JP2005138944A

JP2005138944A - 基板搬入出装置

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Publication number: JP2005138944A
Application number: JP2003376429A
Authority: JP
Inventors: Yasuyoshi Kitazawa; 保良北澤
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 2003-11-06
Filing date: 2003-11-06
Publication date: 2005-06-02
Anticipated expiration: 2023-11-06
Also published as: CN100426484C; CN1875470A; CN100568480C; JP4608870B2; CN101188206A

Abstract

【課題】
基板を、基板カセットの任意の棚に搬入出できるようにすることである。
【解決手段】
基板カセットＣを構成するカセット本体１に、張力付与状態で取付けられた複数本のワイヤ４を棚板として形成された各棚Ｒに収納されている基板Ｇを搬出するときには、前記基板Ｇが収納されている棚Ｒの直下の棚Ｒ’に、一対の基板昇降ユニットＵ₁を構成する各基板昇降アーム１４を進入させ、前記各基板昇降アーム１４の上面に取付けられている空気浮上ユニット２１を作動させ、圧力空気を噴出させて該基板Ｇを浮上させた状態で引き出す。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板カセットの所定の棚に収納された基板を搬入出させるための装置に関するものである。

液晶表示装置等に使用される基板（ガラス基板）を、多段に収納するための基板カセットには、各種のものが存している（例えば、特許文献１参照）。この基板は、平面視において長方形の薄板状であり、その大きさは、５００mm×６００mmのものから、近時の技術の発展に伴い、２０００mm×１８００mmのものも存している。そして、前記基板を基板カセットに搬入出させるための技術として、各種のものが開示されている（例えば、特許文献２参照）。

図１１に示されるように、従来の基板カセットＣ’の内側面部には、基板Ｇの両端部を支持するための支持部材５１が、高さ方向に所定間隔をおいて突出されていて、前記基板Ｇを支持するための棚Ｒが多段に亘って形成されている。基板カセットＣ’に収納された各基板Ｇは、それらの両端部のみが対応する支持部材５１によって支持される。この場合、各基板Ｇの中央部が撓み、搬入出時に直下の基板Ｇと干渉するおそれがある。また、各基板Ｇを搬入出するために、基板引出装置Ｂ（図５参照）の基板引出アーム５２も進入できるようにしなければならない。これらの不具合を防止するためには、各棚Ｒの高さ（棚ピッチＨ）を大きくしなければならない。この結果、１基の基板カセットＣ’における基板Ｇの収納枚数が少なくなってしまう。

上記した不具合を防止するため、図１２に示されるように、基板カセットＣ”の左右方向に沿ってワイヤ５３を張り、これによって各棚Ｒを形成したものが公知である。この基板カセットＣ”の場合、その底面部を貫通して昇降されるローラ付きフレーム５４によって基板Ｇが僅かに持ち上げられ、この状態で該基板Ｇが搬入出される。しかし、基板Ｇを搬出するときには、最下段の棚Ｒに収容された基板Ｇから順次、上段の基板Ｇを搬出しなければならない。また、基板Ｇを収納するときには、最上段の棚Ｒから順次、下段の棚Ｒに収納する必要がある。このため、任意の段の棚Ｒに収納されている基板Ｇを搬出させたり、任意の段の棚Ｒに基板Ｇを収納させることは困難である。
特開平８−１９８４０５号公報特開平１１−２２７９４３号公報

本発明は、上記した不具合に鑑み、基板を、基板カセットの任意の棚に搬入出できるようにすることを課題としている。

上記課題を解決するための請求項１の発明は、カセット本体の内部に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出開口となっていて、前記棚は、所定間隔をおいてカセット本体を貫通する複数本の支持材で構成された基板カセットと、前記基板カセットの側面から基板昇降手段を備えた基板昇降板が前記基板カセット内にそれぞれ出入りして、前記基板昇降板が基板カセット内に入り込んだ状態で直上の基板を前記支持材から僅かに持ち上げる基板昇降ユニットとから成り、前記基板カセットと前記基板昇降ユニットとは、相対的に昇降する構成であることを特徴としている。

目的の基板が取出可能となるように、基板カセットと基板昇降ユニットとを相対的に昇降させた後に、基板カセットの側面から基板昇降ユニットの基板昇降板をそれぞれ基板カセット内に進入させる。この状態で、各基板昇降ユニットの基板昇降手段を作動させると、直上の基板は支持材に対して僅かに持ち上げられる（上昇される) 。上記の状態で、適宜の引出し手段により基板カセットから基板を外部に引き出す。

基板カセットに基板を搬入するには、上記と逆の操作を行えばよい。即ち、基板の搬入時には、基板カセット内に挿入された基板昇降板に具備した基板昇降手段が作動した状態で行う。この基板カセットには基板収納容器を貫通する支持材があるため基板の撓みが少なく、基板相互の間隔を小さくでき、収納枚数が増える上に、特定の棚に支持されている目的の基板の搬出、又は目的の棚への基板の搬入が可能となるように、基板カセットと基板昇降ユニットとを相対的に昇降させるので、任意の棚に対する基板の搬入・搬出が可能となる。

請求項２の発明は、請求項１の発明を前提として、前記基板昇降手段を備えた各基板昇降板は前記搬入出開口と隣接する二つの対向側面から前記基板カセット内にそれぞれ出入りさせることを特徴としている。この発明では、一対の基板昇降ユニットを備えているために、昇降手段を備えた片持ち状の基板昇降板の長さを短くできて、その撓みを少なくできるので、基板カセットの棚ピッチを小さくできて総棚数が大きくなって、基板の収容枚数が増す。

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明を前提として、前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口が形成された基板昇降板と、各空気噴出口から圧力空気を噴出させるための圧力空気源とから成り、支持材に対して基板を浮上させる構成であることを特徴としている。この発明では、非接触で支持材に対して基板を搬入出できるので、基板を損傷するおそれがない。

請求項４の発明は、請求項１又は２の発明を前提として、前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口が形成された基板昇降板と、各空気噴出口から圧力空気を噴出させるための圧力空気源と、基板昇降板を僅かに浮上させる基板浮上補助手段とから成り、圧力空気と基板浮上補助手段とにより、支持材に対して基板を浮上させる構成であることを特徴としている。この発明では、基板は、圧力空気と、基板昇降補助手段の両方によって支持材から確実に浮上される。

請求項５の発明は、請求項１又は２の発明を前提として、前記基板昇降手段は、基板昇降板の上面に取付けられた多数の支持ローラであって、前記基板は、基板昇降板が僅かに上昇して支持材から持ち上げられる構成であることを特徴としている。この発明では、基板昇降板の上面に多数の支持ローラを取付けるという簡単な機械的構成によって、支持材に対して基板を持ち上げられる。

請求項６の発明は、カセット本体の内部に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出開口となっていて、前記棚は、所定間隔をおいてカセット本体を貫通する複数本の支持材で構成された基板カセットと、前記基板カセットの側面から基板昇降手段を備えた基板昇降板が前記基板カセット内にそれぞれ出入りして、前記基板昇降板が基板カセット内に入り込んだ状態で直上の基板を前記支持材から持ち上げる基板昇降ユニットとから成り、前記基板昇降ユニットは、基板カセットの棚数に対応した複数の基板昇降板が昇降板支持部材に支持されて、各基板昇降板は、直上の基板を前記支持材から僅かに持ち上げる基板昇降手段を有し、各基板昇降板の基板昇降手段の動作は、個別に切換え可能になっていることを特徴としている。

基板カセットに対する基板の搬入出は、基板カセット内に基板昇降ユニットの基板昇降板を進入させた状態で、目的の棚に対応する基板昇降手段を作動させて行う。この発明の場合、基板カセットと基板昇降ユニットとを相対的に昇降させる必要がないので、前記昇降のための装置が不要となり、基板昇降ユニットの構成が簡単になる。

請求項７の発明は、請求項６の発明を前提として、前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口から圧力空気が噴出される構成であり、各基板昇降手段からの圧力空気の噴出口は、個別に切換え可能となっていることを特徴としている。基板カセットに対する基板の搬入出は、基板カセット内に基板昇降ユニットの基板昇降板を進入させた状態で、目的の棚に対応する基板昇降板からのみ圧力空気を噴出させて行う。このため、圧力空気が噴出する基板昇降板を選択することにより、基板カセットにおける複数の棚のうち、任意の棚に収納された基板の搬入出が可能となる。

本発明は、カセット本体の内部に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出開口となっていて、前記棚は、所定間隔をおいてカセット本体を貫通する複数本の支持材で構成された基板カセットと、前記基板カセットの側面から基板昇降手段を備えた基板昇降板が前記基板カセット内にそれぞれ出入りして、前記基板昇降板が基板カセット内に入り込んだ状態で直上の基板を前記支持材から僅かに持ち上げる基板昇降ユニットとから成り、前記基板カセットと前記基板昇降ユニットとは、相対的に昇降する構成であることを特徴としている。このため、基板カセットの任意の棚に収納されている基板を、損傷させることなく搬出すること、及び、基板カセットの任意の棚に基板を搬入することができる。

以下、本発明の最良実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明の第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁の全体斜視図、図２は基板カセットＣの斜視図、図３は第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁の正面図、図４は一対の基板昇降ユニットＵ₁の各基板昇降アーム１４が、基板カセットＣ内に進入した状態の平面図、図５は基板引出装置Ｂの平面図、図６は同じく側面断面図である。

図１及び図３に示されるように、第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁は、基板カセットＣと、該基板カセットＣにおける基板Ｇの特定の側面（搬入出開口Ｋ）と隣接する一対の側面Ｆa,Ｆb に対向して配置される各基板昇降ユニットＵ₁とから構成されている。各基板上昇ユニットＵ₁には、それぞれ圧力空気を供給するための圧力空気源Ｖが取付けられている。そして、図４に示されるように、前記基板カセットＣにおける各基板Ｇの搬入出開口Ｋと対向して、基板引出装置Ｂが配設されている。

最初に、基板カセットＣについて説明する。図２に示されるように、この基板カセットＣを構成する直方体枠状のカセット本体１は、樹脂、或いは金属と樹脂との複合材より成る。そして、その左右の側面Ｆa,Ｆb と背面に、複数本（本実施例の場合、左右の側面Ｆa,Ｆb に各４本、背面に２本）の縦板２が所定間隔をおいて取付けられていると共に、その上下面に複数本（本実施例の場合、３本）の横板３が所定間隔をおいて取付けられている。また、カセット本体１の手前の側面は、基板Ｇを搬入出させるために開口されていて、搬入出開口Ｋが形成されている。基板Ｇは、基板引出装置Ｂにより、前記搬入出開口Ｋを介して基板カセットＣに搬入出される。基板Ｇの搬入出される方向を搬入出方向Ｐと記載し、前記搬入出方向Ｐと直交する水平方向（基板カセットＣの幅方向）を左右方向Ｑと記載する。

図２に示されるように、前記基板カセットＣの左右の側面Ｆa,Ｆb に取付けられた各縦板２どうしは、相対向して取付けられている。そして、図３に示されるように、一対の縦板２における同一高さの位置には、基板カセットＣの幅方向（左右方向Ｑ）に沿って、基板Ｇを支持するための各支持材が取付けられている。本実施例の基板カセットＣの場合、前記支持材は、カセット本体１を貫通して、しかも、張力付与状態で張られたワイヤ４である。これにより、高さ方向における各ワイヤ４どうしの間には、該ワイヤ４を棚板として、それぞれ基板Ｇを収納して、多段に支持するための棚Ｒが形成されている。

次に、一対の基板昇降ユニットＵ₁について説明する。図３及び図４に示されるように、一対の基板昇降ユニットＵ₁は、基板カセットＣを挟んで、その各側面Ｆa,Ｆb に対向する形態で、ほぼ対称に配置されている。各基板昇降ユニットＵ₁の構成は全く同一であるため、ここでは、正面視における左側の基板昇降ユニットＵ₁の構成についてのみ説明する。平面視において方形平板状のベース５の上面には、左右方向Ｑに沿って進退可能にして可動フレーム６が配設されている。即ち、ベース５の上面で、手前側と奥側の端部には、左右方向Ｑに沿って一対のガイドレール７が敷設されている。そして、前記可動フレーム６の底面部には、前記一対のガイドレール７に装着される４個のガイド体８が取付けられている。しかも、ベース５における一対のガイドレール７の間には、左右方向Ｑに沿ってボールねじ取付溝９が設けられていて、該ボールねじ取付溝９に、ボールねじ１１が配設されている。このボールねじ１１は、可動フレーム６の底面部に取付けられたナット体（図示せず）に螺合されている。また、その一端部は、ブラケット１２に取付けられた水平移動モータ１３に接続されている。この水平移動モータ１３を作動させ、そのモータ軸を所定方向に回転させると、前記可動フレーム６は、一対のガイドレール７にガイドされ、左右方向Ｑに沿って所定量だけ進退される。

前記可動フレーム６は、ベース５よりも少し狭い幅を有すると共に、その下端部の背面側が上端部よりも広くなった形態の平板であり、ベース５に対して起立状態で取付けられている。この可動フレーム６の前面部（基板カセットＣの側面Ｆa,Ｆb と相対向する部分）には、側面視において略Ｌ字状の基板昇降アーム１４が、昇降可能にして配設されている。即ち、可動フレーム６の前面部には、前述したベース５と同様に、その奥行方向（搬入出方向Ｐ）の両端部に、高さ方向に沿って一対のガイドレール１５が敷設されている。そして、前記基板昇降アーム１４の背面部には、前記一対のガイドレール１５に装着される４個のガイド体１６が取付けられている。更に、可動フレーム６における一対のガイドレール１５の間には、高さ方向に沿ってボールねじ１７が配設されている。このボールねじ１７は、可動フレーム６に設けられたナット体（図示せず）に螺合されている。また、その一端部は、可動フレーム６の上端部に取付けられたモータ取付板１８に設置された昇降モータ１９に接続されている。この昇降モータ１９を作動させ、そのモータ軸を所定方向に回転させると、前記基板昇降アーム１４は、一対のガイドレール１５にガイドされ、高さ方向に沿って所定量だけ昇降される。

前記基板昇降アーム１４は、基板カセットＣの各側面Ｆa,Ｆb から、該基板カセットＣを構成する各縦板２との干渉を避けて内部に進入可能なように、平面視において三叉に分離されていて、前記各縦板２と対向する部分に、それぞれ逃げ部１４ａが設けられている。そして、基板昇降アーム１４の上面には、空気浮上ユニット２１が取付けられている。当然のことながら、基板昇降アーム１４と空気浮上ユニット２１の厚みの合計は、基板カセットＣの棚ピッチＨよりも小さい。この空気浮上ユニット２１は、圧力空気源Ｖから供給される圧力空気を、その上面に設けられた多数の空気噴出口２１ａから噴出させ、直上に配置されている基板Ｇを、各ワイヤ４から浮上させるという機能を有している。

上記した結果、昇降モータ１９を作動させ、基板昇降アーム１４を所定の棚位置（搬入出される基板Ｇが収納されている棚Ｒの直下の棚Ｒ’と対応する位置）に配置させ、その状態で水平移動モータ１３を作動させて、可動フレーム６を左右方向Ｑに沿って移動（前進）させることにより、前記基板昇降アーム１４を、前記直下の棚Ｒ’に進入させることができる。図２において、基板カセットＣの直下の棚Ｒ’に進入した状態の各基板昇降アーム１４を二点鎖線で示す。

次に、基板引出装置Ｂについて説明する。この基板引出装置Ｂは、基板カセットＣに対して相対的に昇降可能であり、該基板カセットＣに収納されている基板Ｇを搬出すると共に、該基板Ｇを基板カセットＣに搬入するという機能を有している。図５及び図６に示されるように、基板カセットＣに対して相対的に昇降可能に配設された基板載置台２２の上面には、左右方向Ｑに沿って、複数本のガイドローラ２３が取付けられている。これらのガイドローラ２３は、搬入出される基板Ｇを支持するためのものである。そして、前記基板載置台２２の上面で、左右方向Ｑのほぼ中央部には、基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って、ガイドレール２４が敷設されている。このガイドレール２４に装着されたガイド体２５には、平面視において略Ｔ字状の基板引出アーム２６が取付けられている。また、前記基板載置台２２における左右方向Ｑのほぼ中央部には、基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿ってボールねじ取付溝２７が設けられていて、該ボールねじ取付溝２７にボールねじ２８が配設されている。このボールねじ２８は、基板引出アーム２６の後端部に取付けられたナット体２９に螺合されている。また、その一端部は、ブラケット３１に取付けられた引出モータ３２に接続されている。この引出モータ３２を作動させ、そのモータ軸を所定方向に回転させると、前記基板引出アーム２６は、ガイドレール２４にガイドされ、基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って所定量だけ進退される。また、前記基板引出アーム２６の前端部の上面には、基板Ｇの端部の下面を真空吸着するための各吸着パッド２６ａが設けられている。これらの吸着パッド２６ａは、真空吸着装置（図示せず）に接続されている。

本発明に係る基板搬入出装置Ａ₁の作用について、基板カセットＣの棚Ｒに収納されている特定の基板Ｇを搬出する場合について説明する。図３に示されるように、各基板昇降ユニットＵ₁の昇降モータ１９が作動されると、ボールねじ１７の作用により、各基板昇降アーム１４が、一対のガイドレール１５にガイドされて昇降される。これにより、前記基板昇降アーム１４は、基板カセットＣの棚Ｒに収納されている特定の基板Ｇの直下の棚Ｒ’とほぼ同一高さに配置される。この状態で、図４に示されるように、各基板昇降ユニットＵ₁の水平移動モータ１３が作動されると、ボールねじ１１の作用により、各可動フレーム６が左右方向Ｑに沿って前進される。これにより、各基板昇降ユニットＵ₁の基板昇降アーム１４は、そのまま基板カセットＣにおける棚Ｒの直下の棚Ｒ’に進入する。前記基板昇降アーム１４において、基板カセットＣを構成する各縦板２と干渉する部分には、それぞれ逃げ部１４ａが設けられているため、該基板昇降アーム１４が各縦板２と干渉することはない。また、基板カセットＣに収納されている各基板Ｇは、４本のワイヤ４によって支持されているため撓みはなく、基板昇降アーム１４と接触することはない。

図７に示されるように、各基板昇降ユニットＵ₁の圧力空気源Ｖから供給された圧力空気が、空気浮上ユニット２１の多数の空気噴出口２１ａから噴出される。これにより、特定の基板Ｇは、各ワイヤ４から僅かに浮上する。

次に、図５及び図６を参照しながら、浮上した特定の基板Ｇを搬出するときの作用（基板引出装置Ｂの作用）について説明する。基板引出装置Ｂの基板引出アーム２６は、予め、基板カセットＣと基板載置台２２とを相対的に昇降されることによって、特定の基板Ｇの直下の棚Ｒ’と対応する高さに配置されている（図６参照）。基板引出装置Ｂの引出モータ３２を作動させて、ボールねじ２８を所定方向に回転させ、基板引出アーム２６を基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って前進させる。これにより、基板引出アーム２６の前端部は、基板カセットＣの搬入出開口Ｋを介して、特定の基板Ｇが収納されている棚Ｒの直下の棚Ｒ’の手前側の部分に進入し、該基板Ｇの前端部の直下に配置される。この状態で、真空吸着装置を作動させると、基板Ｇの前端部の下面が、基板引出アーム２６の真空吸着パッド２６ａに真空吸着される。再び、基板引出装置Ｂの引出モータ３２を作動させて、そのモータ軸を逆方向に回転させると、基板引出アーム２６が後退される。それに伴い、基板カセットＣの棚Ｒに収納されている特定の基板Ｇは、ワイヤ４から浮上した状態（ワイヤ４と非接触の状態）のまま引き出され、基板載置台２２に取付けられた各ガイドローラ２３に支持される。このため、搬出途中の特定の基板Ｇがワイヤ４と擦ることによって、該基板Ｇが損傷したり、異物が生じるおそれはない。

前記基板Ｇを、基板カセットＣに搬入させるときには、上記と逆の作用が行われる。このときにも、基板Ｇが搬入される棚Ｒの直下の棚Ｒ’の部分には、予め、各基板昇降ユニットＵ₁の基板昇降アーム１４が進入されていて、空気浮上ユニット２１の多数の噴出口２１ａから圧力空気が噴出されている。このため、基板カセットＣに搬入される基板Ｇは浮上状態で進入され、各ワイヤ４と擦ることはない。

各基板昇降ユニットＵ₁の基板昇降アーム１４の高さ位置は、昇降モータ１９を作動させることにより、自在に設定することができる。また、基板カセットＣと基板引出装置Ｂとは相対的に昇降可能であるため、基板引出装置Ｂの基板引出アーム２６の高さ位置も、自在に設定することができる。これは、基板カセットＣの任意の棚Ｒに収納されている基板Ｇを搬出すること、及び、基板カセットＣの任意の棚Ｒに基板Ｇを搬入することのいずれもが可能であることを意味している。また、第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁では、１基の基板カセットＣに対して、一対の基板搬入出装置Ａ₁が配設されているため、前記基板カセットＣの両側面Ｆa,Ｆb から各基板昇降アーム１４を進入させることができる。これにより、各基板昇降アーム１４の長さを短くでき、それらが片持ち状態で取付けられていても、それらの撓みが小さくなる。その結果、基板カセットＣの棚ピッチＨを小さくすることができ、１基の基板カセットＣにおける基板Ｇの収納枚数を多くすることができる。

上記した実施例では、圧力空気によって基板Ｇを浮上させる形態である。しかし、図８に示されるように、基板昇降アーム１４の上面に、多数個の支持ローラ３３を回転自在に取付け、各支持ローラ３３を介して基板Ｇを持ち上げる形態であっても構わない。この場合、各基板搬入出装置Ａ₁の基板昇降アーム１４を、基板カセットＣの直下の棚Ｒ’に進入させた後、昇降モータ１９を僅かに作動させて、前記基板昇降アーム１４を僅かに上昇させる必要がある。

上記した基板搬入出装置Ａ₁を構成する基板昇降ユニットＵ₁は、１本の基板昇降アーム１４が、基板カセットＣに対して昇降可能に設けられている形態である。しかし、基板昇降アーム１４と基板カセットＣとは、相対的に昇降可能であれば構わない。このため、例えば、可動フレーム６に対して、前記基板昇降アーム１４が高さ方向に固定されていて、基板カセットＣが昇降可能に設けられている形態、或いは、両者が共に昇降可能に設けられた形態であっても構わない。

上記した実施例では、基板Ｇを昇降させる手段は、圧力空気のみである。しかし、圧力空気による基板Ｇの浮上量は僅か（０．１mm程度）であるため、基板Ｇを浮上させるための補助手段（図示せず）を設け、圧力空気と同時に使用しても構わない。これにより、前記基板Ｇを確実に浮上させることができる。この基板浮上補助手段には、例えば、ソレノイド等の電磁力や、エアシリンダ等の空気圧によるものが想定される。

上記した第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁は、１個の基板カセットＣに対して一対の基板昇降ユニットＵ₁が配設されている形態であり、該基板カセットＣの両側面Ｆa,Ｆb から、それぞれ基板昇降アーム１４が進入する形態である。しかし、図９に示されるように、１基の基板カセットＣと１基の基板昇降ユニットＵ₂とから成る基板搬入出装置Ａ₂であっても構わない。この第２実施例の基板搬入出装置Ａ₂では、基板昇降ユニットＵ₂が１基で済むという利点がある。なお、図９に示される基板搬入出装置Ａ₂では、基板昇降ユニットＵ₂の基板昇降アーム３４が、基板カセットＣの一方側の側面Ｆａから進入する形態である。しかし、前記基板昇降アーム３４が、基板カセットＣの他方側の側面Ｆｂ、基板カセットＣの正面（搬入出開口Ｋ）、或いは、背面から進入する形態であっても構わない。

更に、図１０に示される基板昇降ユニットＵ₃のように、基板カセットＣの最上段の棚Ｒを除く棚Ｒの数に対応する各基板昇降アーム３５が、可動フレーム６に固定して設けられていても構わない。この第３実施例の基板搬入出装置Ａ₃を構成する一対の基板昇降ユニットＵ₃では、各基板昇降アーム３５に各空気浮上ユニット２１が取付けられていて、これらは、それぞれ独立して作動されるように空気配管路が形成されている。また、各基板昇降アーム３５は、可動フレーム６に片持ち状態で取付けられている。そして、図示しない切換え手段により、特定の基板Ｇに対応する空気浮上ユニット２１からのみ圧力空気が噴出されるように、空気配管路が切り換えられる。すると、多段に支持された各基板Ｇのうち、特定の基板Ｇのみが浮上され、当該基板Ｇが基板引出装置Ｂによって搬出される。また、基板Ｇが搬入されるときにも、当該基板Ｇが搬入される棚Ｒに対応する空気浮上ユニット２１からのみ圧力空気が噴出される。この実施例の場合、基板昇降アーム３５又は基板カセットＣを相対的に昇降させるための昇降手段が不要となり、その構成が簡単になるという利点がある。

上記した各実施例において、基板Ｇを支持する支持材は、カセット本体１を貫通して、しかも、張力付与状態で取付けられた各ワイヤ４である。これにより、各棚Ｒの広さを同一にしたままで、棚ピッチＨを小さくできるという利点がある。しかし、ワイヤ４以外の支持材、例えば、細い棒材であっても構わない。

本発明の第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁の全体斜視図である。基板カセットＣの斜視図である。第１実施例の基板搬入出装置Ａ₁の正面図である。一対の基板昇降ユニットＵ₁の各基板昇降アーム１４が、基板カセットＣ内に進入した状態の平面図である。基板引出装置Ｂの平面図である。同じく側面断面図である。基板Ｇを浮上させた状態を示す図である。各支持ローラ３３によって基板Ｇを持ち上げた状態を示す図である。第２実施例の基板搬入出装置Ａ₂の正面図である。第３実施例の基板搬入出装置Ａ₃の正面図である。従来の基板カセットＣ’に収納された基板Ｇが撓む状態を示す図である。従来の基板カセットＣ”に収納された基板Ｇを、ローラ付フレーム５４によって搬出する状態を示す図である。

符号の説明

Ａ₁〜Ａ₃：基板搬入出装置
Ｃ：基板カセット
Ｆa,Ｆb ：側面
Ｇ：基板
Ｈ：棚ピッチ（所定間隔）
Ｋ：搬入出開口
Ｒ',Ｒ：棚
Ｕ₁〜Ｕ₃：基板昇降ユニット
Ｖ：圧力空気源
１：カセット本体
４：ワイヤ（支持材）
６：可動フレーム（昇降板支持部材）
１４，３４，３５：基板昇降アーム（基板昇降板）
２１：空気浮上ユニット（基板昇降手段）
２１ａ：空気噴出口
３３：支持ローラ（基板昇降手段）

Claims

カセット本体の内部に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出開口となっていて、前記棚は、所定間隔をおいてカセット本体を貫通する複数本の支持材で構成された基板カセットと、
前記基板カセットの側面から基板昇降手段を備えた基板昇降板が前記基板カセット内にそれぞれ出入りして、前記基板昇降板が基板カセット内に入り込んだ状態で直上の基板を前記支持材から僅かに持ち上げる基板昇降ユニットとから成り、
前記基板カセットと前記基板昇降ユニットとは、相対的に昇降する構成であることを特徴とする基板搬入出装置。
前記基板昇降手段を備えた各基板昇降板は前記搬入出開口と隣接する二つの対向側面から前記基板カセット内にそれぞれ出入りさせることを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口が形成された基板昇降板と、各空気噴出口から圧力空気を噴出させるための圧力空気源とから成り、支持材に対して基板を浮上させる構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬入出装置。
前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口が形成された基板昇降板と、各空気噴出口から圧力空気を噴出させるための圧力空気源と、基板昇降板を僅かに浮上させる基板浮上補助手段とから成り、
圧力空気と基板浮上補助手段とにより、支持材に対して基板を浮上させる構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬入出装置。
前記基板昇降手段は、基板昇降板の上面に取付けられた多数の支持ローラであって、前記基板は、基板昇降板が僅かに上昇して支持材から持ち上げられる構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬入出装置。
カセット本体の内部に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出開口となっていて、前記棚は、所定間隔をおいてカセット本体を貫通する複数本の支持材で構成された基板カセットと、
前記基板カセットの側面から基板昇降手段を備えた基板昇降板が前記基板カセット内にそれぞれ出入りして、前記基板昇降板が基板カセット内に入り込んだ状態で直上の基板を前記支持材から持ち上げる基板昇降ユニットとから成り、
前記基板昇降ユニットは、基板カセットの棚数に対応した複数の基板昇降板が昇降板支持部材に支持されて、各基板昇降板は、直上の基板を前記支持材から僅かに持ち上げる基板昇降手段を有し、各基板昇降板の基板昇降手段の動作は、個別に切換え可能になっていることを特徴とする基板搬入出装置。
前記基板昇降手段は、無数の空気噴出口から圧力空気が噴出される構成であり、各基板昇降手段からの圧力空気の噴出口は、個別に切換え可能となっていることを特徴とする請求項６に記載の基板搬入出装置。