ同じ高さレベルとされる。マガジン交換位置１６と
マガジン作業位、１１１との間のＸ方向には一対のレー
ル２２が設けられ、各レール２２はマガジン１２のＹ方
向における各側部を保持可能としている［第３図および
第４図参照］、マガジン作業位置１１への作業前のマガ
ジン１２の移載は、移載手段としての移送体２３の駆動
により行なわれる。すなわち、この移送体２３は、マガ
ジン交換位置１６とマガジン作業位置１１との間を矢示
Ｘ方向に往復動可能とされ、該往復動はシリンダ装置２
４の駆動を介して行なわれる。シリンダ装置２４は、マ
ガジン交換位Ｉｔ　ｌ　６を挾んだマガジン作業位置１
１の対向位置に配設され、ピストンロッド２５を矢示Ｘ
方向に駆動可能としてなる。ピストンロッド２５には、
スライドロッド２６が平行状態で隣接されてなり、ピス
トンロッド２５と該スライドロッド２６は連結体２７に
より連結されてなる。

このスライドロッド２６は、支持体２８に対してスライ
ド可能に支持されてなり、該スライドロッド２６の先端
部には前記移送体２３が結合される。この結果、シリン
ダ装置２４のピストンロー。

ド２５の駆動により、移送体２３を矢示Ｘ方向に移動さ
せることが可能となる。

さらにシリンダ＃２１２４は固定フレーム２９に対し、
矢示Ｚ方向に昇降可能とされる［第２図参照コ。すなわ
ち、シリンダ装置２４は、本体部側方の保持部３０をＺ
方向に配設されるガイドロッド３１に上下動可能に支持
されてなる。ガイドロッド３１は、固定フレーム２９上
に配設されるモータ３２に底部を支持させてなり、該モ
ータ３２の駆動軸にはスクリュー軸３３が連結される。

スクリュー軸３３は、モータ３２の駆動により、矢示Ｃ
方向に回動可能とされ、該スクリュー軸３３のネジ部は
保持部３０に螺合される。これにより、モータ３２を駆
動することでシリンダ装置２４を上下に駆動することが
可能となり、これに伴ない移送体２３を上下に昇降する
ことが可能となる。移送体２３の昇降は、下降端位置３
４と上昇端位置３５の間で行われ、これら各位置３４．
３５への移送体２３の移動規制は、ガイドロッド３１に
配設されるストッパ手段３６により行なわれる。

移送体２３による作業位Ｉｌｌへのマガジン１２の移載
は、先ずピストンロッド２５を後退駆動し、該移送体２
３をマガジン交換位ｍ１６に位置決めして行われる。ま
た１、この際、移送体２３は第２図の実線に示す下降端
位置３４に下降し、位置決めさせる。この状７ｒｉｉで
コンベア１７がピッチ駆動され、交換位置１６に対する
入側から作業前のマガジン１２が移送されることとなる
。移送されるマカジン１２は、マガジン交換位置１６に
位置決めされる移送体２３に衝合され、この際該マガジ
ン１２のＸ方向における両端部は、移送体２３の保持凸
部３７により保持されることとなる。移送体２３に保持
された作業前のマガジン１２は、ピストンロッド２５の
前進駆動によりレール２２を走行する状態でマガジン作
業位置ｔｉに移送される。該移送されるマガジン１２は
、レール２２の端部に設けられたストッパ３８に衝合す
ることで作業位置１１に位置決めされる。

作業位２１１に作業前のマガジン１２が位置決めされる
と、該マガジン１２内に収納されるリードフレーム１４
が順次半導体製造装置のリードフレーム搬送部１３に移
載される。リードフレーム搬送部１３を挾んだマガジン
作業位Ｉｌｌの対向位置には、リードフレーム移載装置
３９が配設される［第３図参照］、この移載装置３９は
、第４図に示すように固定フレーム４０に対してｈ下動
されるＡ降フレーム４１を備えてなり、さらに該昇降フ
レーム４１には、Ｙ方向に駆動されるスライドアーム４
２が備えられる。スライドアーム４２の先端部には、ノ
ズル保持体４３が支持されてなり、さらに該保持体４３
には４つの吸着ノズル４４が支持されてなる。吸着ノズ
ル４４は、昇降フレーム４１の上下動およびスライドア
ーム４２のスライド駆動により１作業位ｉｌｌとリード
フレーム搬送部１３との間を矢印りに示す状態で往復動
される。吸着ノズル４４は作業位置１１におけるノズル
下降端位置４５でマガジン１２内にａ層される最上部の
リードフレーム１４を保持可能とし、さらに該リードフ
レーム１４は、吸着ノズル４４に保持される状態でリー
ドフレーム搬送部１３に移送される。移送されたリード
フレーム１４７よ、吸着ノズル４４から保持解放され、
これにより該リードフレーム１４は、搬送部１３上に移
載されることとなる。

作業位置１１におけるレール２２の下方には、リードフ
レーム昇降装置４６が配設される。この昇降装置４６は
、作業位置１１に位置決めされるマガジン１２の内部と
レール２２の下方との間を上下動するリードフレーム支
持体４７を備えてなる。すなわち、リードフレーム支持
体４７、に昇移動により底開口部２１からマガジン１２
の内部に移動可能とされ、マガジン１２内に収納される
リードフレーム１４を上下動可能としている。リードフ
レーム支持体４７の上下動は、該支持体４７を支持する
昇降フレーム４８を上下動することにより行なわれ、さ
らに昇降フレーム４８の上下動は、固定フレーム４９に
支持される昇降モータ５０の駆動により行なわれる。

すなわち、昇降フレーム４８は、固定フレーム４９上に
配設されるガイドロンド５１に対して上下動ｒｉ■能に
支持され、該シフ降フレーム４８はモータ５０の駆動軸
に連結されるスクリュー軸５２と螺合される。これによ
り、モータ５０を駆動し、スクリュー軸５２を矢示Ｙ方
向に回動することでＨ降フレーム４８を上下動すること
が可能となり、さらにリードフレーム支持体４７　％　
！！降移動されることとなる。

リードフレーム支持体４７は、マガジン１２の内部に収
納されるリードフレーム１４のうち、最上部のリードフ
レーム１４が吸着ノズル４４に吸着され、摘出された状
態で上昇される。これにより、摘出されたリードフレー
ム１４の下段のリードフレーム１４をノズル４４の下降
端位置４５に位置決め可能としている。このように、リ
ードフレーム支持体４７は、最上段のリードフレーム１
４が摘出されると同時に順次、ｌピ・ツチ［ｌピッチェ
リードフレームの厚みｔ］ずつ上昇され、これによりマ
ガジン１２の内部に収納されるリードフレーム１４を順
次半導体製造装置のリードフレーム搬送部１３に移載す
ることが可能となる。

リードフレーム搬送部１３に移載、されるリードフレー
ム１４は順次矢示Ｙ方向に搬送され、ペレットの組付、
樹脂側上等の工程に移動されることとなる。作業位２１
１１に位置決めされるマガジン１２の内部の全リードフ
レーム１４がリードフレーム搬送部１３に移載されると
、リードフレーム支持体４７は再びレール２２の下方へ
下降される。

上記のようにして、移載作業を完了した空のマガジン１
２は、移送体２３の矢示Ｇ方向の移動により、再びマガ
ジン交換位、１１６に移載し、位置決めされる。この状
態でマガジン１２を保持していた移送体２３がモータ３
２の駆動により上昇移動され、第２図に示す上昇端位置
３５に上昇されることとなる。これにより、鎖交のマガ
ジン１２の移送体２３による保持状態が解除されること
となる。これとともにコンベア１７の搬送ベルト１９が
間欠駆動され、鎖交のマガジン１２はマガジン排出位１
１８に移送される。これとともに、マガジン交換位置１
６には、次にリードフレーム１４の供給を行う作業前の
マガジン１２が搬送されることとなり、上記のようにし
てマガジン作業位置１１へ移載される。

一方、マガジン排出位置１８には、空マガジン収容部５
３が配設され、該収容部５３は、マガジン排出位置１８
に向けた開口部を備える自体とされる。すなわち、マガ
ジン排出位置１８に移送される空のマガジン１２は、順
次収容部５３内に矢示Ａ方向に押し入れられ、収容可能
とされる。矢示Ａ方向に押し入れられるマガジン１２の
うち。

先頭のマガジン１２が、収容部５３内の壁部５４に当接
されると、該壁部５４に設けられたリミットスイッチ５
５が作動される。リミットスイッチ５５が作動されると
、ブザーその他のモニタ手段が作動され、収容部５３内
が満杯状態となったことを作業者に知らせるようにして
いる。これにより、作業者は新しい空マガジン収容部５
３をマガジン排出位置１８に接続し、該収容部５３内に
空のマガジン１２を収容するようにしている。

上記の構成からなるリードフレームの供給−排出装置ｌ
Ｏによれば、リードフレーム１４を収容する作業前のマ
ガジン１２を順次作業位置１１に自動的に搬送すること
が可能となり、半導体製造９置のリードフレーム搬送部
１３に順次リードフレーム１４の供給を行うことができ
る。一方、本装置１０は、上記実施例とは逆に例えば半
導体製造装置から作業位置１１にリードフレーム１４を
移載し１作業位ｉｌｌに位置決めされる空のマガジン１
２に該リードフレーム１４を収納するリードフレームの
排出装置としても用いることが可能となる。この場合、
マガジン待機位置１５には空のマガジン１２が投入され
、マガジン排出位置１８にはリードフレーム１４を収納
したマガジン１２が移送されることとなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例に係るリードフレームの供給争排出装置１０
によれば、マガジン作業位置ｌｌに隣接する位置にマガ
ジン交換位置１６を設け、該交換位ｉ１６に対するマガ
ジン待機位１１５およびマガジン排出位置１８の高さレ
ベル、さらには交換位置１６に対する作業位ｉｌｌの高
さレベルをそれぞれ同一としたため、待機位置１５から
排出位置１８に至るマガジン１２の搬送ラインが同一平
面上に設定されることとなる。これにより、装置１０を
構成する機械の駆動機構が単純化され、さらには待機位
Ｗ１１５へのマガジン１２の搬入および排出位置１８か
らのマガジン１２の搬出も回し高さレベル上で行うこと
が可能となり、従来に比べ作業性が向上されることとな
る。また、装置に対するメンテナンスも同じ高さレベル
で行うことが可能となり、従来に比べ作業性も向上され
ることとなる。

第５図は、本発明の他の実施例に係るリードフレームの
供給φ排出装置を示す４ｔＴＩ′ｉｌｉ図である。先の
実施例においては待機位置１５から交換位置１６、交換
位置１６から排出位置１８へのマガジン１２の移送をコ
ンベア１７の駆動により行うこととしているが、第５図
に示す実施例においては、コンベア１７に換えて移送体
６０を用いることとしている。移送体６０は、第１およ
び第２の各シリンダ装置６１．６２の駆動により矢示Ｙ
方向にスライドｎ）能とされる。すなわち１１１２送ロ
ボン；・等により待機位置１５に投入されるマガジン１
２は、第１シリンダ装置６１の駆動によりマガジン交換
装５１６に移送可能とされる。さらにマガジン交換位ｆ
ｆ１１６に位置決めされる作業後のマガジン１２は、第
２シリンダ装置６２の駆動によりマガジン排出位置１８
に移送される０本実施例によれば間欠的な各シリンダ装
置６１．６２の駆動により順次マガジン１２の移送を行
うことが可能となる。その他の構成および作用は前記実
施例と同様である。

［発明の効果］ 以上のように、本発明は、複数枚のリードフレームを収
容可能とするマガジンをマガジン作業位置に位置決めし
、マガジン作業位置に位置決めされたマガジンとリード
フレーム搬送部との間でリードフレームの移載作業を行
うリードフレームの供給Φ排出装置において、マガジン
作業位置に隣接してマガジン交換位置を設け、マガジン
交換位置の入側における同一高さレベルにマガジン待機
位置を設け、マガジン交換位置の出側における同一高さ
レベルにマガジン排出位置を設け、マガジン交換位置か
らマガジン作業位置に作業前のマガジンを移載し、マガ
ジン作業位置からマガジン交換位置に作業後のマガジン
を移載する手段と、マガジン待機位置に投入された作業
前のマガジンをマガジン交換位置に移送し、かつマガジ
ン交換位置に移載された作業後のマガジンをマガジン排
出位置に移送する手段とを有することとしたため、機械
構成を単純化するとともに、マガジンの搬入、搬出の作
業性を良好にすることできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るリードフレームの供給
・排出装置を示す平面図、第２図は第１図の■−■線に
沿う断面図、第３図は第１図の矢視■方向から観た斜視
図、第４図は第１図の■−■線に沿う断面図、！１８５
図は本発明の他の実施例に係るリードフレームの供給・
排出装置を示す平面図である。 １０・・・リードフレームの供給Φ排出装置、１１・・
・マガジン作業位置、１２・・・マガジン、１３・・・
リードフレーム＋１１１送Ｍ、１４・・・リードフレー
ム、１５・・・マガジン待機位置、１６・・・マガジン
交換位置。 １７・・・コンベア、１８・・・マガジン排出位置、２
３・・・移送体、３９・・・リードフレーム移載装置、
６０・・・移送体。 代理人　弁理士　　塩　川　修　治 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数枚のリードフレームを収容可能とするマガジ
   ンをマガジン作業位置に位置決めし、マガジン作業位置
   に位置決めされたマガジンとリードフレーム搬送部との
   間でリードフレームの移載作業を行うリードフレームの
   供給・排出装置において、マガジン作業位置に隣接して
   マガジン交換位置を設け、マガジン交換位置の入側にお
   ける同一高さレベルにマガジン待機位置を設け、マガジ
   ン交換位置の出側における同一高さレベルにマガジン排
   出位置を設け、マガジン交換位置からマガジン作業位置
   に作業前のマガジンを移載し、マガジン作業位置からマ
   ガジン交換位置に作業後のマガジンを移載する手段と、
   マガジン待機位置に投入された作業前のマガジンをマガ
   ジン交換位置に移送し、かつマガジン交換位置に移載さ
   れた作業後のマガジンをマガジン排出位置に移送する手
   段とを有してなることを特徴とするリードフレームの供
   給・排出装置。