JP6631447B2 - 物品収納設備 - Google Patents

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Description

本発明は、上下方向に並ぶ複数の収納部を備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する搬送装置と、気体の通気を規制する状態で、前記物品収納棚の後方を覆う壁部と、を備え、前記物品収納棚の前方に前記上下方向に延びる搬送空間が形成され、前記搬送装置は、前記搬送空間に設置されている物品収納設備に関する。
かかる物品収納設備の従来例が、特開２００３−０８１４０６号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品収納設備では、壁部を、複数の収納部に対して後方に間隔を空けた状態で設置して、壁部と複数の収納部との間に上下方向に延びる流路空間を形成している。そして、流路空間と収納部との間に送風装置（風量調節器１４）を設置して、この送風装置により流路空間から収納部に向けて気体を送風することで、流路空間の気体が収納部を通って搬送空間に流動するようにしていた。このように気体を流動させることで、搬送装置により発生した塵埃等が収納部に流入することを抑制して収納部に収納されている物品が汚染されることを防止している。
特開２００３−０８１４０６号公報
特許文献１の物品収納設備では、流路空間と収納部との間に送風装置を設けているため、物品収納設備のランニングコストが高くなっていた。そこで、流路空間と収納部との間に送風装置を設けないようにしてランニングコストを抑えることが考えられるが、次のような問題が生じる。
つまり、特許文献１の物品収納部では、収納部の夫々に対して送風装置を設けて流路空間から搬送空間に向けて強制的に気体を送風することで、複数の収納部における気体の流量の均一化を図っている。しかし、送風装置を備えない場合、複数の収納部に対する気体の流量に偏りが生じる。具体的には、流路空間の下流部から収納空間の下流部に気体が流れ易くなり、逆に、流路空間の上流部から収納空間の下流部に気体が流れ難くなる。そのため、上下方向に並ぶ複数の収納部のうちの上部に位置する収納部においては、搬送装置が作動したとき等に搬送空間から流路空間に向けて気体が逆流し易くなる。また、搬送空間の上流側に流路空間から気体が流入し難いため、搬送空間の上流側において下方に流動する気体量が少なくなり、搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ難くなる。
そこで、ランニングコストを抑えながら搬送空間から収納部への気体の逆流を抑えると共に搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ易い物品収納設備が求められる。
本発明にかかわる物品収納設備の特徴構成は、上下方向に並ぶ複数の収納部を備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する搬送装置と、気体の通気を規制する状態で、前記物品収納棚の後方を覆う壁部と、を備え、前記物品収納棚の前方に前記上下方向に延びる搬送空間が形成され、前記搬送装置は、前記搬送空間に設置されている物品収納設備において、
前記物品収納棚は、気体の通気を規制する状態で、前記上下方向に隣接する収納部同士の間を仕切る複数の上下仕切り体を備え、前記壁部は、前記複数の収納部に対して後方に間隔を空けた状態で設置されて、前記壁部と前記複数の収納部との間に前記上下方向に延びる流路空間が形成され、前記複数の収納部の夫々は、前記上下方向に見て前記物品収納棚と前記搬送空間とが並ぶ前後方向において、前記流路空間と前記搬送空間との間に位置して前記流路空間及び前記搬送空間に連通し、前記搬送空間、前記流路空間、及び前記複数の収納部より上方に備えられた給気部と、前記流路空間及び前記複数の収納部より下方に備えられた排気部と、を更に備え、前記給気部は、外部からの気体が流入する流入口を備えると共に、前記搬送空間の上端部及び前記流路空間の上端部に連通しており、前記排気部は、前記搬送空間の下端部に連通し、前記給気部は、前記搬送空間内の気圧が前記流路空間内の気圧より小さくなるように、前記流入口から流入した気体を前記流路空間の上端部と前記搬送空間の上端部とに案内する案内部を備え前記給気部は、気体を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、前記給気部の前記案内部は、前記搬送空間の上端部に連通する第１流路を形成する第１案内体と、前記流路空間の上端部に連通する第２流路を形成する第２案内体と、を備え、前記流入口として、前記第１流路に気体を流入させるための第１流入口と、前記第２流路に気体を流入させるための第２流入口と、があり、前記第１流入口及び前記第２流入口は、上方に向けて開口し、上下方向に見て前記第１流入口を通気可能な状態で塞ぐ閉塞体が備えられ、前記第２案内体は、第１壁部と、前記第１壁部より前方に設置された第２壁部と、を備え、前記閉塞体と前記第２壁部とが、前記第２壁部の上端と前記閉塞体の後方の端部とが同じ高さとなるように設置されている点にある。
この特徴構成によれば、流入口から流入した気体は、搬送空間内の気圧が流路空間内の気圧より小さくなるように、流路空間の上端部と搬送空間の上端部とに流動する。そのため、収納部の夫々に対して送風装置を設けて流路空間から搬送空間に向けて強制的に気体を送風しなくても、気圧が高い流路空間から気圧が低い搬送空間に向けて気体が流れ易くなる。よって、搬送空間に向けて比較的気体が流れ易い流路空間の下流側だけでなく、搬送空間に向けて比較的気体が流れ難い流路空間の上流側においても、流路空間から搬送空間に向けて気体が流れ易くなる。従って、上下方向に並ぶ複数の収納部のうちの上方に位置する収納部において、搬送装置が作動したとき等において搬送空間から流路空間に向けて気体が逆流し難くなる。また、搬送空間の上流側において流路空間からの気体が流入し易いため、搬送空間の上流側における下方に流動する気体の量が多くなり、搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ易くなる。
このように、収納部に対して送風装置を設けないことによりランニングコストを抑えることができながら、搬送空間から収納部への気体の逆流を抑えると共に搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ易くなる。
また、天井に備えられた流出部から流出する気体が、上方に向けて開口する第１流入口及び第２流入口に流入する。第１流入口から流入した気体は第１流路を通って搬送空間の上端部に流動し、第２流入口から流入した気体は第２流路を通って流路空間の上端部に流動する。そのため、第１流入口や第２流入口から気体を流入させる為に送風装置を設置する必要がなく、設けるとしても送風能力の小さいもので済むため、物品収納設備のランニングコストを抑えることができる。
また、第１流入口を閉塞体により通気可能な状態で塞ぐことで第１流入口から第１流路に気体が流入し難く、この第１流路から搬送空間に流動する気体の量を抑えることができる。そのため、搬送空間内の気圧を低くし易くなる。
また、本発明に係る物品収納設備の特徴構成は、上下方向に並ぶ複数の収納部を備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する搬送装置と、気体の通気を規制する状態で、前記物品収納棚の後方を覆う壁部と、を備え、前記物品収納棚の前方に前記上下方向に延びる搬送空間が形成され、前記搬送装置は、前記搬送空間に設置されている物品収納設備において、
前記物品収納棚は、気体の通気を規制する状態で、前記上下方向に隣接する収納部同士の間を仕切る複数の上下仕切り体を備え、前記壁部は、前記複数の収納部に対して後方に間隔を空けた状態で設置されて、前記壁部と前記複数の収納部との間に前記上下方向に延びる流路空間が形成され、前記複数の収納部の夫々は、前記上下方向に見て前記物品収納棚と前記搬送空間とが並ぶ前後方向において、前記流路空間と前記搬送空間との間に位置して前記流路空間及び前記搬送空間に連通し、前記搬送空間、前記流路空間、及び前記複数の収納部より上方に備えられた給気部と、前記流路空間及び前記複数の収納部より下方に備えられた排気部と、を更に備え、前記給気部は、外部からの気体が流入する流入口を備えると共に、前記搬送空間の上端部及び前記流路空間の上端部に連通しており、前記排気部は、前記搬送空間の下端部に連通し、前記給気部は、前記搬送空間内の気圧が前記流路空間内の気圧より小さくなるように、前記流入口から流入した気体を前記流路空間の上端部と前記搬送空間の上端部とに案内する案内部を備え、前記流路空間は、前記上下方向に延びるメイン流路空間と、このメイン流路空間より前方に位置して前記メイン流路空間に対して前記前後方向に連通するサブ流路空間と、を備え、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、前記上下方向に見て前記前後方向と交差する幅方向に延びる姿勢で設置されて、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間とを前記前後方向に部分的に仕切ると共に前記上下方向の一部に設けられる前後仕切り体を備え、前記複数の収納部における最上段の前記収納部と当該収納部の下方に隣接する収納部とを仕切る前記上下仕切り体を、最上段の上下仕切り体として、前記前後仕切り体は、前記最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は前記最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されている点にある。
この特徴構成によれば、流入口から流入した気体は、搬送空間内の気圧が流路空間内の気圧より小さくなるように、流路空間の上端部と搬送空間の上端部とに流動する。そのため、収納部の夫々に対して送風装置を設けて流路空間から搬送空間に向けて強制的に気体を送風しなくても、気圧が高い流路空間から気圧が低い搬送空間に向けて気体が流れ易くなる。よって、搬送空間に向けて比較的気体が流れ易い流路空間の下流側だけでなく、搬送空間に向けて比較的気体が流れ難い流路空間の上流側においても、流路空間から搬送空間に向けて気体が流れ易くなる。従って、上下方向に並ぶ複数の収納部のうちの上方に位置する収納部において、搬送装置が作動したとき等において搬送空間から流路空間に向けて気体が逆流し難くなる。また、搬送空間の上流側において流路空間からの気体が流入し易いため、搬送空間の上流側における下方に流動する気体の量が多くなり、搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ易くなる。
このように、収納部に対して送風装置を設けないことによりランニングコストを抑えることができながら、搬送空間から収納部への気体の逆流を抑えると共に搬送空間の上流側において適切に塵埃を下方に流動させ易くなる。
また、この構成によれば、前後仕切り体の上方から前後仕切り体に向けて下方に流動した気体は、その一部が前後仕切り体の前方を通ってサブ流路空間を流動する。そして、前後仕切り体は、最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されているため、上下仕切り体により流路空間を下方に流動する気体が前方に案内されることで、最上段の上下仕切り体の上方を搬送空間に向けて流動し易くなる。そのため、気体が比較的流れ難い最上段の収納部に対しても気体が流れ易くなる。
ここで、前記給気部は、気体を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、前記給気部の前記案内部は、前記搬送空間の上端部に連通する第１流路を形成する第１案内体と、前記流路空間の上端部に連通する第２流路を形成する第２案内体と、を備え、前記流入口として、前記第１流路に気体を流入させるための第１流入口と、前記第２流路に気体を流入させるための第２流入口と、があり、前記第１流入口及び前記第２流入口は、上方に向けて開口していると好適である。
この構成によれば、天井に備えられた流出部から流出する気体が、上方に向けて開口する第１流入口及び第２流入口に流入する。第１流入口から流入した気体は第１流路を通って搬送空間の上端部に流動し、第２流入口から流入した気体は第２流路を通って流路空間の上端部に流動する。そのため、第１流入口や第２流入口から気体を流入させる為に送風装置を設置する必要がなく、設けるとしても送風能力の小さいもので済むため、物品収納設備のランニングコストを抑えることができる。
また、前記案内部は、前記第２流路の気体を前記流路空間に流出させるための第２流出口を備え、前記第２流入口の開口面積は、前記第２流出口の開口面積より大きいと好適である。
この構成によれば、第２流入口の開口面積は、第２流出口の開口面積より大きいため、比較的大きい第２流入口から多量の気体を流入させることができる。そして、例えば、第２流出口の開口面積を流路空間の横断面積に応じた大きさにしておき、第２流入口から流入した空気を第２流出口から流路空間に流動させることで、流路空間内の気圧を高め易くなる。
また、上下方向に見て前記第１流入口を通気可能な状態で塞ぐ閉塞体が備えられていると好適である。
この構成によれば、第１流入口を閉塞体により通気可能な状態で塞ぐことで第１流入口から第１流路に気体が流入し難く、この第１流路から搬送空間に流動する気体の量を抑えることができる。そのため、搬送空間内の気圧を低くし易くなる。
また、前記流路空間は、前記上下方向に延びるメイン流路空間と、このメイン流路空間より前方に位置して前記メイン流路空間に対して前記前後方向に連通するサブ流路空間と、を備え、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、前記上下方向に見て前記前後方向と交差する幅方向に延びる姿勢で設置されて、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間とを前記前後方向に部分的に仕切ると共に前記上下方向の一部に設けられる前後仕切り体を備え、前記複数の収納部における最上段の前記収納部と当該収納部の下方に隣接する収納部とを仕切る前記上下仕切り体を、最上段の上下仕切り体として、前記前後仕切り体は、前記最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は前記最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されていると好適である。
この構成によれば、前後仕切り体の上方から前後仕切り体に向けて下方に流動した気体は、その一部が前後仕切り体の前方を通ってサブ流路空間を流動する。そして、前後仕切り体は、最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されているため、上下仕切り体により流路空間を下方に流動する気体が前方に案内されることで、最上段の上下仕切り体の上方を搬送空間に向けて流動し易くなる。そのため、気体が比較的流れ難い最上段の収納部に対しても気体が流れ易くなる。
また、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、枠体が備えられ、前記枠体は、前記上下方向に延びる姿勢の複数の縦材と、前記幅方向に延びる姿勢の複数の横材と、を格子状に組み合わせて形成され、前記上下仕切り体は、前記枠体に支持され、前記前後仕切り体は、前記枠体における前記横材の一部により構成されていると好適である。
この構成によれば、メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に設置されている枠体には、メイン流路空間とサブ流路空間との間に幅方向に延びる姿勢で設置されている横材が存在している。この横材を前後仕切り体として利用することで、メイン流路空間とサブ流路空間とを前後方向に部分的に仕切るための専用の部材を設ける必要がなくなり、物品収納設備の構成の簡素化を図ることができる。
また、前記上下仕切り体は、前記前後方向及び前記幅方向に延びる板状に形成され、前記上下仕切り体の後方の端部が前記枠体に連結された状態で前記上下仕切り体が前記枠体に片持ち状に支持され、前記上下仕切り体は、前記収納部に収納された物品を下方から支持する支持部を備えると共に前記支持部より後方に前記上下方向に貫通する貫通部を備えていると好適である。
この構成によれば、上下仕切り体の支持部により物品を下方から支持することで、物品収納棚に物品を支持するための部材を別途設ける必要がないため、物品収納棚の構成の簡素化を図ることができる。また、上下方向に並ぶ複数の上下仕切り体に貫通部を備えることで、上下方向に並ぶ貫通部によりサブ流路空間を形成できる。そのため、サブ流路空間を形成するために例えば枠材と板材とを組み合わせて形成する必要がないため、サブ流路空間を容易に形成できる。
また、前記上下方向に見て前記流路空間を通気可能な状態で塞ぐ整風体が、前記流路空間の上下方向における少なくとも１か所に配置されていると好適である。
この構成によれば、流路空間における整風体が設置された高さにおいては、整風体の存在により気体は流路空間を下方に流れ難くなり、気体が収納部に向けて流れ易くなる。つまり、流路空間から気体が流れ難い収納部が存在している場合は、その収納部に気体が流れ易くなるように整風体を設置することで、流路空間から複数の収納部に流れる気体の均一化を図ることができる。
また、前記整風体は、前記流路空間に前記上下方向に並ぶ状態で複数備えられ、前記複数の整風体は、配置高さが下方に向かうに従って前記流路空間の開口率を小さくする形状とされていると好適である。
この構成によれば、配置高さが下方に向かうに従って、整風体を設置している高さにおいて気体が下方に通気し難くなる。つまり、流路空間の比較的高い部分においては、流路空間の開口率が比較的高くなる状態で整風体によって流路空間を通気可能な状態で塞ぐことによって、収納部に向けて気体が流れる状態を維持しながら、流路空間の比較的低い部分において気体の量が足りなくなることを回避できる。また、流路空間の比較的低い部分においては、流路空間の開口率を比較的低くなる状態で整風体によって流路空間を通気可能な状態で塞ぐことによって、収納部に向けて適切に気体が流れ易い。
また、前記複数の収納部における最下段の収納部より下方で且つ前記排気部より上方に、気体の通気を規制する状態で前記流路空間の下方を覆う規制体を備え、前記規制体は、前記上下方向に見て前記最下段の収納部と重複する位置まで前記壁部から前方に向けて延びていると好適である。
この構成によれば、流路空間において最下段の収納部より下方に流れた気体を流路空間から下方に排気するのではなく、この最下段の収納部より下方に流れた気体を搬送空間に向けて流すことで、搬送空間において下方に流動する気体の量を多くすることができる。そのため、搬送空間において塵埃が巻き上がり難くできる。
物品収納設備の側面図 収納部及び流路空間の一部拡大平面図 収納部及び流路空間の一部拡大側面図 流路部及び案内部の分解斜視図 案内部の側面図 物品収納設備の平面図 物品収納設備の空気の流れを示す図
以下、本発明にかかる物品収納設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品収納設備は、物品としての容器Ｗを収納する収納部１ａを複数備えた物品収納棚１と、収納部１ａに容器Ｗを搬送する搬送装置としてのスタッカークレーン２と、気体供給装置３（図２及び図３参照）と、を備えている。また、物品収納設備には、物品収納棚１やスタッカークレーン２が設置される空間の側周囲を空気（気体）の通流を規制するように覆う壁体Ｋが備えられている。
図２及び図３に示すように、物品収納棚１には、容器Ｗを収納するための収納部１ａが複数備えられている。気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部に、気体としてのクリーンドライエアー（以下、ドライエアーと略称する）を供給するように構成されている。つまり、気体供給装置３により容器Ｗの内部に供給される気体は、収納部１ａの気体に比べて湿度が低い気体となっている。
容器Ｗは、１枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をレチクルとし、容器Ｗを、レチクルを収容する容器Ｗとしている。
図１に示すように、物品収納設備は、天井部Ｃから床部Ｆに気体が下方に流動するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。
クリーンルームの床部Ｆは、下床部Ｆ１と、下床部Ｆ１よりも上方に設置された上床部Ｆ２とを備えている。下床部Ｆ１は、通気孔を有さない通気不能な床であり、上床部Ｆ２は、通気孔を有する上下方向Ｚに通気可能な床である。本実施形態では、下床部Ｆ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、スタッカークレーン２は下床部Ｆ１上を走行する。また、本実施形態では、上床部Ｆ２は、上下方向Ｚに貫通する通気孔が複数形成されたグレーチングにより構成されており、作業者はこの上床部Ｆ２上を歩行する。
クリーンルームの天井部Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない通気不能な天井であり、下天井部Ｃ２は、上下方向Ｚに通気可能な天井である。本実施形態では、上天井部Ｃ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、下天井部Ｃ２は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタにより構成されている。尚、下天井部Ｃ２が、気体を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井に相当する。
下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間には床空間ＦＳが形成されており、上天井部Ｃ１と下天井部Ｃ２との間には天井空間ＣＳが形成されている。また、上床部Ｆ２と下天井部Ｃ２との間には室空間Ｓが形成されている。そして、図外の送風装置の作動により天井空間ＣＳに空気を吐出することで、下天井部Ｃ２のフィルタにより浄化された空気（清浄空気）が、室空間Ｓを空気が天井部Ｃから床部Ｆに向けて下方に流動する。
〔容器〕
容器Ｗの底部には、給気被接続部（図示せず）と排気被接続部（図示せず）とを備えている。給気被接続部は、気体供給装置３の給気接続部１２から吐出されたドライエアーを容器Ｗの内部に給気するための部分である。排気被接続部は、容器Ｗの内部の気体を容器Ｗの外部に排気するための部分である。
容器Ｗの給気被接続部は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、容器Ｗの給気被接続部に気体供給装置３の給気接続部１２が接続された状態で、その給気接続部１２からドライエアーが噴出されると、その噴出したドライエアーの圧力により給気被接続部が開き操作されて、ドライエアーが容器Ｗの内部に供給される。また、容器Ｗの排気被接続部は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、気体供給装置３によるドライエアーの供給により容器Ｗの内部の圧力が高まるとその圧力により排気被接続部が開き操作されて、容器Ｗの内部の気体が排気被接続部から排気される。
以下、物品収納設備の各構成について説明するが、物品収納棚１と搬送空間Ｓ１とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、物品収納棚１に対して搬送空間Ｓ１が存在する方向を前方Ｘ１とし、その反対方向を後方Ｘ２として説明する。また、上下方向Ｚに見て、前後方向Ｘに対して直交する方向を幅方向Ｙとして説明する。尚、容器Ｗについては、容器Ｗを収納部１ａに収納した状態に基づいて前後方向Ｘ及び幅方向Ｙを定義して説明する。
〔物品収納棚〕
図１に示すように、物品収納棚１は、互いに対向する状態で一対設置されている。物品収納棚１は、上下方向Ｚ及び幅方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａが備えられている。一対の物品収納棚１は、設置されている向きが異なる以外は同様に構成されている。
図２及び図３に示すように、物品収納棚１は、収納部１ａに収納した容器Ｗを下方から支持する複数の支持体５と、複数の支持体５を支持する棚枠体６と、を備えている。
棚枠体６は、上下方向Ｚに沿う姿勢の縦枠６ａと幅方向Ｙに沿う姿勢の横枠６ｂとを組み合わせた格子状に枠組みされている。説明を加えると、幅方向Ｙに並ぶ２本の縦枠６ａの間に横枠６ｂを複数設置して梯子状の枠を形成し、その梯子状の枠を幅方向Ｙに連結して格子状の棚枠体６が形成されている。
物品収納棚１には、上下方向Ｚ及び幅方向Ｙに並ぶ状態で支持体５が複数備えられている。支持体５は、幅方向Ｙに隣接する２つの収納部１ａに対して１つ設けられており、支持体５の幅方向Ｙの大きさは、幅方向Ｙに並ぶ２つの容器Ｗを支持可能な大きさに形成されている。支持体５は、主要部（支持部９）が前後方向Ｘ及び幅方向Ｙに延びる板状に形成され、支持体５の後方の端部が棚枠体６に連結された状態で支持体５が棚枠体６に片持ち状に支持されている。
支持体５は、収納部１ａに収納されている容器Ｗを下方から支持する支持部９と、棚枠体６に連結される一対の連結部１０と、を備えている。支持部９は、支持体５の主要部であり、前後方向Ｘ及び幅方向Ｙに延びる平板状に形成されている。
支持部９の上面には、上方に向かって突出する突起部１１と、気体供給装置３により供給されるドライエアーを容器Ｗの内部に供給するための給気接続部１２と、容器Ｗの内部から排出される気体を通流させる排気接続部１３と、が設けられている。
支持部９は、上述の如く前後方向Ｘ及び幅方向Ｙに延びる板状に形成することで、気体の通気を規制する状態で、上下方向Ｚに隣接する収納部１ａ同士を仕切っている。尚、支持部９は、上下仕切り体に相当する。
突起部１１は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの側周囲に位置するように設けられている。この突起部１１が容器Ｗの側面に当接することで、容器Ｗが支持部９上に形成される収納部１ａに位置決めされる。尚、本実施形態では、突起部１１として、複数本（１つの容器Ｗに対して６本）のピン状の部材が設けられている。
給気接続部１２には、気体供給装置３を構成する後述する分岐配管２５が接続されている。排気接続部１３には、反対側の端部が開放された排気管（図示せず）が接続されている。容器Ｗが支持体５に支持された状態で、給気接続部１２が容器Ｗの給気被接続部に接続され、排気接続部１３が容器Ｗの排気被接続部に接続される。
一対の連結部１０は、上下方向Ｚ及び前後方向Ｘに沿う平板状に形成されている。一対の連結部１０は、支持部９の幅方向Ｙの両端部に備えられており、一対の連結部１０の夫々は、支持部９の後端より後方に突出する状態で配置されている。そして、一対の連結部１０が、棚枠体６における一対の縦枠６ａに連結されている。
支持部９の後端と棚枠体６の前端の間に隙間が形成されており、この隙間により貫通部１４が形成されている。つまり、支持体５は、上述の如く、一対の連結部１０が支持部９より後方に突出する状態で棚枠体６に連結されることで、前後方向Ｘにおいて支持部９と棚枠体６との間に上下方向Ｚに貫通する貫通部１４を備えている。
このように、支持体５は、収納部１ａに収納された容器Ｗを下方から支持する支持部９を備えると共に支持部９より後方に上下方向Ｚに貫通する貫通部１４が形成されている。
収納部１ａは、支持体５における支持部９の上方に形成されている。説明を加えると、収納部１ａは、支持部９とこの支持部９に対して上方に隣接する別の支持部９との間の領域に形成されている。そして、収納部１ａは、前後方向Ｘ及び幅方向Ｙについては、支持部９の前端から後端までの領域に形成されている。尚、最上段の収納部１ａについても、他の収納部１ａと同じ大きさの領域に形成されている。また、本実施形態のように、容器Ｗの後端が支持部９から後方Ｘ２に飛び出ている部分が存在する場合は、支持部９に支持されている容器Ｗの後端までが収納部１ａになる。
そして、複数の収納部１ａの夫々は、前後方向Ｘにおいて搬送空間Ｓ１と後述する流路空間Ｓ２との間に位置して搬送空間Ｓ１及び流路空間Ｓ２に連通している。
図１に示すように、物品収納棚１の前方に上下方向Ｚに延びる搬送空間Ｓ１が形成されており、スタッカークレーン２は搬送空間Ｓ１に設置されている。尚、搬送空間Ｓ１は、支持体５より前方の空間としており、本実施形態のように一対の物品収納棚１を対向する状態で設置している場合は、一方の物品収納棚１の支持体５と他方の物品収納棚１の支持体５との間に搬送空間Ｓ１が形成される。
〔スタッカークレーン〕
スタッカークレーン２は、搬送空間Ｓ１を幅方向Ｙに走行する走行台車１６と、走行台車１６に立設されたマスト１７と、マスト１７に沿って昇降する昇降体１８と、昇降体１８に支持されている移載装置１９と、を備えている。
移載装置１９は、走行台車１６が走行することで走行方向に沿って移動し、昇降体１８が昇降することでマスト１７に沿って上下方向Ｚに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置１９には、容器Ｗを支持する支持台と、当該支持台を前後方向Ｘに沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置１９は、自己と収納部１ａとの間で容器Ｗを移載可能に構成されている。走行台車１６について、最下段の支持部９や後述する規制体４７より下方に、走行台車１６の少なくとも一部が位置している。本実施形態では、走行台車１６の全体が、最下段の支持部９や規制体４７より下方に位置している。
走行台車１６は、走行レール２０上を幅方向Ｙに沿って走行する。本実施形態では、走行台車１６の全体が、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方で、且つ、上床部Ｆ２より下方に位置している。
マスト１７の上端部は、案内レール２１により幅方向Ｙに沿って移動するように案内される。説明を加えると、最上段の収納部１ａより上方に、幅方向Ｙに沿う姿勢で案内レール２１が設けられており、当該案内レール２１は前後方向Ｘに間隔を空けた状態で設置されている。そして、一対の案内レール２１の間にマスト１７の上端部が位置しており、マスト１７は一対の案内レール２１により前後方向Ｘへの移動が規制された状態で幅方向Ｙに案内される。
〔気体供給装置〕
図２及び図３に示すように、気体供給装置３は、気体供給源（図示せず）に接続された基幹配管（図示せず）と、この基幹配管から分岐する複数の縦配管２４と、それぞれの縦配管２４から分岐する複数の分岐配管２５と、を備えている。気体供給源からのドライエアーは、基幹配管、縦配管２４、分岐配管２５の順に流通して、各収納部１ａの容器Ｗに供給される。基幹配管は、例えば最下段の収納部１ａよりも下方において、幅方向Ｙに沿って配設されている。
複数の縦配管２４のそれぞれは、上下方向Ｚに沿って配設されている。複数の縦配管２４のそれぞれは、基幹配管から上方に向かって延びるように配設されている。縦配管２４は、支持体５に形成された貫通部１４を通して配設されている。換言すれば、支持体５の支持部９における幅方向Ｙの幅内において、支持部９と棚枠体６との間に位置するように設置されている。
〔壁体〕
図１に示すように、壁体Ｋは、物品収納棚１やスタッカークレーン２が設置される空間の側周囲を空気の通流を規制する状態で覆っている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えている。床上壁３１は、上床部Ｆ２の上面より上方で且つ下天井部Ｃ２の下面より下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ２の下面より下方で且つ下床部Ｆ１の上面より上方に位置している。
床上壁３１は、四角筒状に形成された４面の床上壁部３１ａを備えている。図１には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、が示されている。
床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａを備えている。図１には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、が示されている。
図２〜図４に示すように、物品収納棚１の後方には、一対の格子枠３９と、一対の格子枠３９を連結する連結枠４０と、を備えて構成された後枠体３８が備えられている。一対の格子枠３９の夫々は、上下方向Ｚに沿う姿勢の縦枠３９ａと幅方向Ｙに沿う姿勢の横枠３９ｂとを組み合わせて格子状に形成されている。一対の格子枠３９は前後方向Ｘに間隔を空けた状態で設置されており、これら一対の格子枠３９が、前後方向Ｘに延びる姿勢で設置された連結枠４０により連結されている。
このように格子枠３９を、縦枠３９ａと横枠３９ｂとを組み合わせて格子状に形成することで、格子枠３９には、前後方向Ｘに貫通する矩形状の孔が形成されている。床上壁部３１ａは、無孔状に形成されており、一対の格子枠３９のうちの後方Ｘ２に位置する格子枠３９に対して、矩形状の孔を後方Ｘ２から塞ぐように設置されている。このように床上壁部３１ａを設置することで、複数の収納部１ａに対して後方に間隔を空けた状態で床上壁部３１ａが設置されるとともに、気体の通気を規制する状態で物品収納棚１の後方Ｘ２を塞いでいる。
また、一対の格子枠３９のうちの前方に位置する格子枠３９（以下、前側の格子枠３９と称する場合がある）に、棚枠体６が連結されている。つまり、後枠体３８と棚枠体６とは、後枠体３８が棚枠体６より後方Ｘ２に位置するように後枠体３８と棚枠体６とが前後方向Ｘに並ぶ状態で設置されている。
〔流路部〕
図２及び図３に示すように、物品収納棚１の後方に流路部４２が設置されている。
流路部４２は、気体の通気を規制する状態で物品収納棚１の後方を覆う流路壁部４３と、流路壁部４３を支持する流路枠体４４と、を備えている。流路壁部４３は、床上壁部３１ａにおける後述する案内部５４より下方に位置する部分により構成されている。また、流路枠体４４は、後枠体３８における後述する案内部５４より下方に位置する部分により構成されている。そのため、流路壁部４３は、複数の収納部１ａに対して後方Ｘ２に間隔を空けた状態で設置されている。
流路壁部４３と複数の収納部１ａとの間に上下方向Ｚに延びる流路空間Ｓ２が形成されている。説明を加えると、前後方向Ｘにおける流路壁部４３と複数の収納部１ａとの間には、一対の格子枠３９が設置されており、一対の格子枠３９の間にメイン流路空間Ｓ２ａが形成されている。メイン流路空間Ｓ２ａを流動する空気は、一対の格子枠３９の間を流動する。
また、前後方向Ｘにおける流路壁部４３と複数の収納部１ａとの間において、支持体５に上下方向Ｚに貫通する貫通部１４が形成されており、この貫通部１４が、複数の支持体５が上下方向Ｚに並ぶことで、サブ流路空間Ｓ２ｂが形成されている。サブ流路空間Ｓ２ｂを流動する空気は、貫通部１４を流動する。
そして、メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとは、前後方向Ｘに連通している。説明を加えると、メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとの間には、棚枠体６や前側の格子枠３９が存在するが、棚枠体６及び前側の格子枠３９は何れも縦材と横材とを組み合わせて格子状に形成されている。そのため、これら棚枠体６及び前側の格子枠３９には、前後方向Ｘに貫通する矩形状の孔が形成されている。メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとは、この矩形状の孔により前後方向Ｘに連通している。
このように、流路空間Ｓ２は、上下方向Ｚに延びるメイン流路空間Ｓ２ａと、このメイン流路空間Ｓ２ａより前方Ｘ１に位置してメイン流路空間Ｓ２ａと連通するサブ流路空間Ｓ２ｂと、を備えている。そして、メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとの間には枠体Ａ（棚枠体６及び前側の格子枠３９により構成）が備えられており、このメイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとの間に位置する枠体Ａは、上下方向Ｚに延びる姿勢の複数の縦枠６ａ，３９ａと、幅方向Ｙに延びる姿勢の複数の横枠６ｂ，３９ｂと、を格子状に組わせて形成されている。
図５に示すように、前側の格子枠３９における最も上方に位置する横枠３９ｂは、メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとの間に幅方向Ｙに延びる姿勢で設置されて、メイン流路空間Ｓ２ａとサブ流路空間Ｓ２ｂとを前後方向Ｘに部分的に仕切ると共に上下方向Ｚの一部に設けられている。
そして、複数の収納部１ａにおける最上段の収納部１ａに収納されている容器Ｗを支持する支持体５（複数の収納部１ａにおける最上段の収納部１ａと、当該収納部１ａの下方に隣接する収納部１ａと、を仕切る支持体５）を最上段の支持体５として、前側の格子枠３９における最も上方に位置する横枠３９ｂは、最上段の支持体５と同じ高さに設置されている。
尚、前側の格子枠３９における最も上方に位置する横枠３９ｂは、前後仕切り体に相当し、枠体Ａの一部により構成されている。また、支持体５は、枠体Ａに支持されている。
図１〜図３に示すように、流路部４２には、上下方向Ｚに見て流路空間Ｓ２を通気可能な状態で塞ぐ整風体４６が、流路空間Ｓ２の上下方向Ｚにおける少なくとも１か所に配置されている。本実施形態では、整風体４６は、多数の小孔が形成された金属製の板状部材である所謂パンチングメタルにより構成されており、流路空間Ｓ２に上下方向Ｚに並ぶ状態で複数備えられている。そして、複数の整風体４６は、配置高さが下方に向かうに従って開孔率が大きなパンチングメタルを用いており、配置高さが下方に向かうに従って流路空間Ｓ２の開口率が小さくなる形状となっている。本実施形態では、整風体４６は、流路空間Ｓ２に上下方向Ｚに並ぶ状態で３つ備えられているが、これら３つの整風体４６による流路空間Ｓ２の開口率は上から順位に、８０％、７０％、６０％となっている。尚、整風体４６は、メイン流路空間Ｓ２ａにのみ設けられており、サブ流路空間Ｓ２ｂには設けられていない。
複数の整風体４６のうち最も上方に位置する整風体４６は、最上段の支持体５における支持部９の上面より上方に設置されており、最上段の支持体５に支持される容器Ｗにおける上下幅内に位置するように設置されている。
図１に示すように、複数の収納部１ａにおける最下段の収納部１ａより下方で且つ排気部５２より上方に、上下方向Ｚの気体の通気を規制する状態で流路空間Ｓ２の下方を覆う規制体４７が備えられている。規制体４７は上下方向Ｚにみて最下段の収納部１ａと重複する位置まで流路壁部４３から前方Ｘ１に向けて延びている。
説明を加えると、流路空間Ｓ２の下端部には、傾斜壁４８が備えられている。また、水平壁４９が備えられており、これら傾斜壁４８及び水平壁４９により規制体４７が構成されている。
図１に示すように、物品収納設備は、給気部５１と排気部５２とを更に備えている。
給気部５１は、搬送空間Ｓ１、流路空間Ｓ２、及び複数の収納部１ａより上方に備えられている。給気部５１は、外部からの気流が流入する流入口５３を備えると共に、搬送空間Ｓ１の上端部及び流路空間Ｓ２の上端部に連通している。排気部５２は、流路空間Ｓ２及び複数の収納部１ａより下方に備えられている。排気部５２は、搬送空間Ｓ１の下端部に連通している。
〔給気部〕
図４〜図６に示すように、給気部５１は、搬送空間Ｓ１内の気圧が流路空間Ｓ２内の気圧より小さくなるように、流入口５３から流入した空気を搬送空間Ｓ１の上端部と流路空間Ｓ２の上端部とに案内する案内部５４を備えている。案内部５４は、物品収納棚１及び流路部４２の上方で且つ下天井部Ｃ２の下方に設置されている。
案内部５４は、搬送空間Ｓ１の上端部に連通する第１流路５５ａを形成する第１案内体５４ａと、流路空間Ｓ２の上端部に連通する第２流路５５ｂを形成する第２案内体５４ｂと、を備えている。流入口５３として、第１流路５５ａに空気を流入させるための第１流入口５３ａと、第２流路５５ｂに空気を流入させるための第２流入口５３ｂと、があり、第１流入口５３ａ及び第２流入口５３ｂは、上方に向けて開口している。案内部５４は、第１流路５５ａの空気を搬送空間Ｓ１の上端部に流出させるための第１流出口５６ａと、第２流路５５ｂの気体を流路空間Ｓ２の上端部に流出させるための第２流出口５６ｂと、を備えている。尚、第１流入口５３ａと第２流入口５３ｂとは、同じ高さに形成されている。
第１流入口５３ａから流入した空気は、第１流路５５ａを通り、第１流出口５６ａから搬送空間Ｓ１の上端部に流出する。第２流入口５３ｂから流入した空気は、第２流路５５ｂを通り、第２流出口５６ｂから流路空間Ｓ２の上端部に流出する。
第２案内体５４ｂは、床上壁部３１ａにおける流路部４２より上方に位置する部分により構成されている第１壁部５７と、第１壁部５７より前方Ｘ１に設置されている第２壁部５８と、を備えている。
第１壁部５７と第２壁部５８とは、下方ほど前後方向Ｘでの互いの間隔が狭くなるように設置されている。説明を加えると、第２壁部５８は、上下方向Ｚ及び幅方向Ｙに延びる縦壁部５８ａと、縦壁部５８ａの下端から後方Ｘ２に延びる第１横壁部５８ｂと、縦壁部５８ａの上端から前方Ｘ１に延びる第２横壁部５８ｃとを備えている。第１横壁部５８ｂの後端は、一対の格子枠３９のうちの前方に位置する格子枠３９に連結されている。縦壁部５８ａは、一対の格子枠３９のうちの前方に位置する格子枠３９に対して前方に設定距離だけ間隔が空けた状態で位置している。この設定距離は、一対の格子枠３９の前後方向Ｘの離間距離の３倍程度に設定されている。第２壁部５８における第１横壁部５８ｂには後端から前方Ｘ２に凹入する凹入部５８ｄが形成されている。この凹入部５８ｄは、一対の格子枠３９の前後方向Ｘの離間距離の半分程度だけ凹入している。
縦壁部５８ａと第１横壁部５８ｂとを連結する部分は、下方ほど後方Ｘ２に位置する円弧状に形成されており、下方に流動する空気を後方に案内する形状となっている。このように、第１壁部５７と第２壁部５８とは、主に下部において、下方ほど前後方向Ｘでの互いの間隔が狭くなるように設置されている。
第１壁部５７と第２壁部５８との間に第２流路５５ｂが形成されている。
そして、第１壁部５７の上端と第２壁部５８の上端との間に第２流入口５３ｂが形成されている。説明を加えると、第１壁部５７と第２壁部５８との間には一対の格子枠３９が形成されており、第１壁部５７の上端及び第２壁部５８の上端と同高さにおいて、一対の格子枠３９の間に第２流入口５３ｂが形成されている。また、一対の格子枠３９のうちの前方に位置する格子枠３９と第２壁部５８の上端との間にも第２流入口５３ｂが形成されている。
また、第１壁部５７の下端と第２壁部５８の下端との間に第２流出口５６ｂが形成されている。説明を加えると、第１壁部５７の下端及び第２壁部５８の下端と同高さにおいて、一対の格子枠３９の間に第２流出口５６ｂが形成されている。また、幅方向Ｙにおいて凹入部５８ｄが形成されている部分においては、この凹入部５８ｄが形成されることで、一対の格子枠３９のうちの前方に位置する格子枠３９第１横壁部５８ｂとの間にも第２流出口５６ｂが形成されている。そして、第２流入口５３ｂは、第２流出口５６ｂより開口面積が広い。
第１案内体５４ａは、一対の第３壁部５９により構成されている。一対の第３壁部５９の夫々は、案内レール２１と、第２壁部５８における案内レール２１より上方に位置する部分と、を備えて構成されている。一対の第３壁部５９の間に第１流路５５ａが形成されている。そして、一対の第３壁部５９の上端同士の間に第１流入口５３ａが形成されている。また、一対の第３壁部５９の下端同士の間に第１流出口５６ａが形成されている。
第１流入口５３ａは、第１流出口５６ａより開口面積が広い。上下方向Ｘに見て第２流入口５３ｂを通気可能な状態で塞ぐ閉塞体６０が備えられている。この閉塞体６０はパンチングメタルにより形成されている。
第２流入口５３ｂの前後方向Ｘの大きさ（第１壁部５７の上端と第２壁部５８の上端との間に形成されている前後方向Ｘに並ぶ２つの第２流入口５３ｂを合わせた大きさ）は、流路空間Ｓ２の前後方向Ｘの大きさ（メイン流路空間Ｓ２ａの前後方向Ｘの大きさにサブ流路空間Ｓ２ｂの前後方向Ｘの大きさを加えた大きさ）より大きく、第２流入口の幅方向の大きさは、流路空間（メイン流路空間）の幅方向の大きさと同じとなっている。そのため、第２流入口の開口面積は、第２流路空間の横断面積より広い。
また、第１流入口の前後方向の大きさは、搬送空間の前後方向の大きさと同じであり、第１流入口の幅方向の大きさは、搬送空間の幅方向の大きさと同じとなっている。そのため、第１流入口の開口面積は、搬送空間の横断面積と同じ大きさとなっている。
このような大きさに第２流入口と第１流路口とを形成することで、流路空間の上端部における単位面積当たりの空気の流量に比べて、搬送空間の上端部における単位面積当たりの空気の流量が多く、流路空間における気圧が搬送空間における気圧より高くなっている。
第１流入口５３ａ及び第１流出口５６ａは、上下方向Ｚに見て搬送空間Ｓ１の上端と重なる位置に形成されている。第２流入口５３ｂ及び第２流出口５６ｂは、上下方向Ｚに見て流路空間Ｓ２と重なる位置に形成されている。特に、一対の格子枠３９の間に形成された第２流入口５３ｂ及び第２流出口５６ｂは、上下方向Ｚに見てメイン流路空間Ｓ２ａと重なる位置に形成されている。また、格子枠３９と第２壁部５８との間に形成された第２流入口５３ｂ、及び、格子枠３９と第１横壁部５８ｂとの間に形成された第２流出口５６ｂは、上下方向Ｚに見てサブ流路空間Ｓ２ｂと重なる位置に形成されている。
〔排気部〕
床下壁部３２ａは、前後方向に通気可能に形成されており、搬送空間Ｓ１を上床部Ｆ２より下方に流動した空気は、床下壁部３２ａから外部に流出する。つまり、床下壁部３２ａは、排気部５２として機能しており、排気部５２は、上床部Ｆ２より下方に設置されている。
このように、給気部５１の流入口５３から流入した空気は、搬送空間Ｓ１内の気圧が流路空間Ｓ２内の気圧より小さくなるように、流路空間Ｓ２の上端部と搬送空間Ｓ１の上端部とに流動する。そして、流路空間Ｓ２を下方に向けて流動する空気は、メイン流路空間Ｓ２ａ及びサブ流路空間Ｓ２ｂの双方を下方に向けて流動すると共に、複数の収納部１ａを通って分散して搬送空間Ｓ１に合流する。搬送空間Ｓ１を下方に向けて流動する空気は、規制体４７と下床部Ｆ１との間の空間を外方に向けて流動した後に、排気部５２から外部に流出する。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、気体を下方に向けて流出する流出部を備えた天井の下方に吸気部を設置することで、天井の流出部から流出した気体を流入口から流入するようにしたが、流入口にファンフィルタユニット等の送風装置を設置し、送風装置の送風作用により流入口から気体を流入させるようにしてもよい。
そして、このように送風装置を設置した場合には、第２流入口に設置した送風装置により流入させる流入量（流路空間における単位面積当たりの流入量）を、第１流入口に設置した送風装置により流入させる流入量（搬送空間における単位面積当たりの流入量）より多くすることで、案内部によって、搬送空間内の気圧を流路空間内の気圧より小さくなるように、流入口から流入した気体を流路空間の上端部と搬送空間の上端部とに案内される。また、このように流入口に送風装置を設置する場合は、第１流入口や第２流入口の一方又は双方を横側方に向けて開口してもよい。
（２）上記実施形態では、第１流入口の開口面積を第１流出口の開口面積より大きくしたが、第１流入口の開口面積を第１流出口の開口面積と同じ又は小さい面積としてもよい。
上記実施形態では、第２流入口の開口面積を第２流出口の開口面積より大きくしたが、第２流入口の開口面積を第２流出口の開口面積と同じ又は小さい面積としてもよい。
（３）上記実施形態では、第２流入口を通気可能な状態で塞ぐ閉塞体を備えたが、第２流入口にこのような閉塞体を備えなくてもよい。また、第１流入口、第１流出口及び第２流出口のうちの一部又は全部に対して、通気可能な状態で塞ぐ閉塞体を備えてもよい。
（４）上記実施形態では、支持体に貫通部を形成してサブ流路空間を形成し、流路空間にサブ流路空間を備えたが、支持体に貫通部を形成しないようにして、流路空間に、サブ流路空間を備えなくてもよい。
（５）上記実施形態では、上下仕切り体として、物品を下方から支持する支持部を用いたが、上下仕切り体として、支持部とは別の部材を設けてもよい。また、上下仕切り体として支持部を用いた場合に、支持部の下方から容器を掬い取れるように支持部の一部をＵ字状に切り欠いた支持部を用いてもよい。
（６）上記実施形態では、前後仕切り体として、枠体における横材を用いたが、前後仕切り体として、枠体の横材とは別の部材を設けてもよい。
（７）上記実施形態では、流路空間に整風体を複数枚設けたが、流路空間に整風体を一枚のみ設けてもよく、また、流路空間に整風体を設けなくてもよい。
また、流路空間に整風体を複数枚設けた場合において、複数枚の整風体を、設置高さが変わっても流路空間の開口率が同じになる形状とする等、整風体を設置した箇所における流路空間の開口率は適宜変更してもよい。
（８）上記実施形態では、最下段の収納部より下方で且つ排気部より上方に、流路空間の下方を覆う規制体を備えたが、当該規制体を設けずに、流路空間と床下の空間とを直接連通させてもよい。
（９）上記実施形態では、物品を、レチクル（フォトマスク）を収納する容器としたが、容器は、ＦＯＵＰ等の半導体ウェハを収容する容器等の他の容器としてもよく、また、容器以外の物品としてもよい。
（１０）上記実施形態では、給気部から給気される気体を空気としたが、空気以外、例えば、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体でもよい。
１ 物品収納棚
１ａ 収納部
２ スタッカークレーン（搬送装置）
６ 棚枠体（枠体）
６ａ 縦枠
６ｂ 横枠
９ 支持部（上下仕切り体）
１４ 貫通部
３９ｂ 横枠（前後仕切り体）
４３ 流動壁部（壁部）
４６ 整風体
４７ 規制体
５１ 給気部
５２ 排気部
５３ 流入口
５３ａ 第１流入口
５３ｂ 第２流入口
５４ａ 第１案内体
５４ｂ 第２案内体
５５ａ 第１流路
５５ｂ 第２流路
６０ 閉塞体
Ａ 枠体
Ｃ２ 下天井部（天井）
Ｓ１ 搬送空間
Ｓ２ 流路空間
Ｓ２ａ メイン流路空間
Ｓ２ｂ サブ流路空間
Ｗ 物品
Ｘ 前後方向
Ｘ１ 前方
Ｘ２ 後方
Ｚ 上下方向

Claims (13)

  1. 上下方向に並ぶ複数の収納部を備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する搬送装置と、気体の通気を規制する状態で、前記物品収納棚の後方を覆う壁部と、を備え、前記物品収納棚の前方に前記上下方向に延びる搬送空間が形成され、前記搬送装置は、前記搬送空間に設置されている物品収納設備であって、
    前記物品収納棚は、気体の通気を規制する状態で、前記上下方向に隣接する収納部同士の間を仕切る複数の上下仕切り体を備え、
    前記壁部は、前記複数の収納部に対して後方に間隔を空けた状態で設置されて、前記壁部と前記複数の収納部との間に前記上下方向に延びる流路空間が形成され、
    前記複数の収納部の夫々は、前記上下方向に見て前記物品収納棚と前記搬送空間とが並ぶ前後方向において、前記流路空間と前記搬送空間との間に位置して前記流路空間及び前記搬送空間に連通し、
    前記搬送空間、前記流路空間、及び前記複数の収納部より上方に備えられた給気部と、前記流路空間及び前記複数の収納部より下方に備えられた排気部と、を更に備え、
    前記給気部は、外部からの気体が流入する流入口を備えると共に、前記搬送空間の上端部及び前記流路空間の上端部に連通しており、
    前記排気部は、前記搬送空間の下端部に連通し、
    前記給気部は、前記搬送空間内の気圧が前記流路空間内の気圧より小さくなるように、前記流入口から流入した気体を前記流路空間の上端部と前記搬送空間の上端部とに案内する案内部を備え、
    前記給気部は、気体を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、
    前記給気部の前記案内部は、前記搬送空間の上端部に連通する第１流路を形成する第１案内体と、前記流路空間の上端部に連通する第２流路を形成する第２案内体と、を備え、
    前記流入口として、前記第１流路に気体を流入させるための第１流入口と、前記第２流路に気体を流入させるための第２流入口と、があり、
    前記第１流入口及び前記第２流入口は、上方に向けて開口し、
    上下方向に見て前記第１流入口を通気可能な状態で塞ぐ閉塞体が備えられ、
    前記第２案内体は、第１壁部と、前記第１壁部より前方に設置された第２壁部と、を備え、
    前記閉塞体と前記第２壁部とが、前記第２壁部の上端と前記閉塞体の後方の端部とが同じ高さとなるように設置されている物品収納設備。
  2. 前記流路空間は、前記上下方向に延びるメイン流路空間と、このメイン流路空間より前方に位置して前記メイン流路空間に対して前記前後方向に連通するサブ流路空間と、を備え、
    前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、前記上下方向に見て前記前後方向と交差する幅方向に延びる姿勢で設置されて、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間とを前記前後方向に部分的に仕切ると共に前記上下方向の一部に設けられる前後仕切り体を備え、
    前記複数の収納部における最上段の前記収納部と当該収納部の下方に隣接する収納部とを仕切る前記上下仕切り体を、最上段の上下仕切り体として、
    前記前後仕切り体は、前記最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は前記最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されている請求項１に記載の物品収納設備。
  3. 上下方向に並ぶ複数の収納部を備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する搬送装置と、気体の通気を規制する状態で、前記物品収納棚の後方を覆う壁部と、を備え、前記物品収納棚の前方に前記上下方向に延びる搬送空間が形成され、前記搬送装置は、前記搬送空間に設置されている物品収納設備であって、
    前記物品収納棚は、気体の通気を規制する状態で、前記上下方向に隣接する収納部同士の間を仕切る複数の上下仕切り体を備え、
    前記壁部は、前記複数の収納部に対して後方に間隔を空けた状態で設置されて、前記壁部と前記複数の収納部との間に前記上下方向に延びる流路空間が形成され、
    前記複数の収納部の夫々は、前記上下方向に見て前記物品収納棚と前記搬送空間とが並ぶ前後方向において、前記流路空間と前記搬送空間との間に位置して前記流路空間及び前記搬送空間に連通し、
    前記搬送空間、前記流路空間、及び前記複数の収納部より上方に備えられた給気部と、前記流路空間及び前記複数の収納部より下方に備えられた排気部と、を更に備え、
    前記給気部は、外部からの気体が流入する流入口を備えると共に、前記搬送空間の上端部及び前記流路空間の上端部に連通しており、
    前記排気部は、前記搬送空間の下端部に連通し、
    前記給気部は、前記搬送空間内の気圧が前記流路空間内の気圧より小さくなるように、前記流入口から流入した気体を前記流路空間の上端部と前記搬送空間の上端部とに案内する案内部を備え、
    前記流路空間は、前記上下方向に延びるメイン流路空間と、このメイン流路空間より前方に位置して前記メイン流路空間に対して前記前後方向に連通するサブ流路空間と、を備え、
    前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、前記上下方向に見て前記前後方向と交差する幅方向に延びる姿勢で設置されて、前記メイン流路空間と前記サブ流路空間とを前記前後方向に部分的に仕切ると共に前記上下方向の一部に設けられる前後仕切り体を備え、
    前記複数の収納部における最上段の前記収納部と当該収納部の下方に隣接する収納部とを仕切る前記上下仕切り体を、最上段の上下仕切り体として、
    前記前後仕切り体は、前記最上段の上下仕切り体と同じ高さ又は前記最上段の上下仕切り体より高い高さに設置されている物品収納設備。
  4. 前記給気部は、気体を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、
    前記給気部の前記案内部は、前記搬送空間の上端部に連通する第１流路を形成する第１案内体と、前記流路空間の上端部に連通する第２流路を形成する第２案内体と、を備え、
    前記流入口として、前記第１流路に気体を流入させるための第１流入口と、前記第２流路に気体を流入させるための第２流入口と、があり、
    前記第１流入口及び前記第２流入口は、上方に向けて開口している請求項３に記載の物品収納設備。
  5. 前記案内部は、前記第２流路の気体を前記流路空間に流出させるための第２流出口を備え、前記第２流入口の開口面積は、前記第２流出口の開口面積より大きい請求項１又は４に記載の物品収納設備。
  6. 上下方向に見て前記第１流入口を通気可能な状態で塞ぐ閉塞体が備えられている請求項
    ５記載の物品収納設備。
  7. 前記メイン流路空間と前記サブ流路空間との間に、枠体が備えられ、
    前記枠体は、前記上下方向に延びる姿勢の複数の縦材と、前記幅方向に延びる姿勢の複数の横材と、を格子状に組み合わせて形成され、
    前記上下仕切り体は、前記枠体に支持され、
    前記前後仕切り体は、前記枠体における前記横材の一部により構成されている請求項２〜４のいずれか一項に記載の物品収納設備。
  8. 前記上下仕切り体は、前記前後方向及び前記幅方向に延びる板状に形成され、
    前記上下仕切り体の後方の端部が前記枠体に連結された状態で前記上下仕切り体が前記枠体に片持ち状に支持され、
    前記上下仕切り体は、前記収納部に収納された物品を下方から支持する支持部を備えると共に前記支持部より後方に前記上下方向に貫通する貫通部を備えている請求項７に記載の物品収納設備。
  9. 前記上下方向に見て前記流路空間を通気可能な状態で塞ぐ整風体が、前記流路空間の上下方向における少なくとも１か所に配置されている請求項１から８のいずれか１項に記載の物品収納設備。
  10. 前記整風体は、前記流路空間に前記上下方向に並ぶ状態で複数備えられ、
    前記複数の整風体は、配置高さが下方に向かうに従って前記流路空間の開口率を小さくする形状とされている請求項９に記載の物品収納設備。
  11. 前記複数の収納部における最下段の収納部より下方で且つ前記排気部より上方に、気体の通気を規制する状態で前記流路空間の下方を覆う規制体を備え、
    前記規制体は、前記上下方向に見て前記最下段の収納部と重複する位置まで前記壁部から前方に向けて延びている請求項１から１０の何れか１項に記載の物品収納設備。
  12. 前記流路空間は、前記上下方向に延びるメイン流路空間と、このメイン流路空間より前
    方に位置して前記メイン流路空間に対して前記前後方向に連通するサブ流路空間と、を備
    え、
    前記給気部の前記案内部は、前記搬送空間の上端部に連通する第１流路を形成する第１
    案内体と、前記流路空間の上端部に連通する第２流路を形成する第２案内体と、を備え、
    前記第２案内体は、第１壁部と、前記第１壁部より前方に設置された第２壁部と、を備え、
    前記第２壁部は、上下方向及び幅方向に延びる縦壁部と、縦壁部の下端から後方に延びる横壁部と、を備え、
    前記第１横壁部における前記上下方向に見て前記サブ流路空間と重なる位置に上下方向に貫通する開口部が形成されている請求項１から１１のいずれか一項に記載の物品収納設備。
  13. 前記上下方向に見て前記前後方向と交差する方向を幅方向として、
    前記案内部は、前記搬送装置を前記幅方向に案内する案内レールを備えている、請求項１から１２のいずれか一項に記載の物品収納設備。
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