KR100268599B1 - 리드프레임에 대한 처리 또는 취급 라인용 이송 로보트 - Google Patents

Abstract

잡음 장치 (16) 에 의해서 입방형 매거진내에 전자칩 (35) 을 위한 리이드 프레임을 이송하기 위한 이송 로보트의 경우에 있어서, 후자는 매거진 (8) 의 벽 (33) 의 각각의 한측단에 걸리는 두개의 클램핑 조 (30) 을 가지고 매거진이 잡음 장치에 의해 붙잡힐때 함께 이 벽을 고정한다. 안에 고정된 벽에 수직 방향으로, 상기 클램핑 조 (30) 은 이 벽보다 넓어서, 상기 리이드 프레임은 상기 이송 로보트가 매거진을 움직일때 매거진에서 떨어져 분리될 수 없다.

상기 잡음 장치는 덮개판 매거진이 잡음 장치에 의해 붙잡힐때 그것에 수직인 방향인 안쪽에 고정된 벽에 덮혀지는 앞면을 바람직하게는 구비한다.

Description

리드프레임에 대한 처리 또는 취급 라인용 이송 로보트

본 발명은 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 기계 또는 장치의 라인에서 이러한 전자칩에 적합한 리드프레임 (lead frame) 용의 기본적으로 입방형인 매거진을 이송하기 위한 이송 로보트에 관한 것으로, 이러한 매거진은 기본적으로 서로 일정한 거리에서 평행하게 유지되는 두개의 벽을 구비하여 이러한 벽의 홈이나 격실에 삽입된 하나 이상의 리드프레임에 적합하고, 상기 이송 로보트에는 상기 매거진을 자동으로 포획하고 해방하기 위한 그리핑 (gripping) 장치가 제공된다.

반도체 웨이퍼로부터 전자회로에 산업적으로 이용할 수 있는 사용준비된 상태로 잘라진 개별적인 전자칩의 처리공정에 있어서, 품질을 향상시키고 공정을 최적화하기 위한 요구가 오랫동안 존재해왔다. 이러한 요구로 인하여, 기계나 장치의 전체 라인이 이러한 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위하여 설정되어 이용되게 되었다. 이로 인하여, 초기에 리드프레임 상에 설치된 전자칩이 이러한 리드프레임 상에서 추가적으로 처리된다.

상기 라인에서, 리드프레임은 스테이션에서 스테이션으로 이송된다.

예를 들어, 전자칩을 리드프레임 상에 고정하기 위한 하나 이상의 장치 (소위 다이본더 (die bonder)), 접착제를 경화시키기 위한 하나 이상의 장치 (소위 큐어링오븐 (curing oven)), 및 하나 이상의 와이어본딩용 장치 (소위 와이어본더 (wire bonder)) 가 한 라인에 설치되어, 처음에 특정된 형태의 매거진으로 리드프레임의 이송이 수행된다. 이러한 매거진에서는, 상기 리드프레임은 측면에서 밀어 넣어지지만, 이 밀어 넣는 방향으로 고정되지는 않는다.

처리되는 리드프레임에 따라, 다양한 폭을 갖는 한 라인의 매거진에서 길이 및 높이가 조절될 수 있어야 한다. 매거진을 스테이션에서 스테이션으로 이송하는 이송 로보트에 의하여 매거진의 자동적인 이송이 수행된다.

이전의 이송 로보트는 대응하는 그리퍼 (gripper) 에 의해 위 아래로 매거진을 포획하기 위한 그리핑 (gripping) 장치를 갖는다. 이러한 장치는 상기 이송 로보트가 추진력이나 상당한 가속을 받아 리드프레임의 밀어넣는 방향과 평행한 방향으로 수평운동을 하는 경우 리드프레임이 상기 매거진으로부터 측면으로 미끄러져 나온다는 상당한 문제점을 갖는다.

또다른 문제점은 매거진이 포획 및 그리핑 (gripping) 을 위해서는 들어올려지거나 하방 그리퍼 (gripper) 가 매거진의 아래쪽을 그립 (grip) 할 수 있도록 리세스 위에 위치해야 한다는 것이다.

더욱이, 매거진의 로딩 (loading) 위치나 언로딩 (unloading) 위치에서 이송 로보트에 대한 기준 엣지 (edge) 로서 처리나 취급 스테이션에서 작용하는 것은 매거진의 동일한 엣지이고, 그래서 이전의 이송 로보트의 그리퍼는 언로딩 동안 보다는 새로이 픽업 (pick up) 하는 동안에 다른 지점에서 매거진을 맞물게 된다. 그 결과, 이송 로보트의 위치 에러가 쌓이고 매거진은 다음의 처리나 취급 스테이션에서 벗어난 위치로 이동되므로, 최종적으로 매거진의 이송은 특히 매거진의 벨트 이송에 요즈음 이용되는 시스템 또는 처리나 취급 스테이션 자체에서 위험하게 된다.

본 발명의 목적은 매거진이나 매거진 내의 리드프레임의 안전한 이송이 가능하고 이송 로보트의 위치 에러가 쌓이지 않으며 다양한 매거진에 이용될 수 있는 방식으로 전술한 형태의 처리 라인을 향상시키는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 처음에 특정된 형태의 이송 로보트는 그리핑장치가 매거진이 상기 그리핑장치에 의해 포획되는 경우 상기 매거진의 벽의 일측 엣지 (edge) 각각에 대하여 지탱하고 동시에 상기 벽을 클램프 (clamp) 하는 두개의 클램핑조 (clamping jaw) 를 갖추고, 이러한 클램프된 벽에 수직한 방향으로의 상기 클램핑조의 폭이 상기 벽의 폭보다 더 크다는 것을 특징으로 한다.

이것은 양측의 클램핑조 (clamping jaw) 가 매거진의 탁 트인 가로로 돌출하여, 리드프레임이 매거진으로부터 측면으로 더이상 미끄러져 나올 수 없음을 의미한다.

이것은 또한 매거진이 더이상 상하로부터 포획되지 않고, 측면으로 부터 포획된다는 것을 의미한다. 이것은 매거진의 아래로 그리퍼를 이동하기 위해 매거진을 들어올릴 필요가 없다는 것을 의미한다. 이로써 상기 매거진은 벨트이송에 의해 처리나 취급 스테이션의 대응하는 이송면상으로 이동될 수 있고, 예를들어, 대략 로딩 위치에 대응하는 언로딩 위치로 다시 이송될 수 있다.

이 경우에, 두개의 클램핑 조의 서로 마주보는 면은 바람직하게도 서로 평행한 평면 위에 기본적으로 놓이는데, 이 평면은 클램프된 벽에 수직으로 놓인다. 이러한 배치는 기본적으로 입방형인 매거진의 설계에 최적으로 적용된다.

치리나 취급 스테이션에서의 전술한 매거진의 벨트이송 시스템의 경우에, 로딩이나 언로딩 위치에 있는 매거진은 벨트에 의해 또는 작동하는 벨트에 거슬르는 매거진의 마찰에 의해서 매거진의 바닥면보다 높이 있어서 매거진에 대한 스톱부로서 작용하는 스텝 (step) 에 거슬러서 힘을 받는다.

결과적으로, 상기 매거진의 위치는 상기 스텝에 대한 매거진의 베어링 (bearing) 에 의하여 잘 제한된다. 그러나, 이 경우에, 상기 이송 로보트의 그리핑 장치는 오직 상기 스텝 상으로만 매거진에 도달할 수 있으며, 이것은 그리핑장치가 비교적 높은 레벨에서 매거진으로 이동해야만 하고, 그 결과 이러한 환경 하에서는 상기 매거진의 가장 아래에 있는 리드프레임이 측면으로 미끄러져 나오는 것이 방해받지 않는다는 것을 의미한다.

더구나, 이러한 스텝 없이도, 이송 로보트의 그리핑 장치는 처리나 취급 스테이션의 이송면 상의 그리핑장치의 장치 긁힘을 피하기 위하여 비교적 높은 레벨에서 매거진까지 이동하여 하고, 그 결과, 이러한 환경하에서, 상기 매거진의 가장 아래에 있는 리드프레임이 측면으로 미끄러져 나오는 것이 방해받지 않는다.

이점을 해결하기 위하여, 바람직하게도 각 클램핑조의 하방 림 (rim) 상에 러그 (lug) 가 형성되는데, 다른 러그와 마주보는 그 측면이 상기 클램핑조의 대응하는 평면과 동일한 평면에 있고, 한편 기계나 장치의 라인의 처리 또는 취급 스테이션의 매거진을 지지하도록 의도된 이송면에 상기 러그를 수용하기 위한, 스텝으로서 적당히 설계된다면, 리세스가 형성되는 것이 바람직하다. 어쨋든 가장 아래의 리드프레임 상으로도 맞물게 되어 리드프레임 내에서 안전하게 이송된다. 예를 들어, 로딩 위치로의 안착을 위하여, 상기 매거진은 우선 상기 스텝 상으로 이동되고 상기 이송면이나 이송 벨트 상으로 안착되어, 상기 러그가 상기 스텝의 뒤에서 맞물게 된다. 언로딩 위치에서 반대 순서 및 반대 방향으로 대응하는 동작이 이루어진다.

측면으로부터의 매거진의 맞물림 때문에, 상기 매거진은 임의의 폭, 높이 또는 길이를 가질 수 있다. 매거진의 길이는 단지 클램핑조 서로 간의 최대 거리에 의해서만 제한된다.

최대 가능 무게 감소를 위해, 상기 클램핑조는 가능한한 얇게 디자인되어야만 하지만, 매거진의 전높이에 걸쳐서 가능한 한 균일한 클램핑 동작을 실행해야 한다. 이것은 클램핑조가 하방 봉 및 상방 봉 스트립 (strip) 으로 분할됨으로써 보장될 수 있고, 상기 봉 및 봉 스트립 사이에 정지 (rest) 어깨부가 형성된다. 이러한 정지 어깨부는 그리핑 어댑터의 전술한 지지봉의 상방 엣지의 사용을 위한 위치에서 적소에 정지하여, 하방 봉과는 반대로 돌출부를 갖지 않는 상방 봉 스트립이 상기 지지봉에 대한 이러한 정지 어깨부에 의해 스스로를 지탱할 수 있다.

그러므로, 이러한 목적을 위하여, 바람직하게도 상기 그리핑장치에는 각각이 클램핑조에 할당되고 대응하는 클램핑조를 지지하여 고정하기 위한 지지봉이 제공되는 두개의 그리핑 어댑터가 제공된다. 이 경우에, 상기 클램핑조는 바람직하게도 상기 그리핑 어댑터의 지지봉 상에 지지되고 고정된 클램핑조 봉 및 상기 지지봉 위로 돌출한 측면 스트립 (side strip) 의 정지 어깨부를 구비하는데 상기 정지 어깨부는 상기 지지봉 상에서 맞불리어 고정되는 한편, 상기 지지봉은 바람직하게도 상기 그리핑 어댑터의 베어링 면으로부터 솟아오른 돌출부로서 설계된다.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 클램핑조는 상기 지지봉 상에 탄력적으로 장착된다. 이러한 탄력적인 장착에 의해서, 예를들어 오븐에서의 처리 후에 냉각시키는 동안 상기 매거진 크기가 변화하게 된다. 이로 인하여, 예를들어 매거진 엣지가 베벨 (bevel) 을 갖는다면 매거진의 어떤 부정확성도 허용된다.

그럼에도 불구하고 그리핑장치에 의해 포획되는 매거진 벽의 측단부 위에 클램핑조의 바람직한 접촉압을 보장하기 위해서, 바람직하게도 두개의 스프링 소자 사이의 지지봉 상에 고정되어 배치된 볼트가 클램핑조에 제공된 컷아웃에서 맞물리게 될 수도 있고 상기 스프링 소자의 스프링 력에 거슬러서 그 안에서 이동될 수 있는데, 상기 컷아웃의 베이스 (base) 는 상기 클램핑조에 위치하고 상기 볼트는 상기 지지봉에 위치하여, 상기 볼트가 상기 스프링 소자의 스프링 력에 거슬러서 상기 컷아웃의 베이스까지 압력을 받는 경우에도 상기 클램핑보 및 상기 지지봉 사이에 거리가 유지된다. 이런 식으로, 상기 볼트는 상기 지지봉 상에서 상기 클램핑조의 진동 운동에 대한 피벗점 (pivot point) 을 형성한다. 상기 매거진의 벽의 측단부로 클램핑조에 압력을 가하는 동안, 우선 측단에 대한 플러시 (flush) 를 지탱할 때까지 상기 클램핑조는 상기 스프링 소자의 스프링 력에 거슬러서 진동하고, 그 다음에 상기 컷아웃의 베이스에 대하여 지탱할 때까지 상기 클램핑 조의 컷아웃에 있는 볼트가 상기 스프링 소자를 압축하는 동안 스프링 력에 거슬러서 이동되고, 그후에 상기 볼트와 상기 컷아웃의 베이스와의 접촉이 클램핑조의 더이상의 양보를 아무리 방해하더라도, 상기 그리핑장치의 전체힘이 매거진을 포획하기 위하여 동작한다.

더구나, 바람직하게도 상기 그리핑장치는 앞면을 갖춘 덮개판을 구비하고 상기 두개의 그리핑 어댑터 각각은 베어링 면을 구비하는 한편, 상기 앞면 및 상기 두개의 베어링면은 기본적으로 한 평면에 놓이고, 또한 상기 앞면 및 베어링면은 상기 매거진이 상기 그리핑장치에 의해 포획될 때 수직한 방향으로 상기 클램프된 벽에 대하여 지탱한다.

이러한 덮개판은 이하에서 언급되는 기어 장치를 보호하고 동시에 메거진의 벽에서의 상기 그리핑장치의 스톱부로서 작용하여, 상기 덮개판의 이러한 앞면은 이송 로보트가 잡고 있는 동안 기준면을 형성하고, 필요하다면 또한 매거진의 위치를 교정하는 작용을 한다.

상기 덮개판의 양측에 있는 두개의 그리핑 어댑터는 바람직하게도 반대로 회전가능한 스핀들 드라이브에서 안내되는데, 이러한 스핀들 드라이브는 바람직하게도 드라이브가 할당되는 기어 장치에 접속된다.

만약 예를들어 매거진이 로딩 위치와는 다른 언로딩 위치로 가게된다면, 매거진의 위치 정정은 기준면으로서 상기 덮개판의 앞면에 의하여 그리고 측면으로 안내되는 그리핑 어댑터에 의하여 실행될 수 있다. 그 결과, 이송 로보트의 위치 에러는 개개의 처리나 취급 스테이션에 축적될 수 없다.

스핀들 드라이브 및 기어 장치의 결합의 또다른 효과는 클램핑 (clamping) 력이 정전시에도 단절되는 않는다는 것이고, 그러므로 정전시에도 매거진은 그리핑장치로부터 떨어지지 않는다. 더욱이, 매거진의 클램핑 (clamping) 은 상기 클램핑조의 기울어짐 없이 한정된 클램핑 력으로 실행된다.

드라이브에 대하여는, 예를들어 대칭적인 힘-제어 직류모터가 선택된다.

바람직하게도 상기 그리핑장치는 이송 로보트의 칼럼 프로파일 (column profile) 에 수직으로 배치된 스핀들 상에 결합된 나사산이 형성된 슬리브 (sleeve) 를 갖는 베어링 암에 의하여 지지된다. 이러한 배치는 다른 높이에 배치된 큐어링 오븐을 수평으로 동작할 수 있게 하기 위하여 상기 그리핑장치가 들어올려지는 움직임을 허용하는데, 이것은 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 관련된 기계 또는 장치의 다른 높이를 보상하기 위하여 특히 필요하다.

대체로, 본 발명에 따른 이송 로보트는 이러한 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 기계 또는 장치의 라인에서 전자칩을 위한 리드프레임이 삽입된 매거진의 이송에 편리하게 이용될 수 있다.

이러한 이용은 저렴하며, 기존의 이송 로보트의 전환은 단지 그리핑 장치에 관해서만 기계적으로 실행되어야 할 뿐이고 그렇지 않다면 단지 소프트웨어에 의해 수행될 뿐이다.

도면을 참조한 바람직한 실시예에 대한 이하의 기재로부터 본 발명의 다른 효과, 특징 및 세부사항이 나타난다.

제1도는 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 기계 또는 장치의 라인에 대한 사시도.

제2도는 본 발명에 따른 이송 로보트의 도식적인 평면도.

제3도는 제2도에 따른 이송 로보트의 측면도.

제4도는 매거진의 안착 중에 제2도에 따른 이송 로보트 및 처리나 취급 스테이션의 부분 측면도.

제5도는 이송 로보트의 다른 실시예의 부분 측면도.

제6도는 제5도에 따른 실시예의 경우 이송 로보트의 부분 전면도.

제7도는 본 발명에 따른 클램핑조의 평면도.

제8도는 제5도에 따른 클램핑조의 90°회전된 평면도.

차례로 직렬로 연결된 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 기계 또는 장치의 라인 (R) 은 복수의 처리나 취급 스테이션을 갖는다 (제 1 도 참조). 상기 라인 (R) 에서, 리드프레임은 스테이션에서 스테이션으로 이송되어 처리되거나 취급된다. 예를들어, 리드프레임 상에 전자칩을 고정하기 위한 장치 (5) (소위 다이본더), 접착제를 경화하기 위한 4 개의 동일한 장치 (4) (소위 큐어링 오븐), 및 와이어 본딩 (wire bonding) 을 위한 3 개의 동일한 장치 (1, 2, 3) (소위 와이어 본더) 가 하나씩 차례로 연결되어 라인 (R) 에 배치되어 있다.

레일 (7) 상에서 이동되는 이송 로보트 (6) 에 의하여, 리드프레임에 적합한 매거진 (8) 이 버퍼 (9) 로부터 대응하는 처리나 취급 스테이션으로 이송된다. 이전의 공지된 종래기술의 경우와는 달리, 이 경우에는 이송 로보트와 함께 레일 (7) 이 개개의 처리나 취급 스테이션 뒤에 위치되어, 대응하는 리드프레임의 처리가 어려움 없이 앞에서부터 이루어질 수 있다.

이송 로보트 (6) 는 처리나 취급 스테이션의 이송면 (10) 상에 매거진 (8) 을 안착하는데, 상기 이송면 (10) 에는 구동가능한 평향 롤러 (46) 주위로 고리를 이루는 대응하는 이송 벨트 (11) 가 위치해 있다.

제 4 도에서, 그 위로 매거진 (8) 이 상기 이송 벨트 (11) 상에 안착되는 스텝 (step) (45) 이 이송면 (10)에 형성되는 것이 보인다. 이송 벨트 (11) 에 의해서, 매거진 (8) 은 처리나 취급 스테이션의 앞면으로 이송 된다. 그곳에서, 리드프레임 (35) 이 매거진 (8) 으로부터 분리되어 처리 또는 취급되고 그 다음에 매거진 (8) 으로 다시 돌아온다. 그 후에, 매거진 (8) 의 귀향 이동은 이송 벨트 (11) 에 의해서 상기 스텝 (45) 에 대해 작동하는 이송 벨트 (11) 상의 마찰에 의해 압축될 때까지 실행되는데, 그 결과 이러한 스텝은 매거진 (8) 에 대한 스톱부로서 작용한다. 이러한 매거진 (8) 의 위치에서, 상기 매거진은 이송 로보트 (6) 에 의해 포획되어 다른 처리 또는 취급 스테이션으로 전달되어, 예를들어 리드프레임 상에 전자칩을 고정하기 위한 장치 (5) (소위 다이본더), 접착제를 경화하기 위한 장치 (4) (소위 큐어링 오븐), 및 와이어 본딩을 위한 장치 (1, 2, 3) (소위 와이어본더) 를 경유하여 연속적으로 진행한다.

이송 로보트 (6) 는 캐리지 (13) 상의 하우징 (12) 과 함께 정지하는데, 상기 캐리지 (13) 는 레일 (7) 위에 이동가능하게 배치된다. 망원경처럼 포개어 넣을 수 있는 신축 자재 프레임 (14) 은 하우징 (12) 으로부터 X 방향으로 연장되어, 제 2 도 및 제 3 도에 특별히 도시된 그리핑장치 (16) 를 구비하는 컬럼 프로파일 (15) 이 매거진 (8) 으로 가까워질 수 있다.

이 경우에, 상기 그리핑장치 (16) 는 스핀들 (18) 상의 컬럼 프로파일 (15) 내에서 안내되는 베어링 암 (17) 을 갖는다. 그 내부 나사산이 상기 스핀들 (18) 의 외부 나사산과 상호작용하는 나사산이 형성된 슬리브 (19) 가 상기 스핀들 (18) 상에 장착된다. 그 결과, 베어링 암 (17) 및 동시에 그리핑장치 (16) 의 상승 및 하강은 양방향 화살표 (Z) 방향으로 실행된다.

두개의 거울대칭 (mirror-invertedly) 적으로 배치된 스핀들 로드 (22, 23) 의 회전을 위한 기어 장치 (21) 가 그 위에 고정되는 레일 스트립 (strip) (20) 이 베어링암 (17) 상으로 프랜지 (flange) 된다. 앞쪽으로, 상기 기어 장치 (21) 는 덮개판 (24) 으로 덮힌다. 더욱이, 도 2 에서 기어 장치 (21) 아래에 표시된 장치 (25) 가 기어 장치 (21) 에 할당되어, 대응하는 기어 소자들이 드라이브 축의 회전을 상기 기어 장치에 전달하고 상기 기어 장치 (21) 는 이 회전을 스핀들 로드 (22, 23) 의 회전으로 변환한다.

그에 의해 스핀들 (18) 이 회전하는 대응하는 드라이브 (26) 및 나사산이 형성된 슬리브 (19) 가 상기 스핀들에 또한 할당되고, 그것과 함께 베어링 암 (17) 또는 그리핑장치 (16) 가 양방향 화살표 (Z) 방향으로 이동한다.

각각의 스핀들 로드 (22, 23) 상에 상기 스핀들 로드 (22, 23) 및 레일 스트립 (20) 양측 상에서 안내되는 그리핑 어댑터 (26) 가 위치한다. 서로 반대방향으로 수행되는 상기 스핀들 로드 (22, 23) 의 회전중에, 각각의 그리핑 어댑터 (26) 는 양방향 화살표 (Y) 방향으로 이동된다. 따라서, 상기 스핀들 로드 (22, 23) 는 상기 그리핑 어댑터 (26) 와 함께 두개의 반대로 작동하는 스핀들 드라이브를 형성한다. 상기 그리핑 어댑터 (26) 의 외측 단부는 점선 및 쇄선으로 각각 표시된다.

상기 그리핑 어댑터 (26) 의 전면 (27) 은 상기 덮개판 (24) 의 전면 (28) 의 평면에 놓인다. 이러한 전면 (27) 너머로 돌출되므로, 상기 클램핑조 (30) 를 유지하는 지지봉 (29) 은 상기 어댑터 (26) 상에 옆으로 각각 형성된다. 이 경우에, 상기 클램핑조 (30) 는 대응하는 나사 (31) 에 의해서 상기 지지봉 (29) 에 연결된다.

제 4 도에서, 그리핑장치 (16) 의 기능이 명확히 도시된다. 매거진 (8) 은 일반적으로 전방 벽 (32) 및 후방 벽 (33) 을 구비한다. 상기 두 벽 (32, 22) 은 일정한 거리에서 서로 평행하게 웃지되며, 예를 들어 상기 두 벽 (32, 33) 사이의 떨어져 있는 슬리브가 나사산이 형성된 볼트 (34) 상에 장착되는 것이 가능하다. 대응하는 홈이나 격실에 수납될 리드프레임 (35) 이 상기 전방벽 (32) 및 상기 후방 벽 (33) 사이에 배치된다.

이송을 위해서, 매거진 (8) 은 그리핑장치 (16) 에 의해 맞물려서 포획되는 데, 클램핑조 (30) 가 양측으로부터 상기 클램핑조 사이의 후방 벽 (33) 을 취하여 클램핑 방식으로 유지한다.

이 경우에, 제 5 도 및 제 8 도에 따르면, 각각의 클램핑조 (30) 는 후방 벽 (33) 의 폭 (b₁) 보다 약간 큰 폭 (b) 을 갖는다. 이로 인하여, 클램핑조 (30) 가 그 폭 (b) 의 부분과 함께 상기 전방 벽 (32) 및 상기 후방 벽 (33) 사이의 탁트인 폭으로 돌출되어서, 이송중에 매거진 (8) 으로부터 리드프레임 (35) 의 이탈을 피하는 것이 보장된다. 상기 클램핑조 (30) 의 하방 림 (37) 상에 형성된 러그 (36) 가 바로 이러한 목적이 부합한다. 이러한 러그 (36) 는, 만약 예를들어 그리핑장치 (16) 가 너무 높은 레벨서로 매거진 (8) 에 대해 설정된다면, 보상으로서 작용한다. 만약 러그 (36) 가 존재하지 않으면, 클램핑 조 (30) 가 너무 높은 레벨에서 후방 벽 (33) 의 측단에 대해 설정되는 경우 최하단의 리드프레임이 자유로와져서 매거진 (8) 으로부터 미끄러져 나올 위험이 있을 수 있다. 이것은 그 폭과 함께 상기 전방 벽 (32) 및 상기 후방 벽 (33) 사이의 탁트인 폭으로 적어도 부분적으로 돌출하는 러그 (36) 에 의해 방지된다.

그러나, 이송면 (10) 상에서 그리핑장치 (16) 의 매거진 (8) 과의 적당한 맞물림이 처음 위치에서 가능하도록 하기 위해서, 매거진 (8) 이 안착되는 경우 및 매거진이 들어올려지는 경우에 예를 들어 스텝 (45) 으로서 설계되어 러그 (36) 에 의해 뒤에서 맞물리는 리세스가 양측의 이러한 이송면 (10) 에 형성된다.

러그 (36) 는 지지봉 (29) 에 대하여 지탱하는 역할을 하는 봉 (39) 에 의해 상방으로 인접한다. 이러한 봉 (39) 에는 나사 (31) 용 구멍 (40) 이 또한 제공된다.

스트립 (39) 와 인접하여, 클램핑조가 넓혀지고, 정지 어깨부 (41) 를 자유로운 봉 스트립 (42) 으로 형성하는데, 상기 봉 스트립은 상방으로 원추형으로 끝이 줄어든다. 사용 위치에서, 상기 정지 어깨부 (41) 는 상기 지지봉 (29) 의 상단에 대해 닿게되어, 상기 봉 스트립 (42) 이 지지된다.

그러므로, 매거진 (8) 에 대한 클램핑조 (30) 의 베어링이 클램프되는 경우, 상기 봉 스트립은 바깥으로 빠져나갈 수 없다. 결과적으로, 매거진 (8) 은 안전한 방식으로 유지된다.

제 5 도 및 제 6 도에 좀더 상세히 표현된 본 발명의 모범적인 실시예에서, 클램핑조는 탄력적으로 설계된다. 이 경우에 대응하는 클램핑조 (30a) 는 두개의 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러서 대응하는 지지봉 (29a) 으로부터의 가변거리 (e) 를 두게된다. 상기 스프링 소자 (47a, 47b) 는 예를들어 디스크 스프링 (disc sporing) 어셈블리, 즉 이른바 스프링 어셈블리를 구비한다. 그 결과, 상기 클램핑조 (30a) 의 스프링에 의한 매거진의 크기의 부정확함 및 변경이 허용된다.

볼트 (49) 가 두개의 스프링 소자 (47a, 47b) 사이의 지지봉 (29a) 상에 고정되어 배치되는 한편, 상기 클램핑조 (30a) 상에는 볼트 (49) 맞물리는 컷아웃 (50) 이 제공되는데, 이 안에서 스프링 소자의 스프링 력에 거슬러서 이동 가능하다. 상기 컷아웃 (50) 은 볼트 (49) 가 상기 두개의 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러서 그곳까지 압력을 받는 베이스 (51) 를 갖는다. 상기 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 는 상기 클램핑조 (30a) 상에 위치되고, 상기 볼트 (49) 는 제 6 도에 도시된 평균 거리 (e) 가 볼트 (49) 가, 상기 볼트가 상기 두개의 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러서 상기 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 까지 압축되는 경우에도, 상기 클램핑조 (30a) 및 상기 지지봉 (29a) 사이에서 유지되는 식으로 상기 지지봉 (29a) 상에 위치한다. 결과적으로, 상기 볼트 (49) 는 지지봉 (29a) 상에서 상기 클램핑조 (30a) 의 진동 운동을 위한 피벗점 (pivot point) 을 형성하는데, 이것은 매거진 크기의 변화 및 부정확함을 용인하는데 기여한다. 양쪽의 클램핑조 (30a) 를 상기 매거진 벽의 측단으로 압축하는 동안, 우선 클램핑조 (30a) 는 매거진의 측단에 대해 부딪칠 때까지 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러서 진동한다. 이어서, 상기 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 에 대하여 지탱할 때까지, 상기 스프링 소자 (47a, 47b) 가 수축하는 동안 상기 컷아웃 (50) 내의 볼트는 스프링 력에 거슬러서 움직인다. 그러나, 그 후에 상기 볼트 (49) 와 상기 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 와의 접촉은 상기 클램핑조 (30a) 의 추가적인 양보를 방지하여, 그리핑장치의 전체 힘이 상기 클램핑조 (30a) 로 전달되고 매거진의 포획을 위해 작용한다.

이 방법의 주된 효과는 예를들어 오븐으로부터 매거진 (8) 을 집어올릴 때, 매거진 (8) 의 접촉이 허용된다는 것이다. 이때문에, 정지 위치에서, 볼트 (49) 는 실제로 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 상에 있지 않고, 예를들어, 2mm 거리에 있게 된다. 매거진 (8) 을 집어 올릴때 이 정지 위치 거리는 우선 0으로 감소된다. 매거진 (8) 이 냉각되면, 두개의 클램핑조 (30a) 사이에 떨어지지 않는데, 이것은 상기 클램핑조가 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링백 (spring back) 덕분에 매거진 (8) 의 크기의 변화를 따르기 때문이다.

Claims (12)

1. 전자칩의 자동적인 처리나 취급을 위한 기계 또는 장치의 라인에서 전자칩에 적합한 리드프레임 (35) 용의 입방형 매거진 (8) 을 이송하기 위한 이송 로보트로서, 상기 매거진은 서로 일정한 거리에서 평행하게 유지되는 두개의 벽 (32, 33) 을 구비하고 상기 벽 (32, 33) 의 홈 또는 격실에 삽입되는 하나 이상의 리드프레임 (35) 에 적합하며, 상기 이송 로보트에는 상기 매거진 (8) 을 자동적으로 포획하고 해방하기 위한 그리핑장치 (16) 가 제공되는 이송 로보트에 있어서, 상기 그리핑장치 (16) 는 상기 매거진 (8) 이 상기 그리핑장치 (16) 에 의해 포획되는 경우 상기 매거진 (8) 의 상기 벽 (33) 각각의 일측단에 대하여 지탱하고 상기 벽 (33) 을 클램프하는 두개의 클램핑조 (30, 30a) 를 구비하고, 상기 클램프된 벽 (33) 에 수직한 방향으로의 상기 클램핑조 (30, 30a) 의 폭 (b) 이 상기 벽 (33) 의 폭 (b₁) 보다 큰 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
2. 제1항에 있어서, 상기 두개의 클램핑조 (30, 30a) 의 서로 마주보는 면은 상기 클램프된 벽 (33) 에 수직한 서로 평행한 평면에 있는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
3. 제2항에 있어서, 상기 그리핑장치 (16) 에는 상기 클램핑조 (30, 30a) 에 각각 할당된 두개의 그리핑 어댑터 (26) 가 제공되고 상기 대응하는 클램핑조 (30, 30a) 를 지지하고 고정하기 위한 지지봉 (29) 이 각각 제공되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
4. 제3항에 있어서, 상기 클램핑조 (30a) 는 상기 지지봉 (29a) 상에 탄력적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
5. 제4항에 있어서, 두개의 스프링 소자 (47a, 47b) 사이의 상기 지지봉 (29a) 상에 고정되어 배치된 볼트 (49) 가 상기 클램핑조 (30a) 에 제공된 컷아웃 (50) 에 맞물려서 상기 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러서 움직일 수 있고, 상기 컷아웃 (50) 의 베이스 (51) 가 상기 클램핑조 (30a) 에 위치하며 상기 볼트 (49) 는 상기 스프링 소자 (47a, 47b) 의 스프링 력에 거슬러 상기 컷아웃 (50) 의 상기 베이스 (51) 까지 압축되는 경우 조차도 상기 클램핑조 (30a) 및 상기 지지봉 (29a) 사이에 일정한 거리가 있도록 하는 방식으로 상기 지지봉 (29a) 에 위치하는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
6. 제2항에 있어서, 상기 각 클램핑조 (30a, 30b) 의 하방림 (37) 상에 러그 (36) 가 형성되고, 다른 러그 (36) 와 마주보는 그 측면이 상기 클램핑조 (30, 30a) 자체의 대응하는 평면과 동일한 평면에 놓이는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
7. 제3항에 있어서, 상기 그리핑장치 (16) 는 덮개판 (24) 의 앞면 (28) 을 갖추며 상기 두개의 그리핑 어댑터 (26) 각각은 베어링 면 (27) 을 갖추고, 상기 앞면 (28) 및 상기 두개의 베어링 면 (27) 은 기본적으로 동일 평면에 있으며, 상기 앞면 (28) 및 상기 베어링 면 (27) 은 상기 매거진 (8) 이 상기 그리핑장치 (16) 에 의해 포획될 때 상기 클램프된 벽 (33) 에 수직한 방향으로 상기 벽 (33) 에 대하여 지탱하는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
8. 제3항에 있어서, 상기 클램핑조 (30) 는 상기 그리핑 어댑터 (26) 의 상기 지지봉 (29) 위에 지지되어 고정된 클램핑조 봉 (39) 및 상기 지지봉 (29) 상에 맞물려 그 위에 지지되는 상기 지지봉 (29) 위로 돌출된 측면 스트립 (42) 의 정지 어깨부 (41) 를 갖는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
9. 제3항에 있어서, 상기 지지봉 (29) 은 상기 그리핑 어댑터 (26) 의 베어링 면 (27) 로부터 돌출하는 돌출부로서 설계되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
10. 제3항에 있어서, 상기 덮개판 (24) 의 양측면상의 상기 두개의 그리핑 어댑터 (26) 는 반대방향으로 회전가능한 스핀들 드라이브 (22, 23) 상에서 안내되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
11. 제10항에 있어서, 상기 스핀들 드라이브 (22, 23) 는 드라이브 (25) 가 할당되는 기어장치 (21) 에 접속되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.
12. 제1항에 있어서, 상기 그리핑장치 (16) 는 상기 이송 로보트 (6) 의 칼럼 프로파일 (15) 에 수직으로 배치된 스핀들 (18) 상에 결합된 나사산이 형성된 슬리브 (19) 를 갖는 베어링 암 (17) 에 의하여 지지되는 것을 특징으로 하는 이송 로보트.