JP4623381B2 - 物品収納設備 - Google Patents
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Description
説明を加えると、上記従来の物品収納設備では、浄化空気通風手段が物品収納体の上方の天井部に配置されているので、物品収納体に対して浄化空気を上方側から通風させることができる。したがって、複数の収納部の夫々に対して上方側から下方側に浄化空気を通風させることができる可能性がある。しかしながら、例えば、ガラス基板などの板状の物品は、一般的に、上下方向に間隔を隔てて並べる状態で物品保持体に保持されて各収納部に収納されており、各収納部に対して浄化空気を上方側から下方側に通風させても、各収納部に収納されている物品の清浄度を高く保つように浄化空気を通風させることができない。
また、特許文献2に記載の物品収納設備では、物品収納体が収納部を上下方向に複数並べた物品収納棚にて構成されているので、物品収納体に対して浄化空気を上方側から通風させるだけでは、下方側に位置する収納部に対して浄化空気を通風させることが難しく、その下方側に位置する収納部に収納されている物品の清浄度を高く保つことができない虞がある。
前記複数の収納部の夫々に対して、浄化空気を前記収納部の横側部から前記横幅方向に前記収納部を通過させて前記横幅方向に隣接する前記収納部との間において上方側から下方側に流動させる収納部浄化空気通風手段が設けられている点にある。
以上のことから、物品搬送装置による物品の出し入れを邪魔することなく、物品収納体の収納部に収納されている物品の清浄度を高く保つことができる物品収納設備を提供できるに至った。
このように、物品収納体の横幅方向において、収納部同士の間に通風手段と空気流動空間とが交互に配置されるだけで、収納部浄化空気通風手段を構成することができ、構成の簡素化を図りながら、物品の清浄度を的確に高く保つことができる。
しかも、浄化空気通風手段が、浄化空気を移動空間とは反対側から対向用物品収納体の前後幅方向に対向用収納部を通過させて移動空間を上方側から下方側に流動させるので、対向用収納部に対しても水平方向に浄化空気を通風させることができ、対向用収納部に収納される物品の清浄度も高く保つことができる。
この物品収納設備は、図1〜図3に示すように、クリーンルーム1内に設置されており、収納部2を横幅方向に複数並べて備えた物品収納体3と、物品収納体3の前後の移動空間4の夫々に配置されて、移動空間4を移動して収納部2に対する物品Bの出し入れを行う物品搬送装置5と、移動空間4において浄化空気を上方側から下方側に流動させるダウンフロー式の浄化空気通風手段6とを備えて構成されている。
そして、物品収納体3の前後の移動空間4の夫々において物品収納体3とは反対側に、対向用収納部7を横幅方向に複数並べて備え且つ物品搬送装置5にて対向用収納部7に対する物品Bの出し入れを可能とする対向用物品収納体8が設けられている。
また、対向用物品収納体8の夫々において移動空間4とは反対側に、物品Bに対する処理を施す物品処理部9が配置されている。
また、最下段の収納部2は、設定高さよりも上方側に位置するように設けられ、その最下段の収納部2の下方には、浄化空気が流動する下方流動空間16が形成されている。ちなみに、最下段の収納部2の高さは、物品処理部9に物品Bを搬送する高さよりも高くしている。
そして、浄化空気通風手段6は、クリーンルーム1内に浄化空気を循環させる形態で供給するクリーンルーム通風手段19と、ブース12内に設けられた対向用物品収納体8の各対向用収納部7に浄化空気を通風する収納部通風手段20と、ブース12内の空気をブース11外のクリーンルーム内1に排気する排気用開口部21とを備えて構成されている。
前記クリーンルーム通風手段19は、グレーティング床10の下方側に設けられた吸気室22、天井吹出部11の上方側に設けられた空気チャンバ室23、天井吹出部11に並設されたHEPAフィルタなどからなるエアーフィルタ24、吸気室22と空気チャンバ室23とを連通接続する接続流路25、その接続流路25に設けられて吸気室22に吸引作用する循環用送風機26、接続流路25において循環用送風機26の空気吐出側に設けられたプレフィルタ27から構成されている。
このようにして、クリーンルーム1内の空気が、プレフィルタ27及びエアーフィルタ24にて清浄化されながら循環されて、浄化空気を天井吹出部11から下方側に吹き出す形態でクリーンルーム1に常時供給するように構成されている。
そして、外気取入量調節用ダンパ29及び排気量調節用ダンパ31の夫々の開度を調節することにより、クリーンルーム通風手段19にて循環されるクリーンルーム1内の空気のうちの所定量が新鮮な空気と交換されるように構成されている。
前記収納部通風手段20は、塵埃を除去する除塵フィルタ32と、ブース12外の浄化空気を吸引して除塵フィルタ32を通過させる状態で移動空間4とは反対側から対向用収納部7を通過させるように浄化空気を通風させる送風ファン33とから構成されている。
前記送風ファン33によってブース12内に通風される浄化空気は、移動空間4とは反対側から対向用収納部7を通過するように対向用物品収納体8の前後幅方向に沿って通風され、対向用収納部7に収納された物品保持体18に対して上下方向における板状の物品17の間隙に通過する状態で対向用収納部7を通過する。
前記収納部浄化空気通風手段34は、図5及び図6に示すように、横幅方向に隣接する収納部2同士の間において、収納部2の横側部から横幅方向に浄化空気を通風させる通風手段35と物品収納体3を上下方向に通過させる形態で空気を流動可能とする空気流動空間36とを横幅方向に交互に配置させるように構成されている。
そして、収納部浄化空気通風手段34は、収納部2に収納された物品保持体18に対して上下方向における板状の物品17の間隙に浄化空気を通過させる形態で浄化空気を収納部2の横側部から横幅方向に収納部2を通過させるように構成されている。
前記通風手段35は、貫通路37において、浄化空気を通風させる方向が互いに反対側となる状態で2つ配置されている。そして、通風手段35は、収納部用除塵フィルタ38と、貫通路37内の空気を吸引して収納部用除塵フィルタ38を通過させる状態で収納部2の横側部から横幅方向に浄化空気を通風させる収納部用送風ファン39とから構成されている。
前記空気流動空間36は、貫通路37をそのまま利用して構成されており、収納部2を通過した浄化空気を貫通路37の収納部2に対向する部分に形成された複数の通気孔37aを通して貫通路37内に流動させて物品収納体3を上下方向に通過させるように構成されている。
各物品搬出入部40には、物品保持体18を昇降自在に載置支持する左右一対の昇降支持体41と、板状の物品17を載置支持自在で且つ載置支持した板状の物品17を搬送自在な複数の駆動ローラを備えた搬送体42とが設けられている。搬送体42は、左右一対の昇降支持体41の間に配置されている。
そして、物品搬出入部40と物品処理部9とを連通する連通部分もブース12にて囲まれており、その連通部分に浄化空気を上方側から下方側に向けて通風させる搬出入用浄化空気通風手段43が設けられている。
前記物品処理部9から1つずつ供給される板状の物品17を物品搬出入部40にて物品保持体18に保持させるときには、搬送体42が1つの板状の物品17を物品保持体18にて保持可能な位置まで搬送して、左右一対の昇降支持体41にて物品保持体18を上昇させることにより、1つの板状の物品17を物品保持体18に保持させる。このような動作を繰り返すことによって、物品処理部9から1つずつ供給される板状の物品17を物品保持体18に上下方向に並べる状態で順次保持させる。
そして、図示は省略するが、物品搬送装置5の作動を制御する制御装置が設けられている。
前記リンク機構52は、その基端部が上下軸芯P2周りで回動自在に旋回台50に連結された一対の操作リンク53と、操作リンク53の先端部に対して上下軸芯P3周りで回動自在に連結されかつ載置部51に対して上下軸芯P4周りで回動自在に連結された揺動リンク54とから構成されている。
図外の移載用電動モータにて一対の操作リンク53を連動して上下軸芯周りに揺動操作することにより、載置部51を昇降台48に対して突出させる突出状態と載置部51を昇降台48に対して引退させる引退状態とに切り換え自在に構成されている。そして、物品移載装置49は、突出状態(図8参照)と引退状態(図7参照)とに切り換えることによって、収納部2、対向用収納部7及び物品搬出入部40の昇降支持体41に対する物品Bの移載を行うように構成されている。
まず、一方の物品処理部9から搬入された板状の物品17を一時保管するときについて説明する。
一方の物品処理部9から1つずつ供給される板状の物品17を物品搬出入部40にて物品保持体18に保持させると、一方の物品搬送装置5が、走行台車46の走行、昇降台48の昇降、及び、物品移載装置49の作動によって、物品搬出入部40の昇降支持体41まで昇降台48を移動させて昇降支持体41から物品保持体18を受け取る。その後、複数の収納部2から物品保持体18を収納すべき移載対象の収納部を選択して、一方の物品搬送装置5は、走行台車46の走行、昇降台48の昇降、及び、物品移載装置49の作動によって、移載対象の収納部2まで昇降台48を移動させて受け取った物品保持体18を移載対象の収納部2に収納する。
また、一方の物品搬送装置5は、一方の物品処理部9から搬入された板状の物品17を保持した物品保持体18を一方の対向用物品収納体8の対向用収納部7に収納させることもできる。
前記複数の収納部2から他方の物品処理部9に搬出する板状の物品17を保持した物品収納体18が収納されている収納部2を移載対象の収納部2と選択して、他方の物品搬送装置5が、走行台車46の走行、昇降台48の昇降、及び、物品移載装置49の作動によって、移載対象の収納部2まで昇降台48を移動させて移載対象の収納部2に収納されている物品保持体18を取り出す。その後、他方の物品搬送装置5が、走行台車46の走行、昇降台48の昇降、及び、物品移載装置49の作動によって、他方の物品処理部9に板状の物品17を搬出する物品搬出入部40の昇降支持体41に物品保持体18を移載する。そして、物品搬出入部40にて、物品処理部9に板状の物品17を1つずつ供給する。
また、他方の物品搬送装置5は、収納部2に収納されている物品保持体18を対向用物品収納体8の対向用収納部7に収納させることもできる。
(1)上記実施形態では、収納部浄化空気通風手段34が、通風手段35と空気流動空間36とを備えて構成されているが、収納部浄化空気通風手段34は、複数の収納部2の夫々に対して、浄化空気を収納部2の横側部から横幅方向に収納部2を通過させて横幅方向に隣接する収納部2との間において上方側から下方側に流動させるものであればよく、どのような構成とするかは適宜変更が可能である。
例えば、物品収納体3の横幅方向に隣接する収納部2同士の間の夫々に、物品収納体3を上下方向に連通させる一連の空間を設け、その空間に対して通風手段35と空気流動空間36とを物品収納体3の横幅方向に交互に配置させることもできる。この場合、通風手段35は支柱14などに固定支持する。
3 物品収納体
4 移動空間
5 物品搬送装置
6 浄化空気通風手段
7 対向用収納部
8 対向用物品収納体
9 物品処理部
13 物品収納棚
17 板状の物品
18 物品保持体
34 収納部浄化空気通風手段
35 通風手段
36 空気流動空間
Claims (6)
- 収納部を横幅方向に複数並べて備えた物品収納体と、
前記物品収納体の前後の移動空間の夫々に配置されて、前記移動空間を移動して前記収納部に対する物品の出し入れを行う物品搬送装置と、
前記移動空間において浄化空気を上方側から下方側に流動させるダウンフロー式の浄化空気通風手段とが設けられている物品収納設備であって、
前記複数の収納部の夫々に対して、浄化空気を前記収納部の横側部から前記横幅方向に前記収納部を通過させて前記横幅方向に隣接する前記収納部との間において上方側から下方側に流動させる収納部浄化空気通風手段が設けられている物品収納設備。 - 前記収納部浄化空気通風手段が、前記横幅方向に隣接する前記収納部同士の間において、前記収納部の横側部から前記横幅方向に浄化空気を通風させる通風手段と前記物品収納体を上下方向に通過させる形態で空気を流動可能とする空気流動空間とを前記横幅方向に交互に配置させるように構成されている請求項1に記載の物品収納設備。
- 前記物品収納体が、前記収納部を横幅方向及び上下方向に複数並べて備えた物品収納棚にて構成されている請求項1又は2に記載の物品収納設備。
- 前記収納部は、上下方向に間隔を隔てて並べる状態で板状の物品の複数を保持した物品保持体を収納可能に構成され、
前記収納部浄化空気通風手段が、前記収納部に収納された前記物品保持体に対して上下方向における板状の物品の間隙に浄化空気を通過させる形態で浄化空気を前記収納部の横側部から前記横幅方向に前記収納部を通過させるように構成されている請求項1〜3のいずれか一項に記載の物品収納設備。 - 前記物品収納体の前後の前記移動空間の夫々において前記物品収納体とは反対側に、対向用収納部を横幅方向に複数並べて備え且つ前記物品搬送装置にて前記対向用収納部に対する物品の出し入れを可能とする対向用物品収納体が設けられ、
前記浄化空気通風手段が、浄化空気を前記移動空間とは反対側から前記対向用物品収納体の前後幅方向に前記対向用収納部を通過させて前記移動空間を上方側から下方側に流動させるように構成されている請求項1〜4のいずれか一項に記載の物品収納設備。 - 前記対向用物品収納体の夫々において前記移動空間とは反対側に、物品に対する処理を施す物品処理部が配置されている請求項5に記載の物品収納設備。
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