JPH04131636A - クリーンストッカー装置 - Google Patents
クリーンストッカー装置Info
- Publication number
- JPH04131636A JPH04131636A JP25249090A JP25249090A JPH04131636A JP H04131636 A JPH04131636 A JP H04131636A JP 25249090 A JP25249090 A JP 25249090A JP 25249090 A JP25249090 A JP 25249090A JP H04131636 A JPH04131636 A JP H04131636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- storage box
- air
- fixed
- stocker device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 36
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005273 aeration Methods 0.000 abstract 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＬＳｌ、超ＬＳＩ、ウェハー、医療器臭、食
品等の塵埃を嫌う物を清浄空気雰囲気内において保管す
るクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管箱
に関するものである。
品等の塵埃を嫌う物を清浄空気雰囲気内において保管す
るクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管箱
に関するものである。
［従来の技術１
従来のクリーンストッカー装置としては、第６図に示す
ように基台４１の前面側にプレフィルタ４２が、また背
面側に）７ン４３が夫々装置され、且つ基台４１の背面
より上方へ立設されたダクト４４の前面側にフィルタ４
５が設置されると共に、該フィルタ４５の前方部に夫々
ＬＳＩ、超ＬＳＩ等の物品を載置する棚板４６が複数段
に亘って固定されているものが広く知られていた。
ように基台４１の前面側にプレフィルタ４２が、また背
面側に）７ン４３が夫々装置され、且つ基台４１の背面
より上方へ立設されたダクト４４の前面側にフィルタ４
５が設置されると共に、該フィルタ４５の前方部に夫々
ＬＳＩ、超ＬＳＩ等の物品を載置する棚板４６が複数段
に亘って固定されているものが広く知られていた。
［発明が解決しようとする課題１
しかしながら、上記従来のクリーンストッカー装置は、
プレフィルタ４２とファン４３を介して吸引した汚染空
気を、プレフィルタ４２とフィルタ４５によって濾過し
て清浄空気としてフィルタ４５から送風し、棚板４６上
の物品を清浄空気雰囲気内に置くように形成されている
が、この従来のものは蓋の全くないオープンタイプであ
るため、清浄空気の温度を調節して収納物品の長期保存
を図るようにすることができないという問題点がおった
。
プレフィルタ４２とファン４３を介して吸引した汚染空
気を、プレフィルタ４２とフィルタ４５によって濾過し
て清浄空気としてフィルタ４５から送風し、棚板４６上
の物品を清浄空気雰囲気内に置くように形成されている
が、この従来のものは蓋の全くないオープンタイプであ
るため、清浄空気の温度を調節して収納物品の長期保存
を図るようにすることができないという問題点がおった
。
本発明は、かかる従来の問題点を解決することを目的と
するクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管
箱を提供しようとするものである。
するクリーンストッカー装置および該装置に用いる保管
箱を提供しようとするものである。
［課題を解決するための手段１
本発明は、上板、両側板および下板を方形枠状に接合固
定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方
開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気
小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠板
、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して方
形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定間
隔を置いて側部区画壁を固定して環流通路を設け、且つ
前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固定
して圧力調整至を設け、更に前記上枠板の下面に所定間
隔を置いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれぞ
れ設けると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁および
上部区画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシン
グを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部を
固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口した
前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシング
の前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の各
対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保管
箱の各外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケー
シングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を設
け、更に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設し
て保管箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通路
の下部にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通し
、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とした
室内空気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通し、
前記各側部区画壁の上方部に、連通口を穿設して環流通
路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前記
送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライドダ
ンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排気
口を設けるという手段を採用することにより、上記問題
点を解決した。
定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方
開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気
小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠板
、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して方
形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定間
隔を置いて側部区画壁を固定して環流通路を設け、且つ
前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固定
して圧力調整至を設け、更に前記上枠板の下面に所定間
隔を置いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれぞ
れ設けると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁および
上部区画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシン
グを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部を
固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口した
前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシング
の前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の各
対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保管
箱の各外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケー
シングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を設
け、更に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設し
て保管箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通路
の下部にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通し
、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とした
室内空気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通し、
前記各側部区画壁の上方部に、連通口を穿設して環流通
路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前記
送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライドダ
ンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排気
口を設けるという手段を採用することにより、上記問題
点を解決した。
［作用コ
上記構成より成る本発明によれば、常時空気を循環させ
ながら、収納物品を清浄空気雰囲気内に置くと共に、必
要があれば冷気または空白空気を吸入して温度調節が可
能である。
ながら、収納物品を清浄空気雰囲気内に置くと共に、必
要があれば冷気または空白空気を吸入して温度調節が可
能である。
［実施例］
本発明の実施の一例を図に就いて詳細に説明するに、上
板１、両側板２，２および下板３を方形枠状に接合固定
すると共に、後方開口部にプリーツ状濾紙よりなるフィ
ルター４を固着し、且つ該フィルター４の前面にフィル
ター４を保護するパンチングメタル５を張設固定し、そ
して前方開口部に開閉Ｍ６を開閉自在に取付け、更に前
記開閉Ｍ６に接近した位置の両側板２，２、上板１およ
び下板３に、それぞれ通気小孔７を穿設して、ＬＳＩ、
超ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等の塵埃を嫌う物
品Ｇを保管する保管箱８を形成する。
板１、両側板２，２および下板３を方形枠状に接合固定
すると共に、後方開口部にプリーツ状濾紙よりなるフィ
ルター４を固着し、且つ該フィルター４の前面にフィル
ター４を保護するパンチングメタル５を張設固定し、そ
して前方開口部に開閉Ｍ６を開閉自在に取付け、更に前
記開閉Ｍ６に接近した位置の両側板２，２、上板１およ
び下板３に、それぞれ通気小孔７を穿設して、ＬＳＩ、
超ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等の塵埃を嫌う物
品Ｇを保管する保管箱８を形成する。
前記保管箱８は所定間隔を置いてケーシング９に複数個
配設固定されるが、該ケーシング９は次のように構成さ
れている。すなわち、上枠板１０、両側枠板１１，１１
．下枠板１２および背面枠板１３をそれぞれ前方側を開
口して方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板１１．
１１の内面に所定間隔を置いてそれぞれ両測部区画壁１
４．１４を設けて、前記両側枠板１１．１１および両測
部区画２１４．１４間の前面側を側部遮蔽板１１ａ。
配設固定されるが、該ケーシング９は次のように構成さ
れている。すなわち、上枠板１０、両側枠板１１，１１
．下枠板１２および背面枠板１３をそれぞれ前方側を開
口して方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板１１．
１１の内面に所定間隔を置いてそれぞれ両測部区画壁１
４．１４を設けて、前記両側枠板１１．１１および両測
部区画２１４．１４間の前面側を側部遮蔽板１１ａ。
１１ａで遮蔽し、且つ前記下枠板１２の上面に所定間隔
を置いて底部区画壁］５を前記両測部区画壁１４．１４
間に接合固定して、前記下枠板１２と底部区画壁１５間
の前面側を底部遮蔽板１２ａで遮蔽し、更に上枠板１０
の下面に所定間隔を置いて上部区画壁１６を前記両測部
区画壁１４，１４間に接合固定して、前記上枠板１０と
上部区画壁１６間の前面側を上部遮蔽板１０ａで遮蔽し
、それぞれ前記両測部区画壁１４．１４、底部区画壁１
５および上部区画壁１６に囲繞された保管箱収納室１７
を形成すると共に、前記両測部区画壁１４．１４と両側
枠板１’ｌ、１１間の空間を環流通路１８とし、且つ底
部区画壁１５と下枠板１２間の空間を圧力調整室１９と
し、更に上部区画壁１６と上枠板１０ｆＪの空間を、保
管箱収納室１７へ送気する送風機２０を収納する送風機
収納室２１として、ケーシング９が形成されている。
を置いて底部区画壁］５を前記両測部区画壁１４．１４
間に接合固定して、前記下枠板１２と底部区画壁１５間
の前面側を底部遮蔽板１２ａで遮蔽し、更に上枠板１０
の下面に所定間隔を置いて上部区画壁１６を前記両測部
区画壁１４，１４間に接合固定して、前記上枠板１０と
上部区画壁１６間の前面側を上部遮蔽板１０ａで遮蔽し
、それぞれ前記両測部区画壁１４．１４、底部区画壁１
５および上部区画壁１６に囲繞された保管箱収納室１７
を形成すると共に、前記両測部区画壁１４．１４と両側
枠板１’ｌ、１１間の空間を環流通路１８とし、且つ底
部区画壁１５と下枠板１２間の空間を圧力調整室１９と
し、更に上部区画壁１６と上枠板１０ｆＪの空間を、保
管箱収納室１７へ送気する送風機２０を収納する送風機
収納室２１として、ケーシング９が形成されている。
前記保管箱８の前・後面部の周縁部を固定する取付開口
部２２．２３をそれぞれ上下・左右に一定間隔を置いて
複数個開口した前部取付板２４と後部取付板２５とが、
それぞれケーシング９の前面部と中間部に固着されると
共に、前記各それぞれ対応する開口部２２．２３に前記
各保管箱８を嵌挿して固定し、両側端および上下端に位
置する各保管箱８と各側部区画壁１４問および上、底部
区画壁１６，１５間と、そして中間部に位置する各保管
箱８の互いに相隣る保管箱８間に、それぞれ前・後部取
付板２４．２５によって密閉された一定間隔を有し、且
つ方形状に連続した排気通路２６を形成すると共に、各
保管箱８のフィルター４部分に前記送風機２０より送気
する送気空間２７が、ケーシング９の背面枠板１３と各
保管箱８の背面部間に形成されている。゛ 前記保管箱収納室１７の、両測部区画壁１４゜１４の下
方には、それぞれ各保管箱８からの排気を前記排気通路
２６から環流通路１８へ前記送風ｖｓ２０の作用により
吸引する通気孔２８が設けられている。また、前記底部
区画壁１５に前記送気空間２７と圧力調整室１９とを連
通する複数個のスライドダンパー２９が取付けられると
共に、前記圧力調整室１９の壁面に複数個の排気口３０
が設けられていて、送風機２０より送気空間２７内に送
気された空気を均一に各保管Ｎ８のフィルター４へ送気
するため、送気された空気の圧力が高い場合はスライド
ダンパー２９を開いて、空気を圧力調整室１９へ逃して
複数個の排気口３０より外部へ排出して、送気空間２７
内の圧力を調整できるようになっている。
部２２．２３をそれぞれ上下・左右に一定間隔を置いて
複数個開口した前部取付板２４と後部取付板２５とが、
それぞれケーシング９の前面部と中間部に固着されると
共に、前記各それぞれ対応する開口部２２．２３に前記
各保管箱８を嵌挿して固定し、両側端および上下端に位
置する各保管箱８と各側部区画壁１４問および上、底部
区画壁１６，１５間と、そして中間部に位置する各保管
箱８の互いに相隣る保管箱８間に、それぞれ前・後部取
付板２４．２５によって密閉された一定間隔を有し、且
つ方形状に連続した排気通路２６を形成すると共に、各
保管箱８のフィルター４部分に前記送風機２０より送気
する送気空間２７が、ケーシング９の背面枠板１３と各
保管箱８の背面部間に形成されている。゛ 前記保管箱収納室１７の、両測部区画壁１４゜１４の下
方には、それぞれ各保管箱８からの排気を前記排気通路
２６から環流通路１８へ前記送風ｖｓ２０の作用により
吸引する通気孔２８が設けられている。また、前記底部
区画壁１５に前記送気空間２７と圧力調整室１９とを連
通する複数個のスライドダンパー２９が取付けられると
共に、前記圧力調整室１９の壁面に複数個の排気口３０
が設けられていて、送風機２０より送気空間２７内に送
気された空気を均一に各保管Ｎ８のフィルター４へ送気
するため、送気された空気の圧力が高い場合はスライド
ダンパー２９を開いて、空気を圧力調整室１９へ逃して
複数個の排気口３０より外部へ排出して、送気空間２７
内の圧力を調整できるようになっている。
更に、前記環流通路１８と前記保管箱収納至１７とは、
環流通路１Ｂ内の空気を送風機２０で吸引して送気空間
２７へ送気するため、両測部区画壁１４．１４の上方に
穿設された吸引孔３１を介して連通している。
環流通路１Ｂ内の空気を送風機２０で吸引して送気空間
２７へ送気するため、両測部区画壁１４．１４の上方に
穿設された吸引孔３１を介して連通している。
また、前記各環流通路１Ｂの下面にはダンパー３２を取
付けた冷風送気用ダクト３３が夫々連通されており、保
管箱８内に収納された物品Ｇに冷風が必要な場合、前記
各ダンパー３２を開いて冷風送気用ダクト３３から環流
通路１８内に冷風を送気して、温度の調整かできるよう
になっている。
付けた冷風送気用ダクト３３が夫々連通されており、保
管箱８内に収納された物品Ｇに冷風が必要な場合、前記
各ダンパー３２を開いて冷風送気用ダクト３３から環流
通路１８内に冷風を送気して、温度の調整かできるよう
になっている。
また更に両側枠板１１．１１に市内空気送気用の吸込口
３４を開口して環流通路１８と連通し、前記吸込口３４
の前面に設けられたシャッター３５により該吸込口３４
を開閉できるように構成されてあり、前記保管箱８内の
気温が上昇し、室内の空気を送気して保管箱内を室内空
気と同一温度に維持するときに、前記各シャッター３５
を所要中に開放して各吸込口３４より室内空気を環流通
路１８内に送気して、温度の調整ができるようになって
いる。
３４を開口して環流通路１８と連通し、前記吸込口３４
の前面に設けられたシャッター３５により該吸込口３４
を開閉できるように構成されてあり、前記保管箱８内の
気温が上昇し、室内の空気を送気して保管箱内を室内空
気と同一温度に維持するときに、前記各シャッター３５
を所要中に開放して各吸込口３４より室内空気を環流通
路１８内に送気して、温度の調整ができるようになって
いる。
なお、第５図に示す保管箱８には、それぞれ両側板２，
２、上板１および下板３にそれぞれ通気小孔７が穿設さ
れているが、収納する物品Ｇの種類ヤ送気量等によって
、前記通気小孔７を両側板２．２のみに、または上板］
と下板３に、あるいは上板１または下板３のいずれかに
、更には両側板２．２と上板１または下板３のいずれか
に設けることもできる。
２、上板１および下板３にそれぞれ通気小孔７が穿設さ
れているが、収納する物品Ｇの種類ヤ送気量等によって
、前記通気小孔７を両側板２．２のみに、または上板］
と下板３に、あるいは上板１または下板３のいずれかに
、更には両側板２．２と上板１または下板３のいずれか
に設けることもできる。
次に本発明の実施例の作用について説明すると、各保管
箱８に開閉蓋６を開けて、例えばＬＳＩ。
箱８に開閉蓋６を開けて、例えばＬＳＩ。
超ＬＳ１．ウェハー、医療器具１食品等の塵埃を嫌う物
品Ｇを収納し、開閉蓋６を閉じて送風機２０を作動させ
て送気空間２７内に送気すると、各保管箱８の背面に固
設されたフィルター４によって塵埃が濾過されて清浄空
気が保管箱８内に送気されて、前記物品Ｇを清浄空気雰
囲気内に置くと共に、次々にフィルター４を通して清浄
空気が送気されるために、保管箱８の前方側の開閉蓋６
付近に設けられた通気小孔７より保管箱８内の空気が碁
盤線状に連続した排気通路２６へ排気される。
品Ｇを収納し、開閉蓋６を閉じて送風機２０を作動させ
て送気空間２７内に送気すると、各保管箱８の背面に固
設されたフィルター４によって塵埃が濾過されて清浄空
気が保管箱８内に送気されて、前記物品Ｇを清浄空気雰
囲気内に置くと共に、次々にフィルター４を通して清浄
空気が送気されるために、保管箱８の前方側の開閉蓋６
付近に設けられた通気小孔７より保管箱８内の空気が碁
盤線状に連続した排気通路２６へ排気される。
前記排気通路２６はすべて連通しているため、送風機２
０の吸引作動により、排気通路２６は負圧となり前記排
気された空気はすべて下方側へ流れ、通気孔２８より環
流通路１８．吸引孔３１を経て送風１２０によって吸引
され再び送気空間２７に送気され、以下前記と同じ動作
を繰返す。そして、前記動作中において必要がおれば、
スライドダンパー２９を開いて送気空間２７内の空気圧
力を調整したり、またはダンパー３２を開いて冷風を環
流通路１８に送気したり、おるいはシャッター３５を開
いて吸込口３４より室内空気を環流通路１８に送気して
保管箱８内の空気の温度の調整をすることができる。
０の吸引作動により、排気通路２６は負圧となり前記排
気された空気はすべて下方側へ流れ、通気孔２８より環
流通路１８．吸引孔３１を経て送風１２０によって吸引
され再び送気空間２７に送気され、以下前記と同じ動作
を繰返す。そして、前記動作中において必要がおれば、
スライドダンパー２９を開いて送気空間２７内の空気圧
力を調整したり、またはダンパー３２を開いて冷風を環
流通路１８に送気したり、おるいはシャッター３５を開
いて吸込口３４より室内空気を環流通路１８に送気して
保管箱８内の空気の温度の調整をすることができる。
［発明の効果］
本発明は上述のようであるから、開閉蓋付きでおりなが
ら、常時空気を循環させてフィルターによって清浄空気
とし、この清浄空気を保管箱内に送気して収納物品を清
浄空気雰囲気内に置いて保管することができ、然も冷風
または室内空気を吹込んで温度調節も可能であるため、
特にＬＳＩ。
ら、常時空気を循環させてフィルターによって清浄空気
とし、この清浄空気を保管箱内に送気して収納物品を清
浄空気雰囲気内に置いて保管することができ、然も冷風
または室内空気を吹込んで温度調節も可能であるため、
特にＬＳＩ。
超越ＬＳＩ、ウェハー、医療器典、食品等の塵埃を嫌う
物品の保管に最適でおる。また、圧力調整室があるため
に、送風機によって送気空間へ送気された空気の各保管
箱のフィルターの通過風量を均一にすることが可能でお
る。
物品の保管に最適でおる。また、圧力調整室があるため
に、送風機によって送気空間へ送気された空気の各保管
箱のフィルターの通過風量を均一にすることが可能でお
る。
第１図は一部を切欠して示す全体の正面図、第２図は第
１図Ａ−Ａ線概略断面図、第３図は第１図Ｂ−Ｂ線概略
断面図、第４図は全体の概略斜視図、第５図は保管箱の
一部を切欠した拡大斜視図、第６図は従来のクリーンス
トッカー装置の概略縦断面図である。 図中、１は上板、２は側板、３は下板、４はフィルター
、６は開閉蓋、７は通気小孔、８は保管箱、９はケーシ
ング、１０は上枠板、１１は側枠板、１２は下枠板、１
３は背面枠板、１４は側部区画！、１５は底部区画壁、
１６は上部区画壁、１７は保管箱収納室、１８は環流通
路、１９は圧力調整室、２Ｑは送風機、２１は送風機収
納室、２２．２３は取付開口部、２４は前部取付板、２
５は後部取付板、２６は排気通路、２７は送気空間、２
Ｂは通気孔、２９はスライドダンパー、３０は排気口、
３１は吸引孔、３２はダンパー、３３は冷風送気用ダク
ト、３４は吸込口、３５はシャッターである。 平成２年９月２１日 第 因 第 図 第 図 第 図
１図Ａ−Ａ線概略断面図、第３図は第１図Ｂ−Ｂ線概略
断面図、第４図は全体の概略斜視図、第５図は保管箱の
一部を切欠した拡大斜視図、第６図は従来のクリーンス
トッカー装置の概略縦断面図である。 図中、１は上板、２は側板、３は下板、４はフィルター
、６は開閉蓋、７は通気小孔、８は保管箱、９はケーシ
ング、１０は上枠板、１１は側枠板、１２は下枠板、１
３は背面枠板、１４は側部区画！、１５は底部区画壁、
１６は上部区画壁、１７は保管箱収納室、１８は環流通
路、１９は圧力調整室、２Ｑは送風機、２１は送風機収
納室、２２．２３は取付開口部、２４は前部取付板、２
５は後部取付板、２６は排気通路、２７は送気空間、２
Ｂは通気孔、２９はスライドダンパー、３０は排気口、
３１は吸引孔、３２はダンパー、３３は冷風送気用ダク
ト、３４は吸込口、３５はシャッターである。 平成２年９月２１日 第 因 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 上板、両側板および下板を方形枠状に接合固定する
と共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方開口部
に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気小孔を
設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠板、下枠
板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して方形箱状
に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定間隔を置
いて側部区画壁を固定して環流通路を設け、且つ前記下
枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固定して圧
力調整室を設け、更に前記上枠板の下面に所定間隔を置
いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれぞれ設け
ると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁および上部区
画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシングを形
成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部を固定す
る取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口した前部取
付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシングの前面
部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の各対面す
る取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保管箱の各
外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケーシング
の背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を設け、更
に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設して保管
箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通路の下部
にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通し、且つ
前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とした室内空
気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通し、前記各
側部区画壁の上方部に連通口を穿設して環流通路と送風
機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前記送気空間
と圧力調整室とを連通する複数個のスライドダンパーを
取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排気口を設け
たことを特徴とするクリーンストッカー装置。 ２ 通気小孔が、上板、両側板および下板に穿設された
ことを特徴とする請求項１記載のクリーンストッカー装
置。 ３ 通気小孔が、上板および下板に穿設されたことを特
徴とする請求項１記載のクリーンストッカー装置。 ４ 通気小孔が、両側板に穿設されたことを特徴とする
請求項１記載のクリーンストッカー装置。 ５ 通気小孔が、上板に穿設されたことを特徴とする請
求項１記載のクリーンストッカー装置。 ６ 通気小孔が、下板に穿設されたことを特徴とする請
求項１記載のクリーンストッカー装置。 ７ 上板、両側板および下板を方形枠状に接合固定する
と共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方開口部
に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気小孔を
設けたことを特徴とするクリーンストッカー装置に用い
る保管箱。 ８ 通気小孔が、上板、両側板および下板に穿設された
ことを特徴とする請求項７記載のクリーンストッカー装
置に用いる保管箱。 ９ 通気小孔が、上板および下板に穿設されたことを特
徴とする請求項７記載のクリーンストッカー装置に用い
る保管箱。 １０ 通気小孔が、両側板に穿設されたことを特徴とす
る請求項７記載のクリーンストッカー装置に用いる保管
箱。 １１ 通気小孔が、上板に穿設されたことを特徴とする
請求項７記載のクリーンストッカー装置に用いる保管箱
。 １２ 通気小孔が、下板に穿設されたことを特徴とする
請求項７記載のクリーンストッカー装置に用いる保管箱
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131636A true JPH04131636A (ja) | 1992-05-06 |
| JPH0660758B2 JPH0660758B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17238098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252490A Expired - Fee Related JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660758B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008068964A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板収納設備及び基板処理設備 |
| JP2008068963A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板処理方法 |
| JP2008094494A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 基板収納用の収納容器 |
| JP2010186568A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Nippon Yusoki Co Ltd | ラック |
| JP2010184745A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Nippon Yusoki Co Ltd | ラックの一区画を施工する方法 |
| JP2017009254A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 株式会社Trinc | 保管庫 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134239A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
| JPS6186630U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-06 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252490A patent/JPH0660758B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134239A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
| JPS6186630U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-06 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008068964A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板収納設備及び基板処理設備 |
| JP2008068963A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板処理方法 |
| JP2008094494A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 基板収納用の収納容器 |
| US8118530B2 (en) | 2006-09-13 | 2012-02-21 | Daifuku Co., Ltd. | Substrate storage facility and substrate processing facility, and method for operating substrate storage |
| TWI409200B (zh) * | 2006-09-13 | 2013-09-21 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| TWI498265B (zh) * | 2006-09-13 | 2015-09-01 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| TWI503265B (zh) * | 2006-09-13 | 2015-10-11 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| JP2010186568A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Nippon Yusoki Co Ltd | ラック |
| JP2010184745A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Nippon Yusoki Co Ltd | ラックの一区画を施工する方法 |
| JP2017009254A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 株式会社Trinc | 保管庫 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0660758B2 (ja) | 1994-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3895570A (en) | Air-insulated work station | |
| US4694736A (en) | Clean room | |
| US3318076A (en) | Dust-free bench | |
| US4027498A (en) | Air conditioner | |
| KR100524359B1 (ko) | 클린 룸용의 물품 보관 설비 | |
| US6494779B1 (en) | Control cabinet with cooling device | |
| JPH02244799A (ja) | 電子素子を備えた回路基板のための回路基板用フレーム | |
| US5299557A (en) | Oven enclosure and ventilation system | |
| US7393373B1 (en) | Portable clean molding apparatus and method of use | |
| JPH04131636A (ja) | クリーンストッカー装置 | |
| JP2016202110A (ja) | 植物栽培装置 | |
| JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| JP3818434B2 (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| ATE335975T1 (de) | Kühlanlage | |
| KR101314278B1 (ko) | 클린 부스 | |
| JPS62237234A (ja) | クリ−ンシユ−ズ保管庫 | |
| JPS63222916A (ja) | 中継車機器換気装置 | |
| JP2011089687A (ja) | 電算機室用空調システム | |
| JPH06345206A (ja) | クリーン装置付き荷保管設備 | |
| JPS5939024Y2 (ja) | クリ−ンエア利用保管箱 | |
| JPH11137072A (ja) | 農水産物処理システム | |
| EP0626056B1 (en) | A method of and an arrangement for providing a circulating air flow in a treatment space | |
| JP3759013B2 (ja) | 冷却貯蔵庫 | |
| JP2019219119A (ja) | クリーンブース、クリーンブースセット、及びエアシャワーブース | |
| JPS62182541A (ja) | クリ−ンル−ム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070810 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080810 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090810 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 16 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |