JP2590488B2 - リ−ドフレ−ム搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序に従って本発明を説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.背景技術 D.発明が解決しようとする問題点 E.問題点を解決するための手段 F.作用 G.実施例［第１図乃至第４図］ a.構成［第１図乃至第４図］ b.動作 H.発明の効果 （A.産業上の利用分野） 本発明はリードフレーム搬送装置、特に１つの装置か
ら排出されたリードフレームを別の装置へ搬送するリー
ドフレーム搬送装置に関する。

（B.発明の概要） 本発明は、上記のリードフレーム搬送装置において、 １つの装置とその次の工程を行う別の装置との間の処
理能力の一時的アンバランスを吸収できるようにすべく
リードフレームを多数枚ストックできるようにするた
め、 上下２段のマガジン載置台と、その両端側にてリード
フレーム収納マガジンを昇降させる２台のエレベータ
と、エレベータとマガジン載置台との間でマガジンを移
送するところの各マガジン載置台に対応して設けられた
２個のマガジンシフタと、で構成するようにしたもので
ある。

（C.背景技術） IC、LSIの組立は、一般に、リードフレームに半導体
ペレットをダイボンディングし、必要に応じてキュア処
理をし、次にワイヤボンディングをし、抜き取り検査を
したうえでレジンモールドをするという順序で行われ
る。そして、従来においてはその組立はオフラインで行
われていたが、それではリードタイムが長くなり、生産
効率の向上が阻まれてしまう。

そこで、本願出願人会社においてはダイボンディング
からレジンモールドに至る諸工程をインラインで連続的
に行うようにする試みが為された。具体的には、ダイボ
ンダ、キュア装置（但し、銀ペーストを用いないでダイ
ボンディングする場合は該キュア装置は不要であ
る。）、複数台のワイヤボンダ、抜き取り装置、モール
ド装置をインラインで構成した半導体装置組立システム
を製造し、これによるIC、LSIの製造を試みた。

（D.発明が解決しようとする問題点） ところで、ダイボンダ、ワイヤボンダ及びモールド装
置は故障することが少なからずあり、また段取りも定期
的に必要である。そして、故障すると当然に処理能力が
低下し、場合によっては処理能力が０になってしまう。
段取りをしているときも当然に処理能力が０になる。そ
して、ダイボンダあるいはワイヤボンダと、モールド装
置とのいずれかが故障あるいは段取りで停止すると、半
導体装置組立システム全体が停止し、生産効率が０にな
ってしまう。これでは設備の利用効率を充分に大きくす
ることができず、充分な生産量が得られなくなる虞れが
ある。

そこで、ある装置とその次の工程を行う別の装置との
間に処理能力をアンバランスが生じてもシステム全体と
しての生産効率が著しく低下しないようにする必要性に
迫られた。

本発明はその必要性に応えるべく為されたものであ
り、１つの装置と次の工程を行う別の装置との間の処理
能力のアンバランスを吸収するためリードフレームを多
数枚ストックすることのできるリードフレーム搬送装置
を提供することを目的とする。

（E.問題点を解決するための手段） 本発明リードフレーム搬送装置は上記問題点を解決す
るため、上下に２個のマガジン載置台を設け、その両端
側にリードフレーム収納マガジンを昇降させるエレベー
タを設け、更に、エレベータとマガジン載置台との間で
マガジンを移送するマガジンシフタを各マガジン載置台
に対応して設けたことを特徴とする。

（F.作用） 本発明リードフレーム搬送装置によれば、マガジン載
置台の一方の側、例えば右側のエレベータが下降した位
置にあるときそのエレベータに載置されている空マガジ
ンにリードフレームを供給し、その供給を終えると、エ
レベータを上昇させ、このエレベータ上のマガジンを上
側のマガジンシフタにて上側マガジン載置台上に移送す
ることによりリードフレームをストックすることができ
る。そして、上側マガジン載置台上のマガジンを上側の
マガジンシフタにて他方の側、例えば左側のエレベレー
タ上に移送し、該エレベータ上に載置されたマガジンか
らリードフレームを次の工程の装置へ供給することによ
りリードフレームの排出を行うことができる。

そして、リードフレームの排出を終えたマガジンを載
置しているエレベータを下降させ、その空マガジンを下
側のマガジンシフタにて下側のマガジン載置台上に移送
することにより次のリードフレームの供給を受けるため
の待機をさせることができる。

しかして、装置内においてマガジンを循環させながら
リードフレームの搬入、ストック、搬出を行うことがで
きる。

（G.実施例）［第１図乃至第４図］ 以下、本発明リードフレーム搬送装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。

（a.構成）［第１図乃至第４図］ 第１乃至第４図は本発明リードフレーム搬送装置の一
つの実施例を示すもので、第１図は装置全体の概略を示
す斜視図、第２図は装置全体の概略を示す正面図、第３
図はエレベータの機構を示す斜視図、第４図はマガジン
シフタの機構を示す斜視図である。

図面において、１は下側マガジン載置台で、適宜離間
して互いに平行に配置された一対のマガジン載置片1a,1
bからなる。該マガジン載置台１は汎用のリードフレー
ム収納マガジンＭを第２図における紙面と垂直の向きに
して複数個、例えば６個第２図における左右方向に並べ
て配置することができる。尚、１個のリードフレーム収
納マガジンＭは40枚を収納することができる。２は下側
マガジン載置台１の上方に設けられた上側マガジン載置
台で、下側マガジン載置台１と全く同じように一対のマ
ガジン載置片2a、2bからなる。

３は収納エレベータで、下側マガジン載置台１の第２
図における右側にあたる位置と上側マガジン載置台２の
同じく右側にあたる位置との間を上下動し、リードフレ
ーム収納マガジンＭを上昇させる役割を果す。４は排出
エレベータで下側マガジン載置台１の第２図における左
側にあたる位置と上側マガジン載置台２の同じく左側に
あたる位置との間を上下動し、リードフレーム収納マガ
ジンＭを下降させる役割を果す。

５は下側マガジンシフタで、上下動と第２図における
左右方向の動きを組み合せたブロックモーションを為
し、下降した状態の排出エレベータ４上にある空のマガ
ジンＭを下側マガジン載置台上に移送したり、下側マガ
ジン載置台１上のマガジンＭを下降した状態の収納エレ
ベータ３上に移送したりする役割を担う。６は上側マガ
ジンシフタで、やはり上下動と左右方向の動きを組み合
せたブロックモーションを為し、上昇した状態の収納エ
レベータ３上にあるリードフレームが入ったマガジン
（以後「実マガジン」という）Ｍを上側マガジン載置台
２上に移送したり、上側マガジン載置台２上の実マガジ
ンＭを上昇した状態の排出エレベータ４上に移送したり
する役割を担う。

第２図において、Inは収納エレベータ３上の空マガジ
ンＭに対して前の工程の装置、即ち、抜き取り装置から
リードフレームの供給が行われる位置を示す。このリー
ドフレームの供給は具体的には第２図の紙面に対して垂
直に往復移動する図示しないリードフレーム移送具によ
り行われ、該リードフレーム移送具による１枚のリード
フレームのマガジンＭへの供給を終える毎に収納エレベ
ータを１段ずつ上昇させることにより空マガジンＭに上
から順番に１枚ずつリードフレームを供給することがで
きるようになっている。Outは排出エレベータ４上の実
マガジンＭから次の工程の装置、即ち、モールド装置へ
のリードフレームの排出が行われる位置を示す。この排
出も図示しないリードフレーム移送具により行われる。

次に、第３図に従ってエレベータ機構を詳細に説明す
る。この図は排出エレベータ４を示すが、収納エレベー
タ３も排出エレベータ４とは向きこそ違うが構造、機能
は全く同じである。

７はグランドに垂直に固定されたモータ、８は該モー
タ７の回転軸に固定されたスピンドルで、外面にねじが
形成されている。９は垂直移動部で、上記スピンドル８
に歯合した雄ねじを有しており、該垂直移動部９の一側
面にエレベータ支持片10の中央部が固定されている。1
1、11はエレベータ支持片10の両端部に固定された摺動
部であり、垂直ガイド軸12、12に摺動自在に外嵌されて
いる。13、13は垂直ガイド軸12、12の上下両端を保持す
る水平板であり、上側の水平板13はモータ７の回転軸に
固定されたスピンドル８の上端を軸支している。尚、水
平板13、13の位置は固定されている。

しかして、モータ７が正逆回転すると垂直移動部９が
それに伴って上下動し、従ってエレベータ４が上下動す
る。その際、垂直ガイド軸12、12とそれに摺動自在に外
嵌された垂直ガイド軸12、12とによってエレベータ支持
片10の上下動に対するガイドが為される。

第４図はマガジンシフタの機構を示す斜視図である。
この図は上側マガジンシフタ６を示すが、下側マガジン
シフタ５も上側マガジンシフタ６と全く同じ構造、機能
を有している。

14は支持板で、該支持板14にマガジンシフタ６が支持
されている。15、15は該支持板14を垂直方向に案内する
ガイド機構である。尚、一方のガイド機構15は要部が図
面に現われない。16は支持板14を垂直方向に往復移動す
る昇降機構である。17は該昇降機構16を構成するシリン
ダであり、該シリンダ17が往復運動すると支持板14はガ
イド機構15、15によって案内されながら上下動する。18
は水平移動板で、該水平移動板18に上記昇降機構16及び
ガイド機構15、15が取り付けられているのである。該水
平移動板18はマガジン載置片2a、2bと平行に配置された
一対のガイドレール19、19によってマガジン載置台２の
長手方向と平行に移動可能に支持されており、そして、
動力源を図示しない水平駆動機構20によって水平方向に
往復移動せしめられるようになっている。21は水平駆動
機構20を構成するスピンドルで、該スピンドル21の周面
にはねじ溝が形成されており、そして図示しない動力源
たるモータの回転軸に連結されている。該スピンドル21
には雌ねじが形成された移動部22が歯合され、該移動部
22が水平移動板18に固定されている。

しかして、図示しないモータを正逆回転させることに
よりマガジンシフタ６を第２図における左右方向に移動
させることができ、シリンダ17を往復運動させることに
よりマガジンシフタ６を上下動させることができる。従
って、ブロックモーションが可能なのである。尚、マガ
ジンシフタ６は上側から見てマガジン載置台２を構成す
る一対のマガジン載置片2aと2bよりも内側にあたるとこ
ろに位置されている。

（b.動作） 次に、本リードフレーム搬送装置をインライン構成の
半導体装置組立システムの抜き取り装置とモールド装置
との間に設け、自動的にリードフレームの搬入、ストッ
ク、搬出を行う場合の動作について第２図を参照しなが
ら説明する。

通常の状態では下側マガジン載置台１上には空マガジ
ンＭ、Ｍ、…のみが載置されている。そして、下側マガ
ジンシフタ５は下側マガジン載置台１上のマガジンＭ、
Ｍ、…のうち最も右側にあるマガジンＭを下降した状態
にある収納エレベータ３上に移送する。尚、下側マガジ
ンシフタ５の移送途中のＡの位置（第２図参照）におい
てこれに載置されているマガジンＭにリードフレームが
入っているか否かのチェックが自動的に行われるように
なっている。

収納エレベータ３上にマガジンＭが移送されると、そ
のマガジンＭが空の場合そのマガジンＭに１個ずつリー
ドフレームが収納され、収納が終ると上側マガジン載置
台２と同じ高さまで収納エレベータ３が上昇する。

次に、マガジンシフタ６がマガジン載置台２よりも稍
下降しその状態で収納エレベータ３（現在上昇した位置
にある）上の実マガジンＭの下方に当る位置まで水平移
動し、次いで上昇してその実マガジンＭを支持し、その
まま第２図における左側に移動し更に下降してＢに示す
位置で停止する。そして、マガジンシフタ６はそこで待
機する。一方、収納エレベータ３は下側マガジン載置台
１と同じ高さまで下降する。収納エレベータ３が下降す
るとは再び下側マガジンシフタ５から空マガジンＭを受
取りリードフレーム収納後これを上側へ搬送するためで
ある。このように、収納エレベータ３は下側マガジンシ
フタ５から空マガジンＭを受取り、リードフレーム収納
後上昇し、マガジンＭ（現在実マガジンになってい
る。）が上側マガジンシフタ６によって受取られた後下
降するという動作を常に繰返す。

ところで、マガジンシフタ６に載置されたマガジンＭ
中のリードフレームは、Ｂに示す位置にマガジンシフタ
６が待機している間に抜き取り検査によってそのマガジ
ンＭ中のリードフレームに不良品が存在することが判明
した場合には全数検査に供されることになる。全数検査
はオペレータがそのマガジンシフタ６上のマガジンを取
り去りリードフレーム搬送装置外部において行う。そし
て、全数検査で合格となったリードフレームはオペレー
タがマガジンＭに収納して上側マガジン載置台２の最も
右側の部分であるＣに示す位置に置く。

Ｂに示す位置に待機しているマガジンシフタ６上の抜
き取り検査で問題がないと判断された実マガジンＭある
いはリードフレームの全数検査が済んでＣに示す位置に
待機している実マガジンＭはマガジンシフタ６によって
排出エレベータ４（勿論、現在上側マガジン載置台２と
同じ高さまで上昇している）上に搬送される。この搬送
はマガジンシフタ６の上下方向の動きと左右方向との動
きとを組合せたブロックモーションによって為されるこ
とはいうまでもない。尚、若し上側マガジン載置台２上
にマガジンＭが存在しているときはとりあえず上側マガ
ジン載置台２の空いている部分のうち最も排出エレベー
タ側の位置までマガジンＭが搬送される。そして、最も
排出エレベータ側にあるマガジンＭが排出エレベータ４
上に搬送されることになる。

排出エレベータ３上に実マガジンＭが搬送されると、
実マガジンＭ中のリードフレームが第２図のOutの位置
にて最も下側のものから一枚ずつモールド装置外へ排出
される。尚、一枚ずつ排出される毎に排出エレベータ４
が一段ずつ下がることは前述の通りである。そして、排
出を全部終えると、排出エレベータ４は下側マガジン載
置台１と同じ高さまで下降する。すると、下側マガジン
シフタ５によって排出エレベータ４上のマガジン（今は
空マガジンになっている）Ｍが下側マガジン載置台１上
の空いている部分のうちの最も収納エレベータ３側の位
置まで搬送される。若し、下側マガジン載置台１上にマ
ガジンがない場合にはマガジンＭは第２図のＡに示す位
置まで搬送される。この空のマガジンＭが下側マガジン
シフタ５によって収納エレベータ３まで運ばれ、収納エ
レベータ３上においてリードフレームの供給を受けて上
側マガジン載置台２と同じ高さまで上昇せしめられるの
である。尚、下側マガジンシフタ５によって支持されて
いるマガジンＭが実マガジンであるときは収納エレベー
タ３上に移送されたとき前段の装置である抜き取り装置
からのリードフレームを受けることなく収納エレベータ
３によって上昇せしめられることになる。

このようにして、マガジンＭ、Ｍ、・・・はリードフ
レーム搬送装置内を循環しながらリードフレームを搬送
することができる。

このリードフレーム搬送装置はリードフレームのスト
ックを行うこともできる。即ち、モールド装置が停止し
た場合には、排出エレベータ４上の実マガジンＭからモ
ールド装置へのリードフレームの排出は行われず、上側
マガジン載置台２上に実マガジンＭ、Ｍ、・・・が溜
る。従って、数百枚ものリードフレームをストックする
ことが可能である。そして、モールド装置の運転が開始
されれば排出エレベータ４上のマガジンからのリードフ
レームの排出動作を開始すればよいということになり、
リードフレーム搬送装置の前段側の処理能力と次段側の
処理能力との間にアンバランスが生じてもそれを本リー
ドフレーム搬送装置によって吸収することができる。

尚、ロット切換時には次の動作が行われるようにす
る。

半導体装置組立システムにおいては本リードフレーム
搬送装置の前段に当る抜き取り装置においてロットの終
了が検知されると抜き取り装置からシステムコントロー
ラ経由でロットエンド信号がリードフレーム搬送装置に
伝送されるようになっており、リードフレーム搬送装置
が該ロットエンド信号を受けるとロットの最後のマガジ
ンの次に空マガジンＭを置くようにする（オペレータが
行う）。そして、この空マガジンＭが上昇した状態にあ
る排出エレベータ４上に載置されるとリードフレーム搬
送装置からモールド装置へ信号を送出する。そして、こ
のときモールド装置からリードフレーム要求がない場合
にはここでロットが終了する。若し、モールド装置から
リードフレーム要求があればオペレータが空マガジンＭ
にダミーのリードフレームを１枚入れてリードフレーム
供給スイッチを押すとリードフレームがモールド装置へ
排出されることになる。尚、リードフレーム要求が為さ
れるのはモールド装置での処理枚数が奇数の場合であ
る。というとは、モールド装置はリードフレームを２枚
単位で処理するので、ロットの最後に１枚だけリードフ
レームが残ったとするとその１枚のリードフレームが半
端になるのでそれに対するモールドができない。そこで
このような場合にはもう１枚のリードフレームを要求す
るのである。それに応じて１枚のダミーのリードフレー
ムを供給してやるとロットの最後の１枚のリードフレー
ムをダミーのリードフレームと共にレジンモールドする
のである。

次に、リードフレーム搬送装置をオフラインで操作す
る場合について説明する。先ず、リードフレーム搬送装
置より前側の装置が正常に動作しているがモールド装置
がが長い時間停止しているためリードフレームをリード
フレーム搬送装置外部にストックしなければならない場
合について述べる。

下側マガジン載置台１上の空マガジンＭは下側マガジ
ンシフタ５、収納エレベータ３が及び上側マガジンシフ
タ６の働きによってリードフレームを供給された実マガ
ジンとして自動的にＢに示す位置まで搬送されるとその
位置で停止する。そして、マガジン中にリードフレーム
が存在するかどうかをチェックされ、リードフレームが
存在すると確認されたときリードフレーム搬送装置から
警報が発生する。すると、オペレータがＢに示す位置に
ある実マガジンＭを取り出す。そして、その実マガジン
Ｍの代わりに空マガジンＭをＢに示す位置に置く。尚、
Ｂに示す位置に間違って実マガジンＭを置くとマガジン
の搬送が行われないようになっている。

次に、リードフレーム搬送装置より前側の装置が停止
しモールド装置の方が正常に動作しているので、リード
フレーム搬送装置外部でストックされているリードフレ
ームをモールド装置へ供給する場合について説明する。
この場合、オペレータが実マガジンＭをＢに示す位置に
置く。すると、ここでマガジンＭ中にリードフレームが
入っていることが自動的に確認されたうえで上側マガジ
ンシフタ６によって排出エレベータ４上に搬送され、こ
こで排出が為される。そして、排出によって空マガジン
になったマガジンＭが排出エレベータ４、下側マガジン
シフタ５、収納エレベータ３及び上側マガジンシフタ６
の働きにより装置内をぐるりとまわってＢの位置にくる
と自動的に警報が発生する。オペレータは警報を聞くと
空マガジンを取り出し代りに次の実マガジンを置く。こ
のようにしてリードフレーム搬送装置外部にストックさ
れたリードフレームをモールド装置へ供給することがで
きる。

（H.発明の効果） 以上に述べたところから明らかなように、本発明リー
ドフレーム搬送装置は、複数枚のリードフレームを収納
するリードフレーム収納マガジンを複数個並べて載置す
る２つのマガジン載置台が上下に配置され、上記２つの
マガジン載置台のうちの一方と同じ高さの位置と同じく
他方と同じ高さの位置との間で上下してリードフレーム
収納マガジンを昇降する一対のエレベータが上記マガジ
ン載置台の両端側に設置され、エレベータ上のリードフ
レーム収納マガジンをマガジン載置台上あるいは別のエ
レベータ上へ、マガジン載置台上のリードフレーム収納
マガジンをエレベータ上へ搬送するマガジンシフタが各
マガジン載置台に対応して設置されたことを特徴とする
ものである。

従って、本発明リードフレーム搬送装置によれば、一
方のエレベータが下降した位置にあるときそれに載置さ
れている空マガジンにリードフレームを供給し、その供
給を終えると、そのエレベータを上昇させ、このエレベ
ータ上のマガジンを上側のマガジンシフタにて上側マガ
ジン載置台上に移送することによりリードフレームをス
トックすることができる。そして、上側マガジン載置台
上のマガジンを上側のマガジンシフタにてマガジン載置
台の他方のエレベータ上に移送し、それに載置されたマ
ガジンからリードフレームを次の工程の装置へ供給する
ことによりリードフレームの排出を行うことができる。

そして、リードフレームの排出を終えたときこの排出
により空になったマガジンを載置しているエレベータを
下降させ、その空マガジンを下側のマガジンシフタにて
下側のマガジン載置台上に移送することにより次のリー
ドフレームの供給を受けるための待機をさせることがで
きる。

しかして、装置内においてマガジンを循環させながら
リードフレームの搬入、ストック、搬出を行うことがで
きる。そして、ストックができるので、本発明リードフ
レーム搬送装置を一つの装置とその次の工程の装置との
間に介在することによってその装置間の処理能力のアン
バランスを吸収することができるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明リードフレーム搬送装置の一
つの実施例を示すもので、第１図は概略を示す斜視図、
第２図は概略を示す正面図、第３図はエレベータ機構を
示す斜視図、第４図はマガジンシフタの機構を示す斜視
図である。 符号の説明 １、２……マガジン載置台、 ３、４……エレベータ、 ５、６……マガジンシフタ。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚のリードフレームを収納するリード
   フレーム収納マガジンを複数個並べて載置する２つのマ
   ガジン載置台が上下に配置され、 上記２つのマガジン載置台のうちの一方と同じ高さの位
   置と同じく他方と同じ高さの位置との間で上下してリー
   ドフレーム収納マガジンを昇降する一対のエレベータが
   上記マガジン載置台の両端側に設置され、 エレベータ上のリードフレーム収納マガジンをマガジン
   載置台上あるいは別のエレベータ上へ、マガジン載置台
   上のリードフレーム収納マガジンをエレベータ上へ搬送
   するマガジンシフタが各マガジン載置台に対応して設置
   された ことを特徴とするリードフレーム搬送装置