KR0179405B1 - 크린장치가 부착된 하물보관설비 - Google Patents

크린장치가 부착된 하물보관설비 Download PDF

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KR0179405B1
KR0179405B1 KR1019940006192A KR19940006192A KR0179405B1 KR 0179405 B1 KR0179405 B1 KR 0179405B1 KR 1019940006192 A KR1019940006192 A KR 1019940006192A KR 19940006192 A KR19940006192 A KR 19940006192A KR 0179405 B1 KR0179405 B1 KR 0179405B1
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유키오 이이즈카
기보 시야지마
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마스다 쇼오이치로오
가부시끼가이샤 다이후꾸
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Abstract

상하방향으로 여러 단의 수납공간(13)을 가지는 선반(14)을 설치하고, 이 선반(14)은 앞면을 개방함과 동시에, 후면측은 공간(16)을 두어 외판(11)에 의하여 폐쇄되고, 공간(16)내에 송풍기(23)와 필터(22)로서 이루어지는 크린 에어 공급 유니트(2)를 상하 여러 단으로 설치함과 동시에, 외판(11)측에 에어흡인구(17),(18A),(18B)를 설치하였다.
각 송풍기의 가동에 의해서 공간 내의 에어를 흡인할 수 있으며, 토출되는 에어를 필터를 통해서 크린도가 높은 크린에어로 하여 선반에 대해서 후면측으로부터 공급할 수 있다.
각 수납공간 내에 격납되어 있는 하물은 후면으로부터 앞면으로 흐르는 크린 에어에 의해서 높은 크린도(clean 度)로 유지할 수 있다. 공간이 대기압 상태이며, 필터를 통과하지 않은 오염된 에어가 선반측으로 새거나, 외판의 접합부로부터 외부로 새지 않는다. 선반의 하방에 각종 장치를 설치하는 스페이스를 불필요하게 하였으므로, 전체 구조를 간소화, 콤팩트화할 수 있음과 동시에, 스페이스 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

크린장치가 부착된 하물 보관설비
제1도는 본 발명의 한 실시예를 나타내며, 크린장치가 부착된 하물 보관설비의 일부 절결 정면도.
제2도는 동 크린장치가 부착된 하물보관설비의 횡단 평면도.
제3도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내며, 크린장치가 부착된 하물보관설비의 일부 절결 정면도.
제4도는 또 다른 실시예를 나타내며, 크린장치가 부착된 하물보관설비의 일부 절결 정면도.
제5도는 동 크린에어 공급 유니트 부분의 일부 절결 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 크린룸 2 : 필터
3 : 크린에어 4 : 바닥
5 : 하물 6 : 반입장치
7 : 반출장치 8 : 하물반송수단
10 : 하물보관설비 11 :외판
11A : 후판부 11B : 상판부
11C : 측판부 11D : 저판부
11E : 칸막이판부 11F : 앞판부
12 : 선반판 13 : 수납공간
14 : 선반 15 : 통로
16 : 공간 17,18A,l8B,46 : 에어흡입구
19 : 에어유출구 20 : 크린에어 공급유니트
21 : 본체 22 : 필터
23 : 송풍기 24 : 토출부
25 : 흡인부 30 : 반출입장치
31 : 지지틀 32 : 승강대
33 : 가이드부 34 : 가동대
35 : 반출반입기구 36 : 링크기구
37 : 크린에어 40 : 에어흡입량 조절장치
41A,4lB,41C‥41N : 메쉬판 42 : 보울트체
43 : 너트체 44 : 펀칭메달
45 : 원호면
본 발명은, 예를 들어서, 반도체와 같이 먼지를 극단적으로 금기하는 제품의 보관에 채택되는 크린장치가 부착된 하물보관설비에 관한 것이다.
종래에는, 이러한 종류의 설비로서, 가령, 특개평 3-152004호 공보에서 볼 수 있는 크린룸 내의 하물 보관 설비가 제공되고 있다.
이 종래의 구성은, 전면과 후면을 개방한 하물수납부를 설치하고, 이 하물 수납부의 후면측에 필터를 배치함과 동시에, 이 필터의 후방에 칸막이 벽을 통해서 에어 공급로를 형성하고 있다. 그리고, 하물 수납부 하방에, 상기 에어공급로에 토출부가 연이어 통하는 송풍기를 설치하고, 이 송풍기는 하물 수납부를 통과한 크린에어를 흡인부를 통해서 흡인하고 있다.
상기 칸막이 벽의 후방에 본체 외판을 설치하고, 이들 칸막이 벽과 본체 외판과의 사이에 에어회수로를 형성함과 동시에, 이 에어회수로를 상기 송풍기를 설치한 구획실 내로 연이어 통하게 하고 있다.
이 종래 형식에 의하면, 송풍기의 토출부로부터 토출된 이송공기는 에어공급로내를 상방으로 흐르고, 그리고, 각 필터를 통해서 크린도가 높은 크린에어로 되며, 하물수납부에 후면측으로부터 공급된다.
따라서, 하물 수납부 내는, 후면으로부터 앞면으로 흐르는 크린에어에 의해서 높은 크린도가 유지된다. 또, 하물수납부를 통과한 크린에어는 다시 송풍기에 흡인되어서 순환 사용된다.
이 때에, 송풍기의 흡인력은 에어회수로에도 작용해서, 이 에어회수로를 음압화(부압화)하고 있으며, 따라서 칸막이 벽의 접합부로부터 에어 회수로로 새어나간 오염된 에어는 이 흡인력에 의하여 신속히 송풍기에 흡인되므로, 외부로 유출하는 일은 없다.
그러나, 상기한 종래의 구성에 의하면, 에어공급로가 높게 양압화(고가압화)되어 있으므로, 하물수납부를 형성하는 후면틀부과 필터와의 접합부 틈새로부터, 필터를 통과하지 않은 오염된 에어가 새어서(리이크) 하물수납부로 유출할 염려가 있다. 이 때문에, 접합부에는 코오킹등 귀찮고 고가인 밀폐 처리가 필요하다.
또한, 에어공급로의 배면측에 칸막이 벽을 통해서 에어회수로를 형성하므로써, 구조가 복잡하다. 또, 하물수납부 하방에 송풍기를 설치하기 위한 구획실을 형성하였으므로, 전체의 대형화를 초래함과 동시에, 하물 수납부의 최하단 레벨이 높아져서 스페이스 효율이 불량하게 되어 있다.
그리고, 하물 수납부 상방에 송풍기 등을 설치한 형식도 고려될 수 있으나, 이 형식도 전술한 하방에 설치한 형식과 마찬가지로 전체의 대형화를 초래하게 된다.
본 발명이 목적하는 바는 전체 구조를 간소화, 콤팩트화할 수 있음과 동시에, 스페이스 효율을 향상할 수 있고, 더욱이 선반에 대해서는 오염된 에어가 새는 일 없이, 또한 형식이나 규모에 관계없이 항상 크린 에어를 균일한 상태로 공급할 수 있는 크린장치 부착 하물 보관설비를 제공하는 점에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 크린장치가 부착된 하물 보관 설비는, 상하 방향에 여러 단의 수납공간을 가지는 선반을 설치하고, 이 선반은 전면을 개방함과 동시에, 후면측은 공간을 두어 외판으로 폐쇄하며, 상기 후면측에 인접한 공간 내에 송풍기와 필터로서 이루어지는 크린에어에 공급유니트를 상하 여러 개의 단으로 형성함과 동시에, 외판측에 에어흡입구를 형성하고 있다.
상기한 본 발명의 구성에 의하면, 각 송풍기의 가동에 의해서 공간 내의 에어를 흡인할 수 있고, 그리고 토출되는 에어를 필터를 통해서 크린정도가 높은 크린에어로 만든 다음, 선반에 대해서 후면측으로부터 공급할 수 있다.
따라서, 선반의 각 수납공간 내에 격납되어 있는 하물은 후면으로부터 앞면으로 흐르는 크린에어에 의해서 높은 크린도로 유지할 수 있다.
크린에어 공급유니트의 운전시에는 송풍기에 의해 공간내의 에어가 필터를 통해 선반쪽으로 이송되므로, 상대적으로 흡인측인 공간은 음압화(부압화)되고, 토출측인 선반 및 통로는 공간 및 외부보다 양압화(고가압화)되어 공간내의 크린도가 낮은 에어가 송풍기의 송출력에 의한 필터를 통하지 않고는, 선반측으로 유입되지 않는다.
따라서, 코오킹 따위에 의한 밀폐처리나, 특별한 누출 방지구조를 필요로 하지 않으므로, 전체를 구조가 간단하게 저렴한 가격으로 제공 가능하다. 또, 선반 후면에 송풍기를 가지는 크린에어 공급유니트를 상하 여러개의 단으로 형성하므로써, 선반 하방에 각종 장치(송풍기등)용의 스페이스가 필요없게 된다.
이에 의하여 전체 구조의 간소화, 높이를 낮게 할 수 있는 점으로 인한 콤팩트화를 도모할 수가 있음과 동시에, 선반의 최하단의 수납공간의 레벨을 낮게할 수 있어 스페이스 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제1의 실시 형태에서는, 크린에어 공급유니트를 가로 방향으로 여러개 열로 설치하고 있다.
이 제1의 실시 형태의 구성에 의하면, 가로방향으로 긴 규모의 선반으로 용이하게 충분히 대처 가능하다.
본 발명의 제2의 실시형태에서는 후면측에 인접한 공간 상부와 대향하는 면에 에어 흡입구를 형성하고 있다.
이 제2의 실시형태의 구성에 의하면, 각 송풍기가 가동에 의해서 공간 내의 에어를 흡인하고 있을 때, 이 공간에 대하여 상부의 에어 흡입구로부터 에어를 자동적으로 보충할 수 있다.
본 발명의 제3의 실시 형태에서는, 후면측에 인접한 공간 하부와 대향하는 면에 에어 흡입구를 형성하고 있다.
이 제3의 실시형태의 구성에 의하면, 각 송풍기가 가동에 의해서 공간 내의 에어를 흡인하고 있을 때, 이 공간에 대하여 하부의 에어흡입구로부터 에어를 자동적으로 보충할 수 있다.
본 발명의 제4의 실시형태에서는, 후면측에 인접한 공간의 상부와 하부에 대향하는 면에 각각 에어 흡입구를 형성하고 있다.
이 제4의 실시형태의 구성에 의하면, 각 송풍기가 가동에 의해서 공간 내의 에어를 흡인하고 있을 때, 이 공간에 대하여 상부와 하부의 에어 흡기구로부터 에어를 자동적으로 보충할 수 있다.
본 발명의 제5의 실시형태에서는, 각 크린에어 공급유니트의 각각에 공간측으로부터의 에어 흡입량을 조절하는 에어흡입량 조절장치를 갖추고 있다.
이 제5의 실시형태의 구성에 의하면, 공간으로의 에어흡기구에 가까운측의 크린에어 공급유니트에 있어서의 에어흡입량 조절장치는 그 개구율을 낮게 조절할 수 있으며, 그리고, 중간부의 크린에어 공급유니트에서는 개구율을 중간으로 조절할 수 있고, 또, 에어흡입구로부터 멀리 있는 측의 크린에어 공급유니트에서는 개구율을 높게 조절할 수 있다.
이와 같이 에어흡입구에 가까운 크린에어 공급유니트일수록 흡입량을 적게 하므로써, 각 송풍기의 가동으로 에어흡입구로부터 공간 내로 흡입된 에어는, 각 크린에어 공급유니트의 흡인부에 균일한 상태로 흡인된다.
더욱이 여러개의 송풍기를 설치함으로써, 생기는 각 수납공간에 대한 에어 압력의 불균일(크린에어 공급의 불균일)을 각 에어흡입량 조절장치의 조절에 의해서 수정 가능하다.
따라서, 선반에 대한 크린에어의 공급은, 에어흡입구가 다르다는 사실에 의한 형식의 변화와 규모가 다르다는 사실에 의한 높이의 변화등에 관계없이 더욱이 선반의 상부와 하부에 관계없이 균일한 상태로 행할 수가 있다.
본 발명의 제6의 실시형태에서는, 에어흡입량 조절장치는 개구율이 다른 여러종류의 메쉬판으로서 이루어지며, 선택한 1장의 메쉬판을 크린에어 공급유니트의 흡인부와 대향해서 크린에어 공급유니트의 본체에 탈착이 자유롭게 구성하고 있다.
이 제6의 실시형태의 구성에 의하면, 개구율이 다른 여러 종류의 메쉬판을 선택하여 장착하므로써, 흡입량이 적게 하는 조절을, 간단하고도 값싸게 행할 수가 있다.
[실시예]
이하에 본 발명의 한 실시예를 제1도, 제2도에 의거, 설명한다.
1은 크린룸으로서, 천정측(흑은 측벽측등)으로부터 필터(2)를 통하여 크린에어(3)가 아래로 나오며, 하강하는 크린에어(3)가 메쉬형식의 바닥(4)을 통해서 바닥 아래로 흡인되도록 구성되어 있다.
10은, 밀폐식의 크린장치가 부착된 하물 보관설비이며, 상자형상의 본체 외판(커버의 한예)(11)내에는 선반판(12)에 의해서 상하방향으로 여러 개의 수납공간(13)을 구획형성한 선반(14)이 전면을 통로(15)와 대향시켜서 한쌍으로 설치되어 있다.
이들 선반(14)은 통로(15)측을 향한 앞면과, 반대측의 후면이 개방되고, 그리고, 후면과 상기 본체 외판(11)의 후판부(11A)와의 사이에 공간(16)이 형성된다.
이 공간(16)내에 상기 선반(14)의 후면을 덮는 형태로 크린에어 공급유니트(20)가 상하 5단(여러 단)으로 설치된다.
본 제1의 실시예에서는, 가로방향으로 2열의 크린에어 공급유니트(20)를 도시하고 있으나, 이것은 1열이나, 2열 이상도 무방하다.
그리고, 상기 본체 외판(11)은, 전술한 후판부(11A)와, 상판부(11B)와, 측판부(11C)와, 저판부(11D)와, 선반(14)하방에 위치하는 칸막이판부(11E) 및 앞판부(11F)등에 의해서 형성된다. 이들 판부(11A~11F)중 적절한 것으로 외판의 일부가 형성된다.
상기 크린에어 공급유니트(20)는 앞면이 개방된 상자틀 형상의 본체(21)와, 이 본체(21)의 앞면측을 덮도록 설치된 필터(22)와, 본체(21)의 후면측에 설치된 송풍기(팬)(23)등에 의해서 구성된다.
이 송풍기(23)는, 그 토출부(24)가 상기 필터(22)를 향하고, 흡인부(25)가 상기 공간(16)으로 개구되어 있다.
상기 통로(15)내에는 반출입장치(30)가 설치된다. 이 반출입장치(30)는 통로(15)내 안쪽에 설치한 상하방향의 지지틀(31)과, 이 지지틀(31) 내에 설치한 승강운동장치와 연동되는 승강대(32)와, 이 승강대(32) 상에 설치되고, 또한 통로(15)의 길이방향의 대략 전체 길이에 걸친 가이드부(레일)(33)와, 이 가이드부(33)에 지지 안내되어서 선반(14)의 앞면을 따라서 이동이 자유로운 가동대(34)와, 이 가동대(34) 위에 설치한 반출 반입기구(35) 등으로 구성되어 있다. 그리고 반출 반입기구(35)는 링크기구(36)에 의하여 가로방향으로 출퇴가 자유롭게 구성되어 있다.
상기 선반(14)의 후면측에 인접한 공간(16) 상부와 대향하는 상판부(11B)의 면과, 선반(14)의 후면측에 인접한 공간(16) 하부와 대향하는 칸막이판부(11E)의 면에는 각각 에어흡입구(17),(18A)가 형성되며, 또, 앞판부(11F)에는 통로(15)와 상기 공간(16) 하부와 연이어 통하는 에어흡입구(18B)가 형성되어 있다.
또한, 저판부(11D)에서 통로(15)와 대향하는 부분에는 에어유출구(19)가 형성되어 있다.
그리고, 각 에어 흡입구(17),(18A),(18B)와 에어 유출구(19)는 다공형상과 슬리트 형상으로 형성되어 있다.
5는 취급되는 하물을 나타낸다.
상기 크린장치가 부착된 하물 보관설비(10)에서는 하물(5)의 입출고를 행하기 위하여 반입장치와 반출장치는 각종의 형식이 있으며, 예를 들어 제1도에서 가상선으로 도시하는 바와 같이 한쪽의 선반(14)에서 상단의 수납공간(13)의 일부를 이용하여 반입장치(6)가 설치되며, 그리고, 하단의 수납공간(13) 일부를 이용하여 반출장치(7)가 설치되어 있다.
이 때에 반입장치(6)와 반출장치(7)는 개폐가 자유로운 문을 가지며, 또 반입장치(6)의 입구 바깥 쪽에는, 예로서 자주 대차형식의 하물반송수단(8)이 설치된다.
다음에, 상기한 실시예의 작용을 설명한다.
크린장치가 부착된 하물 보관설비(10)에 있어서의 항상 높은 크린도가 유지되고 있다. 즉, 각 송풍기(23)의 가동에 의해서 공간(16)내의 에어가 흡인부(25)로 부터 흡인되고, 또 토출부(24)로부터 본체(21)내로 토출된다.
이 토출되는 공기는 대향하고 있는 필터(22)를 통해서 크린도가 높은 크린에어(37)가 되어 선반(14)에 대해서 후면측으로부터 공급된다.
따라서, 선반(14)의 각 수납공간(14)내에 격납되어 있는 하물(5)은 후면으로부터 앞면으로 흐르는 크린에어(37)에 의해서 고크린도로 유지되고 있다. 그리고, 선반(14)을 통한 크린에어(37)는 통로(15)내로 유입한 후, 아래로 흐르고, 그 일부는 에어 유출구(19)를 통해서 바닥(4)아래로 유출된다.
또, 나머지 대부분은 각 송풍기(23)의 가동에 의하여 생긴 흡인력에 의해서 에어흡입구(18B),(18A)를 통과하고, 공간(16)내로 유입되어 순환사용된다. 이때에 천정측으로부터의 크린에어(3)의 일부가 에어흡입구(17)를 통과해서 공간(16)내로 유입되므로써 보충된다.
전술한 크린에어 공급유니트(20) 운전시에, 송풍기(23)에 의해 공간(16)내의 에어가 필터(22)를 통해 선반(14)쪽으로 이송되므로, 상대적으로 흡인측인 공간(16)은 음압화(부압화)되고, 토출측인 선반(14) 및 통로(15)는 공간(16) 및 외부보다 양압화(고가압화)되어 공간(16)내의 크린도가 낮은 에어가 송풍기(23)의 송출력에 의한 필터(22)를 통하지 않고는, 선반(14)측으로 유입되지 않는다.
그리고, 선반(14)의 하방에 각종 장치(송풍기)용의 스페이스가 필요없게 하여 전체를 콤팩트하게 형성할 수 있음과 동시에, 최하단의 수납공간(13)의 위치를 낮게할 수가 있다.
예로서, 하물반송수단(8)에 의하여 반송되어 온, 입고시키고자 하는 하물(5)은 반입장치(6)를 통해서 반출입장치(30)가 인수한다. 그리고, 반출입장치(30)에서의 승강대(32)의 승강운동과, 가동대(34)의 이동과, 반출반입기구(35)의 인도운동(제2도에서의 실선과 가상선 참조)과의 조합동작에 의해서, 목적하는 수납공간(13)에 수납된다.
또, 반출입장치(30)의 역작동에 의해서 목적하는 수납공간(13)의 하물(5)을 반출장치(7)를 통해서 출고할 수 있다.
상기의 한 실시예에서는, 통로(15)내로 유입한 후, 하방으로 흐르는 크린에어(37)의 대부분을 에어흡입구(18B),(18A)를 통해서 공간(16)내로 유입시켜 순환 사용하고 있으나, 이것은 제3도에서 도시하는 다른 실시예와 같이 전부를 에어 유출구(19)로부터 바닥(4) 아래로 유출시키고, 그리고, 에어흡입구(17)로부터 공간(16)내로 에어를 흡입하여도 좋다.
상술한 바와같이 에어흡입구(17),(18A),(18B)를 형성하는 위치는 임의의 것이 된다. 또, 상기 크린에어 공급유니트(20)로서는 각종 구조의 것이 채택된다.
즉, 제4, 제5도에서 도시하는 또 다른 실시예에 있어서, 각 크린에어 공급 유니트(20)의 각각에는 공간(16)측으로부터의 에어 흡입량을 조정하는 에어 흡입량 조절장치(40)가 설치된다.
여기에서, 에어 흡입량 조절장치(40)는 개구율(예로서 구멍수)이 다른 여러 종류의 메쉬판(41A),(41B),(41C)‥‥(41N)으로서 이루어지며, 선택한 1장의 메쉬판을 크린에어 공급유니트(20)의 흡인부(25)와 대향해서 크린 에어 공급유니트(20)의 본체(21)에 착탈이 자유롭게 구성하고 있다.
여기에서 착탈은, 메쉬판(41A),(41B),(41C)‥‥(41N)의 외부 가장자리부에 바깥측으로부터 관통시킨 보울트체(42)를 본체(21)에서의 흡인부(25) 바깥 둘레에 고정시킨 너트체(43)와 나사 맞춤시키므로써 행하여진다.
그리고, 본체(21)의 토출부(24)에는 펀칭메탈(44)이 설치되고, 이 펀칭메탈(44)은 선반(14)측과 대향되어 있다. 그리고, 본체(21)의 외측 코너부는 원호면(45)에 형성되어 있다.
또한, 저판부(11D)측에 에어흡입구(46)가 형성되어 있다.
이 또, 다른 실시예에 의하면, 공간(16)으로의 에어흡입구(18A)에 가까운 하부의 크린에어 공급유니트(20)에 개구율이 낮은 메쉬판(41C)이 장착되고, 그리고, 중간부의 크린에어 공급유니트(20)에 개구율이 중간인 메쉬판(41A)이 장착되며, 또, 에어흡입구(18A)로부터 먼 상부의 크린에어 공급유니트(20)에 개구율이 높은 메쉬판(41B)이 장착된다.
이에 의하여 각 송풍기(23)의 가동에 의해서 에어 흡입구(18B),(18A)로부터 공간(16)내로 흡인된 에어는, 하부일수록 흡인량이 적게 되어 있으므로, 각 크린 에어 공급유니트(20)의 흡인부(25)에 균일한 상태로 흡인된다.
또, 제1과 제2의 실시예에서는, 여러개의 송풍기(23)를 설치하였으므로, 각 수납공간(13)에 대한 에어압의 불균일(크린에어 공급의 불균일)이 생기는 데, 이것은 각 에어 흡입량 조절장치(40)의 조절에 의해서 수정될 수 있으며, 따라서 각 크린에어 공급유니트(20)로부터 선반(14)측을 향하여 크린에어(37)를 균일한 상태로 공급할 수가 있다.
이러한 사실에서, 에어 흡입구가 다른 형식의 변화나 규모가 다른 높이의 변화등에 관계없이 선반(14)에 대하여 항상 크린에어(37)를 균일한 상태로 공급할 수가 있다.
그리고, 에어의 보충은 제4도의 실선 X로 도시하는 바와 같이 저판부(11D)에 형성한 에어흡입구(46)를 통해서 크린룸(1)측으로부터 혹은 제4도의 실선 Y로 도시하는 바와 같이 저판부(11D)에 형성한 에어흡입구(46)를 통해서 바닥(4)측으로부터, 또는 제4도의 가상선 Z로 도시하는 바와같이 후판부(11A)에 형성한 에어흡입구(도시하지 않음)를 통해서 크린룸(1)측으로부터 행하여진다.
나아가서는 이들의 조합에 의한 여러개소로부터 행하여진다.
상기의 각 실시예에서 도시하는 바와 같이 통로(15)내로 유입한 후, 아래로 흐르는 크린에어(37)의 대부분, 또는 전부를 에어유출구(19)로부터 바닥(4) 아래로 유출시키고, 그리고, 보충등에 의해서 크린룸(1)측의 에어를 사용하므로써 각 송풍기(23)의 운전열에 의하여 에어가 필요 이상으로 가열되는 것을 억제하여, 하물(5)에 대한 열 영향을 방지할 수 있다.
상기 각 실시예에서는 한쌍의 선반(14) 사이에 반출입장치(30)를 설치한 형식을 도시하였으나, 이것은 한 쪽의 선반(14)과, 반출입장치(30)를 조합시킨 형식, 한 쪽 선반(14)만의 형식등도 무방하다. 또, 반출입장치(30)로서는, 가령 전체가 주행하는 크레인 형식과, 이동이나 주행을 하지 않는 정치 형식등, 각종 형식이 채택된다.
또한, 크린장치가 부착된 하물 보관설비(10)를 크린룸(1)내에 설치하였으나, 이것은 통상적인 방에 설치하여도 좋다.
상기한 또 다른 실시예(제4도, 제5도)에서는 에어 흡입량 조절장치(40)로서 개구율이 다른 여러 종류의 메쉬판(41A),(41B),(41C)‥‥(41N)을 도시하였으나, 본 제6발명에서는, 본체(21)측에 다수의 구멍에 의한 흡인부(25)를 형성하고, 그리고, 본체(21)에 대해서 회전 또는 슬라이드가 자유로운 다공 가동판을 설치하여 그 회전 또는 슬라이드에 의해서 양 구멍의 연이어 통하는 면적을 변화시켜서 개구율을 변경시키도록 한 에어 흡입량 조절장치(40)도 가능하다.
나아가서는 흡인부(25)에 대하여 판을 접근, 분리가 자유롭게 하여 그 틈새를 변화시켜서 개구율을 변화시키도록 한 에어 흡입량 조절장치(40)도 가능하다.
이와같이 에어 흡입량 조절장치(40)는 각종 형식을 채택할 수 있다.

Claims (6)

  1. 상하 방향으로 여러 단의 수납공간을 가지는 선반(14)을 설치하고, 이 선반(14)은 앞면을 개방함과 동시에, 후면측은 공간을 두어 외판(11)으로 폐쇄하며, 상기 공간내에 송풍기(23)와 필터(22)로 이루어지는 크린에어 공급 유니트를 상하 여러 단으로 설치함과 동시에, 외판(11)측에 에어 흡입구를 설치한 구성의 크린장치가 부착된 하물 보관설비에 있어서, 상기 각 크린에어 공급유니트(20)에, 후면측으로부터 유입되는 에어 흡입량을 조절하는 에어 흡입량 조절장치(40)를 각각 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 크린장치가 부착된 하물 보관설비.
  2. 제1항에 있어서, 에어 흡인량 조절장치(40)는, 개구율이 다른 여러 종류의 메쉬판(41A),(41B),(41C)…(41N)으로 구성되며, 선택한 1장의 메쉬판을 크린에어 공급유니트(20)의 흡인부(25)와 대향하여 크린에어 공급유니트(20)의 본체에 부착하거나 떼어내는 것이 자유롭게 설치하는 것을 특징으로 하는 크린장치가 부착된 하물 보관설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 크린 에어 공급유니트(20)는, 가로 방향으로 여러 열로 설치되는 것을 특징으로 하는 크린장치가 부착된 하물 보관설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공간의 상부와 대향하는 면에 에어 흡입구가 형성됨을 특징으로 하는 크린장치가 부착된 하물 보관설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공간의 하부와 대향하는 면에 에어 흡입구가 형성됨을 특징으로 하는 크린 장치가 부착된 하물 보관설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공간의 상부 및 하부와 대향하는 면에 에어 흡입구가 각각 형성됨을 특징으로 하는 크린장치가 부착된 하물 보관설비.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101189269B1 (ko) * 2005-05-10 2012-10-09 삼성디스플레이 주식회사 평판 표시 장치의 제조 시스템

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6036427A (en) * 1996-05-29 2000-03-14 Daifuku Co., Ltd. Guided vehicle system for transporting loads
US5827118A (en) * 1996-08-28 1998-10-27 Seh America, Inc. Clean storage unit air flow system
US5700190A (en) * 1996-08-28 1997-12-23 Seh America, Inc. Flowhood work station
GB9716267D0 (en) * 1997-07-31 1997-10-08 Havant International Ltd Servo track writers
JP2000016521A (ja) * 1998-07-02 2000-01-18 Murata Mach Ltd 自動倉庫
US6193601B1 (en) * 1998-11-10 2001-02-27 Sandia Corporation Module bay with directed flow
JP2001031213A (ja) * 1999-07-26 2001-02-06 Murata Mach Ltd 自動倉庫とそれを用いた搬送システム
JP2005167083A (ja) * 2003-12-04 2005-06-23 Daifuku Co Ltd ガラス基板用の搬送設備
TWM299274U (en) * 2006-05-04 2006-10-11 Ind Tech Res Inst Automatically cleaned storage and retrieve system
US7896602B2 (en) 2006-06-09 2011-03-01 Lutz Rebstock Workpiece stocker with circular configuration
JP4807579B2 (ja) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク 基板収納設備及び基板処理設備
US20080112787A1 (en) 2006-11-15 2008-05-15 Dynamic Micro Systems Removable compartments for workpiece stocker
US20090028669A1 (en) * 2007-07-25 2009-01-29 Dynamic Micro Systems Removable compartments for workpiece stocker
US9117870B2 (en) * 2008-03-27 2015-08-25 Lam Research Corporation High throughput cleaner chamber
CH699754B1 (de) * 2008-10-20 2020-11-13 Tec Sem Ag Speichervorrichtung für eine Zwischenlagerung von Objekten für die Produktion von Halbleiterbauelementen
KR101073546B1 (ko) * 2009-08-13 2011-10-17 삼성모바일디스플레이주식회사 스토커
US8562272B2 (en) * 2010-02-16 2013-10-22 Lam Research Corporation Substrate load and unload mechanisms for high throughput
US8282698B2 (en) * 2010-03-24 2012-10-09 Lam Research Corporation Reduction of particle contamination produced by moving mechanisms in a process tool
US8893642B2 (en) 2010-03-24 2014-11-25 Lam Research Corporation Airflow management for low particulate count in a process tool
CN103177985B (zh) * 2011-12-26 2016-08-03 北京七星华创电子股份有限公司 半导体晶圆制造装置
ITTO20120415A1 (it) * 2012-05-09 2013-11-10 Alenia Aermacchi Spa Impianto industriale e procedimento per la produzione di un prodotto industriale, in particolare per un componente o un sitema aeronautico.
US20140087649A1 (en) * 2012-09-26 2014-03-27 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Cleanroom and Cleaning Apparatus
CN108290687B (zh) * 2016-02-15 2020-04-28 村田机械株式会社 保管装置以及输送系统
JP6729115B2 (ja) * 2016-03-31 2020-07-22 株式会社ダイフク 容器収納設備
DE102016009000A1 (de) * 2016-07-21 2018-01-25 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh Regalbediengerät für ein Palettenspeichersystem
JP6601360B2 (ja) * 2016-09-30 2019-11-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3080695A (en) * 1959-12-28 1963-03-12 Mclean Engineering Lab Ventilating apparatus
JPS6222933A (ja) * 1985-07-19 1987-01-31 Matsushita Seiko Co Ltd 空気清浄装置
JPS62217036A (ja) * 1986-03-18 1987-09-24 Mitsubishi Electric Corp ストツカ
US4986715A (en) * 1988-07-13 1991-01-22 Tokyo Electron Limited Stock unit for storing carriers
JPH0790882B2 (ja) * 1989-11-08 1995-10-04 株式会社ダイフク クリーンルーム内の荷保管装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101189269B1 (ko) * 2005-05-10 2012-10-09 삼성디스플레이 주식회사 평판 표시 장치의 제조 시스템

Also Published As

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