KR102314090B1 - 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법 - Google Patents

반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 클린룸 내에 설치되는 반송물 자동 이송 시스템을 체계적으로 검수하고 조정할 수 있는 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법에 관한 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법은, 준비 단계; 작업구간 설정 단계; 가이드레일 검수 및 조정 단계; 레이저장비 설치 단계; 가이드레일 높이 측정 단계; 가이드레일 높이 조정 단계; 가이드레일 간섭 확인 단계; 및 반송장치 주행 테스트 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법{Inspection and Adjustment Method of the Automatic Conveying System of Conveyed Goods of Semiconductor Line}
본 발명은 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정의 반송물 자동 이송 시스템의 시공 불량 등을 확인하고, 확인된 시공 불량을 가이드에 맞추어 조정하여 기준치 이내로 빠르게 재시공할 수 있도록 하는 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하기 위한 생산라인(이하 ‘반도체라인’이라 한다)은 높은 청정도와 일정한 온습도의 유지가 필요하고, 제조 공정 간에 반송물을 정확하게 이송해야 한다.
이를 위해 반도체라인은 소정 크기의 클린룸 내에 각 공정의 설비들이 높은 집약도를 가지도록 설치되고, 이러한 각각의 공정에 맞추어 반송물이 반송장치를 통해 자동으로 운반되도록 구성된다.
상기와 같은 목적의 종래 기술로는 등록특허공보 제0151602호의 크린룸용 반송설비(이하 ‘특허문헌’이라 한다)가 개시되어 있다.
상기 특허문헌에 개시된 크린룸용 반송설비는 하물 반송용인 이동차와, 청정공기가 천정측으로부터 바닥면 측을 향해서 통풍되어 있는 크린룸에 설치되어, 상기 이동차를 안내하는 가이드레일로 구성되며, 상기 이동차는, 상기 가이드레일을 따라서 주행하는 본체부와, 그 상방에 위치하는 하물적재부와, 이들을 연결하는 연결부재로 이루어지며, 상기 가이드레일은, 그 전체를 덮는 통형상의 커버가 설치되고, 상기 커버는 그 상벽에, 상기 연결부재를 통과시키는 개구부가 상기 가이드레일의 길이방향을 따라 형성됨과 동시에 그 외면 형상이 길이방향에서 본 단면에 있어서, 상기 통풍방향에 대해 유선형 또는 그에 가까운 형상이 되도록 형성되는 것으로 이루어진다.
상기와 같이 종래에는 클린룸의 천장을 따라 가이드레일이 설치되고, 상기 가이드레일을 따라 반송장비가 이송되면서 각각의 공정에서 제조된 반송물을 운반하도록 구성되는데, 이때 반송장치(반송물 자동 이송 시스템)는 각각의 공정에서 제조된 반송물을 정확하게 운반할 수 있도록 높은 정확도가 요구되게 된다.
그러나 종래에는 단순히 클린룸의 온습도와 청결도를 관리하는 데에 그치고 있어 반송장비의 설치 불량이나 오차로 인해 사용 간에 반송장비의 진동, 기울어짐, 가이드레일의 너트 풀림 및 반송 위치 오차 등과 같은 문제가 발생하게 되는 것에 대한 관리가 제대로 이루어지지 못하고 있는 실정이다.
따라서 클린룸 내에 설치되는 반송물 자동 이송 시스템을 체계적으로 검수하고 조정하는 방법의 개발이 요구된다.
KR 10-0151602 B1 (1998. 06. 22.) KR 10-1207367 B1 (2012. 11. 27.) KR 10-1214736 B1 (2012. 12. 14.) KR 10-0628612 B1 (2006. 09. 19.) KR 10-0168351 B1 (1998. 10 .01.)
본 발명은 상기와 같은 종래의 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템이 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 클린룸 내에 설치되는 반송물 자동 이송 시스템을 체계적으로 검수하고 조정할 수 있는 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법을 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법은, 작업전 검수 및 조정 공구를 준비하고 보호장비를 착용하는 준비 단계; 상기 준비 단계 이후, 가이드레일의 검수 및 조정 작업을 실시할 작업 구간을 설정하는 작업구간 설정 단계; 가이드레일을 고정하는 볼트와 너트의 조립 상태를 검수하고 조정하는 가이드레일 검수 및 조정 단계; 상기 가이드레일 검수 및 조정 단계를 통해 조정이 완료된 상기 가이드레일 위에 레이저장비를 설치하는 레이저장비 설치 단계; 상기 레이저장비 설치 단계를 통해 가이드레일 위에 설치된 레이저장비를 통해 가이드레일의 높이를 측정하는 가이드레일 높이 측정 단계; 상기 가이드레일의 높이를 기준으로 직선 구간과 분기구간의 가이드레일 높이를 조정하는 가이드레일 높이 조정 단계; 상기 가이드레일의 상, 하부 간섭물을 확인하고, 반송장치를 저속 주행시켜 물리적인 간섭 여부를 확인하는 가이드레일 간섭 확인 단계; 및 상기 가이드레일 간섭 확인 단계를 통해 물리적인 간섭 여부가 판단되고 나면, 상기 반송장치를 정속 및 고속 주행시켜 상기 반송장치의 주행상태를 확인하는 반송장치 주행 테스트 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 가이드레일 검수 및 조정 단계가 레이스웨이에 설치되는 브래킷을 고정하는 볼트의 조립 상태를 검수하는 레이스웨이 브래킷 검수 단계; 레일서포트의 상, 하부를 고정하는 너트의 고정 상태를 검수하는 레일서포트 검수 단계; 상기 가이드레일의 연결부에 조립되는 볼트의 조립 상태를 검수하는 가이드레일 연결부 검수 단계; 및 상기 레이스웨이 브래킷 검수 단계, 레일서포트 검수 단계 및 가이드레일 연결부 검수 단계를 통해 검수된 내용을 설치 기준에 맞추어 조정하는 조정 단계를 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 레이스웨이 브래킷 검수 단계, 레일서포트 검수 단계 및 가이드레일 연결부 검수 단계에서는 토크렌치를 사용하여 볼트와 너트가 조립된 토크를 각각 검출하고, 상기 조정 단계에서는 검출된 상기 볼트와 너트의 토크가 미리 설정된 기준값 이하인 경우, 해당 볼트와 너트를 재조립하여 기준값 이상이 되도록 조정하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
이에 더해 본 발명은 상기 가이드레일 연결부 검수 단계가 상기 가이드레일의 연결부에 설치되는 단차플레이트의 설치 상태를 검수하는 단차플레이트 검수 단계; 상기 가이드레일의 연결부에 형성되는 틈새의 폭을 검수하는 틈새 검수 단계; 및 상기 가이드레일 간의 단차를 확인하는 단차 검수 단계를 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 반송장치 주행 테스트 단계 이후, 구역제어장치(zone control unit, ZCU)의 제어 상태를 확인하는 구역제어장치 검수 및 조정 단계를 더 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 클린룸 내의 반도체 제조 설비 간에 웨이퍼 등의 반송물을 이송하기 위한 자동 이송 시스템의 설치 상태가 미리 책정된 기준에 맞추어 체계적으로 검수될 수 있고, 이를 통해 자동 이송 시스템을 통한 반송물의 불량 이송에 따른 제조 공정상의 불량을 확실하게 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법의 예를 보인 공정 순서도.
도 2는 본 발명에 따른 가이드레일 검수 및 조정 단계의 예를 보인 공정 순서도.
도 3a는 본 발명에 따른 레이스웨이 브래킷의 T-볼트를 보인 사진.
도 3b는 본 발명에 따른 레일서포트의 고정너트를 보인 사진.
도 3c는 본 발명에 따른 가이드레일의 연결플레이트 및 볼트를 보인 사진.
도 3d는 본 발명에 따른 가이드레일 연결부의 단차플레이트를 보인 사진.
도 3e는 본 발명에 따른 가이드레일 연결부를 보인 사진.
도 4는 본 발명에 따른 가이드레일 연결부 검수 단계의 예를 보인 공정 순서도.
도 5(a, b)는 본 발명에 따른 레일 높이 측정 단계를 통해 가이드레일의 높이가 측정되는 예를 보인 도면.
도 6은 본 발명에 따른 구역제어장치 검수 및 조정 단계의 예를 보인 공정 순서도.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 첨부도면에 따라 상세하게 설명한다.
본 발명은 클린룸 내에 설치되는 반송물 자동 이송 시스템을 체계적으로 검수하고 조정할 수 있는 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법을 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이 준비 단계(S10), 작업구간 설정 단계(S20), 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30), 레이저장비 설치 단계(S40), 가이드레일 높이 측정 단계(S50), 가이드레일 높이 조정 단계(S60), 가이드레일 간섭 확인 단계(S70), 반송장치 주행 테스트 단계(S80) 및 구역제어장치 검수 및 조정 단계(S90)를 포함한다.
이하의 본 발명은 작업자가 가이드레일 등 반송물 자동 이송 시스템을 검수함에 있어서 전용 소프트웨어가 설치된 휴대단말기를 이용하여 검수 작업이 진행되는데, 이때 작업자는 휴대단말기에 출력되는 검수 대상 리스트에 맞추어 검수 대상을 순서대로 검수하고, 검수된 실측값(측정값)이 휴대단말기에 입력되면, 자동으로 기준값과 비교되어 조정 대상 여부가 판단되며, 이후 작업자는 휴대단말기에 나타나는 조정 대상과 조정 값을 확인하여 조정 대상을 조정하게 된다.
이하에서는 위와 같이 작업자가 휴대단말기를 통한 반송물 자동 이송 시스템을 검수하는 순서에 대하여 상세하게 설명한다.
1) 준비 단계(S10)
이 단계는 검수 및 조정 작업 전에 작업에 필요한 검수 및 조정 공구와 안전화, 안전모, 방진화 및 안전벨트 등의 보호장비를 준비하여 착용하는 것으로, 이때 개인 보호장비의 상태 등을 점검함으로써 기준에 적합하지 않은 노후 장비 또는 고장난 장비의 경우 교체하게 된다.
2) 작업구간 설정 단계(S20)
이 단계는 클린룸 내에서 작업을 진행할 인원과 작업을 진행할 범위(작업구간)를 설정하고, 해당 작업구간 내의 기계적 및 전기적 위험요소를 파악하며, 작업시작전 미리 파악된 위험요소의 처리 문제를 재확인한 다음 작업을 시작하게 된다.
또한, 가이드레일의 검수 및 조정을 위해 사용되는 사다리 등의 형태의 변형 여부, 스토퍼의 작동여부 및 아웃트리거 유무를 확인하여 필요시 현장 감독에게 교체를 요구하게 된다.
3) 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30)
이 단계는 설정된 작업 구간 내의 가이드레일을 검수하고 필요시 조정을 하는 것으로, 이 단계에서는 가이드레일 중, 레이스웨이 브래킷(raceway braket), 레일서포트(rail support) 및 가이드레일의 연결부를 중심으로 검수가 이루어지고, 이러한 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30)는 도 2에 도시된 바와 같이 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31), 레일서포트 검수 단계(S32), 가이드레일 연결부 검수 단계(S33) 및 조정 단계(S34)를 포함하며, 이하에서는 위 단계들에 대하여 각각 설명한다.
(1) 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31)
이 단계는 도 3a에 도시된 바와 같이 레이스웨이에 설치되는 브래킷을 고정하는 T-볼트의 결합상태를 검수하고, 볼트 양쪽에 와셔가 설치되었는지를 확인하는 것이다.
이때 T-볼트의 결합상태를 토크렌치를 사용하여 토크를 측정한 다음, 작업자의 휴대단말기의 조정리스트 항목에 입력되면, 자동으로 기준 토크값과 비교되어 조정 대상여부가 판단되고, 판단 결과에 따라 후술되는 조정 단계(S34)를 통해 조정될 수 있도록 안내되게 된다.
(2) 레일서포트 검수 단계(S32)
이 단계는 도 3b에 도시된 바와 같이 레일서포트의 상하부에 체결되는 너트의 결합상태를 검수하는 것으로, 이를 위해 레일서포트의 상부너트가 ‘ㄷ’자 모양의 와셔와 레이스웨이에 밀착된 상태, 상, 하부너트의 풀림 여부 및 레일서포트 하단에 고중량 스프링(hyper load spring)이 온전히 설치되어 있는지 등을 확인하게 된다.
또한, 레일서포트의 볼트 등이 수직으로 설치되어 있는지 검수하고, 검수된 내용이 휴대단말기에 입력되게 되며, 이에 의해 휴대단말기에 미리 입력된 기준값과 자동으로 대비됨으로써 조정대상 여부가 판단되게 된다.
(3) 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)
이 단계는 가이드레일과 가이드레일이 연결되는 부분(이하 ‘연결부’라 한다)에 조립되는 연결플레이트, 단차플레이트 및 볼트 등의 결합상태와, 가이드레일과 가이드레일이 연결되는 단부의 틈새 및 단차 등을 검수하는 것으로, 이러한 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)는 도 4에 도시된 바와 같이 단차플레이트 검수 단계(S33-1), 틈새 검수 단계(S33-2) 및 단차 검수 단계(S33-3)를 포함하며, 이하에서는 위 단계들에 대하여 각각 설명한다.
① 단차플레이트 검수 단계(S33-1)
이 단계는 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이 가이드레일과 가이드레일을 연결하는 연결플레이트와 단차플레이트의 조립 상태를 검수하는 것으로, 연결플레이트와 단차플레이트의 변형 여부와, 연결플레이트와 단차플레이트를 고정하는 볼트 및 너트의 결합상태가 검수된다.
이때 연결플레이트와 단차플레이트의 변형에 따른 평행도가 측정되고, 측정된 값을 작업자의 휴대단말기에 입력하는 것으로, 자동으로 연결플레이트 및 단차플레이트의 교체 여부가 판단된다.
또한, 볼트와 너트는 토크렌치를 사용하여 볼트와 너트의 토크값이 측정되고, 이 값이 휴대단말기에 입력되면, 미리 입력된 기준값과 비교되어 자동으로 조정대상 여부가 판단되게 된다.
② 틈새 검수 단계(S33-2)
이 단계는 도 3e에 도시된 바와 같이 가이드레일과 가이드레일의 연결부에 틈새의 형성 여부를 판단하고, 틈새가 형성된 경우에는 틈새의 폭을 측정하여 검수하는 것으로, 이때 측정된 틈새의 폭이 작업자의 휴대단말기에 입력되면, 틈새 폭에 따른 가이드레일 연결부의 재설치 여부가 자동으로 판단된다.
③ 단차 검수 단계(S33-3)
이 단계는 도 3e에 도시된 바와 같이 가이드레일과 가이드레일의 연결부에 단차 발생 여부를 검수하는 것으로, 이때 양측 가이드레일 간의 높이 차가 작업자의 휴대단말기에 입력되면, 미리 입력된 기준값과 대비되어 조정대상 여부가 자동으로 판단되게 된다.
(4) 조정 단계(S34)
이 단계는 앞서 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31), 레일서포트 검수 단계(S32) 및 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)를 통해 각각의 검수 대상이 검수되어 휴대용단말기에 측정값이 입력되고 나면, 표 1에서와 같이 자동으로 미리 입력된 기준값과 비교하여 조정대상 여부가 판단되고, 조정 대상인 경우에는 조정에 필요한 조치가 함께 안내되게 된다.
No. 검수 위치 규격 검수 내용 기준값
(N·m)		 측정값
(N·m)		 조정 대상 여부
1 Raceway T-Bolt M8 Raceway Braket T-볼트 확인 18.3 18.5 X
2 Sling Support Nut M16 Support Rail 천장부 너트고정상태
Support Rail 상, 하부 너트고정상태		 72 70 ○
3 Support Bolt M8 Rail Support 취부상태 18.3 17.6 ○
4 Joint Bracket Bolt
(외측)
(직선↔직선)		 M6 Guide Rail 연결부 볼트 상태 7.5 6.8 ○
5 Joint Bracket Bolt
(외측)
(직선↔분기)		 M8 Guide Rail 연결부 볼트 상태 18.3 18.2 ○
6 Joint Bracket Bolt
(내측)		 M5 Guide Rail 연결부 단차플레이트 상태 4.5 4.8 X
이때 휴대단말기를 통해 안내되는 필요한 조치에는 연결플레이트와 단차플레이트의 교체요구 및 가이드레일 연결부의 재설치 등을 포함하게 된다.
또한, 검출된 볼트와 너트의 토크가 미리 설정된 기준값 이하인 경우, 해당 볼트와 너트를 재조립하여 기준값 이상이 되도록 조정 안내하고, 이때 휴대단말기를 통해 재조정된 토크값이 추가로 입력하게 되면, 기준값과 추가로 비교한 다음 기준값 이상인 경우 조정대상 항목에서 조정완료 항목으로 전환되면서 조정된 이력이 휴대용단말기에 저장되게 된다.
(4) 레이저장비 설치 단계(S40)
이 단계는 가이드레일 위에 레이저계측기(이하 ‘레이저장비’라 한다)를 설치 고정하는 것으로, 이를 위해 도 5(a)에 도시된 바와 같이 인접하는 가이드레일을 수평으로 연결하도록 소정 폭과 길이를 가지는 아크릴플레이트(3)가 설치되고, 상기 아크릴플레이트(3) 위에 레이저장비(4)가 설치 고정된다.
이때 레이저장비(4)는 측정 대상 가이드레일과, 상기 가이드레일에 설치되는 레일서포트가 모두 측정될 수 있는 위치에 설치되면서 측정 대상 가이드레일과 2~3M 이격된 위치에 설치된다.
또한, 아크릴플레이트(3)는 가이드레일(1)에 설치된 상태에서 수평자를 이용하여 정확하게 수평이 되도록 설치된다.
이에 더해 레이저장비(4)에는 가이드레일(1)의 일측과 와이어를 통해 연결되고, 이를 통해 레이저장비(4)가 임의로 낙하하더라도 바닥에 떨어져 파손되지 않도록 한다.
(5) 가이드레일 높이 측정 단계(S50)
이 단계는 레이저장비 설치 단계(S40)를 통해 가이드레일(1) 위에 레이저장비(4)가 설치되고 나면, 가이드레일(1)과 레일서포터(2) 등의 높이를 측정하는 것으로, 이때 측정 대상에는 소정 길이를 가지는 스케일플레이트(5)가 수직으로 설치되고, 이를 통해 도 5(b)에 도시된 바와 같이 레이저장비(4)를 통해 조사되는 레이저가 스케일플레이트(5)에 조사되는 높이가 측정된 다음, 측정된 높이 값이 휴대용단말기에 입력되어 전체적으로 가이드레일의 높이가 입력되게 된다.
(6) 가이드레일 높이 조정 단계(S60)
이 단계는 위 가이드레일 높이 측정 단계(S50)를 통해 전체적으로 가이드레일(1)의 높이가 측정되고 나면, 가이드레일의 높이가 수평으로 일치되도록 조정하는 것으로, 이때 직선 구간을 기준으로 분기구간과 연결구간의 가이드레일 높이가 조정되게 된다.
(7) 가이드레일 간섭 확인 단계(S70)
이 단계는 위 가이드레일 높이 조정 단계(S60)를 통해 가이드레일의 높이가 조정되고 나면, 조정된 가이드레일의 상, 하부 간섭물을 확인하고, 반송장치를 저속 주행시켜 물리적인 간섭 여부를 확인하는 것으로, 이때 반송장치가 가이드레일의 연결부를 통과하는 과정에서 소음과 진동이 발생하는지를 확인하고, 가이드레일을 따라 설정된 속도의 감속 없이 일정한 속도로 반송장치의 주행이 가능한지를 확인하게 된다.
(8) 반송장치 주행 테스트 단계(S80)
이 단계는 위 가이드레일 간섭 확인 단계(S70)를 통해 물리적인 간섭 등의 이상이 없는 것으로 판단되고 나면, 반송장치를 정속 및 고속 주행시켜 반송장치의 주행상태를 최종 확인하는 것으로, 이때 반송장치에는 소음을 측정할 수 있는 소음측정기와 반송장치의 진동을 검출하는 진동센서를 포함하는 측정장비가 부착된 다음 주행 테스트가 진행되게 된다.
이때 측정장비에서 검출되는 소음과 진동이 미리 설정된 기준값 이상으로 검출되는 경우에는 가이드레일 높이 조정 단계(S60)가 재수행되게 된다.
(9) 구역제어장치 검수 및 조정 단계(S90)
이 단계는 위 반송장치 주행 테스트 단계(S80) 이후, 가이드레일과 반송장비의 검수 및 조정이 완료되고 나면, 반송장비의 동작을 포함하는 소정 구역 내의 장비를 통합으로 제어하는 구역제어장치(zone control unit, ZCU)의 제어 상태를 확인하는 것으로, 이러한 구역제어장치 검수 및 조정 단계(S90)는 도 6에 도시된 바와 같이 ZCU본체 단락 검수 단계(S91), 전압 측정 단계(S92), 데이터 다운로드 단계(S93), 센서 검수 단계(S94), 라이트가이드 컨트롤러 검수 단계(S95), 라이트가이드 배치 및 바코드 라벨 검수 단계(S96) 및 ZCU본체 및 라이트가이드 통신 상태 검수 단계(S97)를 포함하고, 이하에서는 위 단계들에 대하여 각각 설명한다.
① ZCU본체 단락 검수 단계(S91)
이 단계는 구역제어장치의 본체(이하 ‘ZCU본체’라 한다)의 전원 이상여부를 검수하는 것으로, 먼저 메인 전원 스위치가 오프 상태인지를 확인한 다음, 테스터기를 이용하여 ZCU본체의 2개소 이상의 저항을 측정하게 된다.
이때 측정값이 0이거나 또는 0에 가까운 경우에는 쇼트 및 전원 단락의 가능성이 있고, 따라서 이 경우에는 ZCU본체의 전원 계통의 배선 등을 전체적으로 점검하고, 고장의 원인이 되는 부분을 검출하여 교체하게 된다.
② 전압 측정 단계(S92)
이 단계는 ZCU본체의 전원 스위치를 켠 상태에서 테스터기를 교류 전류로 맞추어 3개소 이상의 전압을 측정하고, 이후 테스터기를 직류 전류로 변경한 다음, 재차 3개소 이상의 전압을 측정하게 된다.
여기서 측정되는 전압에 이상이 있는 것으로 판단되는 경우에는 전원 계통의 부품을 교체하거나 또는 배선을 점검하여 이상 전압의 원인을 해소하게 된다.
③ 데이터 다운로드 단계(S93)
이 단계는 ZCU본체의 전원 계통의 이상 여부가 점검되고 나면, 구동 소프트웨어의 정상 구동여부를 확인하고, 이와 동시에 설치된 구동 소프트웨어의 버전과 최신 배포된 구동 소프트웨어 버전을 비교한 다음, 필요시 구동 소프트웨어의 업그레이드를 위한 데이터를 다운로드하는 것이다.
이때 구동 소프트웨어의 다운로드는 작업자의 휴대단말기를 통해 무선 다운로드된 다음, 작업자의 휴대단말기가 ZCU본체에 유선으로 접촉되어 설치되게 된다.
④ 센서 검수 단계(S94)
이 단계는 ZCU본체에 설치되는 센서에 자석을 반응시켜 센서에 출력되는 수치가 정상 센서를 통해 미리 확인된 수치와 출력값이 일치하는지 여부를 판단하게 된다.
이때 출력값이 확인된 수치와 일치하지 않는 경우에는, 해당 센서를 교체하게 된다.
⑤ 라이트가이드 컨트롤러 검수 단계(S95)
이 단계는 가이드레일을 따라 설치되는 라이트가이드의 컨트롤러를 점검하는 것으로, 이때 라이트가이드 컨트롤러 내부에 설치된 스위치를 켠 상태에서 라이드가이드의 점등 동작을 확인하고, 미점등 또는 오점등되는 라이트가이드를 확인하게 된다.
이때 미점등 또는 오점등되는 라이트가이드가 확인되면 컨트롤러의 전원 계통을 확인하여 미점등 및 오점등의 원인을 파악하고, 필요시 고장의 원인이 되는 부품을 교체하게 된다.
⑥ 라이트가이드 배치 및 바코드 라벨 검수 단계(S96)
이 단계는 위 라이트가이드 컨트롤러 검수 단계(S95)를 통해 라이트가이드의 컨트롤러가 검수되고 나면, 라이트가이드가 배치 도면과 일치하도록 설치되었는지 배치 상태를 확인하고, 이와 동시에 라이트가이드에 부착된 바코드 라벨 번호와 배치 도면상의 바코드 라벨 번호가 일치하도록 설치되었는지를 학인하고, 라이트가이드 센서의 송수신 감도와 낙하방지 와이어의 설치 여부를 검수하는 것으로, 이때 라이트가이드의 배치 상태가 도면과 다르거나 바코드 라벨 번호가 상이한 경우 확인을 통해 교체 또는 수정하게 된다.
또한, 라이트가이드 센서의 송수신 감도가 기준치 이하인 경우에는 라이트가이드 센서를 교체하고, 낙하방지 와이어가 설치되지 않은 경우에는 라이트가이드와 가이드레일을 연결하도록 낙하방지 와이어를 설치하게 된다.
⑦ ZCU본체 및 라이트가이드 통신 상태 검수 단계(S97)
이 단계는 ZCU본체와 라이트가이드 간의 통신 상태를 검수하는 것으로, 이를 위해 테스트용 반송장치를 준비하고, 준비된 반송장치가 가이드레일을 따라 이송됨에 따라 라이트가이드와 반송장치 간의 통신을 통해 점등 동작이 정상적으로 이루어지는지 확인하게 된다.
또한, ZCU본체와 반송장치 간의 통신 이상여부도 함께 확인되고, 통신 이상이 확인되는 경우에는 통신 설정 상태를 확인하여 설정 값을 변경하여 오류를 수정하거나 또는 통신 모듈을 교체하게 된다.
이상 설명한 바와 같이 클린룸 내의 반도체 제조 설비 간에 웨이퍼 등의 반송물을 이송하기 위한 자동 이송 시스템의 설치 상태가 미리 책정된 기준에 맞추어 체계적으로 검수될 수 있고, 이를 통해 자동 이송 시스템을 통한 반송물의 불량 이송에 따른 제조 공정상의 불량이 방지된다.
위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 발명에 따른 하나의 실시예로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 발명의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 통상의 기술자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.
1: 가이드레일 2: 레일서포트
3: 레이저장비 4: 아크릴플레이트
5: 스케일플레이트

Claims (5)

  1. 작업전 검수 및 조정 공구를 준비하고 보호장비를 착용하는 준비 단계(S10);
    상기 준비 단계(S10) 이후, 가이드레일의 검수 및 조정 작업을 실시할 작업 구간을 설정하는 작업구간 설정 단계(S20);
    가이드레일을 고정하는 볼트와 너트의 조립 상태를 검수하고 조정하는 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30);
    상기 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30)를 통해 조정이 완료된 상기 가이드레일 위에 레이저장비를 설치하는 레이저장비 설치 단계(S40);
    상기 가이드레일 위에 설치된 레이저장비를 통해 상기 가이드레일 간의 높이를 측정하는 가이드레일 높이 측정 단계(S50);
    상기 가이드레일 높이 측정 단계(S50)를 통해 측정된 가이드레일의 높이를 기준으로 직선 구간과 분기구간의 가이드레일 높이를 조정하는 가이드레일 높이 조정 단계(S60);
    상기 가이드레일의 상, 하부 간섭물을 확인하고, 반송장치를 저속 주행시켜 물리적인 간섭 여부를 확인하는 가이드레일 간섭 확인 단계(S70); 및
    상기 가이드레일 간섭 확인 단계(S70)를 통해 물리적인 간섭 여부가 판단되고 나면, 상기 반송장치를 정속 및 고속 주행시켜 상기 반송장치의 주행상태를 확인하는 반송장치 주행 테스트 단계(S80);
    를 포함하고,
    상기 가이드레일 검수 및 조정 단계(S30)는,
    레이스웨이에 설치되는 브래킷을 고정하는 볼트의 조립 상태를 검수하는 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31);
    레일서포트의 상, 하부를 고정하는 너트의 고정 상태를 검수하는 레일서포트 검수 단계(S32);
    상기 가이드레일의 연결부에 조립되는 볼트의 조립 상태를 검수하는 가이드레일 연결부 검수 단계(S33); 및
    상기 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31), 레일서포트 검수 단계(S32) 및 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)를 통해 검수된 내용을 설치 기준에 맞추어 조정하는 조정 단계(S34);
    를 포함하며,
    상기 레이스웨이 브래킷 검수 단계(S31), 레일서포트 검수 단계(S32) 및 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)에서는,
    토크렌치를 사용하여 볼트와 너트가 조립된 토크를 각각 검출하고,
    상기 조정 단계(S34)에서는,
    검출된 상기 볼트와 너트의 토크가 미리 설정된 기준값 이하인 경우, 해당 볼트와 너트를 재조립하여 기준값 이상이 되도록 조정하며,
    상기 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)는,
    상기 가이드레일의 연결부에 설치되는 단차플레이트의 설치 상태를 검수하는 단차플레이트 검수 단계(S33-1);
    상기 가이드레일의 연결부에 형성되는 틈새의 폭을 검수하는 틈새 검수 단계(S33-2); 및
    상기 가이드레일 간의 단차를 확인하는 단차 검수 단계(S33-3);
    를 포함하고,
    상기 단차플레이트 검수 단계(S33-1), 틈새 검수 단계(S33-2), 단차 검수 단계(S33-3), 레일서포트 검수 단계(S32) 및 가이드레일 연결부 검수 단계(S33)는,
    검수된 내용이 휴대단말기에 입력되어, 상기 휴대단말기에 미리 입력된 기준값과 자동으로 대비됨으로써 조정대상 여부가 판단되고,
    상기 반송장치 주행 테스트 단계(S80) 이후, 구역제어장치(zone control unit, ZCU)의 제어 상태를 확인하는 구역제어장치 검수 및 조정 단계(S90)를 포함하며,
    상기 구역제어장치 검수 및 조정 단계(S90)는,
    상기 ZCU본체 전원 이상 여부를 검수하는 것으로, 테스터기를 이용하여 ZCU본체의 2개소 이상의 저항을 측정하는 ZCU본체 단락 검수 단계(S91);
    상기 ZCU본체의 전원 스위치를 켠 상태에서 테스터기를 교류 전류로 맞추어 3개소 이상의 전압을 측정하고, 테스터기를 직류 전류로 변경한 다음, 재차 3개소 이상의 전압을 측정하는 전압 측정 단계(S92);
    상기 ZCU본체의 전원 계통의 이상 여부가 점검된 다음, 구동 소프트웨어의 정상 구동여부를 확인하고, 설치된 구동 소프트웨어의 버전과 최신 배포된 구동 소프트웨어 버전을 비교한 다음, 필요시 구동 소프트웨어를 업그레이드하기 위한 데이터를 다운로드하는 데이터 다운로드 단계(S93);
    상기 ZCU본체에 설치되는 센서에 자석을 반응시켜 센서에 출력되는 수치가 정상 센서를 통해 미리 확인된 수치와 출력값이 일치하는지 여부를 판단하는 센서 검수 단계(S94);
    상기 가이드레일을 따라 설치되는 라이트가이드의 컨트롤러 내부에 설치된 스위치를 켠 상태에서 라이드가이드의 점등 동작을 확인하고, 미점등 또는 오점등되는 라이트가이드를 확인하는 라이트가이드 컨트롤러 검수 단계(S95);
    상기 라이트가이드가 배치 도면과 일치하도록 설치되었는지 배치 상태를 확인하고, 상기 라이트가이드에 부착된 바코드 라벨 번호와 배치 도면상의 바코드 라벨 번호가 일치하도록 설치되었는지를 확인하며, 라이트가이드 센서의 송수신 감도와 낙하방지 와이어의 설치 여부를 검수하는 라이트가이드 배치 및 바코드 라벨 검수 단계(S96); 및
    테스트용 반송장치를 준비한 다음, 준비된 반송장치가 가이드레일을 따라 이송됨에 따라 라이트가이드와 반송장치 간의 통신을 통해 점등 동작이 정상적으로 이루어지는지 확인하는 ZCU본체 및 라이트가이드 통신 상태 검수 단계(S97);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체라인의 반송물 자동 이송 시스템의 검수 및 조정 방법.
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