JP4889788B2 - クリーンルーム - Google Patents
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Description
まず、本発明者は、従来の問題の根源は、放熱体110の上部側において、放熱体110の熱により発生する上昇気流を全く考慮せずに、又は、上昇気流とは全く別に、汚染物質を含む空気を吸引する吸気手段を設けて、強制的に吸引することにあると考え、このような強制的な流体の流れを人為的に作り出すのではなく、放熱体110の熱により発生する上昇気流を利用することができないか否かを考察しようとした。
本発明の第1態様によれば、床上に設置された放熱体の上面に対向する排塵促進面を有するとともに、前記排塵促進面により、前記放熱体の発熱によって発生する前記放熱体の前記上面から上昇する上昇気流が、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との隙間から隙間外に排出されるような、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との距離に前記排塵促進面が位置する排塵補助部材とを備えるとともに、
前記放熱体の前記上面の表面温度と周辺雰囲気の温度との温度差を、前記放熱体の前記上面と前記排塵補助部材の前記排塵促進面との間の距離で割った値K(℃/mm)が0.032≦K≦ 0.065の関係を保つ、クリーンルームを提供する。
前記支持部材は、前記床と交差する側壁から横方向に前記放熱体の上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、第1の態様に記載のクリーンルームを提供する。
前記支持部材は、前記床から上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、第1の態様に記載のクリーンルームを提供する。
前記支持部材は、前記放熱体から上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、第1の態様に記載のクリーンルームを提供する。
前記支持部材は、前記放熱体に隣接する装置から前記放熱体の上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、第1の態様に記載のクリーンルームを提供する。
前記支持部材は、前記床に面する天井から前記排塵補助部材を支持する、第1の態様に記載のクリーンルームを提供する。
前記放熱体として、第1放熱体と、前記第1放熱体よりも温度が高い第2放熱体が前記床上に設置され、前記第1放熱体の上面の表面温度と前記第1放熱体の周辺の周辺雰囲気の温度との温度差が、前記第2放熱体の上面の表面温度と前記第2放熱体の周辺の周辺雰囲気の温度との温度差よりも大きいとともに、
前記排塵補助部材として、前記第1放熱体の前記上面に対向した排塵促進面を有しかつ前記クリーンルームに面する天井から下向き突出するように配置される第1排塵補助部材と、前記第2放熱体の前記上面に対向した排塵促進面を有しかつ前記クリーンルームに面する天井から下向き突出するように配置された第2排塵補助部材とを備え、
前記第1放熱体の前記上面と前記第1排塵補助部材の前記排塵促進面との間の第1距離が、前記第2放熱体の前記上面と前記第2排塵補助部材の前記排塵促進面との間の第2距離よりも大きい、クリーンルームを提供する。
前記排塵補助部材の前記排塵促進面は帯電防止層を有している、クリーンルームを提供する。
前記排塵補助部材の前記排塵促進面は接地されている、クリーンルームを提供する。
以下、図面を参照して本発明における第1実施形態を詳細に説明する。
図1のようなクリーンルームは、実施例1として、インダストリアルクリーンルームとして清浄室1の高さを3.5m、天井室2の高さを3m、床下室8の高さを2.5mで施工され、また、横方向が12mで奥行き方向に10mの大きさを有する。また、開効率を45%であるグレーチング床7を採用している。
第3排塵補助部材15Aは、第3放熱体10Aの上方の天井1Aの梁に吊るすことで、第3放熱体10Aの上面10a−1に対して鉛直方向に対向して第3排塵補助部材15Aの排塵促進面15a−1が配置されるようにして、天井1Aが下向きに突出するように形成している。ここで、第3放熱体10Aの上面10a−1と第3排塵補助部材15Aの排塵促進面15a−1との鉛直方向沿いの距離をD1とする。また、第3放熱体10Aの上面10a−1の表面温度Taと放熱体10Aの周辺の周辺雰囲気の温度Te1との温度差(Ta−Te1)をΔT1とする。
ここで、放熱体10の上面10−1の表面温度と放熱体10の周辺の周辺雰囲気の温度Teとの温度差が高いほど、放熱体10の上面10−1からの上昇気流が大きいため、放熱体10の上面10−1と排塵補助部材15の排塵促進面15−1との間の距離Dを大きくする必要がある。
よって、図1に示すように、D1>D2>D3とする必要がある。
それにより、放熱体10の上部或いはその周辺で発生した塵埃及び化学物質等の汚染物質を上昇気流により、放熱体10の上面から排出して、確実にグレーチング床7上に落下させることができる。
Claims (12)
- 床上に設置された放熱体の上面に対向する排塵促進面を有するとともに、前記排塵促進面により、前記放熱体の発熱によって発生する前記放熱体の前記上面から上昇する上昇気流が、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との隙間から隙間外に排出されるような、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との距離に前記排塵促進面が位置する排塵補助部材とを備えるとともに、
前記放熱体の前記上面の表面温度と周辺雰囲気の温度との温度差を、前記放熱体の前記上面と前記排塵補助部材の前記排塵促進面との間の距離で割った値K(℃/mm)が0.032≦K≦ 0.065の関係を保つ、クリーンルーム。 - 前記排塵補助部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記床と交差する側壁から横方向に前記放熱体の上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、請求項1に記載のクリーンルーム。 - 前記排塵補助部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記床から上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、請求項1に記載のクリーンルーム。 - 前記排塵補助部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記放熱体から上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、請求項1に記載のクリーンルーム。 - 前記排塵補助部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記放熱体に隣接する装置から前記放熱体の上方に延びて前記排塵補助部材を支持する、請求項1に記載のクリーンルーム。 - 前記排塵補助部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記床に面する天井から前記排塵補助部材を支持する、請求項1に記載のクリーンルーム。 - 床上に設置された放熱体の上面に対向する排塵促進面を有するとともに、前記排塵促進面により、前記放熱体の発熱によって発生する前記放熱体の前記上面から上昇する上昇気流が、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との隙間から隙間外に排出されるような、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との距離に前記排塵促進面が位置する排塵補助部材とを備えるとともに、
前記放熱体として、第1放熱体と、前記第1放熱体よりも温度が高い第2放熱体が前記床上に設置され、前記第1放熱体の上面の表面温度と前記第1放熱体の周辺の周辺雰囲気の温度との温度差が、前記第2放熱体の上面の表面温度と前記第2放熱体の周辺の周辺雰囲気の温度との温度差よりも大きいとともに、
前記排塵補助部材として、前記第1放熱体の前記上面に対向した排塵促進面を有しかつ前記クリーンルームに面する天井から下向き突出するように配置される第1排塵補助部材と、前記第2放熱体の前記上面に対向した排塵促進面を有しかつ前記クリーンルームに面する天井から下向き突出するように配置された第2排塵補助部材とを備え、
前記第1放熱体の前記上面と前記第1排塵補助部材の前記排塵促進面との間の第1距離が、前記第2放熱体の前記上面と前記第2排塵補助部材の前記排塵促進面との間の第2距離よりも大きい、クリーンルーム。 - 床上に設置された放熱体の上面に対向する排塵促進面を有するとともに、前記排塵促進面により、前記放熱体の発熱によって発生する前記放熱体の前記上面から上昇する上昇気流が、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との隙間から隙間外に排出されるような、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との距離に前記排塵促進面が位置する排塵補助部材とを備えるとともに、
前記排塵補助部材の前記排塵促進面は帯電防止層を有している、クリーンルーム。 - 床上に設置された放熱体の上面に対向する排塵促進面を有するとともに、前記排塵促進面により、前記放熱体の発熱によって発生する前記放熱体の前記上面から上昇する上昇気流が、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との隙間から隙間外に排出されるような、前記排塵促進面と前記放熱体の前記上面との距離に前記排塵促進面が位置する排塵補助部材とを備えるとともに、
前記排塵補助部材の前記排塵促進面は接地されている、クリーンルーム。 - 前記排塵補助部材は、ボックスもしくはエアパッキンより構成されている、請求項1〜6のいずれか1つに記載のクリーンルーム。
- 前記排塵補助部材はエアパッキンで構成されており、かつ、前記放熱体からの上昇気流により前記排塵補助部材が前記天井に対して上下方向に移動可能に配置されている、請求項10に記載のクリーンルーム。
- 前記排塵補助部材の前記排塵促進面は、前記放熱体の前記上面の全面をほぼ覆うように配置されている、請求項1〜6のいずれか1つに記載のクリーンルーム。
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