JP3145790B2 - ペレットボンディング方法 - Google Patents
ペレットボンディング方法Info
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- JP3145790B2 JP3145790B2 JP16183592A JP16183592A JP3145790B2 JP 3145790 B2 JP3145790 B2 JP 3145790B2 JP 16183592 A JP16183592 A JP 16183592A JP 16183592 A JP16183592 A JP 16183592A JP 3145790 B2 JP3145790 B2 JP 3145790B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペレットボンディング方
法に関する。
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ペレットボンディング装置において、単
一リードフレームに複数品種のペレットをボンディング
可能とするマルチペレットボンディング装置がある。
一リードフレームに複数品種のペレットをボンディング
可能とするマルチペレットボンディング装置がある。
【０００３】従来のマルチペレットボンディング装置で
は、複数品種の各ペレットのウエハがセット可能とされ
る複数のペレット供給装置（ウエハステージ）を並設し
ている。そして、リードフレームをローダ側からアンロ
ーダ側へと搬送する途上で、各ペレット供給装置にセッ
トされたウエハから供給される異品種のペレットのそれ
ぞれを順次、ボンディングヘッドにより吸着保持してリ
ードフレームにボンディングすることとしている。
は、複数品種の各ペレットのウエハがセット可能とされ
る複数のペレット供給装置（ウエハステージ）を並設し
ている。そして、リードフレームをローダ側からアンロ
ーダ側へと搬送する途上で、各ペレット供給装置にセッ
トされたウエハから供給される異品種のペレットのそれ
ぞれを順次、ボンディングヘッドにより吸着保持してリ
ードフレームにボンディングすることとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
では、単一フレームに複数品種のペレットをボンディン
グする場合、ボンディングヘッドが複数品種のペレット
のための複数回のボンディング動作を続けて繰り返すも
のとなり、ボンディング動作が複雑となる。
では、単一フレームに複数品種のペレットをボンディン
グする場合、ボンディングヘッドが複数品種のペレット
のための複数回のボンディング動作を続けて繰り返すも
のとなり、ボンディング動作が複雑となる。
【０００５】また、マルチペレットボンディング装置を
構成する場合、複数のペレット供給装置を並設する必要
があり、装置構成が複雑大型化する。
構成する場合、複数のペレット供給装置を並設する必要
があり、装置構成が複雑大型化する。
【０００６】本発明は、単純なボンディング動作によ
り、単一リードフレームに複数品種のペレットをボンデ
ィング可能とすることを目的とする。
り、単一リードフレームに複数品種のペレットをボンデ
ィング可能とすることを目的とする。
【０００７】また、本発明は、単一のペレット供給装置
を用いて、単一リードフレームに複数品種のペレットを
ボンディング可能とすることを目的とする。
を用いて、単一リードフレームに複数品種のペレットを
ボンディング可能とすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、リードフレームを順次ボンディング位置に位置付け
ることにより前記リードフレームに半導体ペレットをボ
ンディングするペレットボンディング方法において、前
記ボンディング位置に対して前記リードフレームを複数
回通過させるとともに、通過毎に前回通過時とは異なる
品種の半導体ペレットをボンディングするようにしたも
のである。
は、リードフレームを順次ボンディング位置に位置付け
ることにより前記リードフレームに半導体ペレットをボ
ンディングするペレットボンディング方法において、前
記ボンディング位置に対して前記リードフレームを複数
回通過させるとともに、通過毎に前回通過時とは異なる
品種の半導体ペレットをボンディングするようにしたも
のである。
【０００９】請求項２に記載の本発明は、リードフレー
ムをローダ側とアンローダ側との間にて搬送するととも
に、その搬送途上のボンディング位置に設けられたボン
ディング手段により、ペレット供給位置に位置付けられ
た半導体ペレットを吸着保持しその半導体ペレットを前
記リードフレームにボンディングするペレットボンディ
ング方法において、前記ボンディング位置に対して前記
リードフレームを複数回通過させるとともに、通過毎に
前回通過時とは異なる品種の半導体ペレットを前記ペレ
ット供給位置に供給するようにしたものである。
ムをローダ側とアンローダ側との間にて搬送するととも
に、その搬送途上のボンディング位置に設けられたボン
ディング手段により、ペレット供給位置に位置付けられ
た半導体ペレットを吸着保持しその半導体ペレットを前
記リードフレームにボンディングするペレットボンディ
ング方法において、前記ボンディング位置に対して前記
リードフレームを複数回通過させるとともに、通過毎に
前回通過時とは異なる品種の半導体ペレットを前記ペレ
ット供給位置に供給するようにしたものである。
【００１０】請求項３に記載の本発明は、請求項１また
は２記載の本発明において更に、通過方向が常に同一方
向であるようにしたものである。
は２記載の本発明において更に、通過方向が常に同一方
向であるようにしたものである。
【００１１】請求項４に記載の本発明は、請求項１また
は２記載の本発明において更に、通過方向が毎回異なる
ようにしたものである。
は２記載の本発明において更に、通過方向が毎回異なる
ようにしたものである。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【作用】リードフレームがボンディング位置を通過す
る第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレットが該
リードフレームにボンディングされる。そして、上記リ
ードフレームがボンディング位置を通過する第２回目の
通過時に、他の品種（Ｂ）のペレットが該リードフレー
ムにボンディングされる。即ち、リードフレームのただ
１回の通過機会内に、２以上の品種のペレットをボンデ
ィングするものでなく、１品種のペレットのみをボンデ
ィングするものとなる。従って、ボンディング手段によ
るボンディング動作は単純である。
る第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレットが該
リードフレームにボンディングされる。そして、上記リ
ードフレームがボンディング位置を通過する第２回目の
通過時に、他の品種（Ｂ）のペレットが該リードフレー
ムにボンディングされる。即ち、リードフレームのただ
１回の通過機会内に、２以上の品種のペレットをボンデ
ィングするものでなく、１品種のペレットのみをボンデ
ィングするものとなる。従って、ボンディング手段によ
るボンディング動作は単純である。
【００１５】リードフレームがボンディング位置を通
過する第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレット
がペレット供給位置に供給され、このペレットが該リー
ドフレームにボンディングされる。そして、上記リード
フレームがボンディング位置を通過する第２回目の通過
時に、他の品種（Ｂ）のペレットがペレット供給位置に
供給され、このペレットが該リードフレームにボンディ
ングされる。即ち、リードフレームのただ１回の通過機
会内に、２以上の品種のペレットをペレット供給位置に
供給するものでなく、一品種のペレットのみをペレット
供給位置に供給するものとなる。従って、ペレットの供
給は、リードフレームのただ１回の通過機会に対し、１
品種のペレットのみを供給するものとなり、単一のペレ
ット供給装置によりなされるものとなる。
過する第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレット
がペレット供給位置に供給され、このペレットが該リー
ドフレームにボンディングされる。そして、上記リード
フレームがボンディング位置を通過する第２回目の通過
時に、他の品種（Ｂ）のペレットがペレット供給位置に
供給され、このペレットが該リードフレームにボンディ
ングされる。即ち、リードフレームのただ１回の通過機
会内に、２以上の品種のペレットをペレット供給位置に
供給するものでなく、一品種のペレットのみをペレット
供給位置に供給するものとなる。従って、ペレットの供
給は、リードフレームのただ１回の通過機会に対し、１
品種のペレットのみを供給するものとなり、単一のペレ
ット供給装置によりなされるものとなる。
【００１６】
【実施例】図１は第１実施例を示す模式図、図２は第２
実施例を示す模式図、図３は第３実施例を示す模式図で
ある。
実施例を示す模式図、図３は第３実施例を示す模式図で
ある。
【００１７】 （第１実施例）（図１参照）ペレットボンディング装置
１０は、ローダ１１、アンローダ１２、フィーダ１３、
フレーム供給装置１４、ディスペンサ１５、１６、ボン
ディングヘッド１７、ペレット供給装置１８を有してい
る。
１０は、ローダ１１、アンローダ１２、フィーダ１３、
フレーム供給装置１４、ディスペンサ１５、１６、ボン
ディングヘッド１７、ペレット供給装置１８を有してい
る。
【００１８】ローダ１１は、ペレットボンディングされ
たリードフレーム１を多段収容し得るフレームマガジン
２１をフィーダ１３に対して昇降し得るエレベータ２２
を有している。
たリードフレーム１を多段収容し得るフレームマガジン
２１をフィーダ１３に対して昇降し得るエレベータ２２
を有している。
【００１９】アンローダ１２も、ペレットボンディング
されたリードフレーム１を多段収容し得るフレームマガ
ジン２３をフィーダ１３に対して昇降し得るエレベータ
２４を有している。尚、アンローダ１２は、フレームマ
ガジン２３内のリードフレーム１をフィーダ１３の側に
排出可能とするプッシャ２５を備えている。
されたリードフレーム１を多段収容し得るフレームマガ
ジン２３をフィーダ１３に対して昇降し得るエレベータ
２４を有している。尚、アンローダ１２は、フレームマ
ガジン２３内のリードフレーム１をフィーダ１３の側に
排出可能とするプッシャ２５を備えている。
【００２０】フィーダ１３は、ローダ１１とアンローダ
１２の間に延在されるフレームガイドレール２６と、リ
ードフレーム１をレール２６に沿って送り可能とするフ
レーム送り装置２７を有し、リードフレーム１を順次ボ
ンディング位置に位置付ける。尚、フレーム送り装置２
７はリードフレーム１をレール２６に沿う左右２方向に
送りできる。
１２の間に延在されるフレームガイドレール２６と、リ
ードフレーム１をレール２６に沿って送り可能とするフ
レーム送り装置２７を有し、リードフレーム１を順次ボ
ンディング位置に位置付ける。尚、フレーム送り装置２
７はリードフレーム１をレール２６に沿う左右２方向に
送りできる。
【００２１】フレーム供給装置１４は、ローダ１１側に
おけるフィーダ１３の側方に配置され、ペレットボンデ
ィングされていないリードフレーム１を積層した積層マ
ガジン２８から、該リードフレーム１を順次フィーダ１
３に移載する。
おけるフィーダ１３の側方に配置され、ペレットボンデ
ィングされていないリードフレーム１を積層した積層マ
ガジン２８から、該リードフレーム１を順次フィーダ１
３に移載する。
【００２２】ディスペンサ１５、１６は、フィーダ１３
に沿うボンディング位置の両側に配置され、リードフレ
ーム１のペレットボンディング部分に接着剤（ペース
ト）を吐出供給する。
に沿うボンディング位置の両側に配置され、リードフレ
ーム１のペレットボンディング部分に接着剤（ペース
ト）を吐出供給する。
【００２３】ボンディングヘッド１７は、フィーダ１３
に沿うボンディング位置に配置され、ペレット供給装置
１８のペレット供給位置に位置付けられたペレット２を
吸着保持し、そのペレット２をリードフレーム１のペレ
ットボンディング部分にボンディングする。
に沿うボンディング位置に配置され、ペレット供給装置
１８のペレット供給位置に位置付けられたペレット２を
吸着保持し、そのペレット２をリードフレーム１のペレ
ットボンディング部分にボンディングする。
【００２４】ペレット供給装置１８は、フィーダ１３に
沿うボンディング位置の前面のペレット供給位置にウエ
ハステージ２９を設置し、ここにペレット２のウエハ３
（実際にはウエハリングに保持される粘着シートに貼着
されたウエハ３）をセット可能とする。このとき、ペレ
ット供給装置１８は、複数品種のペレット２のウエハ３
を多段収容し得るウエハマガジン３０を有しており、ウ
エハマガジン３０内のウエハ３をウエハ供給アーム３１
により適宜ウエハステージ２９に切換えセット可能とし
ている。
沿うボンディング位置の前面のペレット供給位置にウエ
ハステージ２９を設置し、ここにペレット２のウエハ３
（実際にはウエハリングに保持される粘着シートに貼着
されたウエハ３）をセット可能とする。このとき、ペレ
ット供給装置１８は、複数品種のペレット２のウエハ３
を多段収容し得るウエハマガジン３０を有しており、ウ
エハマガジン３０内のウエハ３をウエハ供給アーム３１
により適宜ウエハステージ２９に切換えセット可能とし
ている。
【００２５】然るに、ペレットボンディング装置１０に
あっては、リードフレーム１をフィーダ１３に沿うボン
ディング位置に対して２回（第１回目はフレーム供給装
置１４からアンローダ１２への通過途上、第２回目はア
ンローダ１２からローダ１１への通過途上）通過させ
る。そして、その通過毎に、ペレット供給装置１８はウ
エハステージ２９に異なる品種のペレット２のウエハ３
をセットし、ボンディングヘッド１７によってそれらの
異なる品種のペレット２を単一リードフレーム１にボン
ディングさせ得るものとしている。
あっては、リードフレーム１をフィーダ１３に沿うボン
ディング位置に対して２回（第１回目はフレーム供給装
置１４からアンローダ１２への通過途上、第２回目はア
ンローダ１２からローダ１１への通過途上）通過させ
る。そして、その通過毎に、ペレット供給装置１８はウ
エハステージ２９に異なる品種のペレット２のウエハ３
をセットし、ボンディングヘッド１７によってそれらの
異なる品種のペレット２を単一リードフレーム１にボン
ディングさせ得るものとしている。
【００２６】以下、ペレットボンディング装置１０の動
作について説明する。 (1) フレーム供給装置１４によりリードフレーム１を積
層マガジン２８からフィーダ１３に供給する。フィーダ
１３によりリードフレーム１をアンローダ１２に向けて
搬送する途上で、ディスペンサ１５により該リードフレ
ーム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド１７に
よりペレット供給装置１８のウエハステージ２９上から
品種（Ａ）のペレット２を吸着保持し、そのペレット２
をリードフレーム１にボンディングする。ボンディング
後のリードフレーム１をアンローダ１２のフレームマガ
ジン２３に収納する。
作について説明する。 (1) フレーム供給装置１４によりリードフレーム１を積
層マガジン２８からフィーダ１３に供給する。フィーダ
１３によりリードフレーム１をアンローダ１２に向けて
搬送する途上で、ディスペンサ１５により該リードフレ
ーム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド１７に
よりペレット供給装置１８のウエハステージ２９上から
品種（Ａ）のペレット２を吸着保持し、そのペレット２
をリードフレーム１にボンディングする。ボンディング
後のリードフレーム１をアンローダ１２のフレームマガ
ジン２３に収納する。
【００２７】(2) アンローダ１２のフレームマガジン２
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
【００２８】(3) 上記(2) の後、ペレット供給装置１８
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
【００２９】(4) アンローダ１２のプッシャ２５によ
り、アンローダ１２のフレームマガジン２３内の品種
（Ａ）のペレット２をボンディング済みのリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給する。リードフレーム１は
上記(1) と反対の通過方向にてローダ１１に向けて搬送
される途上で、ディスペンサ１６により該リードフレー
ム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド１７によ
りペレット供給装置１８のウエハステージ２９上から品
種（Ｂ）のペレット２を吸着保持し、そのペレット２を
リードフレーム１にボンディングする。ボンディング後
のリードフレーム１をローダ１１のフレームマガジン２
１に収納する。
り、アンローダ１２のフレームマガジン２３内の品種
（Ａ）のペレット２をボンディング済みのリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給する。リードフレーム１は
上記(1) と反対の通過方向にてローダ１１に向けて搬送
される途上で、ディスペンサ１６により該リードフレー
ム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド１７によ
りペレット供給装置１８のウエハステージ２９上から品
種（Ｂ）のペレット２を吸着保持し、そのペレット２を
リードフレーム１にボンディングする。ボンディング後
のリードフレーム１をローダ１１のフレームマガジン２
１に収納する。
【００３０】(5) ローダ１１のフレームマガジン２１
が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされた
リードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を繰
り返す。
が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされた
リードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を繰
り返す。
【００３１】尚、リードフレームに３品種以上のペレッ
トをボンディングする場合には、プッシャ２５と同様な
ものをローダ１１にも設け、上記(3) 〜(5) を更に繰り
返すことになる。
トをボンディングする場合には、プッシャ２５と同様な
ものをローダ１１にも設け、上記(3) 〜(5) を更に繰り
返すことになる。
【００３２】従って、本実施例によれば、下記、の
作用がある。 リードフレーム１がボンディング位置を通過する第１
回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレット２が該リー
ドフレーム１にボンディングされる。そして、上記リー
ドフレーム１がボンディング位置を通過する第２回目の
通過時に、他の品種（Ｂ）のペレット２が該リードフレ
ーム１にボンディングされる。即ち、リードフレーム１
のただ１回の通過機会内に、２以上の品種のペレット２
をボンディングするものでなく、１品種のペレット２の
みをボンディングするものとなる。従って、ボンディン
グヘッド１７によるボンディング動作は単純である。
作用がある。 リードフレーム１がボンディング位置を通過する第１
回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレット２が該リー
ドフレーム１にボンディングされる。そして、上記リー
ドフレーム１がボンディング位置を通過する第２回目の
通過時に、他の品種（Ｂ）のペレット２が該リードフレ
ーム１にボンディングされる。即ち、リードフレーム１
のただ１回の通過機会内に、２以上の品種のペレット２
をボンディングするものでなく、１品種のペレット２の
みをボンディングするものとなる。従って、ボンディン
グヘッド１７によるボンディング動作は単純である。
【００３３】リードフレーム１がボンディング位置を
通過する第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレッ
ト２がペレット供給位置に供給され、このペレット２が
該リードフレーム１にボンディングされる。そして、上
記リードフレーム１がボンディング位置を通過する第２
回目の通過時に、他の品種（Ｂ）のペレット２がペレッ
ト供給位置に供給され、このペレット２が該リードフレ
ーム１にボンディングされる。即ち、リードフレーム１
のただ１回の通過機会内に、２以上の品種のペレット２
をペレット供給位置に供給するものでなく、一品種のペ
レット２のみをペレット供給位置に供給するものとな
る。従って、ペレット２の供給は、リードフレーム１の
ただ１回の通過機会に対し、１品種のペレット２のみを
供給するものとなり、単一のペレット供給装置１８によ
りなされるものとなる。
通過する第１回目の通過時に、ある品種（Ａ）のペレッ
ト２がペレット供給位置に供給され、このペレット２が
該リードフレーム１にボンディングされる。そして、上
記リードフレーム１がボンディング位置を通過する第２
回目の通過時に、他の品種（Ｂ）のペレット２がペレッ
ト供給位置に供給され、このペレット２が該リードフレ
ーム１にボンディングされる。即ち、リードフレーム１
のただ１回の通過機会内に、２以上の品種のペレット２
をペレット供給位置に供給するものでなく、一品種のペ
レット２のみをペレット供給位置に供給するものとな
る。従って、ペレット２の供給は、リードフレーム１の
ただ１回の通過機会に対し、１品種のペレット２のみを
供給するものとなり、単一のペレット供給装置１８によ
りなされるものとなる。
【００３４】（第２実施例）（図２参照） ペレットボンディング装置４０が前記ペレットボンディ
ング装置１０と異なる点は、フィーダ１３に沿うボンデ
ィング位置に対してリードフレーム１を複数回通過させ
て、通過毎に異なる品種のペレット２をボンディングす
るに際し、そのボンディング時の通過方向を毎回同一方
向としたことにある。このため、ペレットボンディング
装置４０では、ペレットボンディング装置１０における
２個のディスペンサ１５、１６のうちディスペンサ１６
を撤去し、かつローダ１１にプッシャ４１を設けた。
ング装置１０と異なる点は、フィーダ１３に沿うボンデ
ィング位置に対してリードフレーム１を複数回通過させ
て、通過毎に異なる品種のペレット２をボンディングす
るに際し、そのボンディング時の通過方向を毎回同一方
向としたことにある。このため、ペレットボンディング
装置４０では、ペレットボンディング装置１０における
２個のディスペンサ１５、１６のうちディスペンサ１６
を撤去し、かつローダ１１にプッシャ４１を設けた。
【００３５】以下、ペレットボンディング装置４０の動
作について説明する（下記(1) 〜(3) はペレットボンデ
ィング装置１０におけると同様である）。
作について説明する（下記(1) 〜(3) はペレットボンデ
ィング装置１０におけると同様である）。
【００３６】(1) フレーム供給装置１４によりリードフ
レーム１を積層マガジン２８からフィーダ１３に供給す
る。フィーダ１３によりリードフレーム１をアンローダ
１２に向けて搬送する途上で、ディスペンサ１５により
該リードフレーム１にペーストを供給し、ボンディング
ヘッド１７によりペレット供給装置１８のウエハステー
ジ２９上から品種（Ａ）のペレット２を吸着保持し、そ
のペレット２をリードフレーム１にボンディングする。
ボンディング後のリードフレーム１をアンローダ１２の
フレームマガジン２３に収納する。
レーム１を積層マガジン２８からフィーダ１３に供給す
る。フィーダ１３によりリードフレーム１をアンローダ
１２に向けて搬送する途上で、ディスペンサ１５により
該リードフレーム１にペーストを供給し、ボンディング
ヘッド１７によりペレット供給装置１８のウエハステー
ジ２９上から品種（Ａ）のペレット２を吸着保持し、そ
のペレット２をリードフレーム１にボンディングする。
ボンディング後のリードフレーム１をアンローダ１２の
フレームマガジン２３に収納する。
【００３７】(2) アンローダ１２のフレームマガジン２
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
【００３８】(3) 上記(2) の後、ペレット供給装置１８
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
【００３９】(4) 品種（Ａ）のペレット２をボンディン
グされたリードフレーム１で満杯になっているアンロー
ダ１２のフレームマガジン２３を、マガジン毎、ローダ
１１に装着替えする。そして、ローダ１１のプッシャ４
１により、上記フレームマガジン２３内のリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給する。リードフレーム１
は、上記(1) と同一の通過方向にてアンローダ１２に向
けて搬送される過程で、ディスペンサ１５により該リー
ドフレーム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド
１７によりペレット供給装置１８のウエハステージ２９
上から品種（Ｂ）のペレット２を吸着保持し、そのペレ
ット２をリードフレーム１にボンディングする。ボンデ
ィング後のリードフレーム１をアンローダ１２の新たな
フレームマガジン２３に収納する。
グされたリードフレーム１で満杯になっているアンロー
ダ１２のフレームマガジン２３を、マガジン毎、ローダ
１１に装着替えする。そして、ローダ１１のプッシャ４
１により、上記フレームマガジン２３内のリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給する。リードフレーム１
は、上記(1) と同一の通過方向にてアンローダ１２に向
けて搬送される過程で、ディスペンサ１５により該リー
ドフレーム１にペーストを供給し、ボンディングヘッド
１７によりペレット供給装置１８のウエハステージ２９
上から品種（Ｂ）のペレット２を吸着保持し、そのペレ
ット２をリードフレーム１にボンディングする。ボンデ
ィング後のリードフレーム１をアンローダ１２の新たな
フレームマガジン２３に収納する。
【００４０】(5) アンローダ１２のフレームマガジン２
３が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を
繰り返す。
３が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を
繰り返す。
【００４１】尚、リードフレームに３品種以上のペレッ
トをボンディングする場合には、上記(3) 〜(5) を更に
繰り返すことになる。
トをボンディングする場合には、上記(3) 〜(5) を更に
繰り返すことになる。
【００４２】（第３実施例）（図３参照） ペレットボンディング装置５０が前記ペレットボンディ
ング装置１０と異なる点は、フィーダ１３に沿うボンデ
ィング位置に対してリードフレーム１を複数回通過させ
て、通過毎に異なる品種のペレット２をボンディングす
るに際し、そのボンディング時の通過方向を毎回同一方
向としたことにある。このため、ペレットボンディング
装置５０では、ペレットボンディング装置１０における
２個のディスペンサ１５、１６のうちディスペンサ１６
を撤去し、かつローダ１１にプッシャ５１を設けた。
尚、ペレットボンディング装置５０は、ペレットボンデ
ィング前のリードフレーム１をローダ１１のフレームマ
ガジン２１から供給するものとし、ペレットボンディン
グ装置１０におけるフレーム供給装置１４も撤去した。
ング装置１０と異なる点は、フィーダ１３に沿うボンデ
ィング位置に対してリードフレーム１を複数回通過させ
て、通過毎に異なる品種のペレット２をボンディングす
るに際し、そのボンディング時の通過方向を毎回同一方
向としたことにある。このため、ペレットボンディング
装置５０では、ペレットボンディング装置１０における
２個のディスペンサ１５、１６のうちディスペンサ１６
を撤去し、かつローダ１１にプッシャ５１を設けた。
尚、ペレットボンディング装置５０は、ペレットボンデ
ィング前のリードフレーム１をローダ１１のフレームマ
ガジン２１から供給するものとし、ペレットボンディン
グ装置１０におけるフレーム供給装置１４も撤去した。
【００４３】以下、ペレットボンディング装置５０の動
作について説明する（下記(1) 〜(3) はペレットボンデ
ィング装置１０におけると実質的に同様である）。
作について説明する（下記(1) 〜(3) はペレットボンデ
ィング装置１０におけると実質的に同様である）。
【００４４】(1) ローダ１１のプッシャ５１によりリー
ドフレーム１をフレームマガジン２１からフィーダ１３
に供給する。フィーダ１３によりリードフレーム１をア
ンローダ１２に向けて搬送する途上で、ディスペンサ１
５により該リードフレーム１にペーストを供給し、ボン
ディングヘッド１７によりペレット供給装置１８のウエ
ハステージ２９上から品種（Ａ）のペレット２を吸着保
持し、そのペレット２をリードフレーム１にボンディン
グする。ボンディング後のリードフレーム１をアンロー
ダ１２のフレームマガジン２３に収納する。
ドフレーム１をフレームマガジン２１からフィーダ１３
に供給する。フィーダ１３によりリードフレーム１をア
ンローダ１２に向けて搬送する途上で、ディスペンサ１
５により該リードフレーム１にペーストを供給し、ボン
ディングヘッド１７によりペレット供給装置１８のウエ
ハステージ２９上から品種（Ａ）のペレット２を吸着保
持し、そのペレット２をリードフレーム１にボンディン
グする。ボンディング後のリードフレーム１をアンロー
ダ１２のフレームマガジン２３に収納する。
【００４５】(2) アンローダ１２のフレームマガジン２
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
３が、上記品種（Ａ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(1) を
繰り返す。
【００４６】(3) 上記(2) の後、ペレット供給装置１８
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
により、ウエハステージ２９上のウエハ３を品種（Ａ）
から（Ｂ）のものに切換える。
【００４７】(4) アンローダ１２のプッシャ２５によ
り、アンローダ１２のフレームマガジン２３内の品種
（Ａ）のペレット２をボンディング済みのリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給し、全リードフレーム１を
一旦ローダ１１のフレームマガジン２１に収納する。そ
して、ローダ１１のプッシャ５１により、上記フレーム
マガジン２１内のリードフレーム１をフィーダ１３に再
々供給する。リードフレーム１は上記(1) と同一の通過
方向にてアンローダ１２に向けて搬送される過程で、デ
ィスペンサ１５により該リードフレーム１にペーストを
供給し、ボンディングヘッド１７によりペレット供給装
置１８のウエハステージ２９上から品種（Ｂ）のペレッ
ト２を吸着保持し、そのペレット２をリードフレーム１
にボンディングする。ボンディング後のリードフレーム
１をアンローダ１２のフレームマガジン２３に収納す
る。
り、アンローダ１２のフレームマガジン２３内の品種
（Ａ）のペレット２をボンディング済みのリードフレー
ム１をフィーダ１３に再供給し、全リードフレーム１を
一旦ローダ１１のフレームマガジン２１に収納する。そ
して、ローダ１１のプッシャ５１により、上記フレーム
マガジン２１内のリードフレーム１をフィーダ１３に再
々供給する。リードフレーム１は上記(1) と同一の通過
方向にてアンローダ１２に向けて搬送される過程で、デ
ィスペンサ１５により該リードフレーム１にペーストを
供給し、ボンディングヘッド１７によりペレット供給装
置１８のウエハステージ２９上から品種（Ｂ）のペレッ
ト２を吸着保持し、そのペレット２をリードフレーム１
にボンディングする。ボンディング後のリードフレーム
１をアンローダ１２のフレームマガジン２３に収納す
る。
【００４８】(5) アンローダ１２のフレームマガジン２
３が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を
繰り返す。
３が、上記品種（Ｂ）のペレット２をボンディングされ
たリードフレーム１により満杯になるまで、上記(4) を
繰り返す。
【００４９】尚、リードフレームに３品種以上のペレッ
トをボンディングする場合には、上記(3) 〜(5) を更に
繰り返すことになる。
トをボンディングする場合には、上記(3) 〜(5) を更に
繰り返すことになる。
【００５０】また、この第３実施例の変形例として、次
のようにしても良い。即ち、上記(1) において、品種
（Ａ）のペレット２がボンディングされたリードフレー
ム１をアンローダ１２のフレームマガジン２３に収納す
るのではなく、ボンディング後にリードフレーム１の搬
送方向を逆転させ、ローダ１１のフレームマガジン２１
内の元の位置に再収納する。そして、これを繰り返し
て、フレームマガジン２１内のリードフレーム１すべて
にまず品種（Ａ）のペレット２のボンディングを行な
う。次に上記(3) と同様に、ウエハを品種（Ａ）から
（Ｂ）のものに切換える。そして、品種（Ｂ）に対して
も、品種（Ａ）のときと同様にしてボンディングを行な
うようにするものである。このようにすると、アンロー
ダ１２を特に設ける必要はない。
のようにしても良い。即ち、上記(1) において、品種
（Ａ）のペレット２がボンディングされたリードフレー
ム１をアンローダ１２のフレームマガジン２３に収納す
るのではなく、ボンディング後にリードフレーム１の搬
送方向を逆転させ、ローダ１１のフレームマガジン２１
内の元の位置に再収納する。そして、これを繰り返し
て、フレームマガジン２１内のリードフレーム１すべて
にまず品種（Ａ）のペレット２のボンディングを行な
う。次に上記(3) と同様に、ウエハを品種（Ａ）から
（Ｂ）のものに切換える。そして、品種（Ｂ）に対して
も、品種（Ａ）のときと同様にしてボンディングを行な
うようにするものである。このようにすると、アンロー
ダ１２を特に設ける必要はない。
【００５１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、単純なボ
ンディング動作により、単一リードフレームに複数品種
のペレットをボンディング可能とすることができる。ま
た、本発明によれば、単一のペレット供給装置を用い
て、単一リードフレームに複数品種のペレットをボンデ
ィング可能とすることができる。
ンディング動作により、単一リードフレームに複数品種
のペレットをボンディング可能とすることができる。ま
た、本発明によれば、単一のペレット供給装置を用い
て、単一リードフレームに複数品種のペレットをボンデ
ィング可能とすることができる。
【図１】図１は第１実施例を示す模式図である。
【図２】図２は第２実施例を示す模式図である。
【図３】図３は第３実施例を示す模式図である。
１０、４０、５０ ペレットボンディング装置 １１ ローダ １２ アンローダ １３ フィーダ １４ フレーム供給装置 １７ ボンディングヘッド １８ ペレット供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−125140（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/52
Claims (4)
- 【請求項１】 リードフレームを順次ボンディング位置
に位置付けることにより前記リードフレームに半導体ペ
レットをボンディングするペレットボンディング方法に
おいて、前記ボンディング位置に対して前記リードフレ
ームを複数回通過させるとともに、通過毎に前回通過時
とは異なる品種の半導体ペレットをボンディングするよ
うにしたことを特徴とするペレットボンディング方法。 - 【請求項２】 リードフレームをローダ側とアンローダ
側との間にて搬送するとともに、その搬送途上のボンデ
ィング位置に設けられたボンディング手段により、ペレ
ット供給位置に位置付けられた半導体ペレットを吸着保
持しその半導体ペレットを前記リードフレームにボンデ
ィングするペレットボンディング方法において、前記ボ
ンディング位置に対して前記リードフレームを複数回通
過させるとともに、通過毎に前回通過時とは異なる品種
の半導体ペレットを前記ペレット供給位置に供給するよ
うにしたことを特徴とするペレットボンディング方法。 - 【請求項３】 通過方向が常に同一方向であることを特
徴とする請求項１または２記載のペレットボンディング
方法。 - 【請求項４】 通過方向が毎回異なることを特徴とする
請求項１または２記載のペレットボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16183592A JP3145790B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ペレットボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16183592A JP3145790B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ペレットボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05335352A JPH05335352A (ja) | 1993-12-17 |
| JP3145790B2 true JP3145790B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=15742838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16183592A Expired - Fee Related JP3145790B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ペレットボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3145790B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4585496B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2010-11-24 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップの実装装置 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP16183592A patent/JP3145790B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05335352A (ja) | 1993-12-17 |
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