JP2006347734A - 貯蔵装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の貯蔵装置は、前面開口部が一定方向となるように並列して、また、移動可能である複数の基板保管棚と、保管棚が並ぶ方向に沿って移動でき、保管棚に収容される基板の受け渡しを行う搬送ロボットとを備えており、この貯蔵装置は、内部を高清浄に保つことができるものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、貯蔵・搬送を行う際に高い清浄環境を必要とする物品のいずれにも適用可能であり、特に電子部品であるLCDの基板やLSIの原版となるレチクル等をあげて説明するが、これは例示のためであり、本発明を限定するものではない。
2 カセット
3 保管棚
4 搬送ロボット
5 棚段
6 前面開口部
7 移動手段(上部)
8 清浄気体供給手段
9 基板
10 隔壁
11 吸気口
12 直線移動手段
13 昇降手段
14 載置台
15 圧力調整室
16 背面壁
17 移動手段(下部)
18 天井部材
19 フィルタ
Claims (3)
- 基板を内部に収容する保管棚と、該保管棚内部から基板の受け渡しを行う搬送ロボットを備える貯蔵装置であって、
複数の保管棚の前面開口部が一定方向となるように並列して備え、各保管棚には、基板に清浄気体を供給する清浄気体供給手段と、該保管棚を移動する移動手段とを備えて、
該搬送ロボットは、
複数の該保管棚の側部周辺であって、該保管棚が並ぶ方向に沿って移動する直線移動手段と、高さ方向に移動する昇降手段とを備えることを特徴とする貯蔵装置。 - 並列する複数の前記保管棚の間に隔壁を備え、
前記清浄気体供給手段により背面壁から基板収納領域へ噴出した清浄気体を該隔壁に沿って貯蔵装置の下部へと送風し、貯蔵装置下部に備える吸気口から清浄気体供給手段に送風することを特徴とする請求項1記載の貯蔵装置。 - 前記背面壁に取り付けたフィルタを通って清浄気体を噴出することを特徴とする請求項2記載の貯蔵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005178333A JP2006347734A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 貯蔵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005178333A JP2006347734A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 貯蔵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006347734A true JP2006347734A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37643974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005178333A Pending JP2006347734A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 貯蔵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008218687A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 半導体基板用ストッカ |
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-
2005
- 2005-06-17 JP JP2005178333A patent/JP2006347734A/ja active Pending
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