JPS62202949A - クリ−ンユニツトの拡張方法 - Google Patents
クリ−ンユニツトの拡張方法Info
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- JPS62202949A JPS62202949A JP61046808A JP4680886A JPS62202949A JP S62202949 A JPS62202949 A JP S62202949A JP 61046808 A JP61046808 A JP 61046808A JP 4680886 A JP4680886 A JP 4680886A JP S62202949 A JPS62202949 A JP S62202949A
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- JP
- Japan
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- space
- unit
- clean
- clean unit
- air
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- Granted
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 29
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
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- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、生産装置などを収納する空間を高い空気清
浄度に維持するクリーンユニットのクリーンゾーンを拡
張するクリーンユニットの拡張方法に関する。
浄度に維持するクリーンユニットのクリーンゾーンを拡
張するクリーンユニットの拡張方法に関する。
〈従来の技術〉
従来、清浄空間室内において、作業通路域よりも高い空
気清浄度を有する高清浄度空間に半導体等を生産する機
器を設置しなければならない。このため、従来のトンネ
ル型の高清浄度空間を形成するクリーンユニットとして
は第3図に示すものがある。このクリーンユニット1.
Nよ、清浄空間室2の略中央部の作業通路域3を挟んで
左右に対向して清浄空間室2の天井面2aにそれぞれ設
置されている。そして、上記クリーンユニットlは、高
性能フィルタ5の下方に高清浄度空間6をトンネル状に
形成し、この高清浄度空間6に生産袋r117を収納し
て、高性能フィルタ5から下方の高清浄度空間6に向け
て清浄空気を吹き出し、高清浄度空間6を作業通路域3
よりも高い空気清浄度に維持している。
気清浄度を有する高清浄度空間に半導体等を生産する機
器を設置しなければならない。このため、従来のトンネ
ル型の高清浄度空間を形成するクリーンユニットとして
は第3図に示すものがある。このクリーンユニット1.
Nよ、清浄空間室2の略中央部の作業通路域3を挟んで
左右に対向して清浄空間室2の天井面2aにそれぞれ設
置されている。そして、上記クリーンユニットlは、高
性能フィルタ5の下方に高清浄度空間6をトンネル状に
形成し、この高清浄度空間6に生産袋r117を収納し
て、高性能フィルタ5から下方の高清浄度空間6に向け
て清浄空気を吹き出し、高清浄度空間6を作業通路域3
よりも高い空気清浄度に維持している。
ところが、上記従来のクリーンユニットでは、一度所定
位置に取付けられると、それ以後は高清浄度空間6の左
右方向の幅寸法が固定されるため、半導体などの生産工
程を変更する場合や生産装置7の大型化を図る場合、特
に生産装置7が幅方向に大きくなる場合、高清浄度空間
6に収納された生産装置7が高清浄度空間6からはみ出
て、低い空気清浄度の作業通路域3に突出する・ことに
なり、生産装置7の雰囲気全体を高い空気清浄度に維持
できないという問題がある。
位置に取付けられると、それ以後は高清浄度空間6の左
右方向の幅寸法が固定されるため、半導体などの生産工
程を変更する場合や生産装置7の大型化を図る場合、特
に生産装置7が幅方向に大きくなる場合、高清浄度空間
6に収納された生産装置7が高清浄度空間6からはみ出
て、低い空気清浄度の作業通路域3に突出する・ことに
なり、生産装置7の雰囲気全体を高い空気清浄度に維持
できないという問題がある。
また生産工程の変更あるいは生産装置7の大型化ζこ応
じてそれに対応する大きさのクリーンユニット璽を用い
ることも考えられるが、この場合には、その都度、クリ
ーンユニット1の取替工事が必要と°なって、その取替
工事に手間と費用を要するという問題がある。
じてそれに対応する大きさのクリーンユニット璽を用い
ることも考えられるが、この場合には、その都度、クリ
ーンユニット1の取替工事が必要と°なって、その取替
工事に手間と費用を要するという問題がある。
〈発明の目的〉
そこで、この発明の目的は、生産工程の変更および生産
装置の大型化をした場合に、必要に応じた大きさの高清
浄度空間を簡単かつ安価に拡張できて、生産装置を常に
高清浄度空間に収納でき、生産装置の雰囲気を高い空気
清浄度に維持できるクリーンユニットの拡張方法を提供
することにある。
装置の大型化をした場合に、必要に応じた大きさの高清
浄度空間を簡単かつ安価に拡張できて、生産装置を常に
高清浄度空間に収納でき、生産装置の雰囲気を高い空気
清浄度に維持できるクリーンユニットの拡張方法を提供
することにある。
〈発明の構成ン
上記目的を達成するために、この発明のクリーンユニッ
トの拡張方法は、清浄空間室内において、作業通路域の
空気清浄度よりもさらに高い空気清浄度を有するトンネ
ル状の高清浄度空間を形成するために高性能フィルタか
ら清浄空気を下方に吹き出すようにしたクリーンユニッ
トを拡張するクリーンユニットの拡張方法であつて、上
記クリーンユニットの高性能フィルタ上の空間の作業通
路域に面する前端部に接続口を設け、上記クリーンユニ
ットの作業通路域側に増設ユニットを設け、上記クリー
ンユニットの高性能フィルタ上の空間に上記増設ユニッ
トの高性能フィルタ上の空間を上記接続口により接続し
て高清浄度空間を拡張したことを特徴とする。
トの拡張方法は、清浄空間室内において、作業通路域の
空気清浄度よりもさらに高い空気清浄度を有するトンネ
ル状の高清浄度空間を形成するために高性能フィルタか
ら清浄空気を下方に吹き出すようにしたクリーンユニッ
トを拡張するクリーンユニットの拡張方法であつて、上
記クリーンユニットの高性能フィルタ上の空間の作業通
路域に面する前端部に接続口を設け、上記クリーンユニ
ットの作業通路域側に増設ユニットを設け、上記クリー
ンユニットの高性能フィルタ上の空間に上記増設ユニッ
トの高性能フィルタ上の空間を上記接続口により接続し
て高清浄度空間を拡張したことを特徴とする。
〈実施例〉
第1図は拡張後のクリーンユニットを示す概略図、第2
図は拡張前のクリーンユニットを示す図である。第2図
において、10は清浄空間室、I!は清n−空間室」0
の略中央部に位置する作業通路域、12は作業通路域1
1をはさんで左右に対向して清浄空間室!Oの天井面1
0aに設置される1対のクリーンユニットのうちの右側
のクリーンユニットである。m2図中一点鎖線Aで示す
面を対称面にして上記作業通路域11と1対のクリーン
ユニット12.12と全く同じものが紙面と直交する方
向に幾νりも配列されている。また、14は清浄空間室
10の天井面10aの背面に設置され、空゛気調和装e
1(図示せず)からの空気を清浄化して作業通路域2に
送るフィルタユ千ット、16はグレーチング1フ上に設
置され、かつクリーンユニット12の下方の高清浄度空
間18内に収納された半導体等の生産装置である。
図は拡張前のクリーンユニットを示す図である。第2図
において、10は清浄空間室、I!は清n−空間室」0
の略中央部に位置する作業通路域、12は作業通路域1
1をはさんで左右に対向して清浄空間室!Oの天井面1
0aに設置される1対のクリーンユニットのうちの右側
のクリーンユニットである。m2図中一点鎖線Aで示す
面を対称面にして上記作業通路域11と1対のクリーン
ユニット12.12と全く同じものが紙面と直交する方
向に幾νりも配列されている。また、14は清浄空間室
10の天井面10aの背面に設置され、空゛気調和装e
1(図示せず)からの空気を清浄化して作業通路域2に
送るフィルタユ千ット、16はグレーチング1フ上に設
置され、かつクリーンユニット12の下方の高清浄度空
間18内に収納された半導体等の生産装置である。
上記クリーンユニット12は、生産ラインに沿ワて長い
トンネル状に形成された箱型のケーシング70内にファ
ン2Bと高性能フィルタ26とダンパ33とを収納して
いる。上記クリーンユニット12のケーシング70の前
端部としての前壁23には、作業通路域Itに通じる矩
形の接続口24゜24・・・を生産ラインに沿って互い
に一定間隔をあけて複数個設けている。上記クリーンユ
ニット12の接続口24には四角形の盲[44をボルト
(図示せず)などにより取り付けている。この盲板44
を覆うように化粧FL45を作業通路域11側から設け
ている。前壁23と盲板44との間は空気が漏れないよ
うにシール材などが分岐されている。
トンネル状に形成された箱型のケーシング70内にファ
ン2Bと高性能フィルタ26とダンパ33とを収納して
いる。上記クリーンユニット12のケーシング70の前
端部としての前壁23には、作業通路域Itに通じる矩
形の接続口24゜24・・・を生産ラインに沿って互い
に一定間隔をあけて複数個設けている。上記クリーンユ
ニット12の接続口24には四角形の盲[44をボルト
(図示せず)などにより取り付けている。この盲板44
を覆うように化粧FL45を作業通路域11側から設け
ている。前壁23と盲板44との間は空気が漏れないよ
うにシール材などが分岐されている。
上記ケーシング70の底面70aは下方に開口されてい
て、この開口部に高性能フィルタ26.26・・・を生
産ラインに沿って複数個設置している。上記ケーシング
70内の後部には空気を圧送するファン28を収納した
ファン室29を設け、上記ファン室29の上面29aに
は空気吸込口31を設ける一方、ファン室29の下面2
9bにはリターン空気吸込口32を設けている。高性能
フィルタ26とファン室29との間にはバヅブル80を
設けている。また高性能フィルタ26とファン室29と
の境に位置するケーシング70の底面70aには、右隔
壁13の上端を取り付けて右隔壁を下方に吊り下げてい
る。上記右隔壁13の下端とグレーチング17との間に
通気口34を形成している。
て、この開口部に高性能フィルタ26.26・・・を生
産ラインに沿って複数個設置している。上記ケーシング
70内の後部には空気を圧送するファン28を収納した
ファン室29を設け、上記ファン室29の上面29aに
は空気吸込口31を設ける一方、ファン室29の下面2
9bにはリターン空気吸込口32を設けている。高性能
フィルタ26とファン室29との間にはバヅブル80を
設けている。また高性能フィルタ26とファン室29と
の境に位置するケーシング70の底面70aには、右隔
壁13の上端を取り付けて右隔壁を下方に吊り下げてい
る。上記右隔壁13の下端とグレーチング17との間に
通気口34を形成している。
この右隔壁13により、クリーンユニット12の高清浄
度空間I8とサービススペース2Iとが分離されている
。そして、上記ファン室29の空気吸込口31を通して
空気調和装置からの空気をダクトを介して(図示せず)
ファン室29に導入すると共に、リターン空気吸込口3
2を通して高清浄度空間18、右隔壁I3の下部の通気
口34からのリターン空気をファン室29に導入してい
る。
度空間I8とサービススペース2Iとが分離されている
。そして、上記ファン室29の空気吸込口31を通して
空気調和装置からの空気をダクトを介して(図示せず)
ファン室29に導入すると共に、リターン空気吸込口3
2を通して高清浄度空間18、右隔壁I3の下部の通気
口34からのリターン空気をファン室29に導入してい
る。
一方、クリーンユニット12の前壁23の下端には下方
に向かって吊り下げた左隔壁20を取り付けている。
に向かって吊り下げた左隔壁20を取り付けている。
しかして、第2図に示すクリーンユニットの拡張前の状
態から次のようにして第1図に示すクリーンユニットの
拡張した状態にする。
態から次のようにして第1図に示すクリーンユニットの
拡張した状態にする。
第1図において、クリーンユニット12の接続口24の
ファン28側にダンパ41とロッド43を取り付1片つ
いで接続口24の作業通路域11側に生産装置16の大
きさに応じた大きさの増設ユニット!5をボルトで増設
して、各ユニット1゜2、I5の高性能フィルタ26.
38の下方の高清浄度空間I8を拡張し、この高清浄度
空間18内に生産装置16を収める。この増設ユニット
15は、箱型のケーシング37の右壁15aを開口し、
下面15bに高性能フィルタ38を設置してなる。
ファン28側にダンパ41とロッド43を取り付1片つ
いで接続口24の作業通路域11側に生産装置16の大
きさに応じた大きさの増設ユニット!5をボルトで増設
して、各ユニット1゜2、I5の高性能フィルタ26.
38の下方の高清浄度空間I8を拡張し、この高清浄度
空間18内に生産装置16を収める。この増設ユニット
15は、箱型のケーシング37の右壁15aを開口し、
下面15bに高性能フィルタ38を設置してなる。
このケーシング37の天井面35の一端をクリーンユニ
ット■2の前壁23の上部の型jllj180にボルト
(図示せず)などで連結する。そして、上記増設ユニッ
ト15の高性能フィルタ38の上部の空間47とフィル
タユニット12の高性能フィルタ26の上部の空間27
が接続口24を介して連通される。またクリーンユニッ
トI2の各接続口24.24・・・のファン28側には
、ファン28からの空気の流量をクリーンユニット12
側と増設ユニット15側とに配分するダンパ4 f、4
1・・をそれぞれ設ける。このダンパ41は前壁23に
着脱自在にボルトなどで取り付けられる。上記ダンパ4
にの開度を調整するハンドル42は、傘歯車50を介し
てダンパ41からケーシング70の天井面70a近傍に
沿ってサービススペース21の上部まで延びるロッド4
83の先端に接続され、手動で操作できるようになって
いる。上記ロッド43はダンパ4Iから容易に取り外せ
るようにダンパ41にネジなどで連結されている。
ット■2の前壁23の上部の型jllj180にボルト
(図示せず)などで連結する。そして、上記増設ユニッ
ト15の高性能フィルタ38の上部の空間47とフィル
タユニット12の高性能フィルタ26の上部の空間27
が接続口24を介して連通される。またクリーンユニッ
トI2の各接続口24.24・・・のファン28側には
、ファン28からの空気の流量をクリーンユニット12
側と増設ユニット15側とに配分するダンパ4 f、4
1・・をそれぞれ設ける。このダンパ41は前壁23に
着脱自在にボルトなどで取り付けられる。上記ダンパ4
にの開度を調整するハンドル42は、傘歯車50を介し
てダンパ41からケーシング70の天井面70a近傍に
沿ってサービススペース21の上部まで延びるロッド4
83の先端に接続され、手動で操作できるようになって
いる。上記ロッド43はダンパ4Iから容易に取り外せ
るようにダンパ41にネジなどで連結されている。
そして、上記高清浄度空間18に生産装置16を収納し
て、クリーンユニット12側と増設ユニット15側に所
定流出の空気が供給されるようにダンパ41の110度
をハンドル42によりg、v整する。
て、クリーンユニット12側と増設ユニット15側に所
定流出の空気が供給されるようにダンパ41の110度
をハンドル42によりg、v整する。
その後、ファン28を起動して高性能フィルタ26.3
8から下方に高清浄化した清浄空気を生産装置16に向
けて送り、生産装置■6の雰囲気全体を高い空気清浄度
に維持する。
8から下方に高清浄化した清浄空気を生産装置16に向
けて送り、生産装置■6の雰囲気全体を高い空気清浄度
に維持する。
このように、クリーンユニットI2の前壁に増設ユニッ
ト15を接続して両者を接続口24で接続するだけで、
簡単に高清浄度空u11が拡張できるのである。
ト15を接続して両者を接続口24で接続するだけで、
簡単に高清浄度空u11が拡張できるのである。
一方、幅寸法の小さい生産装置16の場合には、第2図
に示すように、既設のクリーンユニット12の前壁23
の接続口24から増設ユニット15とダンパ41とロッ
ド43を取り外して接続口24に盲板44および化粧板
45をボルトで取り付け、高性能フィルタ26の下方の
高清浄度空間18に生産装置16を収納する。
に示すように、既設のクリーンユニット12の前壁23
の接続口24から増設ユニット15とダンパ41とロッ
ド43を取り外して接続口24に盲板44および化粧板
45をボルトで取り付け、高性能フィルタ26の下方の
高清浄度空間18に生産装置16を収納する。
このように、この方法によれば生産装置16の幅寸法に
応じて、既設のクリーンユニット12に適宜な大きさの
増設ユニット15を簡単かつ安価に増設できる。また、
生産工程を変更したりする場合、その変更に応じて高清
浄度空間18を任意の大きさに拡大することができる。
応じて、既設のクリーンユニット12に適宜な大きさの
増設ユニット15を簡単かつ安価に増設できる。また、
生産工程を変更したりする場合、その変更に応じて高清
浄度空間18を任意の大きさに拡大することができる。
〈発明の効果〉
以上より明らかなように、この発明によれば、クリーン
ユニットの高性能フィルタ上の空間の作業通路域に面す
る前端部に接続口を設け、上記クリーンユニットの作業
通路域側に増設ユニットを設け、上記クリーンユニット
の高性能フィルタ上の空間に上記増設ユニットの高性能
フィルタ上の空間を上記接続口により接続しているので
、既設のクリーンユニットを用いて高性能フィルタの下
方の高清浄度空間を適切な大きさに簡単、安価に拡張で
きる。またこの発明によれば、クリーンユニットと増設
ユニットとを接続口を介して接続できるようにしている
ので、クリーンユニットを取り付は後であっても、その
まま、そのクリーンユニットと増設ユニットとを接続口
で接続するだけで高清浄度空間を簡単に拡張できる。ま
たクリーンユニットに増設ユニットを接続するという簡
単な構造で高清浄度空間を拡張できるようにしているの
で、従来のクリーンユニットと全く同様に取り扱い操作
することができる。
ユニットの高性能フィルタ上の空間の作業通路域に面す
る前端部に接続口を設け、上記クリーンユニットの作業
通路域側に増設ユニットを設け、上記クリーンユニット
の高性能フィルタ上の空間に上記増設ユニットの高性能
フィルタ上の空間を上記接続口により接続しているので
、既設のクリーンユニットを用いて高性能フィルタの下
方の高清浄度空間を適切な大きさに簡単、安価に拡張で
きる。またこの発明によれば、クリーンユニットと増設
ユニットとを接続口を介して接続できるようにしている
ので、クリーンユニットを取り付は後であっても、その
まま、そのクリーンユニットと増設ユニットとを接続口
で接続するだけで高清浄度空間を簡単に拡張できる。ま
たクリーンユニットに増設ユニットを接続するという簡
単な構造で高清浄度空間を拡張できるようにしているの
で、従来のクリーンユニットと全く同様に取り扱い操作
することができる。
第1図はこの発明の一実施例を示す概略断面図、第2図
は上記実施例の増設ユニットを取り外した状態を示す一
部断面図、第3図は従来例を示す概略断面図である。 IO・・・清浄空間室、2・・・作業通路域、I2・・
・クリーンユニット、15・・・増設ユニット、16・
・・生産装置、18・・・高清浄度空間、24・・・接
続口、26.38・・・高性能フィルタ、27.47・
・・空間。
は上記実施例の増設ユニットを取り外した状態を示す一
部断面図、第3図は従来例を示す概略断面図である。 IO・・・清浄空間室、2・・・作業通路域、I2・・
・クリーンユニット、15・・・増設ユニット、16・
・・生産装置、18・・・高清浄度空間、24・・・接
続口、26.38・・・高性能フィルタ、27.47・
・・空間。
Claims (1)
- (1)清浄空間室内において、作業通路域の空気清浄度
よりもさらに高い空気清浄度を有するトンネル状の高清
浄度空間を形成するために高性能フィルタから清浄空気
を下方に吹き出すようにしたクリーンユニットであって
、 上記クリーンユニットの高性能フィルタ上の空間の作業
通路域に面する前端部に接続口を設け、上記クリーンユ
ニットの作業通路域側に増設ユニットを設け、上記クリ
ーンユニットの高性能フィルタ上の空間に上記増設ユニ
ットの高性能フィルタ上の空間を上記接続口により接続
して高清浄度空間を拡張したことを特徴とするクリーン
ユニットの拡張方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61046808A JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61046808A JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62202949A true JPS62202949A (ja) | 1987-09-07 |
JPH0319456B2 JPH0319456B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=12757629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61046808A Granted JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62202949A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6668565B1 (en) | 2002-04-12 | 2003-12-30 | American Power Conversion | Rack-mounted equipment cooling |
US6859366B2 (en) | 2003-03-19 | 2005-02-22 | American Power Conversion | Data center cooling system |
US7173820B2 (en) | 2003-03-19 | 2007-02-06 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
US7259963B2 (en) | 2004-12-29 | 2007-08-21 | American Power Conversion Corp. | Rack height cooling |
US20100022179A1 (en) * | 2007-10-26 | 2010-01-28 | Katsuhito Uematsu | Clean room |
US7841199B2 (en) | 2005-05-17 | 2010-11-30 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP61046808A patent/JPS62202949A/ja active Granted
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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