JPH07503413A - リードフレームを加工または処理する工程ライン用の搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 リードフレームを加工または処理する工程ライン用の搬送ロボット本発明は、電 子チップを自動的に加工または処理する機械または装置のラインにおいて、この 電子チップを取付けるリードフレームのための実質的に立法形をしたマガジンを 搬送する搬送ロボットに関する。このマガジンは実質的には互いに平行、かつ一 定の距離を置いて立つ二つの壁からなり、この壁によって形成される一定の区画 または溝には、そこに挿入される少な（とも一つのリードフレームが取付けられ 、搬送ロボットはマガジンを自動的に掴み、そして解放するグリップ装置を備え ている。

半導体ウェーハから切り出され、既に電子回路での使用が可能な状態にある個々 の電子チップの加工処理においては、これまで永い間、品質の向上並びに加工処 理の最適化に対する要求がなされてきた。この要求は、電子チップの自動加工ま たは処理のために設備され、使用される機械、装置の全ラインへと向けられてい る。このことは、はじめにリードフレームに取り付けられ、このリードフレーム 上でさらに処理される電子チップをも含んでいる。

このような加工処理ラインでは、リードフレームは一つの加工または処理ステー ションから次のステーションへと搬送されていく。

例えば、リードフレームに電子チップを固定するための一台またはそれ以上の装 置（所謂ダイポンダ）、接合剤を硬化させるための一台またはそれ以上の装置（ 所謂キュア装置）、そしてワイヤを接続する一台またはそれ以上の装置（所謂ワ イヤボンダ）等が一つのラインに配置され、リードフレームの搬送は前述の形を したマガジンを使用して実施される。こうしたマガジンでは、リードフレームは 横方向に押込まれるが、この押込み方向に固定されてはいない。

処理されるリードフレームよって、種々の幅、長さ、高さのマガジンを、そうし た加工または処理ラインで取り扱うことが出来なければならない。マガジンの自 動搬送はステーションからステーションへとマガジンを搬送するロボットによっ て行なわれる。

これまでの搬送ロボットはマガジンを衛え装置によって上下に掴むグリップ装置 を備えている。しかし、搬送ロボットが急激に、または可成大きな加速度でリー ドフレームの押込み方向と平行に水平移動すると、リードフレームが横方向にマ ガジンから滑り出してしまう、と言う可成不利な点を有している。

さらに不利なことに、マガジンを掴むためにマガジンを持ち上げなければならな いか、またはマガジンを下から掴むためにマガジンを凹所上に位置させなければ ならない。

更に、マガジンを装填する位置と降ろす位置に関して、加工または処理ステーシ ョンにおいて搬送ロボットに対し基準のエツジとなるマガジンのエツジが同じで はなく、そのためこれまでの搬送ロボットの街え装置はマガジンを新たに取り上 げる時と、降ろす時とでは、マガジンに異なる点で係合することになる。その結 果、搬送ロボットの位置決め誤差が累積し、マガジンが次の加工または処理ステ ーションで変位した位置にずれるので、最後にはマガジンの搬送が危険な状態と なり、特に今日利用されているような、加工または処理ステーション自体にマガ ジンをベルト搬送するシステムでは危険である。

したがって、本発明の目的は、マガジンまたはマガジンに装填されたリードフレ ームの安全な搬送を可能にし、搬送ロポ・ストの位置決め誤差が累積されず、か つ各種マガジンの使用が許されるような、」二連の形式の加工処理ラインを改良 することにある。

この目的を達成するために、この明細書の始めに特定した型の搬送ロボットは次 の特徴を有している。即ち、グリップ装置がマガジンを掴む際に、マガジンの一 つの壁の両側エツジの各々に圧接してこの壁を締付ける二つの締付は顎を有し、 この締付けた壁に直交する方向の締付は顎の幅がこの壁の幅よりも大きくなって いる。

このことは、二つの締付は顎の両方がマガジンの空間幅領域に突き出るので、リ ードフレームがマガジンから横の方向に滑り出ることがないことを意味している 。

更にこのことは、マガジンを上下方向からではなく、側面から掴むことを意味す る。従って、街え装置をマガジンの下から入れるためにマガジンを持ち上げる必 要がなくなり、マガジンをベルト搬送によって対応の加工または処理ステーショ ンの搬送面に搬送することが可能になり、例えばマガジンを積み込んだ位置にほ ぼ対応する降ろす位置にマガジンを持ってくることが出来る。

この場合、二つの締付は顎が互いに向かい合っている面は、実質的に互いに平行 で、その一部が締付けられている壁に直交する面内にあることが好ましい。この 構造は実質的に立法形状に設計のマガジンに対して、最適に採用することが出来 る。

既に述べた加工また処理ステーションにおけるマガジンのベルト搬送システムの 場合、マガジンはそれを積み込み、または降ろす位置において、ベルトによって 或いは、むしろマガジンと走行するベルトとの間の摩擦によって、マガジンの底 面より高（位置し、かつマガジンの制止装置として作用する段差部に押付けられ る。その結果、マガジンの位置は段差に対してマガジンを押付けることによって 決められる。しかしこの場合、搬送ロボットのグリップ装置は段差部を越えて初 めてマガジンへの到達が可能であり、このことはグリップ装置が比較的高い位地 でマガジンに向かって移動しなければならないことを意味し、その結果、こうし た状態では、マガジンの最下部にあるリードフレームが横方向にずれ出すことを 防止できない。

更に、このような段差部がない場合でも、ロボットのグリップ装置が加工または 処理ステーションの搬送面上で、その機構を擦ることを避けるためにも比較的高 い位置で、マガジンに向かって移動しなければならないから、その結果、マガジ ンの最下部にあるリードフレームが横方向にずれ出すことを防止できない。

こうしたことを改善するために、各締付は顎の下方リム上にラグを形成し、この ラグが他のラグと向かい合う側面が、対応の締付は顎の面と同一面内にあるよう にするのが好ましい。一方、マガジンを支持するために設だ機械また装置ライン の加工または処理ステイションの搬送面に、ラグを受ける凹部が段差部として適 当に設けられていることが好ましい。何れの場合にも、ラグは最下部のリードフ レームを越えて係合するから、リードフレームはマガジンによって安全に搬送さ れる。例えば、マガジンを装填位置にセットするには、先ずマガジンを段差部以 上に上げ、次いで搬送面、即ち搬送ベルト上にセットする。この時、ラグは段差 部と係合する。マガジンの取出し時には逆のステップで、逆方向の操作が行なわ れる。

締付は顎はマガジンの側面から係合するので、マガジンはいかなる幅、高さ、長 さを持つことが可能である。マガジンの長さは締付は顎間の最大距離によって制 限されるだけである。重量を最大限に減量するために、締付は顎は出来るかぎり 細身に設計し、マガジンの全高さに関して出来るかぎり一様な締付は作用が掛か るようにしなければならない。これは、締付は顎を下方棒状部と上方棒状１、並 びにこれら棒状部の間に形成される肩部とに分けて構成することによって可能と なる。使用時には、この肩部は前述のグリップアダプタの支持棒の上方エツジに 掛かり、そのため下方棒状部に比べて隣接部を持たないこの上方棒状部は、それ 自身を支持棒に掛かる肩部によって支えることが出来る。

それ故、この目的のために、グリップ装置は締付は顎それぞれに割り当てられた 二個のグリップアダプタと、対応する締付は顎をそれぞれ支持固定する支持棒を 備えていることが好ましい。この場合、締付は顎はグリップアダプタの支持棒に よって支持固定される締付は顎棒と、支持棒と係合して、それによって支持され 支持棒上に立ち上がる側棒片に形成された肩部を有していることが好ましく、他 方、支持棒はグリップアダプタの支持面から立ち上がる突出部として形成されて いることが好ましい。

本発明の好ましい実施例では、締付は顎は支持棒上に弾性を持たせて取り付けら れる。この弾性を持たせた取り付は方法によって、例えばマガジンをオーブンで 処理した後の冷却時に生ずるマガジンの寸法変化にも対応できるようになる。こ のことはまた、例えばマガジンのエツジが傾斜している等のマガジン形状に関す る不正確さにも対応できることになる。

しかしながら、グリップ装置によって掴まれるマガジンの壁の両側エツジに対す る締付は顎の望ましい接触圧力を保証するためには、二個のスプリング要素間で 支持棒上に固定して設けたボルトが、締付は顎に設けた切り欠き部に係合し、こ のスプリング要素のスプリング力に抗して動（ことができ、この切り欠き部の基 部は締付は顎に位置し、かつボルトがスプリング要素のスプリング力に抗して切 り欠き部の基部にまで押し込まれたときでも、締付は顎と支持棒との間に一定の 距離が保たれるようにして、このボルトが支持棒に位置していることが好ましい 。この様にすることによって、このボルトは支持棒上に於ける締付は顎の揺動運 動のための枢軸点を形成することになる。マガジンの壁の両側エツジに締付は顎 を圧接すると、締付は顎は先ず、スプリング要素のスプリン力に抗して両側工・ ノジと同一面になるまで揺動する。この時、締付は顎の切り欠き部にあるボルト はスプリング要素の圧縮によって生ずるスプリング力に抗して移動し、切り欠き 部の基部に達し、このボルトと切り欠き部の基部との接触が締付は顎の更なる曲 がりを防止し、グリップ装置は全力でマガジンを掴むことができる。

更に、グリップ装置が覆い板を有し、かつ二つのグリ・ツブアダプタがそれぞれ 支持面を備え、この覆い板の前面と二つの支持面とが実質的に一つの平面内にあ って、グリップ装置がマガジンを掴んだときに、実質的にはこの覆い板の前面と 支持面とによって締め付けた壁をそれと直角方向に押すことが好ましい。

この覆い板は以下に述べる歯車機構を保護すると共に、マガジンの壁に関してグ リップ装置の制止装置としての役を果たすので、この覆い板の前面は、搬送ロボ ットがマガジンを掴む際の基準面を形成し、必要に応じてマガジンの位置修正の 役割を果たす。

覆い板の両側にある二つのグリップアダプタは、反対方向に回転する駆動軸によ って案内され、この駆動軸の−ｈｈｓ＆％ｆ４ｔｔの一部に駆動部を備えた歯車 機構に接続されていることが好ましい。

このことは、例えばマガジンがそそれを積込み位置とは異なる降ろす位置に来な ければならないとき、マガジンの位置の修正は基準面としての覆い板の前面と、 横方向に案内されるグリップアダプタとによって実施される。その結果、搬送ロ ボットの位置決め誤差は個々の加工または処理ステイションに於いて累積される ことがない、と言う利点をもたらす。

駆動軸と歯車機構の組み合わせによる更なる利点は、停電の時でさえ締付は力が 削減されず、それ故マガジンがグリップ装置から落下することがない、と言う点 である。更にまた、マガジンの締付けが締付は顎を傾斜させることな（、決めら れた締付は力によって行われる、と言う点にある。

この軸駆動には、例えば対称的に制御可能な直流モータを選んで使用する。

グリップ装置は搬送ロボットのコラムに垂直に設けた軸と螺合するネジを切った スリーブを有する支持アームによって支持することが好ましい。こうした構造に することによって、電子チップの自動加工また処理用機械または装置の異なる高 さに対応して、グリップ装置の高さを補正するための上下移動、例えば違った高 さで横方向に配置されたキュア装置に対して操作するためのグリップ装置の上下 移動が可能となる。

したがって、全体として、本発明による搬送ロボットは、電子チップを自動的に 加工または処理する機械または装置のラインに於いて、電子チップ用リードフレ ームを装填したマガジンの搬送に有利に使用することができる。

こうしたロボットを使用するに当たっての費用は、高いものではな（、既存搬送 ロボットの改造も、グリップ装置に関してのみ機械的に実施されなければならな いだけであって、さもなければソフトウェアに関する費用の点だけである。

本発明の更なる利点、特徴、詳細については、以下に図面を参照して述べる本発 明の好ましい実施例に関する記述から明かとなるであろう。図面に於いて： 第１図は電子チップを自動的に加工または処理する機械または装置ラインの斜視 図であり、 第２図は本発明による搬送ロボットの概略平面図、第３図は第２図の搬送ロボッ トの側面図、第４図は加工または処理ステイションの一部と、マガジンをセット している状態にある第２図に図示の搬送ロボットの一部の側面図、第５図は搬送 ロボットの他の実施例の一部の側面図、第６図は第５図の実施例に於ける搬送ロ ボットの一部の正面図、第７図は本発明による締付は顎の平面図、第８図は第５ 図に示した締付は顎を９０度回転したときの平面図である。

電子チップを自動加工または処理するための機械または装置を、次々と直列に配 列したラインＲは、複数の加工または処理ステイションを備えている（第１図参 照）。リードフレームはこのラインＲに於いて加工または処理を受けるためにス テイションからステイションへと次々に送られてい（。例えば、リードフレーム に電子チップを固定する装置５（所謂ダイポンダ）、接合剤を硬化させるための 装置４（所謂キュア装置）、ワイヤを接続するための同一の装置１．２．３（所 謂ワイヤポンダ）が、次々とラインＲ上に接続配置される。

レール７上を走行可能に配設された搬送ロボット６によって、リードフレームに 合ったマガジン８はバッファ９から取り出され所定の加工または処理ステイショ ンへと搬送される。従来技術による場合とは異なり、この場合搬送ロボット６を 乗せたレール７は各加工または処理ステイションの背部に位置するように配設さ れるので、リードフレームの加工処理を機械また装置の前方から困難なく行うこ とができる。

搬送ロボット６は加工または処理ステイションの搬送面１０にマガジン８をセッ トする。この搬送面１０には駆動可能な偏向ローラ４６の周りにループを描いて 走行する搬送ベルト１１が設けられている。第４図に示すように、搬送面１０に は、段差部４５が設けられ、その段差部を越えたところでマガジン８が搬送ベル ト１１上にセットされる。搬送ベルト１１によって、マガジン８は加工または処 理スウテイションの前方に向かって搬送され、其処でリードフレーム３５がマガ ジンから取り出され、加工または処理され、そして再びマガジン８に戻される。

そのあと、マガジン８は走行する搬送ベルト１１との摩擦によって、マガジン８ に対し制止段をする段差部４５に押し付けられるまで、搬送ベルト１１によるマ ガジン８の返却搬送が行なわれる。この位置で、マガジン８は搬送ロボット６に よって把持され、例えば電子チップをリードフレーム上に固定する装置５（所謂 ダイポンダ）、接合剤を硬化させる装置４（所謂キュア装置）、ワイヤをポンデ ィングする装置ｌ、２．３（所謂ワイヤポンダ）等の装置を介して連続的に移動 するために他の加工または処理ステイションへと送られる。

搬送ロボット６はハウシング１２と共に、レール７上に走行可能に設けた往復台 １３上に載置されている。伸縮自在のフレーム１４はハウシング１２からＸ方向 に延びることが可能なため、特に第２図、第３図に示したグリップ装置１６を備 えたコラム１５は、マガジン８の間近にまで来ることができる。

この場合、グリップ装置１６はコラム１５内で、軸１８上を案内される支持アー ム１７を備えている。軸１８にはネジ付きスリーブ１９が取り付けられ、このス リーブの内側のネジが軸１８の外側のネジと噛み合うようになっている。その結 果、支持アーム１７の上下動、したがってグリップ装置１６の上下動は、双方向 矢印Ｚの方向に行なわれる。

支持アーム１７には、レール２０がフランジ止めされている。このレール２０の 上には、ミラー反転状に設けた二つの軸２２．２３に回転を与える歯車機構２１ が設けらている。この歯車機構２１の前面は覆い板２４によって覆われている。

さらに、第２図に示す駆動装置２５は歯車機構２１の下側に位置し、その駆動軸 の回転を歯車機構に伝へ、歯車機構はこの回転を軸２２．２３の回転に変えてい る。言うまでもなく、軸１８もまたこれに対応する駆動装置を備えており、この 装置によって軸１８は回転され、ネジ付スリーブ１９、支持アーム１７、即ちグ リップ装置１６が双方向矢印Ｚの方向に移動する。

軸２２．２３の各々には、この軸２２．２３並びにレール２０によって案内され るグリップアダプタ２６が設けられている。互いに反対方向に回転する軸２２． ２３が回転すると、各グリップアダプタ２６は双方向矢印Ｙの方向に移動する。

したがって、軸２２．２３はグリップアダプタ２６と共に二つの反対方向の軸駆 動を構成している。グリップアダプタ２６の外側の終端位置はそれぞれ鎖線によ って図示されている。

グリップアダプタ２６の前面２７は覆い板２４の前面２８と同一面内にある。こ の前面２７から突き出た状態で、締付は顎３０を保持する支持棒２９はアダプタ ２６上でそれぞれ横方向に設けられている。この場合、締付は顎３０はネジ３１ によって支持棒２９に接続されている。

第４図はグリップ装置１６の作用を明示するための図である。マガジン８は全体 として前壁３２と後壁３３とからなっている。この二つの壁３２．３３は互いに 平行に、かつポルト３４、または例えば二つの壁３２．３３の間で、ポルト３４ に取り付けたスペーサ・スリーブによって一定距離を保って保持されている。リ ードフレーム３５はこの前壁３２と後壁３３との間で、所定の区画領域あるいは 溝内に納められる。

マガジン８の搬送に際して、グリップ装置１６は締付は顎３０によって後壁３３ をその両側から掴んで締付け、保持するようにしてマガジン８に係合し、把持す る。

この場合、第５図、第８図に示すように、締付は顎３０の各々は後壁３３の幅ｂ １よりも僅かに広い幅すを有している。このため、締付は顎３０は前壁３２と後 壁３３の間の空間幅にその幅すの一部と共に突き出るので、搬送中にマガジン８ からリードフレーム３５が落下することは避けられる。締付は顎３０の下方リム ３７に設けたラグ３６もまさにこの目的に役立つものである。このラグ３６は、 例えばグリップ装置１６がマガジン８に対して高すぎる位置にセットされた場合 、それを補償する役割をはたす。このラグ３６が無いと、締付は顎３０が後壁３ ３の両側エツジに対して高すぎる位置にセットされたとき、最下位にあるリード フレームは自由となって、マガジン８から滑落する危険がある。このことは、ラ グ３６が少なくとも部分的に前壁３２と後壁３３の間の空間幅に、その幅で突き 出ることによって防止される。

マガジン８のセット時、またはそれを取り上げる時に、搬送面ｌＯ上でグリップ 装置１６とマガジン８とが、先ず適切に係合することが出来るようにするために 、例えば段差部４５として形成され、かつラグ３６とそんの背後で係合する凹部 がこの搬送面１０の両側に形成される。

ラグ３６は上方の棒状部３９に隣接し、この棒状部３９は支持棒２９に対する取 付は部となる。また、この棒状部３９にはネジ３１用の孔４０が設けられている 。

棒状部３９に隣接して、締付は顎はその幅を広げて肩部４１を形成しながら、上 に向かって円錐側面状に傾斜した自由棒状部４２へとつづく。使用時には、肩部 ４１は支持棒２９の上方エツジに当接し、棒状部４２を支持する。それ故、マガ ジン８に対する締付は顎の締付は軸がある場合には、この棒状部の上方に向かう 逃げはなくなる。その結果、マガジン８は安全に保持される。

第５図及び第６図に詳細に示した本発明の実施例において、締付は顎は弾性を備 えるように設計されている。この場合、対応締付は顎３０ａは、二個のスプリン グ４７ａ、４７ｂのハネ力に抗して、対応支持棒２９ａから可変距離ｅの位置に あると仮定している。スプリング４７ａ、４７ｂは、例えば円板バネの集まり、 即ち所謂バネ組立体からなっている。その結果、締付は顎３０ａのスプリング調 整によって、マガジン寸法の変化、不正確さを許容することができる。

ポルト４９は支持棒２９ａ上で二個のスプリング４７ａ、４７ｂの間に固定して 設けられていて、他方締付は類３０ａ上にはポルト４９を受ける切り欠き部５０ が設けられ、その中ではポルト５０がスプリング組立体によるスプリング力に抗 して動くことができるようになっている。切り欠き部５０は基部５１を有し、こ の基部５１までポルト４９を二個のスプリング４７ａ、４７ｂのスプリングツノ に抗して押し込むことができる。切り欠き部５０の基部５１は、締イー１け類３ ０ａ上に位置決めされ、ポルト４９は第６図に示すように、二個のスプリング４ ７ａ、４７ｂのスプリング力に抗して押し込まれたときでも、締付は顎３０ａと 支持棒２９ａとの間に平均距離ｅを維持するようにして、支持棒２９ａ上に位置 決めされる。この結果、ポルト４９は支持棒２９ａ上で締付は顎３０ａの揺動運 動の揺動点を形成し、これがマガジン寸法の変化、不正確さを許容する許容力に 結びつくことになる。二つの締付は顎３０ａを両側からマガジンの壁の両側エツ ジに押し付けている間、先ず締付は顎３０ａは、マガジンの両側エツジに対して 同一平面になるまで揺らぐ。次いで、切り欠き部５０にあるポルトは、スプリン グ４７ａ、４７ｂがさらに圧縮されている間、それが切り欠き部５０の基部５１ に達するまで、スプリング力に抗して動く。それ故、ポルト４９と切り欠き部５ ０の基部５１との接触は締付は顎３０ａのさらなる曲がりを防止し、グリップ装 置の全力が締付は顎３０ａに掛かりマガジンの把持に作用する。

この方法による大きな利点は、例えばマガジン８がオーブンから取り出されたと き、マガジンへの接触が許容される点である。このため、休止位置ではポルト４ ９は、切り欠き部５０の基部５１にはな（、例えば基部から２ミリメートルの距 離にある。マガジン８を取り上げたとき、この休止位置における距離は、先ずゼ ロに減少する。マガジン８が冷えても、それが二個の締付は顎３０ａの間に落下 することはない。と言うのはスプリング４７ａ、４７ｂの押し戻す力によってマ ガジン８の寸法変化に追随出来るからである。

特表平７−５０３４１３　（７） Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、４ 国際調査報告 一、エ　ＰＣＴ／ＣＨ９３１００１３０フロントページの続き （５１）　Ｅａｔ、　Ｃ１，’　識別記号　庁内整理番号ＨＯＩＬ　２３１５０ 　Ｚ　８６１７−４ＭＩ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．電子チップを自動的に加工また処理する機械または装置のラインに於いて、 この電子チップか取付けられるリードフレーム（３５）用の実質的に立方形をし たマガジン（８）を搬送する搬送ロボットであって、前記マガジンは互いに平行 かつ一定の距離にある二つの壁（３２、３３）によって実質的に構成されており 、この壁（３２、３３）によって形成される区画または溝には、そこに挿入され る少なくとも一つのリードフレームが取付けられ、前記搬送ロボットはマガジン （８）を自動的に掴み、そして解放するグリップ装置（１６）を備え、前記グリ ップ装置（１６）は、マガジン（８）を掴む際に、マガジン（８）の壁（３３） の両側エッジの各々をそれぞれに押して、この壁（３３）を協働して締め付ける 二つの締付け顎（３０、３０ａ）を有し、締め付けられた壁（３３）に直行する 方向に於けるこの締付け顎（３０、３０ａ）の幅（ｂ）は、この壁（３３）の幅 ｂ１よりも大きいことを特徴とするリードフレームを加工または処理する工程ラ イン用の搬送ロボット。 ２．二つの締付け顎（３０、３０ａ）の互いに向かい合う側部は、実質的に互い に平行な面内にあって、その部分としては、締め付けられている壁（３３）に直 交するそれぞれの面内にあることを特徴とする請求の範囲１に記載の搬送ロボッ ト。 ３．前記グリップ装置（１６）は、締付け顎（３０、３０ａ）にそれぞれ割り当 てられ、かつ対応する締付け顎（３０、３０ａ）を支持固定する支持棒（２９） を有する二つのグリップアダプタ（２６）を備えていることを特徴とする請求の 範囲２に記載の搬送ロボット。 ４．締付け顎（３０ａ）は弾性的に支持棒（２９ａ）に設けられていることを特 徴とする請求項３に記載の搬送ロボット。 ５．二つのスプリング要素（４７ａ、４７ｂ）の間で支持棒（２９ａ）に固定し て設けられているボルト（４９）は締付け顎（３０ａ）に設けた切り欠き部（５ ０）と係合し、スプリング要素（４７ａ、４７ｂ）のスプリング力に抗して移動 することかでき、この切り欠き部（５０）の基部（５１）は締付け顎（３０ａ） に位置し、ボルト（４９）は、それかスプリング要素（４７ａ、４７ｂ）のスプ リング力に抗して切り欠き部（５０）の基部（５１）まで押しつけられたときで も、締付け顎（３０ａ）と支持棒（２９ａ）との間に一定の距離があるようにし て支持棒（２９ａ）に位置していることを特徴とする請求項４に記載の搬送ロボ ット。 ６．各締付け顎（３０、３ａ）の下方リム（３７）上にはラグ（３６）が形成さ れ、もう一つのラグ（３６）と対向するラグの側面は締付け顎（３０、３０ａ） の対応する面と同一面にあることを特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。 ７．グリップ装置（１６）は覆い板（２４）の前面（２８）を有し、二つのグリ ップアダプタの各々は前面（２７）を有し、この前面（２８）と二つの前面（２ ７）は実質的に同一面にあり、グリップ装置（１６）がマガジン（８）を掴んだ ときには、前面（２８）と実質的には前面（２７）とが締め付けられた壁（３３ ）に対して直向する方向に壁（３３）を押すことを特徴とする請求項３に記載の 搬送ロボット。 ８．締付け顎（３０）はグリップアダプタ（２６）の支持棒（２９）に支持固定 されている締付け顎棒（３９）を有すると共に、支持棒（２９）と係合し、その 上で支持され、支持棒（２９）の上方に立ち上がる側棒部（４２）に設けられた 肩部（４１）を有していることを特徴とする請求項３に記載の搬送ロボット。 ９．支持棒（２９）はグリップアダプタ（２６）の前面（２７）から立ち上がる 突出部として形成されていることを特徴とする請求項３に記載の搬送ロボット。 １０．覆い板（２４）の両側にある二つのグリップアダプタ（２６）は反対方向 に回転する駆動軸（２２、２３）上を案内されることを特徴とする請求項３に記 載の搬送ロボット。 １１．駆動軸（２２、２３）は、一部か駆動部（２５）に割り当てられている歯 車機構に接続されていることを特徴とする請求項８に記載の搬送ロボット。 １２．グリップ装置（１６）は、搬送ロボット（６）のコラムに垂直に設けた軸 （１８）上を移動する、ネジを切ったスリーブを備えた支持アーム（１７）によ って支持されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。