JP4666227B2 - 物品保管設備 - Google Patents
物品保管設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4666227B2 JP4666227B2 JP2006176719A JP2006176719A JP4666227B2 JP 4666227 B2 JP4666227 B2 JP 4666227B2 JP 2006176719 A JP2006176719 A JP 2006176719A JP 2006176719 A JP2006176719 A JP 2006176719A JP 4666227 B2 JP4666227 B2 JP 4666227B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- travel
- air
- space
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 23
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 20
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 55
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 43
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Description
本発明にかかる物品保管設備の第1実施形態について図面に基づいて説明する。
この物品保管設備は、図1〜図4に示すように、クリーンルーム1内に設置されており、収納部2を縦横に並べて複数備えた物品収納棚3と、物品収納棚3の前方の移動空間4を移動して収納部2に対する物品の出し入れを行う物品搬送装置5と、浄化用空気を物品収納棚3の後部側から収納部2を通過させて移動空間4を上方側から下方側に流動させるダウンフロー式の浄化用空気通風手段6とを備えて構成されている。
前記クリーンルーム通風手段14は、グレーティング床7の下方側に設けられた吸気室17、天井吹出部8の上方側に設けられた空気チャンバ室18、天井吹出部8に並設されたHEPAフィルタなどからなるエアーフィルタ19、吸気室17と空気チャンバ室18とを連通接続する接続流路20、その接続流路20に設けられて吸気室17に吸引作用する循環用送風機21、接続流路20において循環用送風機21の空気吐出側に設けられたプレフィルタ22から構成されている。
そして、このようなスタッカークレーン5が、図2に示すように、同一のガイドレール35、36にて案内されるように前記棚横幅方向に並ぶ状態で2台備えられている。
前記リンク機構43は、その基端部が上下軸芯P2周りで回動自在に旋回台41に連結された一対の操作リンク44と、操作リンク44の先端部に対して上下軸芯P3周りで回動自在に連結されかつ載置部42に対して上下軸芯P4周りで回動自在に連結された揺動リンク45とから構成されている。図外の移載用電動モータにより一対の操作リンク44を連動して上下軸芯周りに揺動操作することにより、載置部42を昇降台39に対して突出させる突出状態(図6参照)と載置部42を昇降台39に対して引退させる引退状態(図5参照)とに切り換えて、収納部2との間で板状体保持具13を移載するように構成されている。そして、物品移載装置40は、突出状態と引退状態とに切り換えることによって、収納部2との間及び物品搬出入部31の昇降支持体32との間で板状体保持具13を移載するように構成されている。
運転制御部46は、スタッカークレーン5についての走行要求があると、後述したようにして管理されているスタッカークレーン5が走行してからの経過時間の管理情報に基づいて、スタッカークレーン5の走行を停止してからの経過時間が空気整流化用の設定時間Tjが経過しているか否かを判別する(ステップ1、2)。この空気整流化用の設定時間Tjは、スタッカークレーン5の走行に伴って床面から舞い上がって浮上した塵埃が、移動空間4を上方側から下方側に流動する浄化用空気によって床面上に収束するのに要する時間であって、本出願人が実験結果により求めた時間であり、例えば30秒間が設定される。この空気整流化用の設定時間Tjとしては、30秒間に限らず、浄化用空気の流動状態によって適宜変更して設定することができる。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。この第2実施形態は、運転制御部46によるスタッカークレーン5を制御するための制御構成が異なるが、それ以外の構成は第1実施形態と同じであるから、ここでは異なる点について説明し、同じ構成については説明は省略する。
この実施形態では、運転制御部46は、スタッカークレーン5を走行させるとき、走行位置検出器49にて検出されるスタッカークレーン5の走行位置の計測値を単位距離を走行する毎に逐次計測して時刻と対応つけた状態で記憶する処理(ステップ19)を実行するようになっており、又、図11に示すように、前記移動空間において前記スタッカークレーンの走行対象となる全領域を複数の単位区間(1、2、3…m)に区分けして、各単位区間毎に各別にスタッカークレーン5が走行してからの経過時間を管理するようになっている。
次に、本発明の第3実施形態を説明する。この第3実施形態は、運転制御部によるスタッカークレーン5を制御するための制御構成が異なるが、それ以外の構成は第1実施形態と同じであるから、ここでは異なる点について説明し、同じ構成については説明は省略する。
運転制御部46は、スタッカークレーン5についての走行要求があると、スタッカークレーン5の走行を停止してからの経過時間が空気整流化用の設定時間Tjが経過しているか否かを判別する(ステップ30、31)。スタッカークレーン5の走行を停止してからの経過時間が空気整流化用の設定時間Tjを経過していない場合に、今回の予定走行区間と前回走行区間とが重なっているときは(ステップ32)、物品移載装置40が走行用上昇位置よりも低い位置にあれば走行用上昇位置にまで上昇させる上昇処理を行ったのちに予定走行区間を走行するようにスタッカークレーン5を走行させる(ステップ33、34)。
以下、別実施形態を説明する。
3 物品収納棚
4 移動空間
5 物品搬送装置
6 浄化用空気通風手段
40 物品移載手段
46 運転制御手段
Claims (6)
- 複数の収納部を縦横に並べて備えた物品収納棚と、
その物品収納棚の前方の移動空間を棚横幅方向に走行自在でかつ物品移載手段を昇降自在に備えた物品搬送装置と、
前記複数の収納部及び物品搬出入部を複数の物品移載箇所として、それらの間で物品の搬送を行うべく前記物品搬送装置の作動を制御する運転制御手段と、
浄化用空気を前記物品収納棚の後部側から前記収納部を通過させて前記移動空間に流動させ且つ前記移動空間において下向きに流動させる浄化用空気通風手段とが設けられた物品保管設備であって、
前記運転制御手段が、
前記移動空間における前記物品搬送装置が走行した走行区間について、前記物品搬送装置が走行した時点からの経過時間を管理して、前記経過時間が空気整流化用の設定時間を経過していない走行区間については、前記物品搬送装置の作動を制御することにより、浄化用空気の流動状態の乱れを抑制する状態で前記物品搬送装置を走行させる気流乱れ抑制処理を実行するように構成されている物品保管設備。 - 前記運転制御手段が、
前記気流乱れ抑制処理として、前記経過時間が前記空気整流化用の設定時間を経過するまで待機したのちに前記物品搬送装置を走行させるように構成されている請求項1記載の物品保管設備。 - 前記運転制御手段が、前記気流乱れ抑制処理として、
前記浄化用空気の流動状態の乱れを抑制可能な高さに前記物品移載手段を位置させて前記物品搬送装置を走行させるように構成されている請求項1記載の物品保管設備。 - 前記物品搬送装置が前記棚横幅方向に並ぶ状態で複数備えられ、
前記運転制御手段が、
前記経過時間として、複数の前記物品搬送装置の夫々が走行した前記移動空間における走行区間についての経過時間を管理して、
前記気流乱れ抑制処理として、前記経過時間が空気整流化用の設定時間を経過していない走行区間については、複数の前記物品搬送装置のいずれについても、浄化用空気の流動状態の乱れを抑制する状態で走行させるべく制御するように構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品保管設備。 - 前記運転制御手段が、前記移動空間における前記物品搬送装置が走行した走行空間についての前記経過時間を、単位長さに区分けした単位区間ごとについて、前記物品搬送装置が走行した時点からの経過時間を管理する形態で管理して、
前記気流乱れ抑制処理として、前記経過時間が空気整流化用の設定時間を経過していない前記単位区間を処理対象区間として定めて、その定めた処理対象区間については、浄化用空気の流動状態の乱れを抑制する状態で前記物品搬送装置を走行させるべく制御するように構成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の物品保管設備。 - 前記運転制御手段が、前記物品搬送装置が実際に走行した実走行空間及びその実走行空間の前後に連なる設定長さの隣接空間を、前記移動空間における前記物品搬送装置が走行した走行空間として、前記経過時間を管理するように構成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の物品保管設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006176719A JP4666227B2 (ja) | 2006-06-27 | 2006-06-27 | 物品保管設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006176719A JP4666227B2 (ja) | 2006-06-27 | 2006-06-27 | 物品保管設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008007226A JP2008007226A (ja) | 2008-01-17 |
JP4666227B2 true JP4666227B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=39065767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006176719A Active JP4666227B2 (ja) | 2006-06-27 | 2006-06-27 | 物品保管設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4666227B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4688001B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2011-05-25 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005170623A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Toyota Industries Corp | 自動倉庫 |
-
2006
- 2006-06-27 JP JP2006176719A patent/JP4666227B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005170623A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Toyota Industries Corp | 自動倉庫 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008007226A (ja) | 2008-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4756372B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
JP4953010B2 (ja) | 基板収納用の収納容器 | |
KR100870610B1 (ko) | 물품 수납설비 | |
JP4688000B2 (ja) | 物品収納設備 | |
JP4123383B2 (ja) | 天井走行車システム | |
TW201020185A (en) | Automatic warehouse for clean room and article keeping method therein | |
JP4378659B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
TWI408090B (zh) | 物品保管庫 | |
JP2008019017A (ja) | 物品収納装置 | |
KR101110621B1 (ko) | 기판용 수납 용기와 기판용 수납 용기를 위한 기판 반송 설비 | |
JP5366030B2 (ja) | クリーンルーム用の自動倉庫 | |
JP4378652B2 (ja) | 浄化空気通風式の物品保管設備 | |
JP4126619B2 (ja) | 物品保管設備 | |
JP4666227B2 (ja) | 物品保管設備 | |
JP4780401B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
KR101184316B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
JP2008168982A (ja) | 板状物品用搬送車 | |
JP4442299B2 (ja) | 物品保管設備 | |
JP2009007125A (ja) | 物品搬送車 | |
JP4623381B2 (ja) | 物品収納設備 | |
JPH03192005A (ja) | クリーンルーム内の荷保管設備 | |
JP2011051748A (ja) | ローダアンローダと搬送車と装置間のロードアンロード方法 | |
JP2009126631A (ja) | 保管倉庫設備 | |
JP5433938B2 (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101229 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4666227 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |