JP4187069B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
近年、基板処理装置は、基板処理ユニットを積層することで処理能力向上に伴うフットプリントの増大を抑え、さらに各ユニットを薄型化してさらに多段に搭載することで高密度化を図る傾向にある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部とを備える基板処理装置において、前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備え、前記遮蔽部材は、気体の導入側から奥側に向けて、気体の流路を遮蔽する面積が徐々に大きくなることを特徴とするものである。
また、遮蔽部材を用いない場合には、気体の吹出風速は、気体の導入側から奥側にかけて徐々に増加する傾向があることがわかった。これに対し、請求項1に記載の発明によれば、吹出し風速の大きい奥側の遮蔽面積を大きくし、水平方向の流路断面積を抑えることで、効果的に圧力の不均一を解消することができる。
また、請求項2に記載の発明によれば、簡単な構造とすることができ、安価に製作することができる。
また、遮蔽部材を用いない場合には、気体の吹出風速は、気体の導入側から奥側にかけて徐々に増加する傾向があることがわかった。これに対し、請求項4に記載の発明によれば、複数の遮蔽部材を備え、吹出し風速の大きい奥側の遮蔽部材ほど遮蔽面積を大きくし、水平方向の流路断面積を抑えることで、効果的に圧力の不均一を解消することができる。
一例として、邪魔板の有無によって吹出風速がどのように変わるかについて検証した結果を表1,2に示す。表1は、邪魔板を有しない吹出ユニットの吹出風速の測定結果を示した表であり、表2は、邪魔板を有する吹出ユニットの場合のものである。
22 …吹出ユニット
24 …吹出面
25A、25B、25C …邪魔板
27 …ULPAフィルタ
31 …ダクト
32 …メインダクト
33 …空調ユニット
W …基板
Claims (14)
- 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備え、
前記遮蔽部材は、気体の導入側から奥側に向けて、気体の流路を遮蔽する面積が徐々に大きくなることを特徴とする基板処理装置。 - 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備え、
前記遮蔽部材は板状部材であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記板状部材は、気体の導入側から奥側にかけて、所定の間隔で複数枚配設されることを特徴とする基板処理装置。 - 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に複数備え、
各遮蔽部材が気体の流路を遮蔽する面積は、気体の導入側から奥側に向けて大きくなることを特徴とする基板処理装置。 - 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内における気体の下方向の流路を開放しつつ前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を、前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内における気体の下方向の流路を開放しつつ前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記箱状体内部に備え、
前記遮蔽部材は、前記気体の水平方向の流れを部分的に遮蔽して進行方向を変えることにより前記気体を前記吹出面を通じて下方に吹き出させることを特徴とする基板処理装置。 - 水平方向に扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記箱状体内部に備え、
前記箱状体内の気体の水平方向の流路にわたって、当該流路の下方に前記吹出面が開放されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6または7に記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は、気体の導入側から奥側に向けて、気体の流路を遮蔽する面積が徐々に大きくなることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6から8のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は板状部材であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9に記載の基板処理装置において、
前記板状部材は、気体の導入側から奥側にかけて、所定の間隔で複数枚配設されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から10のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は、前記箱状体内の気体の流路を部分的に遮蔽することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から11のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置はさらに、前記気体吹出手段の吹出面に、ULPAフィルタまたはケミカルフィルタを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から12のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置はさらに、前記気体吹出手段に気体を圧送する空調ユニットと、
前記空調ユニットと前記気体吹出手段とを連通接続する送風管路と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項13に記載の基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、複数個の前記基板処理部のそれぞれに、搭載されており、
前記各気体吹出手段に連通接続される各送風管路は、集約されて前記空調ユニットに連通接続されることを特徴とする基板処理装置。
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