JP2002370804A - 物品移送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一方の物品処理部と他方の物品処理部との間
で物品を移送する物品移送設備の前後の大きさを小型縮
小化する。 【解決手段】 一対の棚４ａ，４ｂ間に、一方の棚４ａ
に対してカセット５を出し入れする一方の出し入れ手段
７ａと、他方の棚４ｂに対してカセット５を出し入れす
る他方の出し入れ手段７ｂとが配置され、一方の棚４ａ
と一方の物品処理部２ａとの間でカセット５を搬送する
一方の搬送手段１４ａ，１５ａおよび他方の棚４ｂと他
方の物品処理部２ｂとの間でカセット５を搬送する他方
の搬送手段１４ｂ，１５ｂが設けられ、両出し入れ手段
７ａ，７ｂ間でカセット５を移載する移載手段２５が設
けられ、移載手段２５は、両出し入れ手段７ａ，７ｂ間
を移動する台車装置と、台車装置に設けられかつカセッ
ト５の向きを反転させるターンテーブルとで構成されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一方の物品処理部
で処理した物品を他方の物品処理部まで移送して他方の
物品処理部で処理したり、或いは、他方の物品処理部で
処理した物品を一方の物品処理部まで移送して一方の物
品処理部で処理する物品移送設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の物品移送設備としては、
例えば図１４に示すように、物品処理部１０１ａ，１０
１ｂで処理される板状のガラス基板を一時保管しかつ物
品処理部１０１ａ，１０１ｂ間で移送するものがある。
すなわち、上記ガラス基板の表面に研磨等の特殊な加工
を施す一方の物品処理部１０１ａと、ガラス基板の表面
にコーティング等の特殊な加工を施す他方の物品処理部
１０１ｂとが形成されている。上記一方の物品処理部１
０１ａと他方の物品処理部１０１ｂとは前後に並んで配
置されており、これら一方および他方の物品処理部１０
１ａ，１０１ｂの一側方には、上記複数のガラス基板が
収納されたカセット１０２を一時保管するための棚１０
３が設置されている。

【０００３】上記棚１０３には、複数の収納部１０４
と、入庫部１０５ａ，１０５ｂと、出庫部１０６ａ，１
０６ｂとが設けられている。また、物品移送設備１００
には、一方の物品処理部１０１ａから一方の入庫部１０
５ａへカセット１０２を搬送する一方の入庫用コンベヤ
１０７ａと、一方の出庫部１０６ａから一方の物品処理
部１０１ａへカセット１０２を搬送する一方の出庫用コ
ンベヤ１０８ａと、他方の物品処理部１０１ｂから他方
の入庫部１０５ｂへカセット１０２を搬送する他方の入
庫用コンベヤ１０７ｂと、他方の出庫部１０６ｂから他
方の物品処理部１０１ｂへカセット１０２を搬送する他
方の出庫用コンベヤ１０８ｂとが設置されている。

【０００４】また、上記棚１０３に対して上記物品処理
部１０１ａ，１０１ｂとは反対側には、棚１０３に対し
てカセット１０２を出し入れする出し入れ手段１１０が
設けられている。この出し入れ手段１１０は、棚１０３
に沿って前後方向へ設定された走行経路１１１上を走行
する走行体１１２と、この走行体１１２に設けられかつ
走行体１１２に対して昇降する荷台１１３と、この荷台
１１３に設けられかつ上記棚１０３に対して出入りする
伸縮自在なフォーク装置１１４とで構成されている。

【０００５】これによると、一方の物品処理部１０１ａ
においてガラス基板を処理した後、他方の物品処理部１
０１ｂにおいて処理する場合、先ず、一方の物品処理部
１０１ａにおいて処理されたガラス基板を収納したカセ
ット１０２が一方の入庫用コンベヤ１０７ａによって一
方の入庫部１０５ａに入庫される。その後、出し入れ手
段１１０の走行体１１２の走行と荷台１１３の昇降とフ
ォーク装置１１４の伸縮とによって、上記カセット１０
２は、一方の入庫部１０５ａから特定の収納部１０４に
移され、この収納部１０４で所定期間保管される。

【０００６】その後、上記カセット１０２は、出し入れ
手段１１０によって上記特定の収納部１０４から取り出
され他方の出庫部１０６ｂへ移され、他方の出庫部１０
６ｂから他方の出庫用コンベヤ１０８ｂによって他方の
物品処理部１０１ｂへ搬送される。

【０００７】また、上記とは反対に、他方の物品処理部
１０１ｂにおいてガラス基板を処理した後、一方の物品
処理部１０１ａにおいて処理する場合、先ず、他方の物
品処理部１０１ｂにおいて処理されたガラス基板を収納
したカセット１０２が他方の入庫用コンベヤ１０７ｂに
よって他方の入庫部１０５ｂに入庫される。その後、出
し入れ手段１１０の走行体１１２の走行と荷台１１３の
昇降とフォーク装置１１４の伸縮とによって、上記カセ
ット１０２は、他方の入庫部１０５ｂから特定の収納部
１０４に移され、この収納部１０４で所定期間保管され
る。

【０００８】その後、上記カセット１０２は、出し入れ
手段１１０によって上記特定の収納部１０４から取り出
され一方の出庫部１０６ａへ移され、一方の出庫部１０
６ａから一方の出庫用コンベヤ１０８ａによって一方の
物品処理部１０１ａへ搬送される。

【０００９】尚、上記のようにカセット１０２を一方の
物品処理部１０１ａと他方の物品処理部１０１ｂとの間
で移送する際、カセット１０２を一方および他方の物品
処理部１０１ａ，１０１ｂに対して常に同じ向き関係で
移送している。また、移送過程で、カセット１０２を棚
１０３の収納部１０４に所定期間保管しているが、カセ
ット１０２を収納部１０４に保管することなく移送する
場合もある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来形式では、一方の物品処理部１０１ａと他方の物品処
理部１０１ｂとが前後に並べられているため、物品移送
設備１００全体の前後の大きさＳが非常に大型化すると
いった問題がある。

【００１１】本発明は、前後の大きさを小型縮小化する
ことが可能な物品移送設備を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本第１発明における物品移送設備は、相対向する棚
と、上記一方の棚に対して物品を出し入れする一方の出
し入れ手段と、上記他方の棚に対して物品を出し入れす
る他方の出し入れ手段とが設けられ、上記一方および他
方の出し入れ手段は一方の棚と他方の棚との間に配置さ
れ、上記一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部が設けられ、上記一方の棚と一方
の物品処理部との間で物品を搬送する一方の搬送手段が
設けられ、上記他方の棚に対して他方の出し入れ手段と
は反対側に他方の物品処理部が設けられ、上記他方の棚
と他方の物品処理部との間で物品を搬送する他方の搬送
手段が設けられ、上記一方の出し入れ手段と他方の出し
入れ手段との間で物品を移載する移載手段が設けられ、
上記移載手段は、一方の出し入れ手段と他方の出し入れ
手段との間を移動する移動体と、この移動体に設けられ
かつ一方の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で
物品の向きを反転させる向き反転装置とで構成されてい
るものである。

【００１３】これによると、一方の物品処理部において
物品を処理した後、他方の物品処理部において処理する
場合、先ず、一方の物品処理部において処理された物品
は一方の搬送手段によって搬送され一方の棚に一旦入庫
される。その後、上記物品は、一方の出し入れ手段によ
って一方の棚から取り出され、さらに、移載手段によっ
て一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載さ
れる。

【００１４】そして、上記物品は、他方の出し入れ手段
によって他方の棚に一旦入庫された後、他方の搬送手段
によって上記他方の棚から出庫され他方の物品処理部へ
搬送され、他方の物品処理部において処理される。

【００１５】尚、上記のように物品が移載手段によって
一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が一方の出し入れ手段側から
他方の出し入れ手段側へ移動するとともに、向き反転装
置が物品の向きを反転させる。

【００１６】また、上記とは反対に、他方の物品処理部
において物品を処理した後、一方の物品処理部において
処理する場合、先ず、他方の物品処理部において処理さ
れた物品は他方の搬送手段によって搬送され他方の棚に
一旦入庫される。その後、上記物品は、他方の出し入れ
手段によって他方の棚から取り出され、さらに、移載手
段によって他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段
へ移載される。

【００１７】そして、上記物品は、一方の出し入れ手段
によって一方の棚に一旦入庫された後、一方の搬送手段
によって上記一方の棚から出庫され一方の物品処理部へ
搬送され、一方の物品処理部において処理される。

【００１８】尚、上記のように物品が移載手段によって
他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載され
る際、物品を積んだ移動体が他方の出し入れ手段から一
方の出し入れ手段へ移動するとともに、向き反転装置が
物品の向きを反転させる。

【００１９】上記のように相対向する一方および他方の
棚の間に、一方および他方の出し入れ手段と移載手段と
を設け、一方の棚に対して一方の出し入れ手段とは反対
側に一方の物品処理部を設け、他方の棚に対して他方の
出し入れ手段とは反対側に他方の物品処理部を設けた配
置にしているため、従来に比べて、物品移送設備の前後
の大きさが小型縮小化される。

【００２０】また、上記のような配置であっても、移載
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。

【００２１】本第２発明における物品移送設備は、向き
反転装置として、物品を支持しかつ縦軸心周りに旋回自
在な旋回部が用いられ、移動体が移動経路の一端部に位
置している場合、上記旋回部と一方の出し入れ手段との
間で物品の受け渡しが可能となり、移動体が移動経路の
他端部に位置している場合、上記旋回部と他方の出し入
れ手段との間で物品の受け渡しが可能となるものであ
る。

【００２２】これによると、物品を一方の出し入れ手段
から他方の出し入れ手段に移載する場合、移動体が移動
経路の一端部に位置した状態で、一方の出し入れ手段が
物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部に支持さ
れる。その後、移動体が移動経路の一端部から他端部ま
で移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋回し、こ
れにより上記物品の向きが反転する。

【００２３】そして、上記移動体が移動経路の他端部に
達した後、他方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が一方の出し入れ手段から他方の
出し入れ手段に移載される。

【００２４】また、上記とは反対に、物品を他方の出し
入れ手段から一方の出し入れ手段に移載する場合、移動
体が移動経路の他端部に位置した状態で、他方の出し入
れ手段が物品を旋回部に渡すことにより、物品が旋回部
に支持される。その後、移動体が移動経路の他端部から
一端部まで移動するとともに、旋回部が縦軸心周りに旋
回し、これにより上記物品の向きが反転する。

【００２５】そして、上記移動体が移動経路の一端部に
達した後、一方の出し入れ手段が物品を旋回部から受け
取ることにより、物品が他方の出し入れ手段から一方の
出し入れ手段に移載される。

【００２６】本第３発明における物品移送設備は、一方
の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移
載する際、移動体が移動しながら旋回部が旋回するもの
である。

【００２７】これによると、移動体の移動と旋回部の旋
回とが同時に行われることで、一方の出し入れ手段と他
方の出し入れ手段との間で物品を移載する際に要する移
載時間を短縮することができる。

【００２８】本第４発明における物品移送設備は、物品
を一方の出し入れ手段から他方の出し入れ手段へ移載す
る際、移載手段が一方の出し入れ手段側に待機して一方
の出し入れ手段から物品を受け取り、物品を他方の出し
入れ手段から一方の出し入れ手段へ移載する際、移載手
段が他方の出し入れ手段側に待機して他方の出し入れ手
段から物品を受け取るものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１〜図１
３に基づいて説明する。図１，図２に示すように、１は
物品移送設備であり、両物品処理部２ａ，２ｂで処理さ
れる板状のガラス基板３をカセット５に収納した状態で
一時保管しかつ上記両物品処理部２ａ，２ｂ間で移送す
るものである。上記物品移送設備１は相対向する一対の
棚４ａ，４ｂを有しており、両棚４ａ，４ｂには、上記
複数のガラス基板３が収納されたカセット５を収納保管
するための収納部６が上下方向に複数かつ間口方向（前
後方向）に複数形成されている。尚、この場合、上記ガ
ラス基板３とカセット５とで物品を構成している。

【００３０】上記両棚４ａ，４ｂ間には、上記一方の棚
４ａに対してカセット５を出し入れする一方の出し入れ
手段７ａと、上記他方の棚４ｂに対してカセット５を出
し入れする他方の出し入れ手段７ｂとが設けられてい
る。

【００３１】上記一方の出し入れ手段７ａは、走行レー
ル８に支持案内されかつ一方の棚４ａに沿って前後方向
に形成された一方の走行経路９ａ上を走行する走行体１
０と、この走行体１０に立設されたマスト１１と、この
マスト１１に支持案内されて昇降する昇降体１２と、こ
の昇降体１２に設けられかつ上記一方の棚４ａの収納部
６に対して出入りする伸縮自在なフォーク装置１３とで
構成されている。

【００３２】また、上記他方の出し入れ手段７ｂは一方
の出し入れ手段７ａと同様に構成されており、走行体１
０は他方の棚４ｂに沿って前後方向に形成された他方の
走行経路９ｂ上を走行する。

【００３３】上記一方の物品処理部２ａは、ガラス基板
３に対して特殊な加工処理を行うものであり、一方の棚
４ａに対して一方の出し入れ手段７ａとは反対側に設け
られている。また、上記他方の物品処理部２ｂは、ガラ
ス基板３に対して一方の物品処理部２ａとは異なる特殊
な加工処理を行うものであり、他方の棚４ｂに対して他
方の出し入れ手段７ｂとは反対側に設けられている。

【００３４】また、上記物品移送設備１には、カセット
５を一方の物品処理部２ａから一方の棚４ａへ搬送する
一方の入庫用搬送手段１４ａと、カセット５を一方の棚
４ａから一方の物品処理部２ａへ搬送する一方の出庫用
搬送手段１５ａと、カセット５を他方の物品処理部２ｂ
から他方の棚４ｂへ搬送する他方の入庫用搬送手段１４
ｂと、カセット５を他方の棚４ｂから他方の物品処理部
２ｂへ搬送する他方の出庫用搬送手段１５ｂとが設けら
れている。

【００３５】尚、上記一方の入庫用搬送手段１４ａは、
トラバーサー１６（横移載機）を介して、一方の棚４ａ
の最上段に形成された２ヶ所の入庫部１７ａへカセット
５を搬送するものである。また、上記一方の出庫用搬送
手段１５ａは、一方の棚４ａの最上段に形成された２ヶ
所の出庫部１８ａから、トラバーサー１６を介して、カ
セット５を一方の物品処理部２ａへ搬送するものであ
る。同様に、上記他方の入庫用搬送手段１４ｂは、トラ
バーサー１６を介して、他方の棚４ｂの最上段に形成さ
れた２ヶ所の入庫部１７ｂへカセット５を搬送するもの
である。また、上記他方の出庫用搬送手段１５ｂは、他
方の棚４ｂの最上段に形成された２ヶ所の出庫部１８ｂ
から、トラバーサー１６を介して、カセット５を他方の
物品処理部２ｂへ搬送するものである。

【００３６】上記一方の走行経路９ａと他方の走行経路
９ｂとの間には、上記一方の出し入れ手段７ａと他方の
出し入れ手段７ｂとの間でカセット５を移載する移載手
段２５が複数台設けられている。

【００３７】図３，図４に示すように、上記各移載手段
２５はそれぞれ、床上に敷設された前後一対のレール３
３に支持案内されて一方の出し入れ手段７ａと他方の出
し入れ手段７ｂとの間を往復移動する台車装置２６（移
動体の一例）と、この台車装置２６の上部に設けられか
つ一方の出し入れ手段７ａと他方の出し入れ手段７ｂと
の間でカセット５の向きを１８０°反転させる向き反転
装置２７とで構成されている。

【００３８】上記台車装置２６は、台車本体２８と、こ
の台車本体２８に設けられた複数の走行用駆動車輪２９
と、台車本体２８に設けられた複数の走行用従動車輪３
０と、上記走行用駆動車輪２９を回転駆動させる走行駆
動装置３１（モータ等）と、複数のガイドローラ３２と
で構成されている。このうち、上記走行用駆動車輪２９
と走行用従動車輪３０とが上記レール３３上を転動する
ことによって、台車装置２６は移動経路３４の一端部Ａ
（一方の出し入れ手段７ａ側）と他端部Ｂ（他方の出し
入れ手段７ｂ側）との間を往復移動する。

【００３９】また、上記ガイドローラ３２は上記いずれ
か片方のレール３３の両側面を挟んだ状態で転動し、こ
れにより、走行用駆動車輪２９と走行用従動車輪３０と
がレール３３の側方へ脱落することを防止している。さ
らに、上記レール３３の両端には脱落防止用のストッパ
３５が設けられている。

【００４０】上記向き反転装置２７は、カセット５を支
持しかつ縦軸心４０周りに旋回自在なターンテーブル４
１（旋回部の一例）と、このターンテーブル４１を１８
０°の範囲で正方向Ｃ（図１１参照）および逆方向Ｄ
（図１３参照）へ旋回させる回転駆動装置４２（モータ
等）とで構成されている。上記ターンテーブル４１には
カセット５の底面を支持する一対の支持部４３が形成さ
れ、これら支持部４３間にはフォーク差込用スペース４
４が形成されており、上記出し入れ手段７ａ，７ｂのフ
ォーク装置１３は上記フォーク差込用スペース４４に対
して挿脱自在に構成されている。尚、上記ターンテーブ
ル４１は、ベアリング等の軸受装置４５を介して、旋回
自在に台車本体２８の上部に支持されている。また、タ
ーンテーブル４１の下端に設けられた円筒状のカップリ
ング４６に上記回転駆動装置４２の出力軸４７が差し込
まれて連結されている。

【００４１】尚、図３，図５，図６に示すように、移載
手段２５には、上記ターンテーブル４１の旋回角度を１
８０°に規制する規制装置４８が設けられている。この
規制装置４８は、台車本体２８に１８０°振り分けられ
て設けられた固定ストッパ４９，５０と、ターンテーブ
ル４１の下端に設けられた可動ストッパ５１とで構成さ
れている。図５に示すように、上記ターンテーブル４１
が１８０°正方向Ｃへ旋回した場合、上記可動ストッパ
５１は、一方の固定ストッパ４９に当接して、これ以上
正方向Ｃへ旋回するのを規制される。また、図６に示す
ように、ターンテーブル４１が１８０°逆方向Ｄへ旋回
した場合、上記可動ストッパ５１は、他方の固定ストッ
パ５０に当接して、これ以上逆方向Ｄへ旋回するのを規
制される。

【００４２】さらに、移載手段２５には、上記ターンテ
ーブル４１が１８０°正方向Ｃおよび逆方向Ｄへ旋回し
たことを検出する旋回位置検出手段５３が設けられてい
る。この旋回位置検出手段５３は、台車本体２８に設け
られて３本の光軸を上下方向に形成する第１〜第３の光
電スイッチ５４ａ，５４ｂ，５４ｃと、ターンテーブル
４１の下端に設けられた一対の検出体５５，５６とで構
成されている。図５に示すように、上記ターンテーブル
４１が１８０°正方向Ｃへ旋回した場合、一方の検出体
５５が第１および第２の光電スイッチ５４ａ，５４ｂの
光軸を遮断し、これにより、ターンテーブル４１が１８
０°正方向Ｃへ旋回したことが検出される。また、図６
に示すように、上記ターンテーブル４１が１８０°逆方
向Ｄへ旋回した場合、他方の検出体５６が第２および第
３の光電スイッチ５４ｂ，５４ｃの光軸を遮断し、これ
により、ターンテーブル４１が１８０°逆方向Ｄへ旋回
したことが検出される。

【００４３】また、図３に示すように、上記レール３３
には、台車装置２６が移動経路３４の一端部Ａまで移動
したことを検出する一方の検出器５７ａと他端部Ｂまで
移動したことを検出する他方の検出器５７ｂとが設けら
れている。

【００４４】また、図１，図２に示すように、上記棚４
ａ，４ｂと出し入れ手段７ａ，７ｂと移載手段２５とは
クリーンルーム６０内に設置されている。このクリーン
ルーム６０には、複数のフィルター６１と換気用のファ
ン６２とが設けられている。

【００４５】以下、上記構成における作用を説明する。
一方の物品処理部２ａにおいてガラス基板３に加工処
理を施した後、他方の物品処理部２ｂにおいて加工処理
する場合、先ず、上記一方の物品処理部２ａで処理され
たガラス基板３がカセット５に収納され、図１，図２に
示すように、このカセット５が、一方の入庫用搬送手段
１４ａによって搬送され、トラバーサー１６を介して一
方の棚４ａのいずれか片方の入庫部１７ａへ一旦入庫さ
れる。

【００４６】その後、一方の出し入れ手段７ａの走行体
１０の走行と昇降体１２の昇降とフォーク装置１３の伸
縮とによって、上記カセット５は、入庫部１７ａから取
り出され、一方の棚４ａの収納部６に収納されて一時保
管される。

【００４７】一時保管後、上記カセット５は、一方の出
し入れ手段７ａによって一方の棚４ａの収納部６から取
り出され、一方の出し入れ手段７ａに保持される。そし
て、図７に示すように、一方の出し入れ手段７ａの走行
体１０が移動経路３４の一端部Ａに待機している移載手
段２５の隣まで走行し、昇降体１２の昇降とフォーク装
置１３の伸縮とによって、図８の実線および図１０に示
すように、上記カセット５が上記移載手段２５のターン
テーブル４１上に渡されて支持部４３で支持される。
尚、図４に示すように、カセット５が支持部４３で支持
された状態で、上記フォーク装置１３が短縮してフォー
ク差込用スペース４４内から脱抜される。

【００４８】上記のようにして一方の出し入れ手段７ａ
からカセット５を受け取った移載手段２５の台車装置２
６が移動経路３４の一端部Ａから他端部Ｂへ向けて移動
する。

【００４９】この際、図１１に示すように、上記移載手
段２５が一方の出し入れ手段７ａから一定距離Ｌだけ離
れた時点で、引き続き台車装置２６が移動しながら、回
転駆動装置４２が作動してターンテーブル４１が縦軸心
４０周りに１８０°正方向Ｃへ旋回するため、図１２に
示すように、カセット５の向きが１８０°反転する。こ
のように、一定距離Ｌだけ離れた時点でターンテーブル
４１の旋回が始まることによって、ターンテーブル４１
やカセット５が旋回中に一方の出し入れ手段７ａに干渉
することを防止し得る。

【００５０】そして、図８の仮想線および図１２に示す
ように、上記台車装置２６が移動経路３４の他端部Ｂに
到達すると停止し、他方の出し入れ手段７ｂが、他方の
走行経路９ｂ上を走行して、上記他端部Ｂの移載手段２
５の隣に停止する。

【００５１】そして、図９に示すように、他方の出し入
れ手段７ｂのフォーク装置１３が伸長してフォーク差込
用スペース４４内に差し込まれ、昇降体１２の昇降と上
記フォーク装置１３の短縮とによって、カセット５がタ
ーンテーブル４１から掬い取られて他方の出し入れ手段
７ｂに移載される。

【００５２】その後、上記カセット５は、図１に示すよ
うに、他方の出し入れ手段７ｂによって他方の棚４ｂの
出庫部１８ｂへ収納され、その後、他方の出庫用搬送手
段１５ｂによって出庫部１８ｂから出庫され他方の物品
処理部２ｂへ搬送される。そして、他方の物品処理部２
ｂにおいて、カセット５内に収納されたガラス基板３が
処理される。

【００５３】上記において、図１０〜図１２に示すよ
うに、移載手段２５によってカセット５を一方の出し入
れ手段７ａから他方の出し入れ手段７ｂに移載する際、
ターンテーブル４１を正方向Ｃへ１８０°旋回させて、
カセット５の向きをイ方向（図１０参照）からロ方向
（図１２参照）へ反転させているため、一方の物品処理
部２ａに対するカセット５の向き（＝イ方向）関係と他
方の物品処理部２ｂに対するカセット５の向き（＝ロ方
向）関係とを同じにして、カセット５を移送することが
できる。

【００５４】上記とは反対に、他方の物品処理部２
ｂにおいてガラス基板３に加工処理を施した後、一方の
物品処理部２ａにおいて加工処理する場合、先ず、上記
他方の物品処理部２ｂで処理されたガラス基板３がカセ
ット５に収納され、図１，図２に示すように、このカセ
ット５が、他方の入庫用搬送手段１４ｂによって搬送さ
れ、トラバーサー１６を介して他方の棚４ｂのいずれか
片方の入庫部１７ｂへ一旦入庫される。

【００５５】その後、他方の出し入れ手段７ｂの走行体
１０の走行と昇降体１２の昇降とフォーク装置１３の伸
縮とによって、上記カセット５は、入庫部１７ｂから取
り出され、他方の棚４ｂの収納部６に収納されて一時保
管される。

【００５６】一時保管後、上記カセット５は、他方の出
し入れ手段７ｂによって他方の棚４ｂの収納部６から取
り出され、他方の出し入れ手段７ｂに保持される。そし
て、図９に示すように、他方の出し入れ手段７ｂの走行
体１０が移動経路３４の他端部Ｂに待機している移載手
段２５の隣まで走行し、昇降体１２の昇降とフォーク装
置１３の伸縮とによって、図８の仮想線および図１２で
示すように、上記カセット５が上記移載手段２５のター
ンテーブル４１上に渡されて支持部４３で支持される。
尚、カセット５が支持部４３で支持された状態で、上記
フォーク装置１３が短縮してフォーク差込用スペース４
４内から脱抜される。

【００５７】上記のようにして他方の出し入れ手段７ｂ
からカセット５を受け取った移載手段２５の台車装置２
６が移動経路３４の他端部Ｂから一端部Ａへ向けて移動
する。

【００５８】この際、図１３に示すように、上記移載手
段２５が他方の出し入れ手段７ｂから一定距離Ｌだけ離
れた時点で、引き続き台車装置２６が移動しながら、回
転駆動装置４２が作動してターンテーブル４１が縦軸心
４０周りに１８０°逆方向Ｄへ旋回するため、図１０に
示すように、カセット５の向きが１８０°反転する。こ
のように、一定距離Ｌだけ離れた時点でターンテーブル
４１の旋回が始まることによって、ターンテーブル４１
やカセット５が旋回中に他方の出し入れ手段７ｂに干渉
することを防止し得る。

【００５９】そして、図８の実線および図１０で示すよ
うに、上記台車装置２６が移動経路３４の一端部Ａに到
達すると停止し、一方の出し入れ手段７ａが、一方の走
行経路９ａ上を走行して、上記一端部Ａの移載手段２５
の隣に停止する。

【００６０】そして、図７に示すように、一方の出し入
れ手段７ａのフォーク装置１３が伸長してフォーク差込
用スペース４４内に差し込まれ、昇降体１２の昇降と上
記フォーク装置１３の短縮とによって、カセット５がタ
ーンテーブル４１から掬い取られて一方の出し入れ手段
７ａに移載される。

【００６１】その後、上記カセット５は、図１に示すよ
うに、一方の出し入れ手段７ａによって一方の棚４ａの
出庫部１８ａへ収納され、その後、一方の出庫用搬送手
段１５ａによって出庫部１８ａから出庫され一方の物品
処理部２ａへ搬送される。そして、一方の物品処理部２
ａにおいて、カセット５内に収納されたガラス基板３が
処理される。

【００６２】上記において、図１３に示すように、移
載手段２５によってカセット５を他方の出し入れ手段７
ｂから一方の出し入れ手段７ａに移載する際、ターンテ
ーブル４１を逆方向Ｄへ１８０°旋回させて、カセット
５の向きをロ方向（図１２参照）からイ方向（図１０参
照）へ反転させているため、他方の物品処理部２ｂに対
するカセット５の向き（＝ロ方向）関係と一方の物品処
理部２ａに対するカセット５の向き（＝イ方向）関係と
を同じにして、カセット５を移送することができる。

【００６３】上記のような物品移送設備１において、図
１に示すように、相対向する一方および他方の棚４ａ，
４ｂ間に、一方および他方の出し入れ手段７ａ，７ｂと
移載手段２５とを設け、一方の棚４ａに対して一方の出
し入れ手段７ａとは反対側に一方の物品処理部２ａを設
け、他方の棚４ｂに対して他方の出し入れ手段７ｂとは
反対側に他方の物品処理部２ｂを設けた配置にしている
ため、従来に比べて、物品移送設備１の前後の大きさＳ
が小型縮小化される。

【００６４】また、上記のような配置であっても、上記
，のように、移載手段２５によってカセット５を一
方の出し入れ手段７ａと他方の出し入れ手段７ｂとの間
で移載する際、向き反転装置２７でカセット５の向きを
１８０°反転させているため、一方の物品処理部２ａに
対するカセット５の向き関係と他方の物品処理部２ｂに
対するカセット５の向き関係とを同じにして、カセット
５を移送することができる。

【００６５】さらに、一方の出し入れ手段７ａと他方の
出し入れ手段７ｂとの間でカセット５を移載する際、移
載手段２５の台車装置２６の移動とターンテーブル４１
の旋回とが同時に行われるため、移載時間を短縮するこ
とができ、作業効率が向上する。

【００６６】上記実施の形態では、物品の一例として、
ガラス基板３を収納したカセット５を移送しているが、
ガラス基板３やカセット５に限定されるものではなく、
例えば、部品をバケット等に収納したものなどを移送し
たり、或いは、カセットやバケット等に収納しない状態
で物品を移送してもよい。

【００６７】上記実施の形態では、図１に示すように、
一方の走行経路９ａ上に一方の出し入れ手段７ａを１台
配置しているが、複数台配置してもよい。また、他方の
走行経路９ｂ上に他方の出し入れ手段７ｂを１台配置し
ているが、複数台配置してもよい。

【００６８】上記実施の形態では、出し入れ手段７ａ，
７ｂを、走行レール８に支持案内されて走行する走行体
１０と、この走行体１０に立設されたマスト１１に支持
案内されて昇降する昇降体１２と、この昇降体１２に設
けられたフォーク装置１３とで構成しているが、走行経
路９ａ，９ｂにわたって配設された昇降自在な走行レー
ルと、この走行レールに支持案内されて走行する移載機
と、この移載機に設けられたフォーク装置とで構成して
もよい。

【００６９】上記実施の形態では、出し入れ手段７ａ，
７ｂのフォーク装置１３を用いて、カセット５を移載手
段２５のターンテーブル４１に受け渡ししているが、上
記フォーク装置１３の代わりにローラコンベヤ等の搬送
装置を用いて、カセット５を移載手段２５との間で受け
渡し（搬送）してもよい。

【００７０】上記実施の形態では、物品処理部２ａ，２
ｂにおいて、ガラス基板３に対する加工を行っている
が、処理とは加工に限定されるものではなく、例えば、
ガラス基板３をカセット５に収納する等の積み付けなど
を行ってもよい。

【００７１】

【発明の効果】以上のように、本第１発明によると、相
対向する一方および他方の棚の間に、一方および他方の
出し入れ手段と移載手段とを設け、一方の棚に対して一
方の出し入れ手段とは反対側に一方の物品処理部を設
け、他方の棚に対して他方の出し入れ手段とは反対側に
他方の物品処理部を設けた配置にしているため、従来に
比べて、物品移送設備の前後の大きさが小型縮小化され
る。

【００７２】また、上記のような配置であっても、移載
手段によって物品を一方の出し入れ手段と他方の出し入
れ手段との間で移載する際、向き反転装置で物品の向き
を反転させているため、一方の物品処理部に対する物品
の向き関係と他方の物品処理部に対する物品の向き関係
とを同じにして、物品を移送することができる。

【００７３】また、本第３発明によると、移動体の移動
と旋回部の旋回とが同時に行われることで、一方の出し
入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移載する
際に要する移載時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における物品移送設備の平
面図である。

【図２】同、物品移送設備の正面図である。

【図３】同、物品移送設備の移載手段の正面図である。

【図４】図３におけるＸ−Ｘ矢視図である。

【図５】同、物品移送設備の移載手段に設けられた規制
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを正方向へ旋回させた場合を示す。

【図６】同、物品移送設備の移載手段に設けられた規制
装置と旋回位置検出手段との平面図であり、ターンテー
ブルを逆方向へ旋回させた場合を示す。

【図７】同、物品移送設備の一方の出し入れ手段と移載
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。

【図８】同、物品移送設備の移載手段を移動経路に沿っ
て移動させている際の図である。

【図９】同、物品移送設備の他方の出し入れ手段と移載
手段との間でカセットを受け渡しする際の図である。

【図１０】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、移載手段が移動経路の一端部に位置している状態を
示す。

【図１１】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、ターンテーブルが正方向へ旋回している状態を示
す。

【図１２】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、移載手段が移動経路の他端部に位置している状態を
示す。

【図１３】同、物品移送設備の移載手段の平面図であ
り、ターンテーブルが逆方向へ旋回している状態を示
す。

【図１４】従来の物品移送設備の平面図である。

【符号の説明】

１ 物品移送設備 ２ａ，２ｂ 物品処理部 ３ ガラス基板（物品） ４ａ，４ｂ 棚 ５ カセット（物品） ７ａ，７ｂ 出し入れ手段 １４ａ，１５ａ 一方の搬送手段 １４ｂ，１５ｂ 他方の搬送手段 ２５ 移載手段 ２６ 台車装置（移動体） ２７ 向き反転装置 ３４ 移動経路 ４１ ターンテーブル（旋回部） Ａ 一端部 Ｂ 他端部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 EE05 FF02 JJ12 KK01 LL12 NN02 QQ11 5F031 CA05 DA17 FA02 FA15 FA20 GA49 GA51 GA58 MA06 NA02 PA30

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 相対向する棚と、上記一方の棚に対して
   物品を出し入れする一方の出し入れ手段と、上記他方の
   棚に対して物品を出し入れする他方の出し入れ手段とが
   設けられ、上記一方および他方の出し入れ手段は一方の
   棚と他方の棚との間に配置され、上記一方の棚に対して
   一方の出し入れ手段とは反対側に一方の物品処理部が設
   けられ、上記一方の棚と一方の物品処理部との間で物品
   を搬送する一方の搬送手段が設けられ、上記他方の棚に
   対して他方の出し入れ手段とは反対側に他方の物品処理
   部が設けられ、上記他方の棚と他方の物品処理部との間
   で物品を搬送する他方の搬送手段が設けられ、上記一方
   の出し入れ手段と他方の出し入れ手段との間で物品を移
   載する移載手段が設けられ、上記移載手段は、一方の出
   し入れ手段と他方の出し入れ手段との間を移動する移動
   体と、この移動体に設けられかつ一方の出し入れ手段と
   他方の出し入れ手段との間で物品の向きを反転させる向
   き反転装置とで構成されていることを特徴とする物品移
   送設備。
2. 【請求項２】 向き反転装置として、物品を支持しかつ
   縦軸心周りに旋回自在な旋回部が用いられ、移動体が移
   動経路の一端部に位置している場合、上記旋回部と一方
   の出し入れ手段との間で物品の受け渡しが可能となり、
   移動体が移動経路の他端部に位置している場合、上記旋
   回部と他方の出し入れ手段との間で物品の受け渡しが可
   能となることを特徴とする請求項１記載の物品移送設
   備。
3. 【請求項３】 一方の出し入れ手段と他方の出し入れ手
   段との間で物品を移載する際、移動体が移動しながら旋
   回部が旋回することを特徴とする請求項２記載の物品移
   送設備。
4. 【請求項４】 物品を一方の出し入れ手段から他方の出
   し入れ手段へ移載する際、移載手段が一方の出し入れ手
   段側に待機して一方の出し入れ手段から物品を受け取
   り、物品を他方の出し入れ手段から一方の出し入れ手段
   へ移載する際、移載手段が他方の出し入れ手段側に待機
   して他方の出し入れ手段から物品を受け取ることを特徴
   とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の物品移
   送設備。