JP2003252405A - 自動倉庫 - Google Patents

自動倉庫

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JP2003252405A
JP2003252405A JP2002060759A JP2002060759A JP2003252405A JP 2003252405 A JP2003252405 A JP 2003252405A JP 2002060759 A JP2002060759 A JP 2002060759A JP 2002060759 A JP2002060759 A JP 2002060759A JP 2003252405 A JP2003252405 A JP 2003252405A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 調整作業中のスタッカークレーンが工具など
の障害物に接触しても、クレーンや障害物へのダメージ
が少ない自動倉庫を提供する。 【解決手段】 スタッカークレーン3の制御装置4は、
スタッカークレーン3が手動操作状態であるか否かを検
出する検出手段と、該検出手段により手動操作状態が検
出されると、走行モータ5の出力トルクを制限するよう
に制御するトルク制限プログラムとを備え、検出手段
は、制御装置4と、スタッカークレーン3と別体の外部
機器である手動操作装置11とが、通信可能に接続され
たか否かを検出する機構とし、該検出手段で通信可能状
態が検出されると、前記トルク制限プログラムの実行に
より、制御装置4は、自動的に、スタッカークレーン3
が備えるモータ5・6・7の出力トルクが制限されるよ
うに制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品を収納するラ
ックと、ラックに沿って敷設される軌道と、軌道に沿っ
て走行するスタッカークレーンとを備える自動倉庫とに
関し、特に、手動操作状態の際に、スタッカークレーン
の出力トルクを制限するように制御する機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、物品を収納するラックと、ラ
ックに沿って敷設される軌道と、軌道に沿って走行する
スタッカークレーンとを備える自動倉庫が知られてい
る。このような自動倉庫では、物品の収納や取り出しの
速度を向上させるため、スタッカークレーンに備える各
部のモータは、常時、最大性能を発揮するように運転さ
れる。各部のモータの出力トルクが最大限発揮される状
態である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】スタッカークレーンを
設置した直後やメンテナンス後の確認時等に、手動操作
でスタッカークレーンを移動させて、動作確認を行うこ
とがある。このような手動操作時において、設置や調整
に要した工具等が、誤ってスタッカークレーンの走行経
路上に放置されていると、スタッカークレーンが工具と
最大出力で衝突した後もスタッカークレーンが強い力で
駆動し続けるため、スタッカークレーンや工具にダメー
ジが及ぶ可能性がある。そこで本発明は、調整作業中の
スタッカークレーンが工具などの障害物に接触しても、
クレーンや障害物へのダメージが少ない自動倉庫を提供
する。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。即ち、請求項1においては、物品を
収納するラックと、ラックに沿って敷設される軌道と、
軌道に沿って走行するスタッカークレーンとを備えた自
動倉庫であって、スタッカークレーンは、自動操作と手
動操作とで制御可能であり、手動操作時には、自動操作
時に比し走行モータの出力トルクの上限値が低くなるよ
うに制限されるものである。
【0005】請求項2においては、スタッカークレーン
は、軌道を走行する走行モータを備えた台車と、台車に
立設されるマストと、昇降モータによりマストに沿って
昇降する昇降台と、昇降台に搭載され、駆動モータによ
り駆動される移載装置とを備え、手動操作時には、自動
操作時に比し昇降モータと駆動モータの出力トルクの上
限値が低くなるように制限されるものである。
【0006】請求項3においては、手動操作用の別体の
外部機器が接続されたことを検出する検出手段と、トル
ク制御プログラムとを備え、検出手段で外部機器が接続
されたことを検出すると、トルク制御プログラムが自動
的に実行されるものである。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例である自動倉庫
の全体構成について、図1、図2を用いて説明する。図
1は自動倉庫1を示す正面断面図であり、図2は自動倉
庫1に備えるスタッカークレーン3を示す斜視図であ
る。図1に示す自動倉庫1には、多数のラック25を有
する一対の収納部20・20と、スタッカークレーン3
とが備えられている。ラック25には物品30が載置さ
れる。この一対の収納部20・20は、床面に敷設され
る走行レール38を挟んで対向配置される。各収納部2
0は、それぞれ前後方向(走行レール38延出方向)お
よび、上下方向に配列された多数のラック25を備えて
いる。
【0008】スタッカークレーン3には台車45が設け
られており、走行レール38により構成される軌道に沿
って、走行可能である。スタッカークレーン3には、台
車45に立設するマスト46と、マスト46に沿って昇
降する昇降台34と、昇降台34に搭載される移載装置
10とが設けられる。
【0009】スタッカークレーン3の下端部に位置する
台車45には、走行レール38上を走行する走行車輪2
4aと、ガイド輪24b・24bとが設けられている。
走行車輪24aは、走行手段である台車45に設けられ
た走行モータ5により、不図示の動力伝達機構を介して
駆動される。これにより、スタッカークレーン3が走行
レール38に沿って走行可能である。
【0010】また、収納部20・20の上端部は天井面
19により連結されており、該天井面19にガイドレー
ル39が敷設されている。スタッカークレーン3の上端
面にはガイドローラ22・22が設けられ、該ガイドロ
ーラ22・22がガイドレール39に両側より当接し、
スタッカークレーン3が走行レール38およびガイドレ
ール39に沿って案内される。
【0011】マストに沿って昇降する昇降台34上に
は、本実施例では、ターンテーブル35が設けられてお
り、ターンテーブル35上にスカラーアーム式の移載装
置10が設けられる。そして、走行レール38を挟んで
対向配置される収納部20・20のいずれに対しても、
移載装置10に備えるフォーク10aを進出させること
ができる。なお、本実施例の構成に代えて、昇降台34
上に、スライドフォーク式の移載装置を搭載する構成と
してもよい。この場合は、一対の収納部20・20の対
向する方向にスライド可能なフォークを備えることで、
ターンテーブルが不要である。
【0012】スタッカクレーン3は、以上構成により、
走行レール38に沿って走行すると共に、自らに備える
移載装置10を昇降させて、移載作業を行うことが可能
である。つまり、収納部20に備えるどのラック25に
も、移載装置10に備えるフォーク10aを進出させる
ことができる。また、一対の収納部20・20のいずれ
の側にあるラック25にも、ターンテーブル35の旋回
により、フォーク10aを進出可能である。
【0013】スタッカクレーン3は、例えば、自動倉庫
1に備える受渡し口(不図示)からウエハが収納された
密閉可能なカセット等の物品30を、移載装置10を用
いて昇降台34上(ターンテーブル35上)に受け取っ
た後、空いているラック25に向かって走行し、移載装
置10を用いて該ラック25へ物品30を受け渡すよう
に構成されている。逆に、既にラック25に収納されて
いる物品30を、移載装置10を用いて昇降台34上に
受け取った後に、前記受渡し口へ向かって走行し、移載
装置10を用いて該受渡し口へ物品30を受け渡すこと
も可能である。
【0014】前記マスト46は、台車45の走行方向に
おける前後の一方に立設されている。前記昇降台34
は、前述したように、このマスト46に昇降駆動可能に
取り付けられるものであり、昇降台34上にターンテー
ブル35を介して、移載装置10が備えられている。一
方、台車45の前後の他方には、マスト46と略同じ高
さの梯子47が立設されており、該梯子47の上端部と
前記マスト46とは、連結面48により連結されてい
る。このように、マスト46に対向して設けた梯子47
の上端部と、該マスト46の上端部とを連結すること
で、マスト46を補強することができ、スタッカークレ
ーン3の信頼性を向上させることができる。
【0015】ここで、スタッカークレーン3は、台車4
5の走行モータ5等の駆動源や制御機器等の電力負荷へ
電力を供給する手段として、非接触給電システムを採用
している。半導体製造工場等のクリーンルームでは、無
塵化を徹底するため、接触部のない給電システムが望ま
しい。この非接触給電システムでは、電源を備えた一次
側回路より電力負荷を備えた二次側回路へ、電磁誘導を
利用して非接触にて給電が行われる。即ち、収納部20
に一次側回路を構成する給電線を設け、スタッカクレー
ン3の台車45等に二次側回路を構成する受電装置を設
けて、該台車45が受電装置により給電線に発生する磁
界から電力を得て、走行モータ5等の電力負荷を駆動す
るようにしている。なお、本実施例では、塵挨の発生を
極力防ぐために、スタッカクレーン3への給電は非接触
給電システムを用いているが、この給電構成に限定され
るものではない。ウエハ等を収納するカセットを密閉可
能に構成していることから、例えば、トロリーによる給
電でもよく、あるいは、給電線を屈曲自在なケーブル保
護部材に収納したものによる給電でもよい。
【0016】スタッカクレーン3に備える駆動源として
は、次のようなものがある。台車45を走行させる走行
モータ5、昇降台34を昇降させる昇降モータ6、移載
装置10に備えるフォーク10aを進退させる駆動モー
タ7、ターンテーブル35を旋回駆動させる旋回モータ
等、である。本実施例の移載装置10では、物品の移載
手段をすくい上げ式のフォーク10aとしているが、チ
ャック機構により物品を把持する構成とした場合は、チ
ャック機構を駆動するモータも必要である。走行モータ
5および昇降モータ6(図3に図示)は、台車45内に
備えられる。また、駆動モータ7(図3に図示)および
旋回モータは、昇降台34内に設けられる。
【0017】スタッカークレーン3に備えるモータの制
御機構について、図3を用いて説明する。図3はスタッ
カークレーン3に備えるモータの制御機構を示すブロッ
ク図である。スタッカークレーン3には、制御装置4が
設けられており、該制御装置4は、スタッカークレーン
3の各部を駆動するモータを制御する。該モータとして
は、前記走行モータ5、昇降モータ6、駆動モータ7等
がある。これらのモータはサーボモータで構成される。
これらのモータを制御する手段として、各モータにはサ
ーボアンプが並設される。走行モータ5への供給電力を
調節するサーボアンプ15、昇降モータ6への供給電力
を調節するサーボアンプ16、駆動モータ7への供給電
力を調節するサーボアンプ17等がある。各モータとサ
ーボアンプ間とには、給電線9が設けられる。各サーボ
アンプ15・16・17は、信号線8・8・・・を介し
て、それぞれが制御装置4に接続される。そして、制御
装置4からの制御指令を各サーボアンプ15・16・1
7が受けると、各サーボアンプ15・16・17は、そ
れぞれ各モータ5・6・7への供給電力を変化させて、
各モータ5・6・7の出力トルクを制御する。以上のよ
うにして、制御装置4により、各モータ5・6・7の出
力トルクが制御される。
【0018】制御装置4は、演算装置4aおよび記憶装
置4bを備えている。記憶装置4bには、各種のデータ
やプログラムの記憶が可能である。記憶装置4bに記憶
されるデータやプログラムを基に、演算装置4aは各モ
ータへの制御指令の作成が可能である。
【0019】スタッカークレーン3には、スタッカーク
レーン3が手動操作状態であるか否かを検出する検出手
段が備えられている。該検出手段の構成については、後
述する。
【0020】スタッカークレーン3の操作が手動操作状
態である際に、各モータ5・6・7等の出力トルクを制
限するトルク制限手段である、トルク制限プログラムに
ついて、図4を用いて説明する。図4は手動操作時に各
モータ5・6・7等の出力トルクを制限するトルク制限
プログラムを示す手順図である。記憶装置4bには、前
記トルク制限プログラムが記憶されている。スタッカー
クレーン3は、自動操作状態では、自らが備える各モー
タ5・6・7等は、最大トルクを発揮する状態で駆動さ
れる。つまり、制御装置4は、各サーボアンプ15・1
6・17等を介して、対応する各モータ5・6・7等
が、最大トルクを発揮するように制御する。これに対
し、手動操作状態では、前記トルク制限プログラムの実
行により、制御装置4は、各サーボアンプ15・16・
17等を介して、対応する各モータ5・6・7等が、出
力トルクが制限されるように制御する。
【0021】記憶装置4bには、手動操作状態における
前記各モータ5・6・7等の出力トルクの上限値が所定
値として記憶されている。自動操作状態においては、出
力トルクの上限は、各モータ5・6・7等が発揮可能な
最大出力トルクとされている。手動操作時における出力
トルクの上限値は、例えば、自動操作時(最大出力トル
ク)の50%以下に設定する。好ましくは、自動操作時
の25〜5%程度であり、より好ましくは、各駆動部が
駆動可能となる最小値となるような値、使用するモータ
やその状況により異なるが、例えば10%程度である。
【0022】トルク制限プログラム(トルク制限手段)
の処理手順を、図4を用いて順番に説明する。図4に示
す処理手順は、制御装置4の起動と共に繰り返し実行さ
れる処理手順であり、スタート(ステップ100)から
エンド(ステップ104)までの処理が繰り返し行われ
る。まず、スタッカークレーン3が手動操作状態である
か否かが、制御装置4で検出される(ステップ10
1)。手動・自動操作状態の検出機構については、後述
する。次いで、手動操作状態であることが検出される
と、制御装置4により、各サーボアンプ15・16・1
7等を介して、それぞれに対応する各モータ5・6・7
等が、手動操作状態の上限トルク(制御されたトルク)
で制御される(ステップ102)。また、自動操作状態
であることが検出されると、制御装置4により、各サー
ボアンプ15・16・17等を介して、それぞれに対応
する各モータ5・6・7等が、自動操作状態の上限トル
ク(最大出力トルク)で制御される(ステップ10
3)。なお、手動操作状態であることを検出した場合、
各モータ5・6・7は、上限トルクだけでなく、回転数
の上限も自動操作の場合に比し低く制限される。
【0023】以上構成により、スタッカークレーン3が
手動操作状態であるか否かを検出する検出手段により、
手動操作状態が制御装置4で検出されると、スタッカー
クレーン3の各駆動部を駆動する各モータ5・6・7
が、自動操作の比し上限が制限されたトルクで駆動す
る。
【0024】このため、手動操作時に走行モータ5の出
力トルクが制限され、自動倉庫1の調整作業中に、スタ
ッカークレーン3の走行経路上に誤って工具等が放置さ
れていても、工具とスタッカークレーン3とが衝突し、
スタッカークレーン3が強い力で駆動し続けることによ
る両者のダメージが低減される。なお、本実施例では、
走行モータ5の出力トルクの上限値のみならず、回転数
の上限値をも自動操作時に比し低く制限するため、スタ
ッカークレーン3が低速で走行し、工具等の障害物と衝
突する際の力も小さくなり、衝突そのもののダメージが
低くなるようにしている。
【0025】前述したように、スタッカークレーン3に
は、台車45に立設するマスト46と、マスト46に沿
って昇降する昇降台34と、昇降台34に搭載される移
載装置10とが設けられ、昇降台34は昇降モータ6に
より駆動され、移載装置10は駆動モータ7により駆動
される。
【0026】このため、手動操作時に昇降モータ6およ
び駆動モータ7の出力トルクが制限されるため、ラック
25とスタッカクレーン3との調整の際に、移載装置1
0(のフォーク10a)がラック25に衝突しても、そ
のダメージを低減することができる。なお、本実施例で
は、昇降モータ6および駆動モータ7の回転数の上限値
が自動操作時に比し低く制限されるため、昇降台34の
昇降及び移載装置10の駆動も低速になり、移載装置1
0がラック25と衝突した際の衝撃そのもののダメージ
が低くなるようにしている。
【0027】スタッカークレーン3が手動操作状態であ
るか否かを検出する検出手段について、説明する。スタ
ッカークレーン3を手動操作する手段として、手動操作
装置11が設けられている。手動操作装置11は、スタ
ッカークレーン3と別体の外部機器であり、スタッカー
クレーン3の自動操作状態では、手動操作装置11とス
タッカークレーン3に備える制御装置4とは、通信接続
が切断された状態におかれている。具体的には、制御装
置4と手動操作装置11とを接続する信号線が、外され
ている。
【0028】本明細書において、「手動操作状態」と
は、手動操作が可能な状態のことを意味する。したがっ
て、手動操作装置11が制御装置4と通信可能に接続さ
れた状態が、手動操作状態である。
【0029】本実施例では、前記検出手段は次の構成で
ある。スタッカークレーン3には、信号線を接続可能と
する通信接続部12が設けられており、該通信接続部1
2に手動操作装置11と接続された信号線13を接続す
ることで、手動操作装置11が制御装置4とが通信可能
となる。前記記憶装置4bには、検出プログラムが記憶
されている。該検出プログラムは、手動操作装置11と
接続された信号線13が通信接続部12に接続されて、
通信可能状態となったかどうかを検出する。この検出を
簡単に説明すると、次のようなものである。通信接続部
12に、常時、通信状態確認用のデータを送信して、該
データが手動操作装置11側に正しく送信されたか否か
を検出して、通信可能状態の検出が行われる。以上にお
いて、記憶装置4bに記憶させた検出プログラムによ
り、前記検出手段が構成される。
【0030】通信接続部12はホットプラグ対応の接続
機器であり、信号線13の接続が行われると、手動操作
装置11が制御装置4とが自動的に通信可能となる。し
たがって、制御装置4と手動操作装置11との接続が完
了すると、直ちに手動操作状態に移行する。
【0031】なお、スタッカークレーン3が手動操作状
態であるか否かを検出する検出手段の構成は、以上の構
成に限定されるものではない。例えば、信号線13を通
信接続部12に取り付けると同時に、スタッカークレー
ン3側に設けた機械的なスイッチが入力されて、手動操
作状態の検出が制御装置4で行われるようにしてもよ
い。
【0032】そして、手動操作状態が制御装置4で検出
されると、制御装置4は、自動的に、スタッカークレー
ン3が備える各モータ5・6・7の出力トルクが制限さ
れるように制御する。
【0033】このため、手動操作装置11をスタッカー
クレーン3に接続することで、自動的に手動操作状態が
制御装置4に認識され、自動的に手動操作時のトルク制
御が行われる。したがって、作業者が、手動操作時に、
トルク制御をし忘れることがない。
【0034】手動操作装置11が制御装置4に接続され
て手動操作状態となると、作業者は、手動操作装置11
を用いて、スタッカークレーン3の操作が可能である。
手動操作装置11には、キーボード等の入力手段を備
え、制御装置4をホストコンピュータとする端末とし
て、使用可能である。手動操作装置11を用いて、手動
操作状態や自動操作状態における、前記出力トルクの上
限値の変更も可能である。なお、本実施例では、スタッ
カークレーン3は、走行モータ5が台車45内に配置さ
れているが、例えば、自動倉庫側に走行モータを設け、
走行モータでベルトを駆動し、ベルトに固定されたスタ
ッカークレーンを走行させるようにしても良い。その際
に、スタッカークレーンの制御装置は、自動倉庫側に設
けられていても良い。
【0035】
【発明の効果】請求項1記載の如く、物品を収納するラ
ックと、ラックに沿って敷設される軌道と、軌道に沿っ
て走行するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であ
って、スタッカークレーンは、自動操作と手動操作とで
制御可能であり、手動操作時には、自動操作時に比し走
行モータの出力トルクの上限値が低くなるように制限さ
れるので、自動倉庫の調整作業等の手動操作中に、スタ
ッカークレーンの走行経路上に誤って工具等が放置され
ていても、スタッカークレーンが工具等に衝突した後に
強い力で駆動し続けないため、工具とスタッカークレー
ンとの両者へのダメージを低減させることができる。
【0036】請求項2記載の如く、スタッカークレーン
は、軌道を走行する走行モータを備えた台車と、台車に
立設されるマストと、昇降モータによりマストに沿って
昇降する昇降台と、昇降台に搭載され、駆動モータによ
り駆動される移載装置とを備え、手動操作時には、自動
操作時に比し昇降モータと駆動モータの出力トルクの上
限値が低くなるように制限されるので、ラックとスタッ
カクレーンとの調整作業等の手動操作中において、移載
装置がラックに衝突した後に、強い力で駆動し続けない
ため、ラックと移載装置との両者へのダメージを低減す
ることができる。
【0037】請求項3記載の如く、手動操作用の別体の
外部機器が接続されたことを検出する検出手段と、トル
ク制御プログラムとを備え、検出手段で外部機器が接続
されたことを検出すると、トルク制御プログラムが自動
的に実行されるので、作業者が、手動操作時に、トルク
制御をし忘れることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】自動倉庫1を示す正面断面図である。
【図2】自動倉庫1に備えるスタッカークレーン3を示
す斜視図である。
【図3】スタッカークレーン3に備えるモータの制御機
構を示すブロック図である。
【図4】手動操作時に各モータ5・6・7等の出力トル
クを制限するトルク制限プログラムを示す手順図であ
る。
【符号の説明】
1 自動倉庫 3 スタッカークレーン 4 制御装置 5 走行モータ 6 昇降モータ 7 駆動モータ 10 移載装置 11 手動操作装置 13 信号線 25 ラック 34 昇降台 38 走行レール(軌道) 45 台車 46 マスト
フロントページの続き Fターム(参考) 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 EE05 FF01 JJ09 KK01 KK18 MM05 MM52 MM57 NN01 3F333 AA04 AB08 FA20 FA32 FA38 FE03 FE09

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物品を収納するラックと、ラックに沿っ
    て敷設される軌道と、軌道に沿って走行するスタッカー
    クレーンとを備えた自動倉庫であって、 スタッカークレーンは、自動操作と手動操作とで制御可
    能であり、手動操作時には、自動操作時に比し走行モー
    タの出力トルクの上限値が低くなるように制限される、
    ことを特徴とする自動倉庫。
  2. 【請求項2】 スタッカークレーンは、軌道を走行する
    走行モータを備えた台車と、台車に立設されるマスト
    と、昇降モータによりマストに沿って昇降する昇降台
    と、昇降台に搭載され、駆動モータにより駆動される移
    載装置とを備え、 手動操作時には、自動操作時に比し昇降モータと駆動モ
    ータの出力トルクの上限値が低くなるように制限され
    る、ことを特徴とする請求項1に記載の自動倉庫。
  3. 【請求項3】 手動操作用の別体の外部機器が接続され
    たことを検出する検出手段と、トルク制御プログラムと
    を備え、 検出手段で外部機器が接続されたことを検出すると、ト
    ルク制御プログラムが自動的に実行される、ことを特徴
    とする請求項1又は請求項2に記載の自動倉庫。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106760A (ja) * 2004-10-08 2006-04-20 Samsung Electronics Co Ltd 平板表示装置製造システム
JP2007269460A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Daifuku Co Ltd 物品保管装置
JP2008068964A (ja) * 2006-09-13 2008-03-27 Daifuku Co Ltd 基板収納設備及び基板処理設備
KR20220042616A (ko) * 2020-09-28 2022-04-05 주식회사 에스에프에이 2차전지 분리막 롤 반송용 스토커 시스템

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106760A (ja) * 2004-10-08 2006-04-20 Samsung Electronics Co Ltd 平板表示装置製造システム
JP4545076B2 (ja) * 2004-10-08 2010-09-15 三星電子株式会社 平板表示装置製造システム
JP2007269460A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Daifuku Co Ltd 物品保管装置
JP2008068964A (ja) * 2006-09-13 2008-03-27 Daifuku Co Ltd 基板収納設備及び基板処理設備
US8118530B2 (en) 2006-09-13 2012-02-21 Daifuku Co., Ltd. Substrate storage facility and substrate processing facility, and method for operating substrate storage
TWI409200B (zh) * 2006-09-13 2013-09-21 Daifuku Kk 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法
TWI498265B (zh) * 2006-09-13 2015-09-01 Daifuku Kk 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法
TWI503265B (zh) * 2006-09-13 2015-10-11 Daifuku Kk 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法
KR20220042616A (ko) * 2020-09-28 2022-04-05 주식회사 에스에프에이 2차전지 분리막 롤 반송용 스토커 시스템
KR102502874B1 (ko) * 2020-09-28 2023-02-23 주식회사 에스에프에이 2차전지 분리막 롤 반송용 스토커 시스템

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