JP4696394B2 - ストッカ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハー等の保管対象を保管する保管部が上下複数段に装備されたストッカに係り、詳しくは、塵埃除去用の送風(クリーンエア)を複数の保管部に万遍なく行き渡るようにさせる技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のストッカは、図2(P−P線の左側)に示すように、保管対象を載置する保管部が上下に複数段積層されて成る保管棚と、保管棚に対して背面側に位置する背側壁と、天井壁から下に向けて噴出する清澄用の風を取り入れるための送風口を前記背側壁の上方に設けた構造のものが一般的であった。
【0003】
即ち、天井から吹き出た風は、保管棚の前後に分かれて下方に流れるようになり、保管棚の背面とストッカ室の側壁との間の空間部を下方に流れる風が保管棚背面の流通孔から保管部に導入され、保管部内にて後から前へと横方向に流れてから保管部前面から出る。保管部前面から出た風は、保管棚の前面側において下方に流れる吹き降ろし風に合流して下方に流れるようになる。つまり、保管棚における各保管部では、その後側から前に向く風が流れるようにして、保管部に塵埃が付着しないようにするクリーンルーム機能が生じるように構成されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
前述の送風装置は、上下に並ぶ複数段の保管部のいずれにもほぼ均等的にクリーンエアを送るために設けられていたのであるが、図2に示されるように、実際には最下段の保管部に風が集中しており、その他の保管部には十分な風が供給されていないことが分かってきた。特に最上段の保管部には、殆ど風が取り込まれないばかりか、保管部内にて風が舞って淀んでおり、僅かに取り込まれた風が、導風口であるべき流通孔から反対に出てしまっていることも分かってきており、塵埃(パーティクル)が滞留してクリーン度が悪化するおそれがある等、ストッカとしては改善の余地が残されているものであった。
【0005】
本発明の目的は、送風装置による風が、上下どの段の保管部にも万遍なく供給することができ、いずれの保管部でもクリーンルーム機能が発揮できるように改善されたストッカを提供する点にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1の構成は、保管対象を載置する保管部が上下に複数段積層されて成る保管棚と、前記保管棚に対して背面側に位置する背側壁と、天井壁の上側に装備し、前記天井壁から下に向けて清澄用の風を噴出する送風手段と、前記風を前記保管棚と前記背側壁との間の空間部に導くために、前記空間部の上端に設けられた送風口と、前記空間部から前記保管部内に前記風を取込むために、前記保管棚の背面に形成した流通孔と、前記空間部の上方から下方への途中に、複数段ある前記保管部の少なくとも1つ以上の段の下面と同じ高さに、前記空間部に略水平にまたは前記保管棚の背面に向かって下り傾斜して前記空間部を仕切るように配設し、前記送風口から前記空間部を下方に流れる前記風の量を制限する開口を備える調整手段と、を装備してあることを特徴とする。
【0007】
請求項1の構成によれば、調整手段を設けて、上から下へと吹く風が保管棚に順次流れるように風量を調整するようにしたので、最上段の保管部といった、従来では風が殆ど流れて来なかった保管部にも必要十分に風を供給することが可能になる。即ち、直線的な送風経路に対して直交する方向に開口する風の取り込み口が、風の流れ方向に単に複数並んで配置されている場合、背圧が次第に高くなる風流れ方向下手側の取り込み口ほど風が多く流れ込み、風流れ方向上手側の取り込み口ほど風が入らないようになる。従って、風量の調整手段によって上流側の風量を変えることにより、上下に並ぶ保管部毎の流通孔に作用する風圧条件が極力同じになるように作用させることができたのである。また、風量の調整手段を設けたことによって、それより下方に位置する保管部への風圧条件を改善することが可能になるから、その調整手段の配置高さを適切にするほど、改善される保管部が増えるようになる。例えば、下から2番目保管部高さに相当する位置に設けるよりも、最上段の保管部高さに相当する位置に設けた方が、風条件が改善される保管部の数が増えるのである。従って、背側壁の上部に調整手段を設けることにより、風取り込み条件の改善対象保管部の数を多くすることができる。なお、前記調整手段を、前記背面に向かって傾斜するように配置すると、調整手段を、風向きを偏向する整流手段としても機能させることができ、特に最上段の保管部に対する良好な通風を確保するために有効である。
【0008】
請求項2の構成は、請求項1の構成において、前記調整手段が、開口面積が調整可能に構成される孔開きプレートであることを特徴とするものである。
【0009】
請求項2の構成によれば、開口が調節自在であるから、送風手段の送風条件の異なり、保管部での保管対象の異なり、湿度、温度、気圧等の気象条件の異なり、或いは保管棚の寸法異なりといった種々の条件変化に対応して、好適に風を各保管部へ送ることが可能になる。なお、孔開きプレートとしては、具体的には、アルミ合金の押出し型材で成る横臥姿勢のサッシ枠に支持された孔開き固定板と、この孔開き固定板の上にスライド自在に載せられた孔開き可動板とで構成され、固定板及び可動板とは、同じ形状のスリット孔を有し、スリット孔の短い幅方向に、可動板をスライド可能させ、開口面積を可変とするための開口調整機構は、可動板に設けられスリット孔と直交する向きの長孔と、この長孔に通され、固定板にネジ止めされるボルトとから構成されているものが想定される。ここで、固定板と可動板に形成される孔はスリット孔に限らず、円形孔であってもよい。また孔開きの固定板とこの固定板の孔を部分的に塞ぐ邪魔板の組み合わせであってもよい。更に、開口を調整できるものに限らず、固定的な孔を有するパンチングメタル又は樹脂製多孔板であってもよい。風量の調整が必要な保管部が決まっている場合には、所定の場所に固定的な孔を有するパンチングメタルを取り付け、微調整はパンチングメタルの孔を適宜調整板で塞ぐ程度で風量調整が可能である。
【0010】
請求項3の構成は、請求項1または2の構成において、前記調整手段を、最上段の前記保管部の下面と同じ高さに配設することを特徴とするものである。請求項3の構成によれば、空間部における吹き降ろし風が最上段の保管部に強く流れるように機能し、流通孔に取込まれる風圧条件が、いずれの段の保管部でもほぼ均等となるように作用することが可能である。
【0011】
請求項4の構成は、請求項1の構成において、前記調整手段を、複数段の前記保管部の下面と同じ高さに複数配設して、前記送風口のものから順に前記開口を大きく形成することを特徴とするものである。請求項4の構成によれば、複数段にすることにより、風量の上下方向の調整が細やかにできる。
【0012】
請求項5の構成は、請求項1〜4の構成において、前記保管棚の内部に、前記流通孔から入ってくる風を横方向に導く内風向板を設けてあることを特徴とする。
【0013】
請求項5の構成によれば、保管部内に取込まれた後の風の向きを横向きに整えることができ、保管部に載置されている保管対象に確実に風を送ることができるようになる。保管部に取込まれたときの風の向きは、上段の保管部内ほど下向き成分が強いといった具合に、保管部の高さ位置の上下によって異なるから、内風向板を設けることにより、どの保管部内でも風の向きを同じ条件に極力揃えること、即ち、送風による塵埃除去作用を等しく発揮させることが可能になる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に、片側の保管棚2に関するストッカ1の斜視図が、図2には、ストッカ1の横断断面図が夫々示されている。図2は、中心線P−Pの紙面左側に従来の構造を、そして紙面右側に本発明による構造を示してある。
【0015】
このストッカ1は、対向配置される一対の保管棚2,2と、この保管棚2,2の背面から所定間隔隔てて立設された左右の側壁(背側壁の一例)10,10と、両保管棚2,2間のロボット移動用空間Sとを有して構成されたクリーンルーム内設置構造物であり、天井壁9の一面からこの構造物の上面にクリーンエアが吹き降ろされるようになっている。両保管棚2,2の間のロボット移動用空間Sの入り口には、整流作用を出すべく多数の風通し用の孔を有したシャッター壁34が装備されている。
【0016】
保管棚2には、ウェーハを保持するカセット(保管対象の一例)3を収容する保管部2aが上下複数段で横複数列に配列することで多数設けてある。これら保管部2aには、位置決め座標を教示するためのマーク手段15が設けられた載置板16を設置してある。一対の保管棚2,2の間(片側の保管棚2についてはその前方側)のロボット移動用空間Sには、これら保管棚2,2と平行な走行レール4が敷設されているとともに、走行レール4には、ストッカ用ロボット5が矢符(左右)方向に往復移動可能に設けられている。
【0017】
ストッカ用ロボット5は、走行レール4上を走行する走行部6と、走行部6に縦設されたポスト部7と、ポスト部7に昇降可能に設けたカセット保持部8とを有している。そして、保管棚2の縦横の行列状に複数備えられた各保持部2aでハンド部11を位置決め座標に基づいて移動させることによりワークとなる、例えば、カセット3をハンドリングし、保管部2a移載したり、保管部から取り出したりするものである。尚、18は載置板16に設置されたIDマークである。
【0018】
図2に示すように、天井壁9には、その一面に亘る状態で多数のスリット状送風口9aが形成された所謂シャッター壁に構成されており、天井壁9の上側に装備された送風手段13により、天井壁9一面から塵埃(パーティクル)除去用のクリーンエア(清澄用の風)が吹き降ろされる状態に構成されている。送風手段13としては、ブロア、シロッコファン等種々のものが考えられる。
【0019】
保管棚2は、前述の載置板16の他、天板14、背板(背面の一例)17、左右側板28,28(図1参照)、仕切り板19(図1参照)等を備えて構成されており、ストッカ用ロボット5によるカセット3の出し入れのため、保管部2aの前面は解放されており、前面壁は存在しない。背板17には上下左右に並ぶ多数のスリット20が形成されている。これらスリット20は、保管棚2と側壁10との間の背面側空間(空間部の一例)21にて吹き降ろされているクリーンエアを、各保管部2aに取込むための流通孔20として機能する。
【0020】
図2、図3に示すように、前記背面側空間21の上端は送風口12になっておおり、この背面側空間21の上部であって、最上段の保管部の載置板16と同じ高さに、該背面側空間21において下方に流れる風量を制限する調整手段22を装備してある。調整手段22は、アルミ合金の押出し型材で成る横臥姿勢のサッシ枠23,23aに支持された孔開き固定板24と、この孔開き固定板24の上にスライド自在に載せられた孔開き可動板25とで構成されている。
【0021】
固定板24及び可動板25とは、同じ形状のスリット孔24a、25aを有している。スリット孔24a,25aの短い幅方向に、可動板25をスライド可能させ、開口面積を可変とするための開口調整機構29は、可動板25に設けられスリット孔25aと直交する向きの長孔25bと、この長孔25bに通され、固定板24にネジ止めされるボルト24bとから構成されている。尚、開口調節機構29としては、例えば、操作ワイヤ等を介することで離れた箇所でレバー操作できるようにした遠隔操作構造や、モータ等の駆動源を用いた駆動操作式のものでも良い。
【0022】
調整手段22は、最上段の保管部2aの下面とほぼ同じ高さレベルで、背面側空間21を仕切る様に配設してあり、その結果、図4に示すように、背面側空間21における吹き降ろし風が最上段の保管部2aに強く流れるように機能し、流通孔20に取込まれる風圧条件が、いずれの段の保管部2aでもほぼ均等となるように作用していることが理解できる。調整手段22がない場合の風速はaラインのようになるが、調整手段22によって風速がbラインのように偏向され、aラインとbラインの合成として略均一のcラインの風速が得られる。
【0023】
又、保管棚の内部、即ち、保管部2a内には、流通孔20から入ってくる風を前横方向に導く内風向板27を設けてあり、取込んだクリーンエアが解放面である保管部2aの前面側に向けて円滑に流れ、カセット3に有効な塵埃除去作用を付与できる状態が得られるようにしてある。保管部2aからその前面側に出た排風は、ロボット移動用空間Sにて吹き降ろされるクリーンエアに合流し、下方に流れて行くようになる。
【0024】
調整手段22を設けたことにより、背面側空間21を下方に流れるクリーンエアを、上下複数段(4段)の各保管部2a内にほぼ均等的に取込むことができ、内風向板27の存在によって取込まれた風は円滑に保管部2a内を前面側に向けて流れるようになったとともに、最上段の保管部2a内にて風が舞い、流通孔20から風が逆戻りする逆流現象も解消され、いずれの段の保管部2aでもカセット3に対する有効な塵埃除去作用を得ることができた。
【0025】
上述した実施形態において、以下の様に変更して実施することができる。
《1》 調整手段22を構成するスリット孔付きの板24,25は、背面側空間21に略水平に配設するものに限らず、背板17に向かって傾斜するように配置してもよい。この場合、調整手段22は、風向きを偏向する整流手段としても機能させることができ、特に最上段の保管部2aに対する良好な通風を確保するために有効である。
【0026】
《2》 調整手段22を構成するスリット孔付きの板24,25は、送風口12から順に開口が大きくなるものを複数段設置するものであってもよい。複数段にすることにより、風量の上下方向の調整が細やかにできる。
【0027】
《3》 調整手段22の固定板と可動板に形成される孔はスリット孔に限らず、円形孔であってもよい。また孔開きの固定板とこの固定板の孔を部分的に塞ぐ邪魔板の組み合わせであってもよい。
【0028】
《4》 調整手段22は、開口を調整できるものに限らず、固定的な孔を有するパンチングメタル又は樹脂製多孔板であってもよい。風量の調整が必要な保管部が決まっている場合には、所定の場所に固定的な孔を有するパンチングメタルを取り付け、微調整はパンチングメタルの孔を適宜調整板で塞ぐ程度で風量調整が可能である。
【0029】
【発明の効果】
請求項1に記載のストッカでは、保管棚の背面側にて上から下向きに流れる清澄風の保管棚側に向かわせる風量を調整する調整手段を設ける工夫により、上下に並ぶ各保管部に極力等しい条件で風を取込めるようになり、従来に比べて、保管対象に清澄風による塵埃除去作用を付与できる有効な保管部を増やすことができる。
【0030】
請求項2に記載のストッカでは、孔開き板の配置高さを高くすることにより、保管対象に清澄風による塵埃除去作用を付与できる有効な保管部をより増やすことができ、請求項1の構成による前記効果を強化することができる。
【0031】
請求項3に記載のストッカでは、開口調節により、種々の環境条件変化に対応することや、最適な風条件を得ることが可能になり、上下高さの異なる保管部への風供給条件の一層の均等化を図りながら、請求項2の構成による前記効果が得られる利点がある。
【0032】
請求項4に記載のストッカでは、保管部に取り込まれた清澄風を有効に保管対象に作用させることができ、請求項1〜3の構成による前記いずれかの効果をより有効に発揮できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】ストッカ全体の構造を示す半割断面状態での斜視図である。
【図2】ストッカの横断断面図を示し、P−P線の右側は本発明による構造図であり、右側は従来例の構造図である。
【図3】調整手段の構造を示す斜視図である。
【図4】調整手段による整流状態を示す作用図である。
【符号の説明】
2 保管棚
2a 保管部
3 保管対象
9 天井壁
10 背側壁
12 送風口
17 背面
21 空間部
22 調整手段
24 固定板
25 可動板
29 開口調整機構
Claims (5)
- 保管対象を載置する保管部が上下に複数段積層されて成る保管棚と、
前記保管棚に対して背面側に位置する背側壁と、
天井壁の上側に装備し、前記天井壁から下に向けて清澄用の風を噴出する送風手段と、
前記風を前記保管棚と前記背側壁との間の空間部に導くために、前記空間部の上端に設けられた送風口と、
前記空間部から前記保管部内に前記風を取込むために、前記保管棚の背面に形成した流通孔と、
前記空間部の上方から下方への途中に、複数段ある前記保管部の少なくとも1つ以上の段の下面と同じ高さに、前記空間部に略水平にまたは前記保管棚の背面に向かって下り傾斜して前記空間部を仕切るように配設し、前記送風口から前記空間部を下方に流れる前記風の量を制限する開口を備える調整手段と、
を装備してあるストッカ。 - 前記調整手段が、開口面積が調整可能に構成される孔開きプレートである請求項1に記載のストッカ。
- 前記調整手段を、最上段の前記保管部の下面と同じ高さに配設する請求項1または2に記載のストッカ。
- 前記調整手段を、複数段の前記保管部の下面と同じ高さに複数配設して、前記送風口のものから順に前記開口を大きく形成する請求項1に記載のストッカ。
- 前記保管棚の内部に、前記流通孔から入ってくる風を横方向に導く内風向板を設けてある請求項1〜4のいずれか1項に記載のストッカ。
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