JP2008068964A - 基板収納設備及び基板処理設備 - Google Patents
基板収納設備及び基板処理設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008068964A JP2008068964A JP2006248172A JP2006248172A JP2008068964A JP 2008068964 A JP2008068964 A JP 2008068964A JP 2006248172 A JP2006248172 A JP 2006248172A JP 2006248172 A JP2006248172 A JP 2006248172A JP 2008068964 A JP2008068964 A JP 2008068964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- storage container
- substrate
- container
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
【解決手段】収納容器2のファンフィルタユニット64を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器2の出入り口側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器2を収納部4に収納するように、収納容器2を入出庫部及び収納棚5における収納部4に搬送する収納容器搬送装置8の作動を制御する。
【選択図】図2
Description
そして、このような基板収納設備において、従来では、収納容器を、外気を通風可能な格子状に形成して、収納棚、入出庫部及び収納容器搬送装置を装備した空間の天井部より床部に通風する浄化空気通風手段と、収納棚の後部側に装備されてその後部側から収納容器搬送装置が存在する前部側に通風する収納棚用ファンフィルタユニットとを備えて、浄化空気通風手段にて移動空間を天井側から床部側に通風させて収納容器搬送装置にて発生した塵埃を床面側に鎮める形態で収納棚、入出庫部及び収納容器搬送装置を装備した空間をクリーン空間として、基板の清浄度を維持しており、特に、収納棚に保管するときにおいては、収納棚用ファンフィルタユニットにて収納棚の後部側から前部側に通風させることによって、収納容器内にも通風させて塵埃の付着を防止し、且つ、移動空間において収納容器搬送装置から発生した塵埃が収納部に進入することを防止して、基板の清浄度を維持していた(例えば、特許文献1参照。)。
前記収納容器が、横倒れ姿勢の四角筒状に形成されて、その一端側の開口が、前記基板を出し入れするための出入り口として構成され、前記収納容器の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記収納容器における他端側の開口部に装備され、前記制御手段が、前記収納容器の前記ファンフィルタユニットを装備した側を前記移動空間側に位置させ且つ前記収納容器の前記出入り口側を前記移動空間から離れる側に位置させる状態で前記収納容器を前記収納部に収納するように前記収納容器搬送装置の作動を制御するように構成されている点にある。
そして、収納容器の前記ファンフィルタユニットを装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器の出入り口側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器を収納部に収納するため、収納容器搬送装置の作動にて気流が乱されて床側から巻き上げられた塵埃が収納部に進入したとしても、その塵埃は移動空間側に位置するファンフィルタユニットにて取り除かれるので、収納部に収納されている収納容器内まで塵埃が進入することが防止され、基板が汚染され難いものとなる。
図2及び図6に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板1を処理する複数の基板処理装置3と、前記基板1を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器2を収納する複数の収納部4を備えた収納棚5と、複数の前記基板処理装置3の夫々に対する基板入出部6に位置する前記収納容器2から基板1を一枚ずつ取り出して前記基板処理装置3に供給し且つ前記基板処理装置3から搬出される基板1を前記基板入出部6に位置する前記収納容器2に収納する基板搬送装置7と、前記収納容器2を前記複数の基板処理装置3の夫々における前記基板入出部6及び前記収納棚5における前記収納部4に搬送する収納容器搬送装置8とが備えられている。
ちなみに、図1に示すように、基板処理設備には、複数の基板収納設備Aと、処理工程設備Bとが装備されており、図2に示すように、基板収納設備Aの夫々に、収納棚5及び前記収納容器搬送装置8としてのスタッカークレーン10が備えられ、図6に示すように、処理工程設備Bの夫々に、基板処理装置3及び基板搬送装置7が備えられている。
つまり、基板搬送装置7及び収納容器搬送装置8は、図外の制御装置にて作動が制御されており、収納容器搬送装置8にて、収納容器2を複数の基板処理装置3の夫々における基板入出部6に順次搬送し、基板入出部6に搬送される毎に、基板搬送装置7にて、収納容器2から基板1を一枚ずつ取り出して基板処置装置3に供給し、基板処理装置3から搬送される基板1を収納するように、制御装置にて基板搬送装置7及び収納容器搬送装置8の作動を制御される。
また、複数の基板処理装置3においては塗布、露光及び現像等の所定の処理を個別に行うものであるために基板1を処理する処理量に差が生じるものであり、基板入出部6に順次搬送するときにおいて基板1の処理に待ちが生じた場合には、その処理待ちの基板1を収納した収納容器2は一時的に収納棚5に保管させるべく、制御装置にて収納容器搬送装置8の作動が制御される。
図1に示すように、前記往復走行搬送車11及び周回走行搬送車12は、基板収納設備A外で収納容器2を搬送するものであり、往復走行搬送車11は、隣接する2つの基板収納設備Aの間で往復走行して2つの基板収納設備Aの間で収納容器2を搬送するように構成され、周回走行搬送車12は、多数の基板収納設備Aに亘って周回走行して、多数の基板収納設備Aの間で収納容器2を搬送するように構成されている。
また、図2に示すように、スタッカークレーン10は、基板収納設備A内で収納容器2を搬送するものであり、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚5の間に形成された移動空間に沿って往復走行して、対向する一対の収納棚5における複数の収納部4の間で収納容器2を搬送するように構成されている。
つまり、処理工程設備Bにおける基板搬送エリア24には、基板搬送装置7による基板搬送作用空間を収納棚5側の端部が開放され且つ基板処理装置3側の端部が基板処理装置3と連通するように覆う区画壁26が設けられ、この区画壁26の天井部に搬送エリア用の浄化空気通風手段25としての複数のエリア用ファンフィルタユニット27が設けられており、複数のエリア用ファンフィルタユニット27にて、クリーン空間13の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を、基板搬送エリア24の天井部より床部に通風させて、区画壁26にて覆われる空間をダウンフローの空間としている。
そして、収納棚5には、前後一対の支柱31と左右一対の載置支持部32とにより形成された前記収納部4が縦横並べられて複数設けられている。各収納部4は、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通されている。
また、最下段の収納部4は、グレーティング床14から上方側に間隔を隔てるように設置されており、その最下段の収納部4の下方には、浄化空気を流動させるための流動用空間が形成されている。
説明を加えると、図5に示すように、収納棚5が備える最下段の複数の収納部4のうちの基板処理装置3に対応する収納部4が基板入出部6とされており、基板搬送装置7にて基板入出部6に位置する収納容器2に対して収納棚5の背面側を通して基板1を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されている。そして、最下段の収納部は上記したようにグレーティング床14から上方側に間隔を隔てるように設置されているため、基板入出部6は、床部よりも高い位置に設置されている。
また、図7に示すように、収納棚5が備える中段の複数の収納部4のうちの往復走行搬送車11及び周回走行搬送車12に対応する収納部4が入出庫部9とされており、往復走行搬送車11に対応する入出庫部9は、往復走行搬送車11にて収納棚5の背面側と通して収納容器2を搬出入できるように構成され、且つ、周回走行搬送車12に対応する入出庫部9は、周回走行搬送車12にて収納棚5の側面側を通して収納容器2を搬出入できるように構成されている。
そして、一対の昇降マスト36は、その上端部同士が上部フレーム41にて連結されている。
この制御手段Hは、収納容器搬送装置8の運転を管理する上位の制御装置からの指令に基づいて、走行用モータ40、昇降用モータ49及び物品移載装置38の作動を制御することにより、複数の収納部4の間で収納容器2を搬送すべく、スタッカークレーン10の作動を制御するように構成されている。
つまり、制御手段Hは、対向する一対の収納棚5の間で収納容器2を搬送する際に、搬送元の収納部4と搬送先の収納部4とが同じ収納棚5である場合では、搬送元の収納部4から収納容器2を取り出し、その収納容器2を物品移載装置38にて旋回させることなく搬送先の収納部4に収納することによって、搬送元の収納部4と同様に搬送先の収納部4においても、収納容器2のファンフィルタユニット64を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器2の前記出入り口側である蓋65を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器2を収納部4に収納させ、また、搬送元の収納部4と搬送先の収納部4とが異なる収納棚5である場合では、搬送元の収納部4から収納容器2を取り出し、その収納容器2を物品移載装置38にて180度旋回させた後に搬送先の収納部4に収納することによって、搬送元の収納部4と同様に搬送先の収納部4においても、収納容器2のファンフィルタユニット64を装備した側を移動空間側に位置させ且つ収納容器2の蓋65を装備した側を移動空間から離れる側に位置させる状態で収納容器2を収納部4に収納させるべく、スタッカークレーン10の作動を制御するように構成されている。
換言すると、横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体66の一端側の開口が、前記基板1を一枚ずつ出し入れするための出入り口72として構成され、前記容器本体66の他端側の開口から前記出入り口72に向けて通風するファンフィルタユニット64が、前記容器本体66における他端側の開口部に装備され、前記容器本体66における前記出入り口72を開閉する蓋65が、閉じ状態において一部を通気口75として開口し、且つ、開き状態において前記基板搬送装置7による前記基板1の搬送を許容する状態で、前記容器本体66の出入り口部に装備されている。
そして、一端側矩形枠93、他端側矩形枠94及び下側に位置する各枠材95には、収納棚5の収納部4に収納する際に載置支持される収納用支持部82が設けられており、一端側矩形枠93及び他端側矩形枠94には、スタッカークレーン10等の収納容器搬送装置8にて搬送する際に載置支持される搬送用支持部83が設けられている。
そして、FFU用枠体90には、非接触給電装置70の受電部70aが備えられており、収納部4の夫々において載置支持部32にて支持される状態で備えられた非接触給電装置70の給電部70b(図2参照)から供給された電力により3つのファンフィルタユニット64が作動するように構成されている。
また、FFU用枠体90には、受電部70aに供給された電力を蓄えるバッテリ71も備えられており、収納容器2をスタッカークレーン10にて搬送するとき等、受電部70aが給電部70bから離れて収納容器2に電力が供給されなくなる状態には、バッテリ71に蓄えられた電力にて3つのファンフィルタユニット64が作動するように構成されている。
図16に示すように、前記蓋65における前記通気口75は、前記出入り口72の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状に形成され且つ前記容器本体66に保持される複数枚の前記基板1の夫々に対応させた状態で上下方向に複数形成されている。
そして、図16(ロ)に示すように、前記蓋65が、前記基板1の出し入れを許容する開き状態において、前記出入り口72の横幅と略同じ横幅に亘るスリット状の基板出し入れ用口76を前記容器本体66に保持される複数枚の前記基板1に対応する箇所に形成する形態で、且つ、隣接する基板出し入れ用口76の間を閉じる形態で、前記出入り口72を開くように構成されている。
前記蓋65について説明を加えると、図16に示すように、前記出入り口72の横幅と略同じ横幅の蓋形成部材77の複数を、前記閉じ状態において隣接するものの間に前記通気口75を形成し且つ前記出入り口72の横幅方向に沿う軸芯周りで回転させた前記開き状態において隣接するものの間に前記基板出し入れ用口76を開口する形態で、前記出入り口72を開くように上下方向に並べて構成されている。
つまり、図16(イ)及び図17(イ)に示すように、蓋65閉じ状態とした状態では、複数の蓋形成部材77同士の間に通気口75が開口しているため、ファンフィルタユニット64にて、浄化空気を収納容器2の他端側の開口から出入り口72に向けて通風させて出入り口72における通気口75から排出させることができ、その通気口75は上下方向(通風方向と交差する方向)に沿う姿勢の複数の蓋形成部材77によって小さく形成されているため、その通気口75から排出される浄化空気は風速が速くなり、これによって収納容器2の出入り口72から収納容器2内への外気の侵入を防ぐことができる。
そして、図16(ロ)及び図17(ロ)に示すように、蓋65を開き状態とした状態では、複数の蓋形成部材77同士の間に通気口75より大きな基板出し入れ用口76が開口しているため、浄化空気を基板出し入れ用口76から基板1を出し入れすることができ、その基板出し入れ用口76から排出される浄化空気は、閉じ状態程ではないものの前後方向(通風方向)に沿う姿勢の複数の蓋形成部材77の存在によって風路が狭められて風速が速くなるため、これによって収納容器2の出入り口72から収納容器2内への外気の侵入を防ぐことができる。
また、複数の蓋形成部材77における隣接するもの同士の間には、上記の如く、閉じ状態においては通気口75が形成され、開き状態においては基盤出し入れ用口76が形成されているものであり、蓋65の開き状態や閉じ状態、並びに、蓋65をこれらの状態に切り換える際に互いに複数の蓋形成部材77が互いに接触することがないため、蓋形成部材77が互いに接触することによる発塵がなく、蓋65からの塵埃の発生を抑制することができる。
説明を加えると、図16(イ)に示すように、リンク部材79の基端部が、上下方向に沿う姿勢の蓋形成部材77の夫々に後ろ下方に延設される形態で一体回転するように連結され、このリンク部材79の夫々の遊端部が上下方向に沿う姿勢の前記連結棒80に回転自在に連結されており、蓋形成部材77の夫々が上下方向沿う姿勢となる閉じ状態において、連結棒80を上昇移動させることによって、蓋形成部材77の夫々が前後方向に沿う姿勢となる開き状態となり、また、蓋形成部材77の夫々が前後方向沿う姿勢となる開き状態において、連結棒80を下降移動させることによって、蓋形成部材77の夫々が上下方向に沿う姿勢となる閉じ状態となる。
つまり、基板処理設備においては、前記収納棚5に保管するとき及び前記収納容器搬送装置8にて搬送するときには、前記収納容器2の前記蓋65を閉じ状態として前記ファンフィルタユニット64にて通風することにより、前記基板1の清浄度が維持され、且つ、前記基板入出部6において前記基板搬送装置7にて前記基板1を搬送するときには、前記収納容器2の前記蓋65を開き状態として前記ファンフィルタユニット64にて通風すること並びに前記搬送エリア用の浄化空気通風手段25によって前記基板搬送エリア24の清浄度が維持されることにより、前記基板1の清浄度が維持する基板処理方法が用いられている。
つまり、図11及び図18に示すように、FFU用枠体90には、収納容器2を基板入出部6に載置するに伴って基板入出部6の載置支持部32に備えられたFFU用突起部106にて押し上げられて上昇移動し、且つ、収納容器2が基板入出部6から持ち上げられることによって自重により下降移動する昇降移動可能な検出片107と、検出片107の昇降移動を検出してその検出情報を前記制御部109に向けて送信するリミットスイッチにて構成された検出スイッチ108と、検出スイッチ108からの検出情報に基づいてファンフィルタユニット64の作動を制御する前記制御部109とが備えられており、制御部109は、検出片107が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット64の通風量を増大させ、検出片107が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット64の通風量を減少させるべく、検出スイッチ108の検出情報に基づいてファンフィルタユニット64の作動を制御するように構成されている。
そして、FFU用突起部106は、蓋用突起部81と同様に、基板入出部6以外の収納部4、並びに、スタッカークレーン10等の収納容器搬装置8には備えられていない。
従って、収納容器2を基板入出部6に位置させて蓋65が開き状態となった状態では、ファンフィルタユニット64の通風量は増大し、収納容器2を基板入出部6以外に位置させて蓋65が閉じ状態となった状態では、ファンフィルタユニット64の通風量が減少する。
ちなみに、蓋65が開き状態に切り換えられる前の時点で、ファンフィルタユニット64の通風量が増大し、蓋が閉じ状態に切り換えられた後の時点で、ファンフィルタユニットの通風量が減少するようにして、蓋65を開き状態に切り換えられる際や閉じ状態に切り換えられる際の蓋65から発生する塵埃によって収納容器2内の基板1が汚染されることを防止することが好ましく、このような蓋65の開き状態や閉じ状態への切り換えとファンフィルタユニット64の通風量の増減の関係は、蓋用突起部81及びFFU用突起部106の高さを調節することにより可能である。
つまり、図14に示すように、蓋用枠体78の上端部には、容器本体66における一端側矩形枠93の上部に上方から係合する蓋用係合部材99が設けられ、また、一端側矩形枠93の下端部には、蓋用枠体78を載置支持する状態で蓋用枠体78の下端部に形成された被係合溝78aに係合する蓋用係合支持板100が設けられており、蓋用係合部材99を一端側矩形枠93の上部に対して係脱し、且つ、蓋用係合支持板100を蓋用枠体78の被係合溝78aに対して係脱することにより、蓋65を容器本体66に対して着脱することができるように構成されている。
また、図15に示すように、FFU用枠体90の上端部には、容器本体66における他端側矩形枠94の上部に上方から係合するFFU用係合部材88が設けられ、また、他端側矩形枠94の下端部には、FFU用枠体90を載置支持する状態でFFU用枠体90の下端部に形成された被係合溝90aに係合するFFU用係合支持板89が設けられており、FFU用係合部材88を他端側矩形枠94の上部に対して係脱し、且つ、FFU用係合支持板89をFFU用枠体90の被係合溝90aに対して係脱することにより、ファンフィルタユニット10を給電部70bやバッテリ71とともに容器本体66に対して着脱することができるように構成されている。
(1) 上記実施の形態では、収納容器2の出入り口部に収納容器2の出入り口72を開閉する蓋65を装備したが、収納容器2の出入り口部に収納容器2の出入り口72を開閉する蓋65を装備しなくてもよい。
また、上記実施の形態では、収納棚5を対向する状態で一対設けたが、収納棚5を1つだけ設けてもよい。
つまり、収納棚5に保管するとき、収納容器搬送装置8にて搬送するとき、及び、基板入出部6において基板搬送装置7にて基板1を搬送するときにおいて、収納容器2のファンフィルタユニット64の通風量を一定に維持するようにしてもよい。
また、収納容器搬送装置8にて搬送するときは、収納棚5に保管するときより収納容器2のファンフィルタユニット64の通風量を増大させ、基板入出部6において基板搬送装置7にて基板搬送するときは、収納容器搬送装置8にて搬送するときよりファンフィルタユニット64の通風量を増大させるというように、収納棚5に保管するときと、収納容器搬送装置8にて搬送するときと、基板入出部6において基板搬送装置7にて基板搬送するときとで、収納容器2のファンフィルタユニット64の通風量を変更するようにしてもよい。つまり、収納容器搬送装置8にて搬送するときにおいても、収納容器2のファンフィルタユニット64の通風量を増大させるようにしてもよい。ちなみに、収納容器搬送装置8にて搬送するときの通風量は、基板入出部6において基板搬送装置7にて基板搬送するときと同じでもよく、また、多くてもよい。
つまり、例えば、複数の蓋形成部材77を複数枚のグループ単位で回転操作するように構成した場合では、複数の蓋形成部材77における上半分の蓋形成部材77には、横幅方向一方側端部にリンク部材79を介して一方側の連結棒80を連結し、複数の蓋形成部材77における下半分の蓋形成部材77には、横幅方向他方側端部にリンク部材79を介して他方側の連結棒80を連結して、一方側の連結棒80の操作により上半分の蓋形成部材77を前後方向に沿う姿勢として収納容器2の上半分で基板1の出し入れを行い、他方側の連結棒80の操作により下半分の蓋形成部材77を前後方向に沿う姿勢として収納容器2の下半分で基板1の出し入れを行うように構成してもよい。
つまり、蓋用枠体78に、連結棒80の昇降移動を検出してその検出信号を制御部109に向けて送信する検出手段を備え、制御部109を、蓋65が開き状態となる連結棒80が上昇移動した状態では、ファンフィルタユニット64の通風量を増大させ、蓋65が閉じ状態となる連結棒80が下降移動した状態では、ファンフィルタユニット64の通風量を減少させるべく、検出手段の検出情報に基づいてファンフィルタユニット64の作動を制御するように構成してもよい。
ちなみに、検出手段から制御部109への検出情報の送信は、蓋用枠体78側及びFFU用枠体90側と分離可能に接続したケーブルを容器本体66に設けて有線で行ってもよく、また、蓋用枠体78に送信機を設け、FFU用枠体90に受信機を設けて無線で行ってもよい。
2 収納容器
4 収納部
5 収納棚
8 収納容器搬送装置
9 入出庫部
38 旋回手段
64 ファンフィルタユニット
65 蓋
72 出入り口
A 基板収納設備
H 制御手段
Claims (4)
- 矩形状の基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器を収納する複数の収納部を備えた収納棚と、
前記収納容器の入出庫部と、
前記収納棚の前方の移動空間を棚横幅方向に走行自在で、且つ、前記収納容器を前記入出庫部及び前記収納棚における前記収納部に搬送する収納容器搬送装置と、
前記収納容器搬送装置の作動を制御する制御手段とが備えられている基板収納設備であって、
前記収納容器が、横倒れ姿勢の四角筒状に形成されて、その一端側の開口が、前記基板を出し入れするための出入り口として構成され、
前記収納容器の他端側の開口から前記出入り口に向けて通風するファンフィルタユニットが、前記収納容器における他端側の開口部に装備され、
前記制御手段が、前記収納容器の前記ファンフィルタユニットを装備した側を前記移動空間側に位置させ且つ前記収納容器の前記出入り口側を前記移動空間から離れる側に位置させる状態で前記収納容器を前記収納部に収納するように前記収納容器搬送装置の作動を制御するように構成されている基板収納設備。 - 前記収納容器の前記出入り口を開閉する蓋が、閉じ状態において一部を開口する状態で、前記収納容器の出入り口部に装備されている請求項1記載の基板収納設備。
- 前記収納棚が、互いに対向する状態で一対設けられ、
前記収納容器搬送装置が、支持した収納容器を旋回させる旋回手段を備えて構成され、
前記制御手段が、一対の前記収納棚のいずれにおいても、
前記収納容器の前記ファンフィルタユニットを装備した側を前記移動空間側に位置させ且つ前記収納容器の前記出入り口側を前記移動空間から離れる側に位置させる状態で前記収納容器を前記収納部に収納するように前記収納容器搬送装置の作動を制御するように構成されている請求項1又は2記載の基板収納設備。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板収納設備が装備された基板処理設備であって、
浄化空気を天井部より床部に通風するダウンフローのクリーン空間内に、前記基板収納設備が周囲を開放する状態で装備されている基板処理設備。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006248172A JP4807579B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 基板収納設備及び基板処理設備 |
TW102126917A TWI498265B (zh) | 2006-09-13 | 2007-08-30 | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
TW096132237A TWI409200B (zh) | 2006-09-13 | 2007-08-30 | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
TW102117218A TWI503265B (zh) | 2006-09-13 | 2007-08-30 | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
KR1020070089981A KR101178787B1 (ko) | 2006-09-13 | 2007-09-05 | 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동방법 |
CN2007101489570A CN101143644B (zh) | 2006-09-13 | 2007-09-12 | 基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法 |
US11/900,630 US8118530B2 (en) | 2006-09-13 | 2007-09-12 | Substrate storage facility and substrate processing facility, and method for operating substrate storage |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006248172A JP4807579B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 基板収納設備及び基板処理設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008068964A true JP2008068964A (ja) | 2008-03-27 |
JP4807579B2 JP4807579B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=39188791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006248172A Active JP4807579B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 基板収納設備及び基板処理設備 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8118530B2 (ja) |
JP (1) | JP4807579B2 (ja) |
KR (1) | KR101178787B1 (ja) |
CN (1) | CN101143644B (ja) |
TW (3) | TWI409200B (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009263035A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送装置 |
JP2009263034A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送装置 |
CN101673698A (zh) * | 2008-09-12 | 2010-03-17 | 株式会社大福 | 基板运送设备 |
KR101110621B1 (ko) * | 2008-09-12 | 2012-02-28 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 기판용 수납 용기와 기판용 수납 용기를 위한 기판 반송 설비 |
KR101191846B1 (ko) * | 2008-04-22 | 2012-10-16 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치 |
CN102947202A (zh) * | 2010-06-18 | 2013-02-27 | 日挥株式会社 | 处理设备 |
JP2017095183A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
CN107804638A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 株式会社大福 | 物品容纳设备 |
KR20180035122A (ko) | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금 장치 |
KR101916784B1 (ko) | 2011-09-22 | 2018-11-08 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 청정 공기 송풍 유닛 |
TWI726146B (zh) * | 2016-09-09 | 2021-05-01 | 日商大福股份有限公司 | 物品收納設備 |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050038134A (ko) * | 2003-10-21 | 2005-04-27 | 삼성전자주식회사 | 기판 스토킹 시스템 |
DE102007051726A1 (de) * | 2007-10-25 | 2009-04-30 | Hänel & Co. | Lageranordnung mit vorgebbarer Lagerungsatmosphäre |
JP5234328B2 (ja) * | 2008-04-11 | 2013-07-10 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP5136860B2 (ja) * | 2008-09-12 | 2013-02-06 | 株式会社ダイフク | 基板搬送設備 |
JP5083221B2 (ja) * | 2009-01-05 | 2012-11-28 | パナソニック株式会社 | パレット自動交換装置 |
CN101492118B (zh) * | 2009-02-10 | 2012-02-08 | 友达光电股份有限公司 | 减少洁净室的扬尘的方法、仓储系统及其移载装置 |
JP5282971B2 (ja) * | 2009-07-14 | 2013-09-04 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5273479B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2013-08-28 | 株式会社ダイフク | 基板用収納容器、及び、それを搬送する搬送設備 |
JP5168594B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2013-03-21 | 株式会社ダイフク | 基板搬送設備 |
ES2351003B1 (es) * | 2010-06-29 | 2011-08-12 | Mecalux, S.A. | Transelevador para la manipulación de paletas, dispositivo de extracción de paletas y sistema de almacenamiento de mercancías. |
JP5477651B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2014-04-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US9728435B2 (en) | 2010-10-21 | 2017-08-08 | Ebara Corporation | Plating apparatus and plating method |
KR101638222B1 (ko) * | 2010-12-15 | 2016-07-08 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판처리 시스템 및 표시소자의 제조방법 |
AU2012227886A1 (en) * | 2011-03-11 | 2013-10-24 | Venkataraman Subramanian | Multi level automated storage and handling system for containers and bulky objects |
JP5366030B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-12-11 | 村田機械株式会社 | クリーンルーム用の自動倉庫 |
CN102616576B (zh) * | 2012-03-26 | 2014-04-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种码垛设备及其空气洁净系统 |
US20140079518A1 (en) * | 2012-09-19 | 2014-03-20 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Stacking Crane System and the Stacking Crane Thereof |
US9347681B2 (en) | 2012-09-26 | 2016-05-24 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Cleanroom |
CN102865640B (zh) * | 2012-09-26 | 2015-01-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 洁净室 |
CN102864952B (zh) * | 2012-09-26 | 2014-12-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 洁净室及其净化单元 |
US20140087649A1 (en) * | 2012-09-26 | 2014-03-27 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. | Cleanroom and Cleaning Apparatus |
CN103754543B (zh) * | 2014-01-28 | 2016-01-13 | 中国联合工程公司 | 一种琴键式堆垛机装置 |
JP6430870B2 (ja) * | 2015-03-20 | 2018-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置 |
JP6607744B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-11-20 | リンテック株式会社 | 供給装置および供給方法 |
JP6729115B2 (ja) * | 2016-03-31 | 2020-07-22 | 株式会社ダイフク | 容器収納設備 |
JP6675257B2 (ja) * | 2016-04-14 | 2020-04-01 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき方法 |
JP6695750B2 (ja) * | 2016-07-04 | 2020-05-20 | 株式会社荏原製作所 | 基板ホルダの検査装置、これを備えためっき装置、及び外観検査装置 |
CN108459423B (zh) * | 2017-02-21 | 2020-05-12 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 缓存装置和液晶屏生产线 |
CN110831873B (zh) * | 2017-06-30 | 2021-07-16 | 村田机械株式会社 | 搬运系统以及搬运方法 |
KR102244639B1 (ko) * | 2018-10-22 | 2021-04-26 | (주)크래프터 | 클린룸 구조 |
CN113169103A (zh) * | 2018-11-28 | 2021-07-23 | 昕芙旎雅有限公司 | 晶片储存器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04131636A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-06 | Kondo Kogyo Kk | クリーンストッカー装置 |
JP2001130708A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-15 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫システム |
JP2001308169A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Kaapu:Kk | カセット用ボックス及び同ボックスの自動搬送装置並びに同装置の制御方法。 |
JP2003252405A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-10 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2158074A (en) * | 1936-05-09 | 1939-05-16 | Francis C Kilb | Air circulating device |
US3073039A (en) * | 1960-07-21 | 1963-01-15 | Williams Mary Blair | Drying cabinet |
JP2905857B2 (ja) * | 1989-08-11 | 1999-06-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型処理装置 |
US5162047A (en) * | 1989-08-28 | 1992-11-10 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat treatment apparatus having wafer transfer mechanism and method for transferring wafers |
US5221201A (en) * | 1990-07-27 | 1993-06-22 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat treatment apparatus |
US5261935A (en) * | 1990-09-26 | 1993-11-16 | Tokyo Electron Sagami Limited | Clean air apparatus |
TW245823B (ja) * | 1992-10-05 | 1995-04-21 | Tokyo Electron Co Ltd | |
US5370576A (en) * | 1993-01-13 | 1994-12-06 | Eleanor L. Sackett | Sidewall vent-mounted fan assembly for a truck cab |
JP3258748B2 (ja) * | 1993-02-08 | 2002-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
US5527390A (en) * | 1993-03-19 | 1996-06-18 | Tokyo Electron Kabushiki | Treatment system including a plurality of treatment apparatus |
KR0179405B1 (ko) | 1993-04-12 | 1999-04-15 | 마스다 쇼오이치로오 | 크린장치가 부착된 하물보관설비 |
KR100221983B1 (ko) * | 1993-04-13 | 1999-09-15 | 히가시 데쓰로 | 처리장치 |
JP3163884B2 (ja) * | 1994-02-18 | 2001-05-08 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
JP3239977B2 (ja) * | 1994-05-12 | 2001-12-17 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
US5464475A (en) * | 1994-05-20 | 1995-11-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Work-in-process storage pod |
JPH08213446A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-08-20 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP3654684B2 (ja) * | 1995-05-01 | 2005-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理方法及び処理装置 |
JP3478364B2 (ja) * | 1995-06-15 | 2003-12-15 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
KR100646906B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
NL1010317C2 (nl) * | 1998-10-14 | 2000-05-01 | Asm Int | Sorteer/opslaginrichting voor wafers en werkwijze voor het hanteren daarvan. |
US6641349B1 (en) * | 1999-04-30 | 2003-11-04 | Tdk Corporation | Clean box, clean transfer method and system |
JP2001060610A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-03-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、処理装置、基板の処理システム、搬送方法、収納装置および収容ボックス |
JP3916380B2 (ja) * | 1999-07-06 | 2007-05-16 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送容器待機ステーション |
JP3939101B2 (ja) * | 2000-12-04 | 2007-07-04 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送方法および基板搬送容器 |
JP3788296B2 (ja) * | 2001-09-10 | 2006-06-21 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム用の物品保管設備 |
JP2003093825A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-02 | Ebara Corp | ガス除去方法及びガス除去フィルタ |
JP4218260B2 (ja) * | 2002-06-06 | 2009-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム |
JP4397646B2 (ja) * | 2003-07-30 | 2010-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2006
- 2006-09-13 JP JP2006248172A patent/JP4807579B2/ja active Active
-
2007
- 2007-08-30 TW TW096132237A patent/TWI409200B/zh active
- 2007-08-30 TW TW102126917A patent/TWI498265B/zh active
- 2007-08-30 TW TW102117218A patent/TWI503265B/zh active
- 2007-09-05 KR KR1020070089981A patent/KR101178787B1/ko active IP Right Grant
- 2007-09-12 US US11/900,630 patent/US8118530B2/en active Active
- 2007-09-12 CN CN2007101489570A patent/CN101143644B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04131636A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-06 | Kondo Kogyo Kk | クリーンストッカー装置 |
JP2001130708A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-15 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫システム |
JP2001308169A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Kaapu:Kk | カセット用ボックス及び同ボックスの自動搬送装置並びに同装置の制御方法。 |
JP2003252405A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-10 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI410365B (zh) * | 2008-04-22 | 2013-10-01 | Daifuku Kk | 物品搬運裝置(二) |
JP4688004B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2011-05-25 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
JP2009263035A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送装置 |
JP4577589B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2010-11-10 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
TWI411564B (zh) * | 2008-04-22 | 2013-10-11 | Daifuku Kk | 物品搬運裝置(一) |
JP2009263034A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送装置 |
KR101191846B1 (ko) * | 2008-04-22 | 2012-10-16 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치 |
KR101110621B1 (ko) * | 2008-09-12 | 2012-02-28 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 기판용 수납 용기와 기판용 수납 용기를 위한 기판 반송 설비 |
CN101673698A (zh) * | 2008-09-12 | 2010-03-17 | 株式会社大福 | 基板运送设备 |
CN102947202A (zh) * | 2010-06-18 | 2013-02-27 | 日挥株式会社 | 处理设备 |
KR101916784B1 (ko) | 2011-09-22 | 2018-11-08 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 청정 공기 송풍 유닛 |
JP2017095183A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
TWI689028B (zh) * | 2015-11-18 | 2020-03-21 | 日商大福股份有限公司 | 搬運裝置 |
CN107804638A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 株式会社大福 | 物品容纳设备 |
TWI726146B (zh) * | 2016-09-09 | 2021-05-01 | 日商大福股份有限公司 | 物品收納設備 |
KR20180035122A (ko) | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금 장치 |
US10508355B2 (en) | 2016-09-28 | 2019-12-17 | Ebara Corporation | Plating apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201336756A (zh) | 2013-09-16 |
US20080069672A1 (en) | 2008-03-20 |
TW201350406A (zh) | 2013-12-16 |
US8118530B2 (en) | 2012-02-21 |
KR101178787B1 (ko) | 2012-09-07 |
JP4807579B2 (ja) | 2011-11-02 |
TWI503265B (zh) | 2015-10-11 |
TW200821237A (en) | 2008-05-16 |
CN101143644B (zh) | 2012-03-21 |
TWI498265B (zh) | 2015-09-01 |
KR20080024974A (ko) | 2008-03-19 |
CN101143644A (zh) | 2008-03-19 |
TWI409200B (zh) | 2013-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
JP4756372B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP4953010B2 (ja) | 基板収納用の収納容器 | |
KR100870610B1 (ko) | 물품 수납설비 | |
JP3788296B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
TWI511912B (zh) | 物品搬送裝置 | |
TW201020185A (en) | Automatic warehouse for clean room and article keeping method therein | |
JP5273479B2 (ja) | 基板用収納容器、及び、それを搬送する搬送設備 | |
JP4378659B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
JP4780396B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
JP4378652B2 (ja) | 浄化空気通風式の物品保管設備 | |
JP3882139B2 (ja) | クリーン搬送車 | |
TWI406804B (zh) | Plate-type goods with a van | |
JP4780401B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
JP4623381B2 (ja) | 物品収納設備 | |
JP4666227B2 (ja) | 物品保管設備 | |
JP2009007125A (ja) | 物品搬送車 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110721 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110803 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140826 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4807579 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |