CN107804636B - 物品收纳设备 - Google Patents

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Abstract

在物品收纳架（1）的前方形成搬运空间（S1），在物品收纳架（1）处具备将在上下方向上相邻的收纳部（1a）彼此之间间隔的多个上下间隔体，在壁部（43）和多个收纳部（1a）之间形成在上下方向上延伸的流路空间（S2）多个收纳部（1a）的每一个位于流路空间（S2）和搬运空间（S1）之间，连通于流路空间（S2）及搬运空间（S1），供气部（51）具备来自外部的气体流入的流入口（53），并且连通于搬运空间（S1）的上端部及流路空间（S2）的上端部，在供气部（51）具备引导部，前述引导部以搬运空间（S1）内的气压比流路空间（S2）内的气压小的方式，将从流入口（53）流入的气体向流路空间（S2）和搬运空间（S1）引导。

Description

物品收纳设备
技术领域
本发明涉及一种物品收纳设备，前述物品收纳设备具备物品收纳架、搬运装置、壁部，前述物品收纳架具备在上下方向上排列的多个收纳部，前述搬运装置相对于前述收纳部搬运物品，前述壁部在限制气体的通过的状态下，覆盖前述物品收纳架的后方，在前述物品收纳架的前方形成在前述上下方向上延伸的搬运空间，前述搬运装置被设置于前述搬运空间。
背景技术
该物品收纳设备的以往例被记载于日本特开2003-081406号公报(专利文献1)。在专利文献1的物品收纳设备中，将壁部以相对于多个收纳部向后方隔开间隔的状态设置，形成有在壁部和多个收纳部之间在上下方向上延伸的流路空间。并且，在流路空间和收纳部之间设置送风装置(风量调节器14)，借助该送风装置从流路空间向收纳部吹送气体，由此流路空间的气体穿过收纳部向搬运空间流动。这样地使气体流动，由此抑制由搬运装置产生的灰尘等向收纳部流入，防止被收纳于收纳部的物品被污染。
在专利文献1的物品收纳设备中，在流路空间和收纳部之间设置有送风装置，所以物品收纳设备的运行成本变高。因此，考虑以在流路空间和收纳部之间不设置送风装置的方式来抑制运行成本，但产生如下问题。
即，在专利文献1的物品收纳部中，相对于各个收纳部设置送风装置来从流路空间向搬运空间强制吹送气体，由此实现多个收纳部的气体的流量的均匀化。但是，在不具备送风装置的情况下，产生相对于多个收纳部的气体的流量的不均。具体地，气体容易从流路空间的下游部向收纳空间的下游部流动，相反地，气体难以从流路空间的上游部向收纳空间的下游部流动。因此，在上下方向上排列的多个收纳部的位于上部的收纳部中，在搬运装置工作时等气体容易从搬运空间向流路空间逆流。此外，气体难以从流路空间向搬运空间的上游侧流入，所以在搬运空间的上游侧，向下方流动的气体的量变少，在搬运空间的上游侧，难以适当地使灰尘向下方流动。
发明内容
因此，需要一种物品收纳设备，前述物品收纳设备抑制运行成本，同时抑制气体从搬运空间向收纳部的逆流，并且在搬运空间的上游侧，容易使灰尘适当地向下方流动。
物品收纳设备的特征结构在于，具备物品收纳架、搬运装置、壁部，前述物品收纳架具备在上下方向上排列的多个收纳部，前述搬运装置将物品相对于前述收纳部搬运，前述壁部在限制气体的通过的状态下，覆盖前述物品收纳架的后方，在前述物品收纳架的前方形成在前述上下方向上延伸的搬运空间，前述搬运装置被设置于前述搬运空间，前述物品收纳架具备多个上下间隔体，前述多个上下间隔体在限制气体的通过的状态下，将在前述上下方向上相邻的收纳部彼此之间间隔，前述壁部在相对于前述多个收纳部在后方隔开间隔的状态下被设置，在前述壁部和前述多个收纳部之间形成在前述上下方向上延伸的流路空间，前述多个收纳部的每一个在前述上下方向上观察时，在前述物品收纳架和前述搬运空间排列的前后方向上，位于前述流路空间和前述搬运空间之间，连通于前述流路空间及前述搬运空间，还具备供气部和排气部，在比前述搬运空间、前述流路空间、及前述多个收纳部靠上方的位置具备前述供气部，在比前述流路空间及前述多个收纳部靠下方的位置具备前述排气部，前述供气部具备来自外部的气体流入的流入口，并且连通于前述搬运空间的上端部及前述流路空间的上端部，前述排气部连通于前述搬运空间的下端部，前述供气部具备引导部，前述引导部以前述搬运空间内的气压比前述流路空间内的气压小的方式，将从前述流入口流入的气体向前述流路空间的上端部和前述搬运空间的上端部引导。
根据该特征，从流入口流入的气体以搬运空间内的气压比流路空间内的气压小的方式向流路空间的上端部和搬运空间的上端部流动。因此，即使不相对于各个收纳部设置送风装置来将气体从流路空间强制地吹送向搬运空间，气体也容易从气压较高的流路空间向气压较低的搬运空间流动。由此，不仅朝向搬运空间气体较容易流动的流路空间的下游侧，在朝向搬运空间气体较难以流动的流路空间的上游侧，气体也容易从流路空间向搬运空间流动。因此，位于在上下方向上排列的多个收纳部的上方的位置的收纳部中，在搬运装置工作时等气体难以从搬运空间向流路空间逆流。此外，在搬运空间的上游侧，来自流路空间的气体容易流入，所以向搬运空间的上游侧的下方流动的气体的量变多，在搬运空间的上游侧容易使灰尘适当地向下方流动。
这样，不相对于收纳部设置送风装置，由此能够抑制运行成本，同时抑制气体从搬运空间向收纳部的逆流，并且在搬运空间的上游侧，容易使灰尘适当地向下方流动。
附图说明
图1是物品收纳设备的侧视图。
图2是收纳部及流路空间的局部放大俯视图。
图3是收纳部及流路空间的局部放大侧视图。
图4是流路部及引导部的分解立体图。
图5是引导部的侧视图。
图6是物品收纳设备的俯视图。
图7是表示物品收纳设备的空气的流动的图。
具体实施方式
以下，基于附图，对物品收纳设备的实施方式进行说明。
如图1所示，物品收纳设备具备物品收纳架1、堆垛起重机2、气体供给装置3(参照图2及图3)，前述物品收纳架1具备多个收纳作为物品的容器W的收纳部1a，前述堆垛起重机2作为向收纳部1a搬运容器W的搬运装置。此外，在物品收纳设备上，具备壁体K，前述壁体K将设置物品收纳架1、堆垛起重机2的设置空间的侧周围以限制空气(气体)流通的方式覆盖。
如图2及图3所示，在物品收纳架1上，具备多个用于收纳容器W的收纳部1a。气体供给装置3构成为，向被收纳于收纳部1a的容器W的内部供给作为气体的清洁干燥空气(以下简称为干燥空气)。即，被气体供给装置3向容器W的内部供给的气体是比收纳部1a的气体湿度低的气体。
容器W构成为能够容纳1张衬底。在本实施方式中，将衬底作为中间掩模，将容器W作为容纳中间掩模的容器W。
如图1所示，物品收纳设备被设置于气体从顶棚部C向地面部F向下方流动的下流式的净化室内。
净化室的地面部F具备下地面部F1、被比下地面部F1靠上方地设置的上地面部F2。下地面部F1是没有通气孔的不能通气的地面，上地面部F2是具有通气孔的在上下方向Z上能够通气的地面。在本实施方式中，下地面部F1由无孔状的混凝土构成，堆垛起重机2在下地面部F1上行进。此外，在本实施方式中，上地面部F2由形成有多个在上下方向Z上贯通的通气孔的隔栅构成，作业者在该上地面部F2上步行。
净化室的顶棚部C具备上顶棚部C1、被比上顶棚部C1靠下方地设置的下顶棚部C2。上顶棚部C1是没有通气孔的不能通气的顶棚，下顶棚部C2是在上下方向Z上能够通气的顶棚。在本实施方式中，上顶棚部C1由无孔状的混凝土构成，下顶棚部C2由HEPA过滤器等过滤器构成。另外，下顶棚部C2相当于具备使气体向下方流出的流出部的顶棚。
在下地面部F1和上地面部F2之间形成有地面空间FS，在上顶棚部C1和下顶棚部C2之间形成有顶棚空间CS。此外，在上地面部F2和下顶棚部C2之间形成有室空间S。并且，借助图外的送风装置的工作，将空气向顶棚空间CS排出，由此被下顶棚部C2的过滤器净化的空气(清净空气)在室空间S从顶棚部C向地面部F向下方流动。
〔容器〕
在容器W的底部具备供气被连接部(图中未示出)和排气被连接部(图中未示出)。供气被连接部是用于将被从气体供给装置3的供气连接部12排出的干燥空气向容器W的内部供给的部分。排气被连接部是用于将容器W的内部的气体向容器W的外部排出的部分。
容器W的供气被连接部被弹簧等施力体施力成关闭状态，气体供给装置3的供气连接部12被连接于容器W的供气被连接部的状态下，若干燥空气被从该供气连接部12喷出，则借助该被喷出的干燥空气的压力，供气被连接部被打开操作，干燥空气被向容器W的内部供给。此外，容器W的排气被连接部被弹簧等施力体施力成关闭状态，若通过气体供给装置3的干燥空气的供给而容器W的内部的压力变高，则借助该压力，排气被连接部被打开操作，容器W的内部的气体被从排气被连接部排出。
以下，对物品收纳设备的各结构进行说明，将物品收纳架1和搬运空间S1排列的方向设为前后方向X，将相对于物品收纳架1搬运空间S1存在的方向设为前方X1，将其相反方向设为后方X2来说明。此外，在上下方向Z上观察时，将相对于前后方向X正交的方向设为宽度方向Y来说明。另外，关于容器W，基于将容器W收纳于收纳部1a的状态定义前后方向X及宽度方向Y来说明。
〔物品收纳架〕
如图1所示，物品收纳架1以互相相向的状态设置有一对。物品收纳架1具备在上下方向Z及宽度方向Y上排列的多个收纳部1a。一对物品收纳架1除了被设置的朝向不同以外被同样地构成。
如图2及图3所示，物品收纳架1具备架框体6和多个支承体5，前述多个支承体5将收纳于收纳部1a的容器W从下方支承，前述架框体6支承多个支承体5。
架框体6是将沿着上下方向Z的姿势的纵框6a和沿着宽度方向Y的姿势的横框6b组合的格子状的框架。若加以说明，则在宽度方向Y排列的两个纵框6a之间设置多个横框6b来形成梯子状的框，将该梯子状的框在宽度方向Y上连结来形成格子状的架框体6。
在物品收纳架1上，以在上下方向Z及宽度方向Y排列的状态具备多个支承体5。支承体5相对于在宽度方向Y上相邻的两个收纳部1a设置一个，支承体5的宽度方向Y的大小形成为能够支承在宽度方向Y上排列的两个容器W的大小。支承体5形成为主要部(支承部9)在前后方向X及宽度方向Y上延伸的板状，在支承体5的后方X2的端部被连结于架框体6的状态，支承体5被悬臂状地支承于架框体6。
支承体5具备支承部9和一对连结部10，前述支承部9将被收纳于收纳部1的容器W从下方支承，前述一对连结部10被连结于架框体6。支承部9是支承体5的主要部，形成为在前后方向X及宽度方向Y上延伸的平板状。
在支承部9的上表面，设置有突起部11、供气连接部12、排气连接部13，前述突起部11向上方突出，前述供气连接部12用于将被气体供给装置3供给的干燥空气供给于容器W内部，前述排气连接部13用于使被从容器W的内部排出的气体流通。
支承部9形成为如上所述的在前后方向X及宽度方向Y上延伸的板状，由此在限制气体的通过的状态下，将在上下方向Z上相邻的收纳部1a彼此间隔。另外，支承部9相当于上下间隔体。
突起部11以位于被收纳于收纳部1a的容器W的侧周围的方式被设置。该突起部11抵接于容器W的侧面，由此容器W被定位于被形成于支承部9上的收纳部1a。另外，在本实施方式中，作为突起部11，设置有多根(相对于1个容器W为6根)销状的部件。
在供气连接部12上，连接有构成气体供给装置3的后述的分岔配管25。在排气连接部13上连接有排气管(图中未示出)。该排气管的与被连接于排气连接部13的端部相反的一侧的端部敞开，从该相反的一侧的端部能够将排气管内的气体排出。在容器W被支承于支承体5的状态下，供气连接部12被连接于容器W的供气被连接部，排气连接部13被连接于容器W的排气被连接部。
一对连结部10形成为沿着上下方向Z及前后方向X的平板状。在支承部9的宽度方向Y的两端部具备一对连结部10，一对连结部10分别以从支承部9的后端向后方X2突出的状态配置。并且，一对连结部10被连结于架框体6的一对纵框6a。
在支承部9的后端和架框体6的前端之间形成有间隙，借助该间隙形成有贯通部14。即，支承体5如上所述，以一对连结部10从支承部9向后方X2突出的状态被连结于架框体6，由此具备在前后方向X上将支承部9和架框体6之间在上下方向Z上贯通的贯通部14。
这样，支承体5具备将被收纳于收纳部1a的容器W从下方支承的支承部9，并且在比支承部9靠后方X2上形成有在上下方向Z上贯通的贯通部14。
收纳部1a被形成于支承体5的支承部9的上方。若加以说明，收纳部1a被形成于支承部9和相对于该支承部9在上方相邻的另外的支承部9之间的区域。并且，收纳部1a关于前后方向X及宽度方向Y，被形成于从支承部9的前端至后端的区域。另外，关于最上层的收纳部1a，也被形成于与其他收纳部1a相同大小的区域。此外，如本实施方式那样，在存在容器W的后端从支承部9向后方X2伸出的部分的情况下，收纳部1a为直至被支承于支承部9的容器W的后端。
并且，多个收纳部1a的每一个在前后方向X上位于搬运空间S1和后述的流路空间S2之间，连通于搬运空间S1及流路空间S2。
如图1所示，形成有在物品收纳架1的前方X1在上下方向Z上延伸的搬运空间S1，堆垛起重机2被设置于搬运空间S1。另外，搬运空间S1作为比支承体5靠前方X1的空间，如本实施方式那样以一对物品收纳架1相向的状态设置的情况下，在一方的物品收纳架1的支承体5和另一方的物品收纳架1的支承体5之间形成搬运空间S1。
〔堆垛起重机〕
堆垛起重机2具备行进台车16、杆17、升降体18、移载装置19，前述行进台车16在搬运空间S1在宽度方向Y上行进，前述杆17被立起设置于行进台车16，前述升降体18沿杆17升降，前述移载装置19被支承于升降体18。
移载装置19通过行进台车16行进来沿宽度方向Y移动，通过升降体18升降来沿杆17在上下方向Z上移动。此外，虽省略详细说明，但在移载装置19上，具备支承容器W的支承台、使该支承台沿前后方向X移动的杆机构，移载装置19构成为，在自身与收纳部1a之间能够移载容器W。关于行进台车16，行进台车16的至少一部分位于比最下层的支承部9、后述的限制体47靠下方的位置。在本实施方式中，行进台车16的整体位于比最下层的支承部9、限制体47靠下方的位置。
行进台车16在行进轨道20上沿宽度方向Y行进。在本实施方式中，行进台车16的整体位于比最下层的收纳部1a所具备的支承部9靠下方且比上地面部F2靠下方的位置。
杆17的上端部以沿宽度方向Y移动的方式被引导轨道21引导。若加以说明，在比最上层的收纳部1a靠上方的位置，以沿宽度方向Y的姿势设置有引导轨道21，该引导轨道21以在前后方向X上隔开间隔的状态被设置。并且，杆17的上端部位于一对引导轨道21之间，杆17以向前后方向X的移动被一对引导轨道21限制的状态被在宽度方向Y上引导。
〔气体供给装置〕
如图2及图3所示，气体供给装置3具备被连接于气体供给源(图中未示出)的基干配管(图中未示出)、从该基干配管分岔的多个纵配管24、从各个纵配管24分岔的多个分岔配管25。来自气体供给源的干燥空气按照基干配管、纵配管24、分岔配管25的顺序流通，被供给于各收纳部1a的容器W。基干配管例如在比最下层的收纳部1a靠下方处，被沿着宽度方向Y配设。
多个纵配管24的每一个被沿着上下方向Z配设。多个纵配管24的每一个被配设成从基干配管向上方延伸。纵配管24被配设成穿过被形成于支承体5的贯通部14。换言之，在支承体5的支承部9的宽度方向Y的宽度内，设置成位于支承部9和架框体6之间。
〔壁体〕
如图1所示，壁体K将设置物品收纳架1、堆垛起重机2的设置空间的侧周围以限制空气流通的状态覆盖。壁体K具备地面上壁31和地面下壁32。地面上壁31位于比上地面部F2的上表面靠上方且比下顶棚部C2的下表面靠下方的位置。地面下壁32位于比上地面部F2的下表面靠下方且比下地面部F1的上表面靠上方的位置。
地面上壁31具备被形成为四边筒状的4面的地面上壁部31a。在图1中，表示将设置空间的前后方向X的一侧堵塞的地面上壁部31a、将设置空间的前后方向X的另一侧堵塞的地面上壁部31a。
地面下壁32具备被形成为四边筒状的4面的地面下壁部32a。在图1中，表示将设置空间的前后方向X的一侧堵塞的地面下壁部32a、将设置空间的前后方向X的另一侧堵塞的地面下壁部32a。
如图2~图4所示，在物品收纳架1的后方X2具备后框体38。后框体38构成为具备在前后方向X上排列的一对格子框39、将一对格子框39连结的连结框40。一对格子框39的每一个将沿上下方向Z的姿势的纵框39a和沿宽度方向Y的姿势的横框39b组合来形成为格子状。一对格子框39以在前后方向X上隔开间隔的状态被设置，这一对格子框39借助以在前后方向X上延伸的姿势设置的连结框40被连结。
这样将格子框39形成为将纵框39a和横框39b组合的格子状，由此在格子框39上形成有在前后方向X上贯通的矩形状的孔。地面上壁部31a形成为无孔状，相对于一对格子框39中的位于后方X2的格子框39，以将矩形状的孔从后方X2堵塞的方式设置。通过这样地设置地面上壁部31a，以相对于多个收纳部1a在后方X2隔开间隔的状态设置地面上壁部31a，并且以限制气体的通气的状态堵塞物品收纳架1的后方X2。
此外，在一对格子框39的中位于前方X1的格子框39(以下有称作前侧的格子框39的情况)上连结有架框体6。即，后框体38和架框体6设置成，后框体38和架框体6以后框体38位于比架框体6靠后方X2的位置的方式在前后方向X上排列的状态。
〔流路部〕
如图2及图3所示，流路部42被设置于物品收纳架1的后方X2。
流路部42具备在限制气体的通过的状态下覆盖物品收纳架1的后方X2的流路壁部43、支承流路壁部43的流路框体44。流路壁部43由地面上壁部31a的位于比后述的引导部54靠下方的位置的部分构成。此外，流路框体44由后框体38的位于比后述的引导部54靠下方的位置的部分构成。因此，流路壁部43以相对于多个收纳部1a在后方X2隔开间隔的状态被设置。
在流路壁部43和多个收纳部1a之间形成有在上下方向Z上延伸的流路空间S2。若加以说明，在前后方向X的流路壁部43和多个收纳部1a之间，设置有一对格子框39，在一对格子框39之间形成有主流路空间S2a。在主流路空间S2a流动的空气在一对格子框39之间流动。
此外，在前后方向X的流路壁部43和多个收纳部1a之间，在支承体5上形成有在上下方向Z上贯通的贯通部14，该贯通部14通过多个支承体5在上下方向Z上排列而形成有副流路空间S2b。在副流路空间S2b流动的空气在贯通部14中流动。
并且，主流路空间S2a和副流路空间S2b在前后方向X上连通。若加以说明，在主流路空间S2a和副流路空间S2b之间，存在架框体6、前侧的格子框39，但架框体6及前侧的格子框39都将纵部件和横部件组合来形成为格子状。因此，在这些架框体6及前侧的格子框39上，形成有在前后方向X上贯通的矩形状的孔。主流路空间S2a和副流路空间S2b借助该矩形的孔在前后方向X上连通。
这样，流路空间S2具备在上下方向Z上延伸的主流路空间S2a、位于比该主流路空间S2a靠前方X1的位置来与主流路空间S2a连通的副流路空间S2b。并且，在主流路空间S2a和副流路空间S2b之间具备框体A(由架框体6及前侧的格子框39构成)，位于该主流路空间S2a和副流路空间S2b之间的框体A，将在上下方向Z上延伸的姿势的多个纵框6a、39a、在宽度方向Y上延伸的姿势的多个横框6b、39b组合成格子状来形成。
如图5所示，前侧的格子框39的位于最上方的横框39b被在主流路空间S2a和副流路空间S2b之间以在宽度方向Y上延伸的姿势设置，将主流路空间S2a和副流路空间S2b在前后方向X上部分地间隔，并且被设置于上下方向Z一部分。
并且，将支持被收纳于多个收纳部1a的最上层的收纳部1a的容器W的支承体5(将多个收纳部1a的最上层的收纳部1a、在该收纳部1a的下方相邻的收纳部1a间隔的支承体5)设为最上层的支承体5，前侧的格子框39的位于最上方的横框39b被设置于与最上层的支承体5相同的高度。
另外，前侧的格子框39的位于最上方的横框39b相当于前后间隔体，由框体A的一部分构成。此外，支承体5被支承于框体A。
如图1~图3所示，在流路部42，在上下方向Z上观察时将流路空间S2以能够通气的状态堵塞的整风体46被配置于流路空间S2的上下方向Z的至少1处。在本实施方式中，整风体46由形成有多个小孔的金属制的板状部件即所谓的冲孔金属板构成，在流路空间S2上以在上下方向Z上排列的状态具有多个。并且，多个整风体46使用随着配置高度朝向下方而开孔率较小的冲孔金属板，形成随着配置高度朝向下方而流路空间S2的开口率变小的形状。在本实施方式中，整风体46在流路空间S2以沿上下方向Z排列的状态具备3个，但这3个整风体46的流路空间S2的开口率从上依次为80%、70%、60%。另外，整风体46仅被设置于主流路空间S2a，未被设置于副流路空间S2b。
多个整风体46的位于最上方的整风体46被比最上层的支承体5的支承部9的上表面靠上方地设置，设置成位于被支承于最上层的支承体5的容器W的上下宽度内。
如图1所示，在多个收纳部1a的比最下层的收纳部1a靠下方且比排气部52靠上方处，具备以限制上下方向Z的气体的通过的状态覆盖流路空间S2的下方的限制体47。限制体47从流路壁部43向前方X1延伸至在上下方向Z上观察与最下层的收纳部1a重叠的位置。
若加以说明，则在流路空间S2的下端部具备倾斜壁48。此外，具备水平壁49，由这些倾斜壁48及水平壁49构成限制体47。
如图1所示，物品收纳设备还具备供气部51和排气部52。
在比搬运空间S1、流路空间S2及多个收纳部1a靠上方处具备供气部51。供气部51具备流入来自外部的气流的流入口53，并且连通于搬运空间S1的上端部及流路空间S2的上端部。在比流路空间S2及多个收纳部1a靠下方处具备排气部52。排气部52连通于搬运空间S1的下端部。
〔供气部〕
如图4~图6所示，供气部51具备引导部54，前述引导部54以搬运空间S1内的气压比流路空间S2内的气压小的方式，将从流入口53流入的空气向搬运空间S1的上端部和流路空间S2的上端部引导。引导部54被设置于物品收纳架1及流路部42的上方且下顶棚部C2的下方。
引导部54具备第1引导体54a和第2引导体54b，前述第1引导体54a形成连通于搬运空间S1的上端部的第1流路55a，前述第2引导体54b形成连通于流路空间S2的上端部的第2流路55b。作为流入口53，存在用于使空气流入第1流路55a的第1流入口53a和用于使空气流入第2流路55b的第2流入口53b，第1流入口53a及第2流入口53b向上方开口。引导部54具备用于使第1流路55a的空气向搬运空间S1的上端部流出的第1流出口56a、用于使第2流路55b的气体向流路空间S2的上端部流出的第2流出口56b。另外，第1流入口53a和第2流入口53b形成为相同的高度。
从第1流入口53a流入的空气穿过第1流路55a，从第1流出口56a向搬运空间S1的上端部流出。从第2流入口53b流入的空气穿过第2流路55b，从第2流出口56b向流路空间S2的上端部流出。
第2引导体54b具备第1壁部57和第2壁部58，前述第1壁部57由地面上壁部31a的位于比流路部42靠上方的位置的部分构成，前述第2壁部58被设置于比第1壁部57靠前方X1的位置。
第1壁部57和第2壁部58被设置成越靠下方在前后方向X上互相的间隔越窄。若加以说明，则第2壁部58具备纵壁部58a、第1横壁部58b、第2横壁部58c，前述纵壁部58a在上下方向Z及宽度方向Y上延伸，前述第1横壁部58b从纵壁部58a的下端向后方X2延伸，前述第2横壁部58c从纵壁部58a的上端向前方X1延伸。第1横壁部58b的后端被连结于一对格子框39中的位于前方X1的格子框39。纵壁部58a以相对于一对格子框39中的位于前方X1的格子框39向前方X1以设定距离隔开间隔的状态设置。该设定距离被设定为一对格子框39的前后方向X的离开距离的3倍左右。在第2壁部58的第1横壁部58b形成有从后端向前方X1凹入的凹入部58d。该凹入部58d以一对格子框39的前后方向X的离开距离的一半左右凹入。
将纵壁部58a和第1横壁部58b连结的部分形成为越靠下方越位于后方X2的圆弧状，呈将向下方流动的空气向后方X2引导的形状。这样，第1壁部57和第2壁部58被设置成，主要在下部，越向下方在前后方向X上的互相的间隔越窄。
在第1壁部57和第2壁部58之间形成有第2流路55b。
并且，在第1壁部57的上端和第2壁部58的上端之间形成有第2流入口53b。若加以说明，则在第1壁部57和第2壁部58之间形成有一对格子框39，在与第1壁部57的上端及第2壁部58的上端相同的高度，在一对格子框39之间形成有第2流入口53b。此外，在一对格子框39中的位于前方X1的格子框39和第2壁部58的上端之间也形成有第2流入口53b。
此外，在第1壁部57的下端和第2壁部58的下端之间形成有第2流出口56b。若加以说明，则在与第1壁部57的下端及第2壁部58的下端相同的高度，在一对格子框39之间形成有第2流出口56b。此外，在宽度方向Y上，在形成有凹入部58d的部分上，形成该凹入部58d，由此在一对格子框39中的位于前方X1的格子框39和第1横壁部58b之间也形成有第2流出口56b。并且，第2流入口53b与第2流出口56b相比开口面积较大。
第1引导体54a由一对第3壁部59构成。一对第3壁部59的每一个构成为具备引导轨道21、位于比第2壁部58的引导轨道21靠上方的位置的部分。在一对第3壁部59之间形成有第1流路55a。并且，在一对第3壁部59的上端彼此之间形成有第1流入口53a。此外，在一对第3壁部59的下端彼此之间形成有第1流出口56a。
第1流入口53a与第1流出口56a相比开口面积较大。具备在上下方向Z上观察时将第2流入口53b以能够通气的状态堵塞的闭塞体60。该闭塞体60由冲孔金属板形成。
第2流入口53b的前后方向X的大小(在第1壁部57的上端和第2壁部58的上端之间形成的在前后方向X上排列的两个第2流入口53b共计的大小)为，比流路空间S2的前后方向X的大小(在主流路空间S2a的前后方向X的大小上加上副流路空间S2b的前后方向X的大小的大小)大，第2流入口53b的宽度方向Y的大小与流路空间S2(主流路空间S2a)的宽度方向Y的大小相同。因此，第2流入口53b的开口面积比副流路空间S2b的横截面积大。
此外，第1流入口53a的前后方向X的大小与搬运空间S1的前后方向X的大小相同，第1流入口53a的宽度方向Y的大小与搬运空间S1的宽度方向Y的大小相同。因此，第1流入口53a的开口面积与搬运空间S1的横截面积大小相同。
以这样的大小形成第2流入口53b和第1流路口53a，由此与流路空间S2的上端部的每单位面积的空气的流量相比，搬运空间S1的上端部的每单位面积的空气的流量变多，流路空间S2的气压比搬运空间S1的气压高。
第1流入口53a及第1流出口56a形成于在上下方向Z上观察与搬运空间S1的上端重叠的位置。第2流入口53b及第2流出口56b形成于在上下方向Z上观察与流路空间S2重叠的位置。特别地，被形成于一对格子框39之间的第2流入口53b及第2流出口56b形成于，在上下方向Z上观察时与主流路空间S2a重叠的位置。此外，在格子框39和第2壁部58之间形成的第2流入口53b、及在格子框39和第1横壁部58b之间形成的第2流出口56b形成于，在上下方向Z上观察时与副流路空间S2b重叠的位置。
〔排气部〕
地面下壁部32a在前后方向上能够通气地形成，在搬运空间S1从上地面部F2向下方流动的空气从地面下壁部32a向外部流出。即，地面下壁部32a作为排气部52发挥功能，排气部52被比上地面部F2靠下方地设置。
这样，从供气部51的流入口53流入的空气以搬运空间S1内的气压小于流路空间S2内的气压的方式，向流路空间S2的上端部和搬运空间S1的上端部流动。并且，在流路空间S2向下方流动的空气在主流路空间S2a及副流路空间S2b二者向下方流动，并且穿过多个收纳部1a来分散，合流于搬运空间S1。在搬运空间S1向下方流动的空气在限制体47和下地面部F1之间的空间向外侧流动后，从排气部52向外部流出。
〔其他实施方式〕
(1)在上述实施方式中，设置成，在具备使气体向下方流出的流出部的顶棚的下方设置吸气部，由此使从顶棚的流出部流出的气体从流入口流入，但也可以是，在流入口设置风扇过滤器单元等送风装置，通过送风装置的吹送作用使气体从流入口流入。
并且，在这样地设置有送风装置的情况下，将借助设置于第2流入口的送风装置流入的流入量(流路空间的每单位面积的流入量)设为比借助设置于第1流入口的送风装置流入的流入量(搬运空间的每单位面积的流入量)多，由此借助引导部，以使搬运空间内的气压比流路空间内的气压小的方式，将从流入口流入的气体向流路空间的上端部和搬运空间的上端部引导。此外，在这样地在流入口设置送风装置的情况下，也可以使第1流入口、第2流入口的一方或双方向横侧方开口。
(2)在上述实施方式中，将第1流入口的开口面积设为比第1流出口的开口面积大，但也可以将第1流入口的开口面积设为与第1流出口的开口面积相同或比第1流出口的开口面积小的面积。
在上述实施方式中，将第2流入口的开口面积设为比第2流出口的开口面积大，但也可以将第2流入口的开口面积设为与第2流出口的开口面积相同或比第2流出口的开口面积小的面积。
(3)在上述实施方式中，具备将第2流入口以能够通气地状态闭塞的闭塞体，但在第2流入口也可以不具备这样的闭塞体。此外，也可以相对于第1流入口、第1流出口及第2流出口中的一部分或全部，具备以能够通气地状态闭塞的闭塞体。
(4)在上述实施方式中，在支承体上形成贯通部来形成副流路空间，在流路空间具备副流路空间，但也可以在支承体上不形成贯通部，在流路空间不具备副流路空间。
(5)在上述实施方式中，作为上下间隔体，使用将物品从下方支承的支承部，但作为上下间隔体，也可以设置除了支承部之外的部件。此外，在作为上下间隔体使用支承部的情况下，也可以使用以能从支承部的下方将容器取出的方式将支承部的一部分切口成U字形的支承部。
(6)在上述实施方式中，作为前后间隔体，使用了框体的横部件，但也可以作为前后间隔体使用除了框体的横部件之外的部件。
(7)在上述实施方式中，在流路空间设置有多个整风体，但也可以在流路空间仅设置一个整风体，此外，也可以在流路空间不设置整风体。
此外，在流路空间中设置有多个整风体的情况下，将多个整风体设为即使改变设置高度流路空间的开口率也相同的形状等，设置有整风体的部位的流路空间的开口率也以适当改变。
(8)在上述实施方式中，在比最下层的收纳部靠下方且比排气部靠上方处具备将流路空间的下方覆盖的限制体，但也可以不设置该限制体，使流路空间和地面下的空间直接连通。
(9)在上述实施方式中，将物品设为收纳中间掩模(光掩模)的容器，但容器也可以是前端开启式晶圆传送盒（FOUP，Front Opening Unified Pod）等容纳半导体晶片的容器等其他容器，此外，也可以是容器以外的物品。
(10)在上述实施方式中，将从供气部供给的气体设为空气，但除了空气以外，例如也可以是氮气、氩气等非活性气体。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对在上述说明中已说明的物品收纳设备的概要进行说明。
物品收纳设备的特征结构在于，具备物品收纳架、搬运装置、壁部，前述物品收纳架具备在上下方向上排列的多个收纳部，前述搬运装置将物品相对于前述收纳部搬运，前述壁部在限制气体的通过的状态下，覆盖前述物品收纳架的后方，在前述物品收纳架的前方形成在前述上下方向上延伸的搬运空间，前述搬运装置被设置于前述搬运空间，前述物品收纳架具备多个上下间隔体，前述多个上下间隔体在限制气体的通过的状态下，将在前述上下方向上相邻的收纳部彼此之间间隔，前述壁部在相对于前述多个收纳部在后方隔开间隔的状态下被设置，在前述壁部和前述多个收纳部之间形成在前述上下方向上延伸的流路空间，前述多个收纳部的每一个在前述上下方向上观察时，在前述物品收纳架和前述搬运空间排列的前后方向上，位于前述流路空间和前述搬运空间之间，连通于前述流路空间及前述搬运空间，还具备供气部和排气部，在比前述搬运空间、前述流路空间、及前述多个收纳部靠上方的位置具备前述供气部，在比前述流路空间及前述多个收纳部靠下方的位置具备前述排气部，前述供气部具备来自外部的气体流入的流入口，并且连通于前述搬运空间的上端部及前述流路空间的上端部，前述排气部连通于前述搬运空间的下端部，前述供气部具备引导部，前述引导部以前述搬运空间内的气压比前述流路空间内的气压小的方式，将从前述流入口流入的气体向前述流路空间的上端部和前述搬运空间的上端部引导。
根据该特征，从流入口流入的气体以搬运空间内的气压比流路空间内的气压小的方式向流路空间的上端部和搬运空间的上端部流动。因此，即使不相对于各个收纳部设置送风装置来将气体从流路空间强制地吹送向搬运空间，气体也容易从气压较高的流路空间向气压较低的搬运空间流动。由此，不仅朝向搬运空间气体较容易流动的流路空间的下游侧，在朝向搬运空间气体较难以流动的流路空间的上游侧，气体也容易从流路空间向搬运空间流动。因此，位于在上下方向上排列的多个收纳部的上方的位置的收纳部中，在搬运装置工作时等气体难以从搬运空间向流路空间逆流。此外，在搬运空间的上游侧，来自流路空间的气体容易流入，所以向搬运空间的上游侧的下方流动的气体的量变多，在搬运空间的上游侧容易使灰尘适当地向下方流动。
这样，不相对于收纳部设置送风装置，由此能够抑制运行成本，同时抑制气体从搬运空间向收纳部的逆流，并且在搬运空间的上游侧，容易使灰尘适当地向下方流动
这里，优选的是，前述供气部被设置于顶棚的正下方，前述顶棚具备使气体向下方流出的流出部，前述供气部的前述引导部具备第1引导体和第2引导体，前述第1引导体形成连通于前述搬运空间的上端部的第1流路，前述第2引导体形成连通于前流路空间的上端部的第2流路，作为前述流入口，存在用于使气体向前述第1流路流入的第1流入口、用于使气体向前述第2流路流入的第2流入口，前述第1流入口及前述第2流入口向上方开口。
根据该方案，从顶棚所具备的流出部流出的气体流入向上方开口的第1流入口及第2流入口。从第1流入口流入的气体穿过第1流路向搬运空间的上端部流动，从第2流入口流入的气体穿过第2流路向流路空间的上端部流动。因此，不需要为了使气体从第1流入口、第2流入口流入而另外设置送风装置，即使设置，也可以是吹送能力较小的装置，所以能够抑制物品收纳设备的运行成本。
此外，优选的是，前述引导部具备用于使前述第2流路的气体向前述流路空间流出的第2流出口，前述第2流入口的开口面积比前述第2流出口的开口面积大。
根据该方案，第2流入口的开口面积比第2流出口的开口面积大，所以能够使大量气体从比较的大的第2流入口流入。并且，例如，预先将第2流出口的开口面积设置为与流路空间的横截面积对应的大小，使从开口面积较大的第2流入口流入的空气从第2流出口向流路空间流动，由此容易使流路空间内的气压变高。
此外，优选的是，具备在上下方向上观察时将前述第1流入口以能够通气的状态闭塞的闭塞体。
根据该方案，将第1流入口借助闭塞体以能够通气的状态堵塞，由此气体难以从第1流入口流入第1流路，能够抑制从该第1流路向搬运空间流动的气体的量。因此，容易使搬运空间内的气压变低。
此外，优选的是，前述流路空间具备主流路空间和副流路空间，前述主流路空间在前述上下方向上延伸，前述副流路空间位于比该主流路空间靠前方的位置，相对于前述主流路空间在前述前后方向上连通，具备前后间隔体，前述前后间隔体在前述主流路空间和前述副流路空间之间，以在前述上下方向上观察时在与前述前后方向交差的宽度方向上延伸的姿势被设置，将前述主流路空间和前述副流路空间在前述前后方向上部分地间隔，并且被设置于前述上下方向的一部分，将前述多个收纳部的最上层的前述收纳部和在该收纳部的下方相邻的收纳部间隔的前述上下间隔体作为最上层的上下间隔体，前述前后间隔体被设置于与前述最上层的上下间隔体相同的高度或比前述最上层的上下间隔体高的高度。
根据该方案，从前后间隔体的上方朝向前后间隔体向下方流动的气体为，其一部分穿过前后间隔体的前方在副流路空间流动。并且，前后间隔体被设置于与最上层的上下间隔体相同的高度或比最上层的上下间隔体高的高度。由此，借助上下间隔体将在流路空间向下方流动的气体被向前方引导，由此在最上层的上下间隔体的上方容易朝向搬运空间流动。因此，气体相对于比较难以流动的最上层的收纳部也能够容易地流动。
此外，优选的是，在前述主流路空间和前述副流路空间之间具备框体，前述框体将在前述上下方向上延伸的姿势的多个纵部件和在前述宽度方向上延伸的姿势的多个横部件组合成格子状来形成，前述上下间隔体被支承于前述框体，前述前后间隔体由前述框体的前述横部件的一部分构成。
根据该方案，在被设置于主流路空间和前述副流路空间之间的框体上，存在在主流路空间和副流路空间之间以在宽度方向上延伸的姿势设置的横部件。将该横部件作为前后间隔体利用，由此不需要设置用于将主流路空间和副流路空间在前后方向上部分地间隔的专用的部件，能够实现物品收纳设备的结构的简单化。
此外，优选的是，前述上下间隔体形成为在前述前后方向及前述宽度方向上延伸的板状，在前述上下间隔体的后方的端部被连结于前述框体的状态下，前述上下间隔体被以悬臂状支承于前述框体，前述上下间隔体具备支承部和贯通部，前述支承部将被收纳于前述收纳部的物品从下方支承，前述贯通部在前述支承部靠后方的位置在前述上下方向上贯通。
根据该方案，借助上下间隔体的支承部将物品从下方支承，由此不需要在物品收纳架另外设置用于将物品支承的部件，所以能够实现物品收纳架的结构的简单化。此外，在上下方向上排列的多个上下间隔体上具备贯通部，由此借助在上下方向上排列的贯通部能够形成副流路空间。因此，不需要为了形成副流路空间而例如将框材和板材组合来形成，能够容易地形成副流路空间。
此外，优选的是，在前述上下方向上观察时将前述流路空间以能够通气的状态闭塞的整风体被在前述流路空间的上下方向的至少一处配置。
根据该方案，在流路空间的设置有整风体的高度，由于整风体的存在，气体在流路空间难以流向下方，气体容易流向收纳部。即，在存在气体难以从流路空间流向的收纳部的情况下，设置整风体，使得气体容易流向该收纳部，由此能够实现气体从流路空间流向多个收纳部的均匀化。
此外，优选的是，前述整风体在前述流路空间以在前述上下方向上排列的状态具备多个，前述多个整风体形成为，随着配置高度朝向下方而前述流路空间的开口率变小的形状。
根据该方案，由于配置高度朝向下方，气体难以在设置有整风体的高度通向下方。即，在流路空间的比较高的部分，借助整风体使流路空间的开口率变大，由此能够在维持气体朝向收纳部流动的状态的同时，在流路空间比较低的部分，避免气体的量不足。此外，在流路空间的比较低的部分，借助整风体使流路空间的开口率变小，由此气体容易适当地向收纳部流动。
此外，优选的是，在前述多个收纳部的比最下层的收纳部靠下方且比前述排气部靠上方处，具备以限制气体的通过的状态覆盖前述流路空间的下方的限制体，前述限制体从前述壁部向前方延伸至在前述上下方向上观察时与前述最下层的收纳部重叠的位置。
根据该方案，使在流路空间流向比最下层的收纳部靠下方的方向的气体不从流路空间向下方排出而是流向搬运空间，由此能够使在搬运空间向下方流动的气体的量变多。因此，在搬运空间难以卷起灰尘。
产业上的可利用性
本发明的技术能够利用于具备物品收纳架、搬运装置、覆盖物品收纳架的后方的壁部的物品收纳设备。
附图标记说明
1　　 物品收纳架
1a　 收纳部
2　　 堆垛起重机(搬运装置)
6　　 架框体(框体)
6a　 纵框
6b　 横框
9　　 支承部(上下间隔体)
14　　贯通部
39b　 横框(前后间隔体)
43　　流动壁部(壁部)
46　　整风体
47　　限制体
51　　供气部
52　　排气部
53　　流入口
53a　 第1流入口
53b　 第2流入口
54a　 第1引导体
54b　 第2引导体
55a　 第1流路
55b　 第2流路
60　 闭塞体
A　　 框体
C2　 下顶棚部(顶棚)
S1　 搬运空间
S2　 流路空间
S2a　 主流路空间
S2b　 副流路空间
W　　 物品
X　　 前后方向
X1　 前方
X2　 后方
Z　　 上下方向。

Claims (8)

1.一种物品收纳设备，前述物品收纳设备具备物品收纳架、搬运装置、壁部，
前述物品收纳架具备在上下方向上排列的多个收纳部，
前述搬运装置将物品相对于前述收纳部搬运，
前述壁部在限制气体通过的状态下，覆盖前述物品收纳架的后方，
其特征在于，
在前述物品收纳架的前方形成在前述上下方向上延伸的搬运空间，前述搬运装置被设置于前述搬运空间，
前述物品收纳架具备多个上下间隔体，前述多个上下间隔体在限制气体通过的状态下，将在前述上下方向上相邻的收纳部彼此之间间隔，
前述壁部在相对于前述多个收纳部在后方隔开间隔的状态下被设置，在前述壁部和前述多个收纳部之间形成在前述上下方向上延伸的流路空间，
前述多个收纳部的每一个在前述上下方向上观察时，在前述物品收纳架和前述搬运空间排列的前后方向上，位于前述流路空间和前述搬运空间之间，连通于前述流路空间及前述搬运空间，
还具备供气部和排气部，在比前述搬运空间、前述流路空间、及前述多个收纳部靠上方的位置具备前述供气部，在比前述流路空间及前述多个收纳部靠下方的位置具备前述排气部，
前述供气部具备来自外部的气体流入的流入口，并且连通于前述搬运空间的上端部及前述流路空间的上端部，
前述排气部连通于前述搬运空间的下端部，
前述供气部具备引导部，前述引导部以前述搬运空间内的气压比前述流路空间内的气压小的方式，将从前述流入口流入的气体向前述流路空间的上端部和前述搬运空间的上端部引导，
前述供气部被设置于顶棚的正下方，前述顶棚具备使气体向下方流出的流出部，
前述供气部的前述引导部具备第1引导体和第2引导体，前述第1引导体形成连通于前述搬运空间的上端部的第1流路，前述第2引导体形成连通于前流路空间的上端部的第2流路，
作为前述流入口，存在用于使气体向前述第1流路流入的第1流入口、用于使气体向前述第2流路流入的第2流入口，
前述第1流入口及前述第2流入口向上方开口，
具备在上下方向上观察时将前述第1流入口以能够通气的状态闭塞的闭塞体，
前述第2引导体具备第1壁部和第2壁部，前述第2壁部被设置于比前述第1壁部靠前方的位置，
前述闭塞体和前述第2壁部被设定成前述第2壁部的上端与前述闭塞体的后方的端部高度相同。
2.如权利要求1所述的物品收纳设备，其特征在于，
前述引导部具备用于使前述第2流路的气体向前述流路空间流出的第2流出口，前述第2流入口的开口面积比前述第2流出口的开口面积大。
3.如权利要求1所述的物品收纳设备，其特征在于，
前述流路空间具备主流路空间和副流路空间，前述主流路空间在前述上下方向上延伸，前述副流路空间位于比该主流路空间靠前方的位置，相对于前述主流路空间在前述前后方向上连通，
具备前后间隔体，前述前后间隔体在前述主流路空间和前述副流路空间之间，以在前述上下方向上观察时在与前述前后方向交差的宽度方向上延伸的姿势被设置，将前述主流路空间和前述副流路空间在前述前后方向上部分地间隔，并且被设置于前述上下方向的一部分，
将前述多个收纳部的最上层的前述收纳部和在该收纳部的下方相邻的收纳部间隔的前述上下间隔体作为最上层的上下间隔体，
前述前后间隔体被设置于与前述最上层的上下间隔体相同的高度或比前述最上层的上下间隔体高的高度。
4.如权利要求3所述的物品收纳设备，其特征在于，
在前述主流路空间和前述副流路空间之间具备框体，
前述框体将在前述上下方向上延伸的姿势的多个纵部件和在前述宽度方向上延伸的姿势的多个横部件组合成格子状来形成，
前述上下间隔体被支承于前述框体，
前述前后间隔体由前述框体的前述横部件的一部分构成。
5.如权利要求4所述的物品收纳设备，其特征在于，
前述上下间隔体形成为在前述前后方向及前述宽度方向上延伸的板状，
在前述上下间隔体的后方的端部被连结于前述框体的状态下，前述上下间隔体被以悬臂状支承于前述框体，
前述上下间隔体具备支承部和贯通部，前述支承部将被收纳于前述收纳部的物品从下方支承，前述贯通部在比前述支承部靠后方的位置在前述上下方向上贯通。
6.如权利要求1所述的物品收纳设备，其特征在于，
在前述上下方向上观察时将前述流路空间以能够通气的状态闭塞的整风体被在前述流路空间的上下方向的至少一处配置。
7.如权利要求6所述的物品收纳设备，其特征在于，
前述整风体在前述流路空间以在前述上下方向上排列的状态具备多个，
多个前述整风体形成为，随着配置高度朝向下方而前述流路空间的开口率变小的形状。
8.如权利要求1所述的物品收纳设备，其特征在于，
在前述多个收纳部的比最下层的收纳部靠下方且比前述排气部靠上方处，具备以限制气体通过的状态覆盖前述流路空间的下方的限制体，
前述限制体从前述壁部向前方延伸至在前述上下方向上观察时与前述最下层的收纳部重叠的位置。
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