JPH0660758B2 - クリーンストッカー装置 - Google Patents
クリーンストッカー装置Info
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- JPH0660758B2 JPH0660758B2 JP2252490A JP25249090A JPH0660758B2 JP H0660758 B2 JPH0660758 B2 JP H0660758B2 JP 2252490 A JP2252490 A JP 2252490A JP 25249090 A JP25249090 A JP 25249090A JP H0660758 B2 JPH0660758 B2 JP H0660758B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＬＳＩ，超ＬＳＩ，ウェハー、医療器具、食
品等の塵埃を嫌う物を清浄空気雰囲気内において保管す
るクリーンストッカー装置に関するものである。
品等の塵埃を嫌う物を清浄空気雰囲気内において保管す
るクリーンストッカー装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来のクリーンストッカー装置としては、第６図に示す
ように基台４１の前面側にプレフィルタ４２が、また背
面側にファン４３が夫々装置され、且つ基台４１の背面
より上方へ立設されたダクト４４の前面側にフィルタ４
５が設置されると共に、該フィルタ４５の前方部に夫々
ＬＳＩ，超ＬＳＩ等の物品を載置する棚板４６が複数段
に亘って固定されているものが広く知られていた。
ように基台４１の前面側にプレフィルタ４２が、また背
面側にファン４３が夫々装置され、且つ基台４１の背面
より上方へ立設されたダクト４４の前面側にフィルタ４
５が設置されると共に、該フィルタ４５の前方部に夫々
ＬＳＩ，超ＬＳＩ等の物品を載置する棚板４６が複数段
に亘って固定されているものが広く知られていた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来のクリーンストッカー装置は、
プレフィルタ４２とファン４３を介して吸引した汚染空
気を、プレフィルタ４２とフィルタ４５によって濾過し
て空気清浄空気としてフィルタ４５から送風し、棚板４
６上の物品を清浄空気雰囲気内に置くように形成されて
いるが、この従来のものは蓋の全くないオープンタイプ
であるため、清浄空気の温度を調節して収納物品の長期
保存を図るようにすることができないという問題点があ
った。
プレフィルタ４２とファン４３を介して吸引した汚染空
気を、プレフィルタ４２とフィルタ４５によって濾過し
て空気清浄空気としてフィルタ４５から送風し、棚板４
６上の物品を清浄空気雰囲気内に置くように形成されて
いるが、この従来のものは蓋の全くないオープンタイプ
であるため、清浄空気の温度を調節して収納物品の長期
保存を図るようにすることができないという問題点があ
った。
本発明は、かかる従来の問題点を解決することを目的と
するクリーンストッカー装置を提供しようとするもので
ある。
するクリーンストッカー装置を提供しようとするもので
ある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、上板、両側板および下板を方形枠状に接合固
定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方
開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気
小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠
板、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して
方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定
間隔を置いて側部区隔壁を固定して環流通路を設け、且
つ前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区隔壁を固
定して圧力調整室を設け、更に前記上枠板の下面に所定
間隔を置いて上部区隔壁を固定して送風機収納室をそれ
ぞれ設けると共に、前記各側部区隔壁、底部区画壁およ
び上部区隔壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシ
ングを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部
を固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口し
た前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシン
グの前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の
各対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保
管箱の各外周面に基盤線状排気通路を設けると共に、ケ
ーシングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を
設け、更に前記各側部区隔壁の下方部に排気通路を穿設
して保管箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通
路の下部にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通
し、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とし
て室内空気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通
し、前記各側部区画壁の上方部に連通口を穿設して環流
通路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁まに
前記送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライ
ドダンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に
排気口を設けるという手段を採用することにより、上記
問題点を解決した。
定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前方
開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通気
小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠
板、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して
方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定
間隔を置いて側部区隔壁を固定して環流通路を設け、且
つ前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区隔壁を固
定して圧力調整室を設け、更に前記上枠板の下面に所定
間隔を置いて上部区隔壁を固定して送風機収納室をそれ
ぞれ設けると共に、前記各側部区隔壁、底部区画壁およ
び上部区隔壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシ
ングを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部
を固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口し
た前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシン
グの前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の
各対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保
管箱の各外周面に基盤線状排気通路を設けると共に、ケ
ーシングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を
設け、更に前記各側部区隔壁の下方部に排気通路を穿設
して保管箱収納室と環流通路を連通すると共に、環流通
路の下部にはダンパーを備えた冷風送気用ダクトを連通
し、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とし
て室内空気送気用の吸込口を開口して環流通路と連通
し、前記各側部区画壁の上方部に連通口を穿設して環流
通路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁まに
前記送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライ
ドダンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に
排気口を設けるという手段を採用することにより、上記
問題点を解決した。
［作用］ 上記構成により成る本発明によれば、常時空気を循環さ
せながら、収納物品を清浄空気雰囲気内に置くと共に、
必要があれば冷気または室内空気を吸入して温度調節が
可能である。
せながら、収納物品を清浄空気雰囲気内に置くと共に、
必要があれば冷気または室内空気を吸入して温度調節が
可能である。
［実施例］ 本発明の実施例の一例を図に就いて詳細に説明するに、
上板１、両側板２，２および下板３を方形枠状に接合固
定すると共に、後方開口部にプリーツ状濾紙よりなるフ
ィルター４を固着し、且つ該フィルター４の前面にフィ
ルター４を保護するパンチングルメタル５を張設固定
し、そして前方開口部に開閉蓋６を開閉自在に取付け、
更に前記開閉蓋６に接近した位置の両側板２，２、上板
１および下板３に、それぞれ通気小孔７を穿設して、Ｌ
ＳＩ，超ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等の塵埃を
嫌う物品Ｇを保管する保管箱８を形成する。
上板１、両側板２，２および下板３を方形枠状に接合固
定すると共に、後方開口部にプリーツ状濾紙よりなるフ
ィルター４を固着し、且つ該フィルター４の前面にフィ
ルター４を保護するパンチングルメタル５を張設固定
し、そして前方開口部に開閉蓋６を開閉自在に取付け、
更に前記開閉蓋６に接近した位置の両側板２，２、上板
１および下板３に、それぞれ通気小孔７を穿設して、Ｌ
ＳＩ，超ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等の塵埃を
嫌う物品Ｇを保管する保管箱８を形成する。
前記保管箱８は所定間隔を置いてケーシング９に複数個
配設固定されるが、該ケーシング９は次のように構成さ
れている。すなわち、上枠板１０、両側枠板１１，１
１、下枠板１２および背面枠板１３をそれぞれ前方側を
開口して方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板１
１，１１の内面に所定間隔を置いてそれぞれ両側部区画
壁１４，１４を設けて、前記両側枠板１１，１１および
両側部区画壁１４，１４間の前面側を側部遮蔽板１１
ａ，１１ａで遮蔽し、且つ前記下枠板１２の上面に所定
間隔を置いて底部区画壁１５を前記両側部区画壁１４，
１４間に接合固定して、前記下枠板１２と底部区画壁１
５間の前面側を底部遮蔽板１２ａで遮蔽し、更に上枠板
１０の下面に所定間隔を置いて上部区画壁１６を前記両
側部区画壁１４，１４間に接合固定して、前記上枠板１
０と上部区画壁１６間の前面側を上部遮蔽板１０ａで遮
蔽し、それぞれ前記両側部区画壁１４，１４、底部区画
壁１５および上部区画壁１６に囲繞された保管箱収納室
１７を形成すると共に、前記両側部区画壁１４，１４と
両側枠板１１，１１間の空間を環流通路１８とし、且つ
底部区画壁１５と下枠板１２間の空間を圧力調整室１９
とし、更に上部区画壁１６と上枠板１０間の空間を、保
管箱収納室１７へ送気する送風機２０を収納する送風機
収納室２１として、ケーシング９が形成されている。
配設固定されるが、該ケーシング９は次のように構成さ
れている。すなわち、上枠板１０、両側枠板１１，１
１、下枠板１２および背面枠板１３をそれぞれ前方側を
開口して方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板１
１，１１の内面に所定間隔を置いてそれぞれ両側部区画
壁１４，１４を設けて、前記両側枠板１１，１１および
両側部区画壁１４，１４間の前面側を側部遮蔽板１１
ａ，１１ａで遮蔽し、且つ前記下枠板１２の上面に所定
間隔を置いて底部区画壁１５を前記両側部区画壁１４，
１４間に接合固定して、前記下枠板１２と底部区画壁１
５間の前面側を底部遮蔽板１２ａで遮蔽し、更に上枠板
１０の下面に所定間隔を置いて上部区画壁１６を前記両
側部区画壁１４，１４間に接合固定して、前記上枠板１
０と上部区画壁１６間の前面側を上部遮蔽板１０ａで遮
蔽し、それぞれ前記両側部区画壁１４，１４、底部区画
壁１５および上部区画壁１６に囲繞された保管箱収納室
１７を形成すると共に、前記両側部区画壁１４，１４と
両側枠板１１，１１間の空間を環流通路１８とし、且つ
底部区画壁１５と下枠板１２間の空間を圧力調整室１９
とし、更に上部区画壁１６と上枠板１０間の空間を、保
管箱収納室１７へ送気する送風機２０を収納する送風機
収納室２１として、ケーシング９が形成されている。
前記保管箱８の前・後面部の周縁部を固定する取付け開
口部２２，２３をそれぞれ上下・左右に一定間隔を置い
て複数個開口した前部取付板２４と後部取付板２５と
が、それぞれケーシング９の前面部と中間部に固着され
ると共に、前記各それぞれ対応する開口部２２，２３に
前記各保管箱８を嵌挿して固定し、両側端および上下端
に位置する各保管箱８と各側部区画壁１４間および上，
底部区画壁１６，１５間と、そして中間部に位置する各
保管箱８の互いに相隣る保管箱８間に、それぞれ前・後
部取付板２４，２５によって密閉された一定間隔を有
し、且つ方形状に連続した排気通路２６を形成すると共
に、各保管箱８のフィルター４部分に前記送風機２０よ
り送気する送気空間２７が、ケーシング９の背面枠板１
３と各保管箱８の背面部間に形成されている。
口部２２，２３をそれぞれ上下・左右に一定間隔を置い
て複数個開口した前部取付板２４と後部取付板２５と
が、それぞれケーシング９の前面部と中間部に固着され
ると共に、前記各それぞれ対応する開口部２２，２３に
前記各保管箱８を嵌挿して固定し、両側端および上下端
に位置する各保管箱８と各側部区画壁１４間および上，
底部区画壁１６，１５間と、そして中間部に位置する各
保管箱８の互いに相隣る保管箱８間に、それぞれ前・後
部取付板２４，２５によって密閉された一定間隔を有
し、且つ方形状に連続した排気通路２６を形成すると共
に、各保管箱８のフィルター４部分に前記送風機２０よ
り送気する送気空間２７が、ケーシング９の背面枠板１
３と各保管箱８の背面部間に形成されている。
前記保管箱収納室１７の、両側部区画壁１４，１４の下
方には、それぞれ各保管箱８からの排気を前記排気通路
２６から環流通路１８へ前記送風機２０の作用により吸
引する通気孔２８が設けられている。また、前記底部区
画壁１５に前記送気空間２７と圧力調整室１９とを連通
する複数個のスライドダンパー２９が取付けられると共
に、前記圧力調整室１９の壁面に複数個の排気口３０が
設けられていて、送風機２０より送気空間２７内に送気
された空気を均一に各保管箱８のフィルター４へ送気す
るため、送気された空気の圧力が高い場合はスライドダ
ンパー２９を開いて、空気を圧力調整室１９へ逃して複
数個の排気口３０より外部へ排出して、送気空間２７内
の圧力を調整できるようになっている。
方には、それぞれ各保管箱８からの排気を前記排気通路
２６から環流通路１８へ前記送風機２０の作用により吸
引する通気孔２８が設けられている。また、前記底部区
画壁１５に前記送気空間２７と圧力調整室１９とを連通
する複数個のスライドダンパー２９が取付けられると共
に、前記圧力調整室１９の壁面に複数個の排気口３０が
設けられていて、送風機２０より送気空間２７内に送気
された空気を均一に各保管箱８のフィルター４へ送気す
るため、送気された空気の圧力が高い場合はスライドダ
ンパー２９を開いて、空気を圧力調整室１９へ逃して複
数個の排気口３０より外部へ排出して、送気空間２７内
の圧力を調整できるようになっている。
更に、前記環流通路１８と前記保管箱収納室１７とは、
環流通路１８内の空気を送風機２０で吸引して送気空間
２７へ送気するため、両側部区画壁１４，１４の上方に
穿設された吸引孔３１を介して連通している。
環流通路１８内の空気を送風機２０で吸引して送気空間
２７へ送気するため、両側部区画壁１４，１４の上方に
穿設された吸引孔３１を介して連通している。
また、前記各環流通路１８の下面にはダンパー３２を取
付けた冷風送気用ダクト３３が夫々連通されており、保
管箱８内に収納された物品Ｇに冷風が必要な場合、前記
各ダンパー３２を開いて冷風送気用ダクト３３から環流
通路１８内に冷風を送気して、温度の調整ができるよう
になっている。
付けた冷風送気用ダクト３３が夫々連通されており、保
管箱８内に収納された物品Ｇに冷風が必要な場合、前記
各ダンパー３２を開いて冷風送気用ダクト３３から環流
通路１８内に冷風を送気して、温度の調整ができるよう
になっている。
また更に両側枠板１１，１１に室内空気送気用の吸込口
３４を開口して環流通路１８と連通し、前記吸込口３４
の前面に設けられたシャッター３５により該吸込口３４
を開閉できるように構成されており、前記保管箱８内の
気温が上昇し、室内の空気を送気して保管箱内を室内空
気と同一温度に維持するときに、前記各シャッター３５
を所要巾に開放して各吸込口３４より室内空気を環流通
路１８内に送気して、温度の調整ができるようになって
いる。
３４を開口して環流通路１８と連通し、前記吸込口３４
の前面に設けられたシャッター３５により該吸込口３４
を開閉できるように構成されており、前記保管箱８内の
気温が上昇し、室内の空気を送気して保管箱内を室内空
気と同一温度に維持するときに、前記各シャッター３５
を所要巾に開放して各吸込口３４より室内空気を環流通
路１８内に送気して、温度の調整ができるようになって
いる。
なお、第５図に示す保管箱８には、それぞれ両側板２，
２、上板１および下板３にそれぞれ通気小孔７が穿設さ
れているが、収納する物品Ｇの種類や送気量等によっ
て、前記通気小孔７を両側板２，２のみに、または上板
１と下板３に、あるいは上板１または下板３のいずれか
に、更には両側板２，２と上板１または下板３のいずれ
かに設けることもできる。
２、上板１および下板３にそれぞれ通気小孔７が穿設さ
れているが、収納する物品Ｇの種類や送気量等によっ
て、前記通気小孔７を両側板２，２のみに、または上板
１と下板３に、あるいは上板１または下板３のいずれか
に、更には両側板２，２と上板１または下板３のいずれ
かに設けることもできる。
次に本発明の実施例の作用について説明すると、各保管
箱８に開閉蓋６を開けて、例えばＬＳＩ，超ＬＳＩ，ウ
ェハー，医療器具，食品等の塵埃を嫌う物品Ｇを収納
し、開閉蓋６を閉じて送風機２０を作動させて送気空間
２７内に送気すると、各保管箱８の背面に固設されたフ
ィルター４によって塵埃が濾過されて清浄空気が保管箱
８内に送気されて、前記物品Ｇを清浄空気雰囲気内に置
くと共に、次々にフィルター４を通して清浄空気が送気
されるために、保管箱８の前方側の開閉蓋６付近に設け
られた通気小孔７より保管箱８内の空気が碁盤線状に連
続した排気通路２６へ排気される。前記排気通路２６は
すべて連通しているため、送風機２０の吸引作動によ
り、排気通路２６は負圧となり前記排気された空気はす
べて下方側へ流れ、通気孔２８より環流通路１８，吸引
孔３１を経て送風機２０によって吸引され再び送気空間
２７に送気され、以下前記と同じ動作を繰返す。そし
て、前記動作中において必要があれば、スライドダンパ
ー２９を開いて送気空間２７内の空気圧力を調整した
り、またはダンパー３２を開いて冷風を環流通路１８に
送気したり、あるいはシャッター３５を開いて吸込口３
４より室内空気を環流通路１８に送気して保管箱８内の
空気の温度の調整をすることができる。
箱８に開閉蓋６を開けて、例えばＬＳＩ，超ＬＳＩ，ウ
ェハー，医療器具，食品等の塵埃を嫌う物品Ｇを収納
し、開閉蓋６を閉じて送風機２０を作動させて送気空間
２７内に送気すると、各保管箱８の背面に固設されたフ
ィルター４によって塵埃が濾過されて清浄空気が保管箱
８内に送気されて、前記物品Ｇを清浄空気雰囲気内に置
くと共に、次々にフィルター４を通して清浄空気が送気
されるために、保管箱８の前方側の開閉蓋６付近に設け
られた通気小孔７より保管箱８内の空気が碁盤線状に連
続した排気通路２６へ排気される。前記排気通路２６は
すべて連通しているため、送風機２０の吸引作動によ
り、排気通路２６は負圧となり前記排気された空気はす
べて下方側へ流れ、通気孔２８より環流通路１８，吸引
孔３１を経て送風機２０によって吸引され再び送気空間
２７に送気され、以下前記と同じ動作を繰返す。そし
て、前記動作中において必要があれば、スライドダンパ
ー２９を開いて送気空間２７内の空気圧力を調整した
り、またはダンパー３２を開いて冷風を環流通路１８に
送気したり、あるいはシャッター３５を開いて吸込口３
４より室内空気を環流通路１８に送気して保管箱８内の
空気の温度の調整をすることができる。
［発明の効果］ 本発明は上述のようであるから、開閉蓋付きでありなが
ら、常時空気を循環させてフィルターによって清浄空気
とし、この清浄空気を保管箱内に送気して収納物品を清
浄空気雰囲気内に置いて保管することができ、然も冷風
または室内空気を吹込んで温度調節も可能であるため、
特にＬＳＩ，超越ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等
の塵埃を嫌う物品の保管に最適である。また、圧力調整
室があるために、送風機によって送気空間へ送気された
空気の各保管箱のフィルターの通過風量を均一にするこ
とが可能である。
ら、常時空気を循環させてフィルターによって清浄空気
とし、この清浄空気を保管箱内に送気して収納物品を清
浄空気雰囲気内に置いて保管することができ、然も冷風
または室内空気を吹込んで温度調節も可能であるため、
特にＬＳＩ，超越ＬＳＩ、ウェハー、医療器具、食品等
の塵埃を嫌う物品の保管に最適である。また、圧力調整
室があるために、送風機によって送気空間へ送気された
空気の各保管箱のフィルターの通過風量を均一にするこ
とが可能である。
第１図は一部を切欠して示す全体の正面図、第２図は第
１図Ａ−Ａ線概略断面図、第３図は第１図Ｂ−Ｂ線概略
断面図、第４図は全体の概略斜視図、第５図は保管箱の
一部を切欠した拡大斜視図、第６図は従来のクリーンス
トッカー装置の概略縦断面図である。 図中、１は上板、２は側板、３は下板、４はフィルタ
ー、６は開閉蓋、７は通気小孔、８は保管箱、９はケー
シング、１０は上枠板、１１は側枠板、１２は下枠板、
１３は背面枠板、１４は側部区画壁、１５は底部区画
壁、１６は上部区画壁、１７は保管箱収納室、１８は環
流通路、１９は圧力調整室、２０は送風機、２１は送風
機収納室、２２，２３は取付開口部、２４は前部取付
板、２５は後部取付板、２６は排気通路、２７は送気空
間、２８は通気孔、２９はスライドダンパー、３０は排
気口、３１は吸引孔、３２はダンパー、３３は冷風送気
用ダクト、３４は吸込口、３５はシャッターである。
１図Ａ−Ａ線概略断面図、第３図は第１図Ｂ−Ｂ線概略
断面図、第４図は全体の概略斜視図、第５図は保管箱の
一部を切欠した拡大斜視図、第６図は従来のクリーンス
トッカー装置の概略縦断面図である。 図中、１は上板、２は側板、３は下板、４はフィルタ
ー、６は開閉蓋、７は通気小孔、８は保管箱、９はケー
シング、１０は上枠板、１１は側枠板、１２は下枠板、
１３は背面枠板、１４は側部区画壁、１５は底部区画
壁、１６は上部区画壁、１７は保管箱収納室、１８は環
流通路、１９は圧力調整室、２０は送風機、２１は送風
機収納室、２２，２３は取付開口部、２４は前部取付
板、２５は後部取付板、２６は排気通路、２７は送気空
間、２８は通気孔、２９はスライドダンパー、３０は排
気口、３１は吸引孔、３２はダンパー、３３は冷風送気
用ダクト、３４は吸込口、３５はシャッターである。
Claims (6)
- 【請求項１】上板、両側板および下板を方形枠状に接合
固定すると共に、後方開口部にフィルターを固着し、前
方開口部に開閉蓋を取付け、且つ該開閉蓋に接近して通
気小孔を設けて保管箱を形成する一方、上枠板、両側枠
板、下枠板および背面枠板をそれぞれ前方側を開口して
方形箱状に接合固定すると共に、両側枠板の内面に所定
間隔を置いて側部区画壁を固定して還流通路を設け、且
つ前記下枠板の上面に所定間隔を置いて底部区画壁を固
定して圧力調整室を設け、更に前記上枠板の下面に所定
間隔を置いて上部区画壁を固定して送風機収納室をそれ
ぞれ設けると共に、前記各側部区画壁、底部区画壁およ
び上部区画壁に囲繞された保管箱収納室を設けてケーシ
ングを形成する一方、前記保管箱の前・後面部の周縁部
を固定する取付開口部を一定間隔を置いて複数個開口し
た前部取付板と後部取付板とを、それぞれ前記ケーシン
グの前面部と中間部に固着して、前記前・後部取付板の
各対面する取付開口部に各保管箱を嵌挿固定して、各保
管箱の各外周面に碁盤線状排気通路を設けると共に、ケ
ーシングの背面枠板と各保管箱の背面部間に送気空間を
設け、更に前記各側部区画壁の下方部に排気通路を穿設
して保管箱収納室と還流通路を連通すると共に、還流通
路の下部にはダンパーを備えた送風送気用ダクトを連通
し、且つ前記両側枠板にシャッターにより開閉自在とし
た室内空気送気用の吸込口を開口して還流通路と連通
し、前記各側部区画壁の上方部に連通口を穿設して還流
通路と送風機収納室とが連通され、前記底部区画壁に前
記送気空間と圧力調整室とを連通する複数個のスライド
ダンパーを取付けると共に、前記圧力調整室の壁面に排
気口を設けたことを特徴とするクリーンストッカー装
置。 - 【請求項２】通気小孔が、上板、両側板および下板に穿
設されたことを特徴とする請求項１記載のクリーンスト
ッカー装置。 - 【請求項３】通気小孔が、上板および下板に穿設された
ことを特徴とする請求項１記載のクリーンストッカー装
置。 - 【請求項４】通気小孔が、両側板に穿設されたことを特
徴とする請求項１記載のクリーンストッカー装置。 - 【請求項５】通気小孔が、上板に穿設されたことを特徴
とする請求項１記載のクリーンストッカー装置。 - 【請求項６】通気小孔が、下板に穿設されたことを特徴
とする請求項１記載のクリーンストッカー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252490A JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131636A JPH04131636A (ja) | 1992-05-06 |
| JPH0660758B2 true JPH0660758B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17238098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252490A Expired - Fee Related JPH0660758B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | クリーンストッカー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660758B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4807579B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-11-02 | 株式会社ダイフク | 基板収納設備及び基板処理設備 |
| JP4953010B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2012-06-13 | 株式会社ダイフク | 基板収納用の収納容器 |
| JP4756372B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-08-24 | 株式会社ダイフク | 基板処理方法 |
| JP5161132B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-03-13 | 日本輸送機株式会社 | ラックの一区画を施工する方法 |
| JP5283527B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-09-04 | ニチユ三菱フォークリフト株式会社 | ラック |
| JP6523072B2 (ja) * | 2015-06-26 | 2019-05-29 | 株式会社Trinc | 保管庫 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134239A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186630U (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-06 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252490A patent/JPH0660758B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134239A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04131636A (ja) | 1992-05-06 |
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