JP2573847B2 - 電子部品の製造工程間における自動ライン化装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、電子部品の製造工程間における自動ライ
ン化装置に関し、詳しくは、電子部品の製造において用
いるリードフレームの各製造工程間の移送を自動化しう
るように構成されたものに関する。

【従来の技術】

電子部品をリードフレームを用いて製造する場合、リ
ードフレームのアイランド部にチップ素子をボンディン
グするダイボンディング工程、リードフレームのインナ
リードとチップ素子とを結線するワイヤボンディング工
程、チップ部を樹脂封止する樹脂モールド工程などの工
程が踏まれることは良く知られているところであるが、
この場合、各工程装置間のリードフレームの移送には、
一般的に、複数のリードフレームを積層状に収納しうる
マガジンが利用されている。 たとえば、ワイヤボンディング工程においては、ダイ
ボンディングを終えたリードフレームを満載したマガジ
ンがダイボンディング工程から移送されて、ワイヤボン
ディング装置の搬送路の始点に配置される。そして、上
記マガジンからダイボンディング済みのリードフレーム
が搬送路上に順次送り出されて、ワイヤボンディング装
置によるワイヤボンディングが行われる。ワイヤボンデ
ィングを終えたリードフレームは、搬送路の始点に待機
する空のマガジンに順次収納されていき、そうして、マ
ガジンにリードフレームが満載された時点で、ワイヤボ
ンディング済みのリードフレームを収納したマガジン
が、次の工程装置に搬送されるというものである。

【発明が解決しようとする問題点】

ところで、マガジンの各工程装置間の運搬は、通常、
作業者による人手によって行われているため、従来か
ら、次のような問題点が懸案となっている。 まずその第一は、運搬時にマガジンを誤って倒してし
まったりするために、マガジン内のリードフレームが破
損させられ、また、リードフレームを手で触ってしまっ
てこれを汚損させてしまうことが多く、このために、電
子部品の不良品の発生を招くという問題である。 第二は、各工程間での製品管理の正確性に欠けるとい
う問題である。 たとえば、ダイボンディング工程とワイヤボンディン
グ工程の一電子部品当たりに対する作業速度は、前者が
後者を大きく上回っているため、通常、一台のダイボン
ディング装置によって処理されるリードフレームは、複
数台のワイヤボンディング装置に振り分けられて処理さ
れる。たとえば、チップボンディングの作業速度がワイ
ヤボンディングの作業速度の三倍になる場合には、一台
のダイボンディング装置に対して三台のワイヤボンディ
ング装置が備えられる。この場合、ダイボンディング済
みのリードフレームを収納するマガジンが、複数台のワ
イヤボンディング装置にそれぞれ振り分けられて運搬さ
れることになる。ところが、製品仕様が途中で切り替わ
った場合には、上述したようにマガジンの運搬が人手に
よるため、製品仕様の異なるリードフレームを収納した
マガジンがどのワイヤボンディング装置に振り分けられ
たかを、また、製品仕様の異なるリードフレームが、待
機するどのマガジンから収納されたかを管理することが
困難となる。このため、どうしても、製品完成後に、本
来同仕様のものばかりが集合するべき製品群中に、仕様
の異なる製品が混入してしまうという問題があった。 本発明は、以上のような事情のもとで考え出されたも
のであって、電子部品の製造工程間において、リードフ
レームを損傷させることなく、これを各工程装置間に移
送させることができるとともに、各工程間での製品管理
も過誤なく行うことが可能であり、しかも中間工程装置
の台数の変更や、リードフレームの幅等の仕様変更にも
適切に対処することが可能な電子部品の製造工程間にお
ける自動ライン化装置を提供することをその課題として
いる。

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決するため、本発明では次の技術的手
段を採用した。 すなわち、リードフレームが載置されるパレットを前
工程装置側から後工程装置側に搬送するフレーム搬送手
段と、上記前工程装置と後工程装置との間に配設されて
上記リードフレームに対して所定の加工を施す複数台の
中間工程装置と、上記中間工程装置による加工を終えた
リードフレームが取り出されて空載状態となったパレッ
トを上記後工程装置側から前工程装置側に搬送するパレ
ット回収手段と、上記パレット回収手段の終端側から上
記フレーム搬送手段の始端側に上記パレットを受け渡す
第一のパレット移送ユニットと、上記フレーム搬送手段
の終端側から上記パレット回収手段の始端側に上記パレ
ットを受け渡す第二のパレット移送ユニットと、を備え
た電子装置の製造工程間における自動ライン化装置であ
って、 上記フレーム搬送手段は、上記複数台の中間工程装置
のそれぞれの側方に個別的に設けられたベルトコンベア
からなる各フレーム搬送ユニットを直列的に配置するこ
とにより構成される一方、上記パレット回収手段は、上
記複数台の中間工程装置のそれぞれの側方に個別的に設
けられたベルトコンベアからなる各パレット回収ユニッ
トを直列状に配置することにより構成されており、 上記各フレーム搬送ユニットには、対応する中間工程
装置にリードフレームを送り込むための作業を行うリー
ドフレーム取り出し位置でパレットを一時的に停止させ
る第一のパレット停止手段と、上記中間工程装置による
加工を終えたリードフレームを上記パレットに戻すため
の作業を行うリードフレーム戻し位置でそのパレットを
再度一時的に停止させる第二のパレット停止手段とがそ
れぞれ設けられており、 上記各第一のパレット停止手段は、隣接する下流側の
フレーム搬送ユニットにパレットが未搬送の時には非作
動状態となるようにして、最下流側から順次上記リード
フレーム取り出し位置でパレットを停止させるととも
に、リードフレーム取り出し後非作動状態に戻るように
構成されており、 上記各第二のパレット停止手段は、上記各第一のパレ
ット停止手段が非作動状態に戻ることによって各フレー
ム搬送ユニット上を移動するパレットを上記リードフレ
ーム戻し位置で停止するべく作動するとともに、加工を
終えたリードフレームを各パレットが受け取った後非作
動状態に戻るように構成されており、 かつ、上記パレットは、幅の異なる複数のリードフレ
ーム載置部が階段状に形成されていて、幅の異なる複数
種類のリードフレームを載置できるように構成されてい
ることを特徴としている。

【作用】

上記の技術的手段によれば、各中間工程装置のそれぞ
れについて、フレーム搬送手段の構成要素であるフレー
ム搬送ユニットと、パレット回収手段の構成要素である
パレット回収ユニットとが、個別的に対応して設けられ
ていることになる。 したがって、パレットは、最上流側のフレーム搬送ユ
ニットから下流側のフレーム搬送ユニットに順々に移載
されながら搬送される。そして、最下流側のフレーム搬
送ユニットの終端位置に達したパレットは、第一のパレ
ット移送ユニットの動作によって、最上流側のパレット
回収ユニットの始端に受け渡される。この後、そのパレ
ットは、下流側のパレット回収ユニットに順々に移載さ
れながら搬送され、最下流側のパレット回収ユニットの
終端位置に達した位置で、第二のパレット移送ユニット
の動作によって、最上流側のフレーム搬送ユニットの始
端に受け渡される。この後は、再び上記と同様に各フレ
ーム搬送ユニットにより下流側に搬送されて、結果とし
て、そのパレットが循環されることになる。 このような循環経路に沿って複数のパレットが搬送さ
れる間においては、各パレットおよびこれに載置される
リードフレームは、次に述べるような各処理を施され
る。 すなわち、前工程装置における加工を終えたリードフ
レームを載置したパレットは、最上流側のフレーム搬送
ユニットにより、下流側に搬送される際に、そのユニッ
トの第一のパレット停止手段の配設箇所にいたる。この
とき、隣接する下流側のフレーム搬送ユニットにパレッ
トが未だ搬送されていない場合には、その停止手段が作
動しないことから、上記パレットは停止されることがな
く隣接する下流側のフレーム搬送ユニットに移載され
る。そして、この移載されたフレーム搬送ユニットにも
第一のパレット停止手段が配設されており、上記と同様
に、隣接するさらに下流側のフレーム搬送ユニットのパ
レットが未搬送の場合には、そのユニットに上記パレッ
トが移載される。このような動作が順次行われることに
より、上記パレットが下流側のフレーム搬送ユニットに
移載された場合には、もはやその下流側にフレーム搬送
ユニットが存在していないことから、そのユニットの第
一のパレット停止手段が作動し、上記パレットは、まず
そのユニットリードフレーム取り出し位置に停止され
る。また、この次に最上流側のフレーム搬送ユニットを
通じて搬送される二番目のパレットは、順々に下流側の
フレーム搬送ユニットに移載されるが、上記一番目のパ
レットが停止している最下流側のフレーム搬送ユニット
のひとつ上流側のフレーム搬送ユニットの第一のパレッ
ト停止手段の動作によって、そのユニットのリードフレ
ーム取り出し位置で停止される。 このような動作が順次行われることにより、全てのフ
レーム操作ユニットの各リードフレーム取り出し位置
で、パレットが一時的に停止した状態になる。この後
は、各パレットからリードフレームが取り出されて中間
工程装置に送り込まれ、所定の加工を施される。 全ての搬送ユニットの第一のパレット停止手段によっ
て停止させられている各パレットからリードフレームが
取り出されると、上記各第一のパレット停止手段が非作
動状態に戻り、空載状態のパレットがそれぞれ下流側に
移動する。各フレーム搬送ユニットにおける上記第一の
パレット停止手段の下流側には、それぞれ第二のパレッ
ト停止手段が設けられており、上記のように第一のパレ
ット停止手段が非作動状態に戻ることによっていっせい
に下流側に移動する各パレットは、作動状態となった各
第二のパレット停止手段によって、リードフレーム戻し
位置において再度一時的に停止させられる。 このように、第二のパレット停止手段の作動によって
再度フレーム戻し位置で一時的に停止させられている空
載状態のパレットに対して、加工を終えたリードフレー
ムが戻されて、再び各パレットは、フレーム載置状態と
なる。次いで、各第二のパレット停止手段が非作動状態
に戻り、各フレーム搬送ユニットのフレーム戻し位置で
一時的に停止させられていたパレットは、加工後のリー
ドフレームを載置した状態において一斉に下流側に搬送
され、最下流側のフレーム搬送ユニットの終端に達した
パレットから順に、そのリードフレームが後工程装置に
送り込まれる。これによって空載状態となったパレット
は、上記第一パレット搬送ユニットの動作によりパレッ
ト回収ユニットに受け渡される。 このようの一連に動作が繰り返して行われることによ
り、リードフレームは、前工程装置から中間工程装置を
経て後工程装置へ次々に連続して移送されていくことに
なる。 そして、以上のようにリードフレームの各工程装置間
の移送が自動化されることにより、人手の介在が削減さ
れあるいはなくなる。 加えて、上記各中間工程装置には、それぞれ、各フレ
ーム搬送ユニットと各パレット回収ユニットが個別的に
対応して設けられているので、たとえば、前工程装置の
処理能力が増大した場合には、上記両ユニットを備えた
新たな中間工程装置を、既存の各中間工程装置の配列途
中に挿入すれば、容易にライン長さを延長することがで
きる。また、これとは逆に、上記前工程装置の処理能力
が減少した場合には、既存の中間工程装置を両ユニット
とともに取り除くことにより、容易にライン長さを短縮
することができる。 さらに、本発明では、リードフレームを載置するため
の各パレットとして、幅の異なる複数のリードフレーム
の載置部が階段状に形成されていて、幅の異なる複数種
類リードフレームを載置できるように構成されているこ
とから、パレットの平面的な大きさを必要最小限の大き
さに維持しながら、同一のパレットで、幅の異なる複数
種類のリードフレームを載置することができるようにし
ている。これにより、各中間工程装置によって処理する
べきリードフレームのタイプを、特に幅方向の寸法が異
なるタイプに変更する場合についても、複数の種類のパ
レットを準備しておくことなく、容易に対応可能とな
る。

【効果】

以上のように、本発明にかかる自動ライン化装置によ
れば、従来のようなマガジンを利用した人手による搬送
中の事故により、リードフレームが損傷するという問題
が回避されるとともに、各工程処理間における製品管理
も良好に行うことが可能になる。また、収納可能なリー
ドフレームの種類がある程度限定されるマガジンを使用
せずに、幅の異なる複数種類のリードフレームを載置で
きるように構成されたパレットを使用するようにしてい
ることから、種々の形態のリードフレームをパレットを
変更することなく各中間工程装置間を搬送できるように
なり、きわめて汎用性に富むようになるという利点が得
られる。 加えて複数台の中間工程装置にそれぞれ個別的に対応
する各フレーム搬送ユニットおよび各パレット回収ユニ
ットを直列状に配置させることにより、フレーム搬送手
段およびパレット回収手段が構成されていることから、
中間工程装置の設置台数の変更を容易を行えることにな
る。このことも、リードフレームに対する中間工程処理
の変更に容易に対応できることになり、装置の汎用性も
大いに高めることに寄与する。 さらに、各フレーム搬送ユニットに、第一のパレット
停止手段および第二のパレット停止手段を設け、各フレ
ーム搬送ユニットが直列状に配設されているにもかかわ
らず、最上流側から順次フレーム搬送手段に送り込まれ
たパレットが最下流側のフレーム搬送ユニットから順に
リードフレーム取り出し位置で停止されてゆくように構
成されているので、中間工程装置の設置台数を変更した
場合であっても、変更前と同様にパレットの所定位置で
の停止動作が適切に行われる。 したがって、中間工程装置の台数変更にともなうライ
ン長さの変更時にパレット停止手段の制御系統の構成を
変更するための作業が不要になる。この結果、上記ライ
ン長さが延長あるいは短縮がきわめて容易に行えるよう
になり、このことも、本発明の自動ライン化装置の汎用
性を高めることに寄与する。

【実施例の説明】

以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら、具体
的に説明する。 本例では、本発明の自動化ライン装置を、電子部品の
製造工程のうち、製造装置の作業速度の差が大きいダイ
ボンディング工程とワイヤボンディング工程との間で構
成した例を示している。また、ダイボンディング装置の
作業速度が、ワイヤボンディング装置の作業速度の三倍
と仮定して、一台のダイボンディング装置に対して、ワ
イヤボンディング装置を三台用意した場合を示してい
る。 第１図に示すように、前工程装置としてリードフレー
ムＬのアイランド部にチップ素子をボンディングするダ
イボンディング装置１の後には、チップ素子をアイラン
ド部に接着させる融着材を乾燥させるためのキュア装置
２が配置されている。そして、このキュア装置３の後
に、上記キュア装置２によるキュア工程を終えたダイボ
ンディング済みのリードフレームＬが送り込まれるリー
ドフレーム載置台３が配設されている。 ダイボンディング工程に続いて中間工程装置としてワ
イヤボンディングを行うワイヤボンディング装置４は、
ダイボンディング装置１およびキュア装置２で構成され
た前工程装置と、たとえば樹脂モールド装置などの後工
程装置５との間に、直列状態で三台配置されている。こ
れらワイヤボンディング装置４…の側方には、リードフ
レームＬを載置するパレットＰを前工程装置側から後工
程装置側へ搬送する搬送路７を備えたフレーム搬送ライ
ンが、フレーム搬送手段として、前後の工程装置間を走
っており、また、このフレーム搬送ライン６の下方に
は、第２図に示すように、空載状態のパレットＰを後工
程装置側から前工程装置側へ搬送する搬送路９を備えた
パレット回収ライン８が、パレット回収手段として、上
記フレーム搬送ライン６と同様に前後の工程装置間を走
っている。 上記フレーム搬送ライン６は、第１図および第２図に
示すように、各ワイヤボンディング装置４…に対してそ
れぞれ専用に設けられたフレーム搬送ユニット10…によ
って構成されている。このフレーム搬送ユニット10は、
図示しない駆動装置によって第２図において時計回り方
向に回転駆動される駆動プーリ11と従動プーリ12とに巻
回されて矢印Ａ方向に走行する平ベルト13を備えてい
る。そして、各フレーム搬送ユニット10…が、各ワイヤ
ボンディング装置４…と同様にこれらの側方において直
列状態で配置されることにより、フレーム搬送ライン６
が形づくられ、略連続に並ぶ各平ベルト13…によって、
フレーム搬送ライン６の上記搬送路７が形成されてい
る。 一方、第２図に示すように、上記パレット回収ライン
８も、上記フレーム搬送ライン６と同様に、各ワイヤボ
ンディング装置４…に対してそれぞれ専用に設けられた
パレット回収ユニット14…によって構成されている。ま
た、このパレット回収ユニット14も、上記フレーム搬送
ユニット10と同様に、図示しない駆動装置によって第２
図において反時計回り方向に回転駆動される駆動プーリ
15と従動プーリ16とに巻回されて、矢印Ｂ方向に走行す
る平ベルト17を備えている。そして、各パレット回収ユ
ニット14…が、ワイヤボンディング装置４…側方におい
て直列状態で配置されることにより、パレット回収ライ
ン８が形づくられ、略連続に並ぶ各平ベルト17…によっ
てパレット回収ライン８の上記搬送路９が形成されてい
る。 すなわち、各ワイヤボンディング装置４…の各々に、
フレーム搬送ライン６を構成するフレーム搬送ユニット
10と、パレット回収ライン８を構成するパレット回収ユ
ニット14とが、その側方において上下にそれぞれ備えら
れている。したがって、ワイヤボンディング装置４を、
ライン間に新たに挿入し、あるいはライン中から除くだ
けで、フレーム搬送ライン６およびパレット回収ライン
８の延長および短縮を行うことができる。 また、上記フレーム搬送ユニット10には、フレーム搬
送ライン６に送り込まれるパレットＰを搬送路途次で一
時的に停止させるためのパレット停止手段として、第５
図に仮想線で示すようにパレットＰの前端壁に当接して
これを停止させるストッパ位置（作動状態）と、第５図
に実線で示すストッパ解除位置（非作動状態）との間を
進退するストッパピン34を備えたストッパ装置33a,33b
が設けられている。各フレーム搬送ユニット10の上流側
に設けられている第一のストッパ装置33aは、ダイボン
ディング済のリードフレームＬを載置するパレットＰか
らリードフレームＬが取り出されてこれがワイヤボンデ
ィング装置４のリードフレームセット部4aに送り込まれ
る第１図に実線で示すようなリードフレーム取り出し位
置において、各パレットＰを一時的に停止することがで
きるように配置されている。各フレーム搬送ユニット10
の下流側に配置される第二のパレット停止手段33bは、
ワイヤボンディングを終えてワイヤボンディング装置４
のリードフレーム送出部4bに送り出されたリードフレー
ムＬが上記リードフレーム取り出し位置でリードフレー
ムを取り出された空載状態のパレットＰに戻される、上
記リードフレーム取り出し位置よりも搬送路下流側に進
んだ第１図に仮想線で示すようなリードフレーム取り出
し位置において、上記パレットＰを停止させることがで
きるように構成されている。 そして、第１図に示すように、リードフレーム移送ユ
ニットとして、各ワイヤボンディング装置４…のリード
フレームセット部4aおよびリードフレーム送出部4bの側
方には、リードフレームＬを載せ上げるリフトフィンガ
36…をもつリードフレーム移送体35がそれぞれ設けられ
ている。このリードフレーム移送体35は、ベルトコンベ
ア装置の走行ベルト（図示略）に連結されることにより
もしくはエアシリンダ装置等によって、第１図に示す待
機位置とフレーム搬送ライン６における上記リードフレ
ーム取り出し位置あるいは上記リードフレーム戻し位置
との間を往復移動させられる。なお、リードフレームＬ
の積み下ろしのため、リードフレーム移送体35は、上記
移動行程間において、上記リードフレームセット部4aあ
るいはリードフレーム送出部4bで一時停止させられると
ともに、上記リフトフィンガ36…は、昇降機構（図示
略）によって所定行程上下動させられる。 また、本例の場合、リードフレームＬを載置するパレ
ットＰには、第５図ないし第７図に詳示するように、そ
の中央部において、長手方向に延びる凹部37がリードフ
レームＬのダウンセットの逃げとして形成されていると
ともに、リードフレームＬを支持するリードフレーム載
置部38…が上記凹部37の両側にそれぞれ設けられてい
る。さらに、パレットＰには、その両側壁間を貫通して
上記凹部37を横切るフィンガ溝39が、上記リードフレー
ム移送体35の各リフトフィンガ36…と対応する位置関係
をもって所定数形成されている。そして、本例の場合、
パレットＰからリードフレームＬの取り出しは、上記リ
ードフレーム取り出し位置に移動する上記リードフレー
ム移送体35のリフトフィンガ36…が、第５図および第６
図に示すようにパレットＰの側方から上記フィンガ溝39
…に進入した後、リフトフィンガ36…が上動してリード
フレームＬを持ち上げることにより行われる。一方、リ
ードフレームＬのパレットＰへの載せ置きは、リードフ
レーム移送体35が、リードフレームＬを載置するリフト
フィンガ36…をパレットＰの上下位置より上方に位置さ
せた状態で上記リードフレーム戻し位置にまで移動した
後、リフトフィンガ36…を下動させてリードフレームＬ
を第６図に示すようにリードフレーム載置部38…に載せ
置くことにより行われる。このとき、リフトフィンガ36
…は上記フィンガ溝39…内に入り込んでおり、リードフ
レーム移送体35はこの状態で後退して、リフトフィンガ
39…をパレット内から脱出させる。 そしてまた、第１図および第３図に示すように、フレ
ーム搬送ライン６の上流端側には、リードフレームＬを
載置したパレットＰ…がストックされ、かつ前工程装置
からフレーム搬送ライン６へのリードフレーム移送の経
由路となる第一のフレームバッファユニット19が、パレ
ット回収ライン８の下流端側には、上記第一のフレーム
バッファユニット19の下方に、パレット回収ライン８か
ら送り込まれる空載状態のパレットＰがストックされる
第一のパレットバッファユニット20が、それぞれ配設さ
れている。これらバッファユニット19,20は、第３図に
示すように、ベルトコンベヤ装置によって構成されてい
る。そして、第一のフレームバッファユニット19には、
矢印Ｃ方向に常時走行する走行ベルト21によって形成さ
れるストック搬送路22の終端位置において、パレットＰ
の移動を規制してストック搬送路上にパレットＰをスト
ックするためのストッパ23が設けられており、第二のパ
レットバッファユニット20には、矢印Ｄ方向に常時走行
する走行ベルト24によって形成されるストック搬送路25
の終端位置において、ストック搬送路上にパレットＰを
ストックするための、パレットＰの移動を規制するスト
ッパ位置とストッパ解除位置との間を進退するストッパ
26が設けられている。また、第一のフレームバッファユ
ニット19からフレーム搬送ライン６へのパレットＰの送
り出しは、図示はしていないが、たとえば、エアシリン
ダ装置等によって駆動されるピストンロッドにより、上
記ストッパ23によってストック搬送路上に停滞させられ
るパレットＰをフレーム搬送ライン６の搬送路上に押し
出すことによって行われる。 これに対して、フレーム搬送ライン６の下流端側に
は、第１図および第４図に示すように、フレーム搬送ラ
イン６から送り込まれるパレットＰを一時留めておく第
二のフレームバッファユニット27が、パレット回収ライ
ン８の上流端側には、第４図に示すように、上記第二の
フレームバッファユニット27の下方において、空載状態
のパレットＰを一時留めておき、かつフレーム搬送ライ
ン６からパレット回収ライン８へのパレット移送の経由
路となる第二のパレットバッファユニット28が、それぞ
れ配設されている。この第二のフレームバッファユニッ
ト27は、上記第一のパレットバッファユニット20と同様
の構成を備え、第二のパレットバッファユニット28は、
上記第一のフレームバッファユニット19と同様の構成を
備えている。すなわち、第二のフレームバッファユニッ
ト27には、第１図および第４図に示すように、上記矢印
Ｄ方向に常時走行する走行ベルト24によって形成される
ストック搬送路25の終端位置において、上記ストッパ26
が設けられている。一方、第二のパレットバッファユニ
ット28には、矢印Ｃ方向に常時走行する走行ベルト21に
よって形成されるストック搬送路22の終端位置におい
て、上記ストッパ23が設けられている。また、第二のパ
レットバッファユニット28からパレット回収ライン８へ
のパレットＰの送り出しも、上記第一のフレームバッフ
ァユニット19からフレーム搬送ライン６へのパレットＰ
の送り出しと同じ要領で行われる。 そうして、第１図および第３図に示すように、上記第
一のフレームバッファユニット19のストック搬送路始端
側およびパレットバッファユニット20のストック搬送路
終端側において、搬送ベルト30の走行方向を反転させる
ことができる第一ベルトコンベヤ装置29が、上記パレッ
ト回収ライン８から送り込まれる空載状態のパレットＰ
の供給を受けた後、これをリードフレームＬが載置され
た状態でフレーム搬送ライン６に送り込む第一のフレー
ム移送ユニットとして設けられている。このベルトコン
ベヤ装置29は、図示しないエレベータ機構によって、第
３図に仮想線で示すように、第一のパレットバッファユ
ニット20のストック搬送路25の終端に続き、第一のパレ
ットバッファユニット20から空載状態のパレットＰを送
り込まれるパレット供給位置と、上記第一のフレームバ
ッファユニット19と上記リードフレーム載置台３との間
に位置し、ダイボンディング済みのリードフレームＬを
パレットＰに載置された後、これを第一のフレームバッ
ファユニット19に送り込む、第１図および第３図に実線
で示すように上記パレット供給位置から上方に変位した
パレット送り込み位置との間を往復移動できるように構
成されている。そして、上記パレット供給位置において
は、上記搬送ベルト30を、第一のパレットバッファユニ
ット20の走行ベルト24の走行方向と同じ方向（矢印Ｅ方
向）に走行させることにより、第一のパレットバッファ
ユニット20からのパレットＰの送り込みをスムーズに行
わせるようにしており、パレットＰが所定位置に載置さ
れたところで搬送ベルト30の走行が停止される。なお、
第一のパレットバッファユニット19から第一ベルトコン
ベヤ装置29へのパレットＰの送り込みの際には、上記ス
トッパ26はストップ解除位置をとることになる。また、
上記パレット送り込み位置では、上記パレット供給位置
とは逆に（矢印Ｆ方向）搬送ベルト30を走行させて、第
一のフレームバッファユニット19のストック搬送路22に
パレットＰを送り込むようにしている。 一方、上記第二のフレームバッファユニット27のスト
ック搬送路終端側および第二のパレットバッファユニッ
ト28のストック搬送路始端側においては、上記第一ベル
トコンベヤ装置29と同様に搬送ベルト32の走行方向を反
転させることができる第二ベルトコンベヤ装置31が、リ
ードフレームＬを載置した、フレーム搬送ライン６から
送り込まれるパレットＰを、これからリードフレームＰ
が取り出された後でパレット回収ライン８に送り込む第
二のパレット移送ユニットとして設けられている。ま
た、第二ベルトコンベヤ装置31は、図示しないエレベー
タ機構によって、第１図および第４図に実線で示すよう
に、上記第二のフレームバッファユニット27と後工程装
置５のリードフレームセット部5aとの間に位置し、第二
のフレームバッファユニット27から送り込まれたパレッ
トＰから取り出されるリードフレームＬが後工程装置５
のリードフレームセット部5aに送り込まれるリードフレ
ーム送り込み位置と、第４図に仮想線で示すように、上
記第二のパレットバッファユニット28のストック搬送路
25に対してその始端側に並び、空載状態のパレットＰを
上記第二のパレットバッファユニット28のストック搬送
路上に送り込むパレット送り込み位置との間を往復上下
移動できるように構成されている。そして、上記リード
フレーム送り込み位置では、第二のフレームバッファユ
ニット27からのパレットＰの送り込みをスムーズに行わ
せるために、上記搬送ベルト32は、上記第二のフレーム
バッファユニット27の走行ベルト24と同じ走行方向（矢
印Ｇ方向）をとり、パレットＰが所定位置に載置された
ところでその走行を停止する。なお、この第二のフレー
ムバッファユニット27から第二ベルトコンベヤ装置31へ
のパレットＰの送り込みの際には、上記ストッパ26はも
ちろんストップ解除位置に退避している。一方、上記パ
レット送り込み位置では、搬送ベルト32は、載置するパ
レットＰが第二のパレットバッファユニット28のストッ
ク搬送路上に向かうように、第二のパレットバッファユ
ニット28の走行ベルト24と同じ走行方向（矢印Ｈ方向）
をとってパレットＰを上記ストック搬送路上に送り込
む。 また、本例の場合、第１図に示すように、上述したリ
ードフレーム移送体35が、上記リードフレーム載置台３
および後行程装置５の上記リードフレームセット部5aの
側方にもそれぞれ配設されている。そして、これらのリ
ードフレーム移送体35,35によって、上記リードフレー
ム載置台3aから、上記パレット送り込み位置に位置する
第一ベルトコンベヤ装置29上のパレットＰにリードフレ
ームＬが移送され、上記リードフレーム送り込み位置に
位置する第二ベルトコンベヤ装置31上のパレットＰか
ら、上記リードフレームセット部5aにリードフレームＬ
が移送される。 以上のように構成される本例の自動ライン化装置で
は、以下の工程を経て、リードフレームＬが、ダイボン
ディング装置１からワイヤボンディング装置４…へ、さ
らに、ワイヤボンディング装置４…から後工程装置５へ
と送り込まれる。 第一のパレットバッファユニット20には、パレット回
収ライン８から送り込まれる空載状態のパレットＰがス
トックされており、第一ベルトコンベヤ装置29が、第３
図に仮想線で示すようなパレット供給位置において第一
のパレットバッファユニット20から空載状態のパレット
Ｐの供給を受ける。この後、第一ベルトコンベヤ装置29
は、空載状態のパレットＰを載置した状態で第３図に実
線で示すようなパレット送り込み位置に移動する。ここ
で、ダイボンディング装置１によるダイボンディングお
よびキュア装置２による乾燥処理を終えてリードフレー
ム載置台３に送り出されたダイボンディング済みのリー
ドフレームＬが、リードフレーム載置台３の側方に控え
るリードフレーム移送体35によって、リードフレーム載
置台３から上記パレット送り込み位置に位置する第一ベ
ルトコンベヤ装置29上のパレットＰに移送される。こう
して第一ベルトコンベヤ装置上のパレットＰにリードフ
レームＬが載置されると、第一ベルトコンベヤ装置29
は、搬送ベルト30を第３図において矢印Ｆ方向に走行さ
せてパレットＰを第一のフレームバッファユニット19の
ストック搬送路上に送り込む。ストック搬送路上に送り
込まれたパレットＰは、走行ベルド21の走行によりスト
ッパ23が持つストッパ搬送路の終端方に移送されるとと
もに、第１図に示すように、パレットＰのストック量が
一杯になるまで、上述した動作が繰り返されて、ダイボ
ンディング済みのリードフレームＬを載置するパレット
Ｐが第一ベルトコンベヤ装置29から第一のフレームバッ
ファユニット19に送り込まれる。もちろんこの場合、第
一ベルトコンベヤ装置29は、その都度上記パレット送り
込み位置とパレット供給位置との間を往復移動すること
になる。 第１図に示すように、第一のフレームバッファユニッ
ト29にパレットＰが満載されると、第一ベルトコンベヤ
装置29は一時その作動を停止して上記パレット送り込み
位置で待機するとともに、第一のフレームバッファユニ
ット29のストック搬送路上に並ぶ三つのパレットＰ…が
全て、ストック搬送路終端位置から順次フレーム搬送ラ
イン６の搬送路上に上記のエアシリンダ装置によって駆
動されるピストンロッド（図示略）によって押し出され
る。これは、最もストック搬送路終端側に位置するパレ
ットＰがフレーム搬送ライン６に送り出されると、次に
控えるパレットP,Pは走行ベルト21の走行により自動的
に終端側に移動するから、搬送路の終端位置からフレー
ム搬送ライン６に次々とパレットＰが送り込まれるので
ある。そして、第一のフレームバッファユニット19にパ
レットＰのストックが無くなれば、第一ベルトコンベヤ
装置29からダイボンディング済みのリードフレームＬを
載置したパレットＰが、上記と同様に第一のフレームバ
ッファユニット19に送り込まれることになる。 第一のフレームバッファユニット19からフレーム搬送
ライン６に最初に送り込まれたパレットＰは、フレーム
搬送ライン６の最も下流側に配されたワイヤボンディン
グ装置４のフレーム搬送ユニット10の搬送路上まで送ら
れ、このフレーム搬送ユニット10に設けられた一対のス
トッパ装置33a,33bのうち、上記リードフレーム取り出
し位置側に配された第一のストッパ装置33aの第５図に
仮想線で示すようにストッパ位置に進出したストッパピ
ン34により、リードフレーム取り出し位置において停止
させられる。これに続いて、二番目にフレーム搬送ライ
ン６に送りこまれるパレットＰは、中央に配されたワイ
ヤボンディング装置４のフレーム搬送ユニット10の搬送
路上まで送り込まれ、このフレーム搬送ユニット10のリ
ードフレーム取り出し位置において、第一のストッパ装
置33aのストッパピン34によって停止させられる。また
最後に送られたパレットＰは、フレーム搬送ライン６の
最も上流側に配されたフレーム搬送ユニット10における
リードフレーム取り出し位置において、第一のストッパ
装置33aのストッパピン34によってリードフレーム取り
出し位置おいて停止させられる。なお、中央のフレーム
搬送ユニット10の上記第一のストッパ位置33aのストッ
パピン34は、最初に送り込まれたパレットＰがこの中央
のフレーム搬送ユニット10のリードフレーム取り出し位
置を通過した時点で第５図に仮想線で示すストッパ位置
に進出し、最も上流側のフレーム搬送ユニット10の上記
第一のストッパ装置33aのストッパピン34は、上記二番
目に送られてくるパレットＰがこの上流側のフレーム搬
送ユニット10のリードフレーム取り出し位置を通過した
時点で第５図に仮想線で示すストッパ位置に進出する。 こうして、第１図に実線で示すように、フレーム搬送
ライン６における各フレーム搬送ユニット10…のそれぞ
れのリードフレーム取り出し位置においてダイボンディ
ング済みのリードフレームＬを載置するパレットＰが停
止させられると、各ワイヤボンディング装置４…のリー
ドフレームセット部4a…の側方で待機していた各リード
フレーム移送体35…によって、上記各パレットＰ…から
リードフレームＬが取り出され、これが上記各リードフ
レームセット部4aまで運ばれる。この後、リードフレー
ムセット部4a…に移送されたリードフレームＬは、ワイ
ヤボンディング装置４…に送り込まれてワイヤボンディ
ングが行われるとともに、上記リードフレーム取り出し
位置側の各第一のストッパ装置33a…の各ストッパピン3
4…が、第５図に実線で示すようなストッパ解除位置に
後退し、これと同時に、各フレーム搬送ユニット10…の
リードフレーム戻し位置側に配設された各第二のストッ
パ装置33b…のストッパピン34…が、第５図に仮想線で
示すストッパ位置に進出する。リードフレーム取り出し
位置側の各第一のストッパ装置33a…によるストッパ機
構が解除されると、上記リードフレーム取り出し位置で
リードフレームＬを取り出された空載状態の各パレット
Ｐ…は、各フレーム搬送ユニット10の常時走行する平ベ
ルト13…の走行動により再びフレーム搬送ライン６を下
流側に移送されることになるが、リードフレーム戻し位
置にまで達すると、ストッパピン34…がストッパ位置に
進出したリードフレーム戻し位置側の上記各第二のスト
ッパ装置33b…により再度第１図に仮想線で示すように
停止させられる。そうして、各ワイヤボンディング装置
４…からワイヤボンディングを終えてリードフレーム送
出部4b…に送り出されたリードフレームＬが、上記リー
ドフレーム送出部4b…からリードフレーム戻し位置で停
止させられる空載状態の各パレットＰ…に、各リードフ
レーム送出部4b…の側方に控える各リードフレーム移送
体35…によって移送される。このようにして各パレット
Ｐ…にワイヤボンディング済みのリードフレームＬが載
置されると、リードフレーム戻し位置側に配された各第
二のストッパ装置33b…の各ストッパピン34…がストッ
パ解除位置に後退してストッパ機構が解除される。これ
により、各パレットＰ…は、リードフレームＬを載置し
た状態でフレーム搬送ライン６の搬送路上を下流側に送
られる。 パレットＰは、フレーム搬送ライン６の搬送路終端に
まで来ると、このフレーム搬送ライン６の後に配された
第二のフレームバッファユニット27に送り込まれる。そ
して、第１図に仮想線で示すように、第二のフレームバ
ッファユニット27のストック搬送路25に載せられたパレ
ットＰは、ストック搬送路終端位置において配設された
ストッパ26によってその移動を停止させられるまで、図
において矢印Ｄ方向に走行する走行ベルト24によってス
トック搬送路終端側へ搬送される。このようにして、ワ
イヤボンディングを終えたリードフレームＬを載置する
パレットＰが、フレーム搬送ライン６から第二のフレー
ムバッファユニット27に送り込まれこの第二のフレーム
バッファユニット27において一時ストックされる。 第二のフレームバッファユニット27のストック搬送路
25の終端側には、第１図および第４図に実線で示すリー
ドフレーム送り込み位置において、第二ベルトコンベヤ
装置31が待機しており、第二のフレームバッファユニッ
ト27のストック搬送路上に留められるパレットＰ…は、
上記リードフレーム送り込み位置に位置する第二ベルト
コンベヤ装置31に送り込まれる。このとき、上記ストッ
パ26は、ストッパ解除位置に退避し、第二ベルトコンベ
ヤ装置31にパレットが送り出されると、直ちに元のスト
ッパ位置にもどって後続のパレットＰの移動を規制す
る。こうしてリードフレーム取り出し位置に位置する第
二ベルトコンベヤ装置上に載置された、ダイボンディン
グおよびワイヤボンディングを終えたリードフレームＬ
を載置するパレットＰから、後工程装置５のリードフレ
ームセット部5aの側方に配設されたリードフレーム移送
体35によって、上記リードフレームＬが取り出されると
ともに、これがリードフレームセット部5aに移送されて
後工程装置５に送り込まれる。この後、第二ベルトコン
ベヤ装置31は、リードフレーム取り出し位置においてリ
ードフレームＬを取り出されて空載状態となったパレッ
トＰを載置したまま下動して、第４図に仮想線で示すパ
レット送り込み位置に移動する。そして、第二ベルトコ
ンベヤ装置31は、このパレット送り込み位置において、
搬送ベルト32を第４図において矢印Ｈ方向に走行させて
第二のパレットバッファユニット28のストック搬送路上
に空載状態のパレットＰを送り込んだ後、再度リードフ
レーム送り込み位置に戻って、上記一連の動作を繰り返
す。これにより、フレーム搬送ライン６からダイボンデ
ィング工程およびワイヤボンディング工程を終えたリー
ドフレームが次々と後工程装置５に送り込まれるととも
に、空載状態のパレットＰが、第二のパレットバッファ
ユニット28に順次送り込まれていく。また、第二のパレ
ットバッファユニット28に送り込まれる空載状態のパレ
ットＰは、この第二のパレットバッファユニット28から
さらにパレット回収ライン８を経由して、このパレット
回収ライン８の搬送路終端側に配された上記第一のパレ
ットバッファユニット20へと送り込まれるとともに、上
記第一ベルトコンベヤ装置29が、上述したように、パレ
ット供給位置において上記第一のパレットバッファユニ
ット20から空載状態のパレットＰの供給を受けるのであ
る。 そうして、以上に述べた一連の工程が繰り返されるこ
とにより、リードフレームＬが、ダイボンディング装置
１からワイヤボンディング装置４…へ、ワイヤボンディ
ング装置４…から後工程装置５へ、連続的かつ自動的に
搬送される。 このように、本例に係る自動ライン化装置において
は、電子部品の製造工程間におけるリードフレームの移
送が自動化され、リードフレームの搬送作業において省
人化が達成される。したがって、人的ミスによる運搬中
の事故によりリードフレームが損傷させられるといった
従来の問題が解決されるとともに、リードフレームの自
動搬送化により、各製造工程間での製品管理を過誤なく
行うことが可能となる。しかも、本例の場合、上述した
ように、各ワイヤボンディング装置４…に、フレーム搬
送ライン６およびパレット回収ライン８を構成するフレ
ーム搬送ユニット10およびパレット回収ユニット14をそ
れぞれ専用に設けることにより、ワイヤボンディング装
置４を、ライン間に新たに挿入し、あるいはライン中か
ら除くだけで、フレーム搬送ライン６およびパレット回
収ライン８の延長および短縮を行えるようにしている。
したがって、ラインを構成する場合に、これを非常に簡
単に行えるメリットがある。 また、リードフレームＬの搬送路中の移送には、パレ
ットＰを利用しているから、形態および大きさの異なる
パレットＰを予め種々用意しておくことにより、リード
フレームの大きさや形態が変わっても容易に対応でき
る。たとえば、第８図に示すパレットＰのように、リー
ドフレームのダウンセットの逃げとなる凹部37の両側に
設けられるリードフレーム載置部38,38を階段状に複数
設けることにより、一種類のパレットで何種類もの大き
さのリードフレームを載置することができる。また、第
９図に示すパレットＰのように、リードフレーム載置台
38,38を両面部に設けるとともに、上記凹部37は、両面
部においてそれぞれ異なった幅に形成することにより、
構造の異なるリードフレームでも一種類のパレットで載
置できる。 さらに、第10図に示すパレットＰには、その一面側に
おいて、リードフレーム載置部38,38が二組設けられて
いる。そして、その反対面側において、一組のリードフ
レーム載置部38,38と、このリードフレーム載置部38と
対応したリードフレーム載置部40を備え、かつ幅方向移
動可能に装着された載置台41とが設けられている。この
ようなパレットＰでは、その一側面側にリードフレーム
を載置する場合には、同時に二つのリードフレームを載
置することができる。また、上記反対面側にリードフレ
ームを載置する場合には、上記リードフレーム載置部3
8,38の利用と、上記リードフレーム載置部38と上記載置
台41とによって構成されるリードフレーム載置部の利用
とが可能となる。しかも、載置台41は、幅方向に移動さ
せることができるから、リードフレームの大きさが変わ
る場合でも随時対応できるとともに、リードフレームの
構造の変化にも対応できるように、リードフレーム載置
部38,38間の凹部37と、載置台41のリードフレーム載置
部40と上記一方のリードフレーム載置部38との間の凹部
42とで、その深さを変えている。 ところで、本発明の範囲は、上述した実施例に限定さ
れるものではない。 たとえば、フレーム移送手段は、次のように構成して
もよい。すなわち、第11図に示すように、パレットＰの
長手方向の長さをリードフレームＬより短く設定すると
ともに、フレーム搬送ライン６の搬送路途次に、第12図
に示すような下方に窪んだ迂回路43をリードフレームＬ
の長さと対応する間隔をもって二箇所に設ける。上記各
迂回路形成位置には、フレーム搬送ライン６を横切って
走行する丸ベルトからなる走行ベルト44,44をそれぞれ
配設し、この走行ベルト44は、上記迂回路43によって形
成される窪み部中に入り込む待機位置と、図に仮想線で
示すように上記待機位置から上方に変位したフレーム持
ち上げ位置との間を往復移動できるように構成する。そ
して、リードフレームＬを載置するパレットＰを上記各
迂回路43,43間で一時停止させ、待機位置に位置する各
走行ベルト43,43を上記フレーム持ち上げ位置にまで移
動させる。これにより、各走行ベルト43,43によって、
リードフレームＬにおけるパレットＰからのはみ出し部
分が、各走行ベルト43,43上に載置されるとともに、走
行ベルト43,43によってリードフレームＬが持ち上げら
れ、この後は、走行ベルト43,43の走行によりリードフ
レームＬが所定位置にまで移送される。 また、この他、フレーム搬送手段としては、チャッキ
ング装置等を利用してもよく、さらに、パレット停止手
段は、フレーム搬送ラインを一時停止させることにより
構成してもよい。そしてまた、フレーム搬送手段やパレ
ット回収手段、およびパレット移送ユニット等において
も上記実施例以外にも種々設計変更可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一の実施例に係る自動ライン化装置
を平面方向から見て概略的に示した全体構成図、第２図
は実施例に係るフレーム搬送ラインおよびパレット回収
ラインを第１図においてII−II線方向から見て模式的に
示した図、第３図は第１図のIII−III線矢視拡大図、第
４図は第１図のIV−IV線矢視拡大図、第５図は第６図の
Ｖ−Ｖ線矢視図、第６図は実施例に係るフレーム移送体
がパレット内に進入した状態を示した図、第７図は実施
例に係るパレットの斜視図、第８図ないし第10図は他の
態様のパレットの断面図、第11図および第12図は他の実
施例の説明図である。 １……前工程装置（ダイボンディング装置）、４……中
間工程装置（ワイヤボンディング装置）、５……後工程
装置、６……フレーム搬送手段（フレーム搬送ライ
ン）、７……（フレーム搬送手段の）搬送路、８……パ
レット回収手段（パレット回収ライン）、９……（パレ
ット回収手段の）搬送路、10……フレーム搬送ユニッ
ト、14……パレット回収ユニット、29……第一のパレッ
ト移送ユニット（第一ベルトコンベヤ装置）、31……第
二のパレット移送ユニット（第二ベルトコンベヤ装
置）、33a……第一のパレット停止手段（ストッパ装
置）、33b……第二のパレット停止手段（ストッパ装
置）、35……リードフレーム移送手段（リードフレーム
移送体）、Ｌ……リードフレーム、Ｐ……パレット。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/50 Ｈ０１Ｌ 21/50 Ａ Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｕ (56)参考文献 特開 昭53−145278（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−201773（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−525（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−12146（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−2348（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−102090（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リードフレームが載置されるパレットを前
   工程装置側から後工程装置側に搬送するフレーム搬送手
   段と、上記前工程装置と後工程装置との間に配設されて
   上記リードフレームに対して所定の加工を施す複数台の
   中間工程装置と、上記中間工程装置による加工を終えた
   リードフレームが取り出されて空載状態となったパレッ
   トを上記後工程装置側から前工程装置側に搬送するパレ
   ット回収手段と、上記パレット回収手段の終端側から上
   記フレーム搬送手段の始端側に上記パレットを受け渡す
   第一のパレット移送ユニットと、上記フレーム搬送手段
   の終端側から上記パレット回収手段の始端側に上記パレ
   ットを受け渡す第二のパレット移送ユニットと、を備え
   た電子装置の製造工程間における自動ライン化装置であ
   って、 上記フレーム搬送手段は、上記複数台の中間工程装置の
   それぞれの側方に個別的に設けられたベルトコンベアか
   らなる各フレーム搬送ユニットを直列的に配置すること
   により構成される一方、上記パレット回収手段は、上記
   複数台の中間工程装置のそれぞれの側方に個別的に設け
   られたベルトコンベアからなる各パレット回収ユニット
   を直列状に配置することにより構成されており、 上記各フレーム搬送ユニットには、対応する中間工程装
   置にリードフレームを送り込むための作業を行うリード
   フレーム取り出し位置でパレットを一時的に停止させる
   第一のパレット停止手段と、上記中間工程装置による加
   工を終えたリードフレームを上記パレットに戻すための
   作業を行うリードフレーム戻し位置でそのパレットを再
   度一時的に停止させる第二のパレット停止手段とがそれ
   ぞれ設けられており、 上記各第一のパレット停止手段は、隣接する下流側のフ
   レーム搬送ユニットにパレットが未搬送の時には非作動
   状態となるようにして、最下流側から順次上記リードフ
   レーム取り出し位置でパレットを停止させるとともに、
   リードフレーム取り出し後非作動状態に戻るように構成
   されており、 上記各第二のパレット停止手段は、上記各第一のパレッ
   ト停止手段が非作動状態に戻ることによって各フレーム
   搬送ユニット上を移動するパレットを上記リードフレー
   ム戻し位置で停止するべく作動するとともに、加工を終
   えたリードフレームを各パレットが受け取った後非作動
   状態に戻るように構成されており、 かつ、上記パレットは、幅の異なる複数のリードフレー
   ム載置部が階段状に形成されていて、幅の異なる複数種
   類のリードフレームを載置できるように構成されている
   ことを特徴とする、電子部品の製造工程間における自動
   ライン化装置。