JPH04131636A - クリーンストッカー装置 - Google Patents
クリーンストッカー装置Info
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- JPH04131636A JPH04131636A JP25249090A JP25249090A JPH04131636A JP H04131636 A JPH04131636 A JP H04131636A JP 25249090 A JP25249090 A JP 25249090A JP 25249090 A JP25249090 A JP 25249090A JP H04131636 A JPH04131636 A JP H04131636A
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
品等の塵埃を嫌う物を清浄空気雰囲気内において保管す
るクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管箱
に関するものである。
ように基台41の前面側にプレフィルタ42が、また背
面側に)7ン43が夫々装置され、且つ基台41の背面
より上方へ立設されたダクト44の前面側にフィルタ4
5が設置されると共に、該フィルタ45の前方部に夫々
LSI、超LSI等の物品を載置する棚板46が複数段
に亘って固定されているものが広く知られていた。
プレフィルタ42とファン43を介して吸引した汚染空
気を、プレフィルタ42とフィルタ45によって濾過し
て清浄空気としてフィルタ45から送風し、棚板46上
の物品を清浄空気雰囲気内に置くように形成されている
が、この従来のものは蓋の全くないオープンタイプであ
るため、清浄空気の温度を調節して収納物品の長期保存
を図るようにすることができないという問題点がおった
。
するクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管
箱を提供しようとするものである。
定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方
開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気
小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠板
、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して方
形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定間
隔を置いて側部区画壁を固定して環流通路を設け、且つ
前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固定
して圧力調整至を設け、更に前記上枠板の下面に所定間
隔を置いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれぞ
れ設けると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁および
上部区画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシン
グを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部を
固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口した
前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシング
の前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の各
対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保管
箱の各外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケー
シングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を設
け、更に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設し
て保管箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通路
の下部にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通し
、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とした
室内空気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通し、
前記各側部区画壁の上方部に、連通口を穿設して環流通
路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前記
送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライドダ
ンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排気
口を設けるという手段を採用することにより、上記問題
点を解決した。
ながら、収納物品を清浄空気雰囲気内に置くと共に、必
要があれば冷気または空白空気を吸入して温度調節が可
能である。
板1、両側板2,2および下板3を方形枠状に接合固定
すると共に、後方開口部にプリーツ状濾紙よりなるフィ
ルター4を固着し、且つ該フィルター4の前面にフィル
ター4を保護するパンチングメタル5を張設固定し、そ
して前方開口部に開閉M6を開閉自在に取付け、更に前
記開閉M6に接近した位置の両側板2,2、上板1およ
び下板3に、それぞれ通気小孔7を穿設して、LSI、
超LSI、ウェハー、医療器具、食品等の塵埃を嫌う物
品Gを保管する保管箱8を形成する。
配設固定されるが、該ケーシング9は次のように構成さ
れている。すなわち、上枠板10、両側枠板11,11
.下枠板12および背面枠板13をそれぞれ前方側を開
口して方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板11.
11の内面に所定間隔を置いてそれぞれ両測部区画壁1
4.14を設けて、前記両側枠板11.11および両測
部区画214.14間の前面側を側部遮蔽板11a。
を置いて底部区画壁]5を前記両測部区画壁14.14
間に接合固定して、前記下枠板12と底部区画壁15間
の前面側を底部遮蔽板12aで遮蔽し、更に上枠板10
の下面に所定間隔を置いて上部区画壁16を前記両測部
区画壁14,14間に接合固定して、前記上枠板10と
上部区画壁16間の前面側を上部遮蔽板10aで遮蔽し
、それぞれ前記両測部区画壁14.14、底部区画壁1
5および上部区画壁16に囲繞された保管箱収納室17
を形成すると共に、前記両測部区画壁14.14と両側
枠板1’l、11間の空間を環流通路18とし、且つ底
部区画壁15と下枠板12間の空間を圧力調整室19と
し、更に上部区画壁16と上枠板10fJの空間を、保
管箱収納室17へ送気する送風機20を収納する送風機
収納室21として、ケーシング9が形成されている。
部22.23をそれぞれ上下・左右に一定間隔を置いて
複数個開口した前部取付板24と後部取付板25とが、
それぞれケーシング9の前面部と中間部に固着されると
共に、前記各それぞれ対応する開口部22.23に前記
各保管箱8を嵌挿して固定し、両側端および上下端に位
置する各保管箱8と各側部区画壁14問および上、底部
区画壁16,15間と、そして中間部に位置する各保管
箱8の互いに相隣る保管箱8間に、それぞれ前・後部取
付板24.25によって密閉された一定間隔を有し、且
つ方形状に連続した排気通路26を形成すると共に、各
保管箱8のフィルター4部分に前記送風機20より送気
する送気空間27が、ケーシング9の背面枠板13と各
保管箱8の背面部間に形成されている。゛ 前記保管箱収納室17の、両測部区画壁14゜14の下
方には、それぞれ各保管箱8からの排気を前記排気通路
26から環流通路18へ前記送風vs20の作用により
吸引する通気孔28が設けられている。また、前記底部
区画壁15に前記送気空間27と圧力調整室19とを連
通する複数個のスライドダンパー29が取付けられると
共に、前記圧力調整室19の壁面に複数個の排気口30
が設けられていて、送風機20より送気空間27内に送
気された空気を均一に各保管N8のフィルター4へ送気
するため、送気された空気の圧力が高い場合はスライド
ダンパー29を開いて、空気を圧力調整室19へ逃して
複数個の排気口30より外部へ排出して、送気空間27
内の圧力を調整できるようになっている。
環流通路1B内の空気を送風機20で吸引して送気空間
27へ送気するため、両測部区画壁14.14の上方に
穿設された吸引孔31を介して連通している。
付けた冷風送気用ダクト33が夫々連通されており、保
管箱8内に収納された物品Gに冷風が必要な場合、前記
各ダンパー32を開いて冷風送気用ダクト33から環流
通路18内に冷風を送気して、温度の調整かできるよう
になっている。
34を開口して環流通路18と連通し、前記吸込口34
の前面に設けられたシャッター35により該吸込口34
を開閉できるように構成されてあり、前記保管箱8内の
気温が上昇し、室内の空気を送気して保管箱内を室内空
気と同一温度に維持するときに、前記各シャッター35
を所要中に開放して各吸込口34より室内空気を環流通
路18内に送気して、温度の調整ができるようになって
いる。
2、上板1および下板3にそれぞれ通気小孔7が穿設さ
れているが、収納する物品Gの種類ヤ送気量等によって
、前記通気小孔7を両側板2.2のみに、または上板]
と下板3に、あるいは上板1または下板3のいずれかに
、更には両側板2.2と上板1または下板3のいずれか
に設けることもできる。
箱8に開閉蓋6を開けて、例えばLSI。
品Gを収納し、開閉蓋6を閉じて送風機20を作動させ
て送気空間27内に送気すると、各保管箱8の背面に固
設されたフィルター4によって塵埃が濾過されて清浄空
気が保管箱8内に送気されて、前記物品Gを清浄空気雰
囲気内に置くと共に、次々にフィルター4を通して清浄
空気が送気されるために、保管箱8の前方側の開閉蓋6
付近に設けられた通気小孔7より保管箱8内の空気が碁
盤線状に連続した排気通路26へ排気される。
0の吸引作動により、排気通路26は負圧となり前記排
気された空気はすべて下方側へ流れ、通気孔28より環
流通路18.吸引孔31を経て送風120によって吸引
され再び送気空間27に送気され、以下前記と同じ動作
を繰返す。そして、前記動作中において必要がおれば、
スライドダンパー29を開いて送気空間27内の空気圧
力を調整したり、またはダンパー32を開いて冷風を環
流通路18に送気したり、おるいはシャッター35を開
いて吸込口34より室内空気を環流通路18に送気して
保管箱8内の空気の温度の調整をすることができる。
ら、常時空気を循環させてフィルターによって清浄空気
とし、この清浄空気を保管箱内に送気して収納物品を清
浄空気雰囲気内に置いて保管することができ、然も冷風
または室内空気を吹込んで温度調節も可能であるため、
特にLSI。
物品の保管に最適でおる。また、圧力調整室があるため
に、送風機によって送気空間へ送気された空気の各保管
箱のフィルターの通過風量を均一にすることが可能でお
る。
1図A−A線概略断面図、第3図は第1図B−B線概略
断面図、第4図は全体の概略斜視図、第5図は保管箱の
一部を切欠した拡大斜視図、第6図は従来のクリーンス
トッカー装置の概略縦断面図である。 図中、1は上板、2は側板、3は下板、4はフィルター
、6は開閉蓋、7は通気小孔、8は保管箱、9はケーシ
ング、10は上枠板、11は側枠板、12は下枠板、1
3は背面枠板、14は側部区画!、15は底部区画壁、
16は上部区画壁、17は保管箱収納室、18は環流通
路、19は圧力調整室、2Qは送風機、21は送風機収
納室、22.23は取付開口部、24は前部取付板、2
5は後部取付板、26は排気通路、27は送気空間、2
Bは通気孔、29はスライドダンパー、30は排気口、
31は吸引孔、32はダンパー、33は冷風送気用ダク
ト、34は吸込口、35はシャッターである。 平成2年9月21日 第 因 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 上板、両側板および下板を方形枠状に接合固定する
と共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方開口部
に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気小孔を
設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠板、下枠
板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して方形箱状
に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定間隔を置
いて側部区画壁を固定して環流通路を設け、且つ前記下
枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固定して圧
力調整室を設け、更に前記上枠板の下面に所定間隔を置
いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれぞれ設け
ると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁および上部区
画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシングを形
成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部を固定す
る取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口した前部取
付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシングの前面
部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の各対面す
る取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保管箱の各
外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケーシング
の背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を設け、更
に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設して保管
箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通路の下部
にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通し、且つ
前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とした室内空
気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通し、前記各
側部区画壁の上方部に連通口を穿設して環流通路と送風
機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前記送気空間
と圧力調整室とを連通する複数個のスライドダンパーを
取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排気口を設け
たことを特徴とするクリーンストッカー装置。 2 通気小孔が、上板、両側板および下板に穿設された
ことを特徴とする請求項1記載のクリーンストッカー装
置。 3 通気小孔が、上板および下板に穿設されたことを特
徴とする請求項1記載のクリーンストッカー装置。 4 通気小孔が、両側板に穿設されたことを特徴とする
請求項1記載のクリーンストッカー装置。 5 通気小孔が、上板に穿設されたことを特徴とする請
求項1記載のクリーンストッカー装置。 6 通気小孔が、下板に穿設されたことを特徴とする請
求項1記載のクリーンストッカー装置。 7 上板、両側板および下板を方形枠状に接合固定する
と共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方開口部
に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気小孔を
設けたことを特徴とするクリーンストッカー装置に用い
る保管箱。 8 通気小孔が、上板、両側板および下板に穿設された
ことを特徴とする請求項7記載のクリーンストッカー装
置に用いる保管箱。 9 通気小孔が、上板および下板に穿設されたことを特
徴とする請求項7記載のクリーンストッカー装置に用い
る保管箱。 10 通気小孔が、両側板に穿設されたことを特徴とす
る請求項7記載のクリーンストッカー装置に用いる保管
箱。 11 通気小孔が、上板に穿設されたことを特徴とする
請求項7記載のクリーンストッカー装置に用いる保管箱
。 12 通気小孔が、下板に穿設されたことを特徴とする
請求項7記載のクリーンストッカー装置に用いる保管箱
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04131636A true JPH04131636A (ja) | 1992-05-06 |
JPH0660758B2 JPH0660758B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17238098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2252490A Expired - Fee Related JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0660758B2 (ja) |
Cited By (6)
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JPS6186630U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-06 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252490A patent/JPH0660758B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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---|---|
JPH0660758B2 (ja) | 1994-08-10 |
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