JPS60140034A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
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- JPS60140034A JPS60140034A JP58247170A JP24717083A JPS60140034A JP S60140034 A JPS60140034 A JP S60140034A JP 58247170 A JP58247170 A JP 58247170A JP 24717083 A JP24717083 A JP 24717083A JP S60140034 A JPS60140034 A JP S60140034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- workpiece
- blowing
- blowout
- clean room
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、清浄空気を室内に流動させる室内清浄用換気
設備を設け、前記室内に作業台又は作業装置を設け、前
記作業台又は作業装置の被作業物に向けて前記室内用清
浄空気よりも清浄度の高い空気をほぼ層流状態で吹出す
高性能フィルター付局所清浄装置を設け、その局所清浄
で被作業物回りの高清浄度を確保することにより、大風
量の室内用清浄空気に要求される清浄度、並びに、その
風量を軽減できるようにして、清浄環境維持のだめの全
体としてのランニングコストの低減を図ったクリーンル
ームの改良に関する。
設備を設け、前記室内に作業台又は作業装置を設け、前
記作業台又は作業装置の被作業物に向けて前記室内用清
浄空気よりも清浄度の高い空気をほぼ層流状態で吹出す
高性能フィルター付局所清浄装置を設け、その局所清浄
で被作業物回りの高清浄度を確保することにより、大風
量の室内用清浄空気に要求される清浄度、並びに、その
風量を軽減できるようにして、清浄環境維持のだめの全
体としてのランニングコストの低減を図ったクリーンル
ームの改良に関する。
従来、上記クリーンルームＶこおいて局所清浄装置を構
成するに、第４図（イ）に示すように、ファン（２２’
）により加圧供給された空気を高性能フィルター０７）
を介して下方向きに吹出す吹出部（１６’）を、被作業
物（１埠設置箇所の上方に固定的に設けたり、あるいは
、第４図６：Ｉ）に示すように、水平向きの高清浄度空
気吹出部（１６’）を、その吹出し空気が作業者側しこ
向って流動するように配置して被作業物（１埠設置箇所
の横側方に固定的に設ける等していたのであるが、いず
れも高清浄度空気の吹出し位置、及び、吹出し向きが固
定的であるために、作業進行に＃なう被作業物の向き変
化によって被作業物のうち最も清浄度を維持したい側の
被作業部分が清浄空気流動の下手側となって、被作業物
自身が清浄空気層流流動の障害となることにより発生し
た渦流がその被作業部分に生じたり、又、作業者及び作
業装置の被作業物に対する相対的位置変化によって、そ
れら作業者及び作業装置が清浄空気の層流流動を乱すこ
とにより発生した渦流が被作業物の近傍に生じ、それら
渦流が室内で発生した浮遊塵埃を巻込むだめに被作業物
回りの高清浄度確保を未だ十分に達成し得ない問題があ
った。
成するに、第４図（イ）に示すように、ファン（２２’
）により加圧供給された空気を高性能フィルター０７）
を介して下方向きに吹出す吹出部（１６’）を、被作業
物（１埠設置箇所の上方に固定的に設けたり、あるいは
、第４図６：Ｉ）に示すように、水平向きの高清浄度空
気吹出部（１６’）を、その吹出し空気が作業者側しこ
向って流動するように配置して被作業物（１埠設置箇所
の横側方に固定的に設ける等していたのであるが、いず
れも高清浄度空気の吹出し位置、及び、吹出し向きが固
定的であるために、作業進行に＃なう被作業物の向き変
化によって被作業物のうち最も清浄度を維持したい側の
被作業部分が清浄空気流動の下手側となって、被作業物
自身が清浄空気層流流動の障害となることにより発生し
た渦流がその被作業部分に生じたり、又、作業者及び作
業装置の被作業物に対する相対的位置変化によって、そ
れら作業者及び作業装置が清浄空気の層流流動を乱すこ
とにより発生した渦流が被作業物の近傍に生じ、それら
渦流が室内で発生した浮遊塵埃を巻込むだめに被作業物
回りの高清浄度確保を未だ十分に達成し得ない問題があ
った。
本発明の目的は、局所清浄装置に対する合理的な改良に
より、被作業物の向きや、それに対する作業者及び作業
装置の位置にかかわらず、被作業物回りの高清浄度を常
に適切に維持できるようにする点にある。
より、被作業物の向きや、それに対する作業者及び作業
装置の位置にかかわらず、被作業物回りの高清浄度を常
に適切に維持できるようにする点にある。
本発明の特徴構成は、雪起クリーンルームに２いて、前
記局所清浄装置の吹出し位置、及び、吹出し向きを変更
する吹出状態調整装置を設けであることにあり、その作
用・効果は次の通りである。
記局所清浄装置の吹出し位置、及び、吹出し向きを変更
する吹出状態調整装置を設けであることにあり、その作
用・効果は次の通りである。
つまり、吹出状態調整装置により局所清浄装置の吹出し
位置、及び、吹出し向きを、被作業物の向きｆ、それに
対する作業者及び作業装置の相対位置に応じて（例えば
、第１図において作業装置（１１）あるいは作業者が被
作業物０１に対して図上右側にある時には左側から高清
浄度空気を吹出すよう（・こ）適宜変更調節することが
できるから、作業状況及び作業進行に伴なう被作業物の
向き変化や、作業者及び作業装置の位置変化にかかわら
ず、被作業物近傍ないし特に被作業部分近くに渦流が発
生しないように高清浄度空気を層流状態で常に適切に吹
出し供給することができ、その結果、被作業物回りの高
清度維持を確実に達成することができて、清浄面での品
質管理性を大巾に向上できた。
位置、及び、吹出し向きを、被作業物の向きｆ、それに
対する作業者及び作業装置の相対位置に応じて（例えば
、第１図において作業装置（１１）あるいは作業者が被
作業物０１に対して図上右側にある時には左側から高清
浄度空気を吹出すよう（・こ）適宜変更調節することが
できるから、作業状況及び作業進行に伴なう被作業物の
向き変化や、作業者及び作業装置の位置変化にかかわら
ず、被作業物近傍ないし特に被作業部分近くに渦流が発
生しないように高清浄度空気を層流状態で常に適切に吹
出し供給することができ、その結果、被作業物回りの高
清度維持を確実に達成することができて、清浄面での品
質管理性を大巾に向上できた。
しかも、従来構成のように吹出部を固定的に設ける型式
にあっては、被作業物の作業進行に伴なう位置変化に対
処するだめに、高清浄度空気の吹出範囲を比較的大きく
設定しなければならず、それＶこ伴ない吹出風量が増大
するが、本発明によれば、吹出し位置及び吹出し向きの
変更調整で被作業物の位置変化にも適切に対処できるか
ら、従来構成のものに比して高清浄度空気の吹出し風ｔ
をも低減できて、局部清浄装置のランニングコストを大
巾に軽減でき、ひいては、クリーンルーム全体としての
ランニングコストを更に軽減でき、結果として、品質管
理面及び、運転コスト面のいずれにも極めて優れたクリ
ーンルームにできた。
にあっては、被作業物の作業進行に伴なう位置変化に対
処するだめに、高清浄度空気の吹出範囲を比較的大きく
設定しなければならず、それＶこ伴ない吹出風量が増大
するが、本発明によれば、吹出し位置及び吹出し向きの
変更調整で被作業物の位置変化にも適切に対処できるか
ら、従来構成のものに比して高清浄度空気の吹出し風ｔ
をも低減できて、局部清浄装置のランニングコストを大
巾に軽減でき、ひいては、クリーンルーム全体としての
ランニングコストを更に軽減でき、結果として、品質管
理面及び、運転コスト面のいずれにも極めて優れたクリ
ーンルームにできた。
次に実施例を第１図及び第２図に基づいて説明する。
他室と気密状に間仕切された室＋１）の天井（２）を、
その全面にわたって換気空気吹出し用器具としての多孔
板で形成し、ブロアーファン（３）を備えた空調器（４
）から中性能フィルター（５）を介して天井懐部の送風
チャンバー（６）に加圧供給された空気を、天井部の全
面にわたって並設した高性能フィルター［７１５ｆ−介
して天井（２）から室＋１１内に、下方向き層流状態で
供給するように構成すると共に、床（８）をその全面に
わたって換気空気吸込み用器具としての多孔板で形成し
、床（８）を通して室内から床下部の排気チャンバ−（
９）に回収された空気を排気ファン叫により屋外に排出
するように構成しである。
その全面にわたって換気空気吹出し用器具としての多孔
板で形成し、ブロアーファン（３）を備えた空調器（４
）から中性能フィルター（５）を介して天井懐部の送風
チャンバー（６）に加圧供給された空気を、天井部の全
面にわたって並設した高性能フィルター［７１５ｆ−介
して天井（２）から室＋１１内に、下方向き層流状態で
供給するように構成すると共に、床（８）をその全面に
わたって換気空気吸込み用器具としての多孔板で形成し
、床（８）を通して室内から床下部の排気チャンバ−（
９）に回収された空気を排気ファン叫により屋外に排出
するように構成しである。
そして、自動加工作業装置（１１）を備えだ半導体製品
製造用作業台（１２）を室内しこ設置すると共に、天井
（２）から吹出し供給される清浄空気よりも清浄度の高
い空気を作業台０２）上の被作業物１１萄に向けて局所
的に吹出す局所清浄装置ｔ１４）を設け、もって、半導
体製品を清浄環境下で製造するだめのクリーンルームを
構成しである。
製造用作業台（１２）を室内しこ設置すると共に、天井
（２）から吹出し供給される清浄空気よりも清浄度の高
い空気を作業台０２）上の被作業物１１萄に向けて局所
的に吹出す局所清浄装置ｔ１４）を設け、もって、半導
体製品を清浄環境下で製造するだめのクリーンルームを
構成しである。
前記局所清浄装置（１４）を構成するに、吹出空気供給
用の可撓性ホース（１５）の先端に接続した筒状ケーシ
ングリ６）に、ホース（１５）からの供給空気を天井（
２）からの清浄空気よりも高い清浄度にまで濾過処理す
る高性能フィルター０７）を着脱交換自在に内装し、濾
過処理された高清浄度の空気をケーシングυ６）の軸芯
方向に浴った層流状態で吹出させるだめの整流格子体（
１８）をケーシングｔ１１１９の吹出し口部に設けると
共ＰＣ５筒状ケーシング（１６）を、それの被作業物（
Ｉ：ｌ）に対する相対位置、及び、向きを変更操作する
可動アーム型の吹出状態調整装置（１９）に連設支持し
、もって、吹出状態調整装置ｔ、ｕ９）の操作により、
作業状況に応じた適切な吹出し位置から、かつ、適切な
向きで層流状態の高清浄度空気を被作業物１３１に対し
て吹出し供給できるようしこ構成しである。
用の可撓性ホース（１５）の先端に接続した筒状ケーシ
ングリ６）に、ホース（１５）からの供給空気を天井（
２）からの清浄空気よりも高い清浄度にまで濾過処理す
る高性能フィルター０７）を着脱交換自在に内装し、濾
過処理された高清浄度の空気をケーシングυ６）の軸芯
方向に浴った層流状態で吹出させるだめの整流格子体（
１８）をケーシングｔ１１１９の吹出し口部に設けると
共ＰＣ５筒状ケーシング（１６）を、それの被作業物（
Ｉ：ｌ）に対する相対位置、及び、向きを変更操作する
可動アーム型の吹出状態調整装置（１９）に連設支持し
、もって、吹出状態調整装置ｔ、ｕ９）の操作により、
作業状況に応じた適切な吹出し位置から、かつ、適切な
向きで層流状態の高清浄度空気を被作業物１３１に対し
て吹出し供給できるようしこ構成しである。
前記中性能フィルター（ｋ・）を内装するフィルターボ
ックス（５Ａ）と送風用チャンバー（６）とを連通接続
するダク） ：２０）に対して分岐接続した分流空気用
送風ダクト（２１）の下流側端を、間仕切壁（１ａ）に
気密状に貫通させる状態で室内に臨ませると共に、その
送風ダクト翰１）の室内側開口端に、前記ｏＴ例性ホー
ス（１５）の上流側端を連通接続し、もって、前記空偶
器（４）から供給される空気の一部を局所清浄装置Ｕ＜
に供給するように構成しである。
ックス（５Ａ）と送風用チャンバー（６）とを連通接続
するダク） ：２０）に対して分岐接続した分流空気用
送風ダクト（２１）の下流側端を、間仕切壁（１ａ）に
気密状に貫通させる状態で室内に臨ませると共に、その
送風ダクト翰１）の室内側開口端に、前記ｏＴ例性ホー
ス（１５）の上流側端を連通接続し、もって、前記空偶
器（４）から供給される空気の一部を局所清浄装置Ｕ＜
に供給するように構成しである。
図中（′１４は、分流空気を局所清浄装置（１４）ｒこ
加圧供給するために分流空気用送風ダクト（２１）に介
装したブロアーファンである。
加圧供給するために分流空気用送風ダクト（２１）に介
装したブロアーファンである。
分流空気用ブロアーファン媚よりも下流側Ｖこおいて送
風ダク） Ｚｌ＋に、作業台（１２Ｊに付設した人為操
作具（ハ）により遠隔ＶＣ操作される風′＠、調節用の
自動ダンパー囚）を介装し、局所清浄装置（１４）から
吹出される高清浄度空気の風量ないし吹出し風速を、作
業状況に応じて作業台（１２４部から適宜変更調節でき
るようＶこ構成しである。
風ダク） Ｚｌ＋に、作業台（１２Ｊに付設した人為操
作具（ハ）により遠隔ＶＣ操作される風′＠、調節用の
自動ダンパー囚）を介装し、局所清浄装置（１４）から
吹出される高清浄度空気の風量ないし吹出し風速を、作
業状況に応じて作業台（１２４部から適宜変更調節でき
るようＶこ構成しである。
前記吹出状態調整装置０９）を構成するに、油圧モータ
（ハ）により縦軸芯（Ｐ、）周りで回転駆動自在にベー
ス（ハ）に取付けた旋回台（ロ）に、縦向き姿勢の第１
アーム四を油圧シリンダ翰により横向き軸芯（Ｑ、）周
りで前後揺動自在に増付けると共に、先端部に二次元方
向に屈曲揺動駆動自在な小手アームＨを連設した横向き
姿勢の第２アーム鈴０を、第１アームｗ８の上端に横向
き軸芯（Ｑ８）周りで油圧シリンダ０２により上下揺動
自在に連結し、もって吹出状態調整装置（Ｉ９）の可動
部を構成しである。
（ハ）により縦軸芯（Ｐ、）周りで回転駆動自在にベー
ス（ハ）に取付けた旋回台（ロ）に、縦向き姿勢の第１
アーム四を油圧シリンダ翰により横向き軸芯（Ｑ、）周
りで前後揺動自在に増付けると共に、先端部に二次元方
向に屈曲揺動駆動自在な小手アームＨを連設した横向き
姿勢の第２アーム鈴０を、第１アームｗ８の上端に横向
き軸芯（Ｑ８）周りで油圧シリンダ０２により上下揺動
自在に連結し、もって吹出状態調整装置（Ｉ９）の可動
部を構成しである。
そして、前記局所清浄装置０荀の筒状ケーシング（１匈
を小手アーム−の先端に連結支持し、筒状ケーシングｉ
ｌｌを三次元方向に位置変更可能に、かつ、二次元方向
に向き変更可能にすると共に、予め設定されたタイムス
ケジュールＶこ基づいて前記加工作業装ｆｔｆｌｌ）を
自動制御操作する作業用制御装置（酒からの指令に基づ
いて、局所清浄装置す４）の吹出し位置、及び、吹出し
向きが作業進行しこ伴なう加工作業装置（１すの自動動
作に見合うように吹出状態調整装置（１９）の可動部を
自動動作させるマイクロコンピュータ内蔵の局所清浄用
制御装置・Ｉを吹出状態調整装置（１１）に組込み、も
って、作業進行ｔｃ４なう被作業物（１萄の向き変化や
、加工作業装置（１１）の位置変化Ｖこ起因した渦流発
生等の悪条件が生じないような適切な局所清浄を自動的
に維持できるように構成しである。
を小手アーム−の先端に連結支持し、筒状ケーシングｉ
ｌｌを三次元方向に位置変更可能に、かつ、二次元方向
に向き変更可能にすると共に、予め設定されたタイムス
ケジュールＶこ基づいて前記加工作業装ｆｔｆｌｌ）を
自動制御操作する作業用制御装置（酒からの指令に基づ
いて、局所清浄装置す４）の吹出し位置、及び、吹出し
向きが作業進行しこ伴なう加工作業装置（１すの自動動
作に見合うように吹出状態調整装置（１９）の可動部を
自動動作させるマイクロコンピュータ内蔵の局所清浄用
制御装置・Ｉを吹出状態調整装置（１１）に組込み、も
って、作業進行ｔｃ４なう被作業物（１萄の向き変化や
、加工作業装置（１１）の位置変化Ｖこ起因した渦流発
生等の悪条件が生じないような適切な局所清浄を自動的
に維持できるように構成しである。
図中（３（へ）は、作業用制御装置（３（至）からの指
令に基づいた自動制御操作に優先して吹出状態調整装置
（ｒ Ｙ）を遠隔操作するために作業台ｔ１２） Ｉｒ
（設けた人為操作部である。
令に基づいた自動制御操作に優先して吹出状態調整装置
（ｒ Ｙ）を遠隔操作するために作業台ｔ１２） Ｉｒ
（設けた人為操作部である。
次に別実施例を説明する。
室（１１内の全体にわたって清浄空気を流動させる設備
としては、前述の如く天井（２）から床（８）に向って
清浄空気を層流状態で垂直方向に流動させる型式１７（
代えて、一方の壁部から対向する壁部に向って清浄空気
を層流状態で水平方向に流動させる型式や、あるいは、
天井（２）番で分数配設した高性能フィルター（７）付
吹出し口から室（１）内に清浄空気を乱流状態で供給す
る型式等、種々の型式を適用することができ、それら種
々の型式の設備を総称して室内清浄用換気設備（４）と
称する。
としては、前述の如く天井（２）から床（８）に向って
清浄空気を層流状態で垂直方向に流動させる型式１７（
代えて、一方の壁部から対向する壁部に向って清浄空気
を層流状態で水平方向に流動させる型式や、あるいは、
天井（２）番で分数配設した高性能フィルター（７）付
吹出し口から室（１）内に清浄空気を乱流状態で供給す
る型式等、種々の型式を適用することができ、それら種
々の型式の設備を総称して室内清浄用換気設備（４）と
称する。
局所清浄装置（１４Ｉに２ける具体的な高性能フィルタ
ーｔ＋７）ｐｊ装溝構造高清浄度空入の層流化構造、及
び、ケーシング構造等は種々の改良が可能であり、又、
局所清浄装置（１４）に対する空気供給構造も、前述の
如く室内清浄用換気設置ｊｆｔｔ４）が備えるファン等
の空気供給装置ｉ！＋３）に局所清浄装置ｔ ＋１４）
を分岐的に接続するに代えて、局所清浄装置（１４Ｉに
対する専用の空気供給装置を室外に設けたり、あるいは
、第３図に示すように、吹出し空気源として室内空気を
吸気するファン（２２’）、及び、その吸気１）だめの
プレフィルタ−（７）付吸気口（ロ）を局所清浄装置（
１４）に備えさせる等、種々の改良が可能である。
ーｔ＋７）ｐｊ装溝構造高清浄度空入の層流化構造、及
び、ケーシング構造等は種々の改良が可能であり、又、
局所清浄装置（１４）に対する空気供給構造も、前述の
如く室内清浄用換気設置ｊｆｔｔ４）が備えるファン等
の空気供給装置ｉ！＋３）に局所清浄装置ｔ ＋１４）
を分岐的に接続するに代えて、局所清浄装置（１４Ｉに
対する専用の空気供給装置を室外に設けたり、あるいは
、第３図に示すように、吹出し空気源として室内空気を
吸気するファン（２２’）、及び、その吸気１）だめの
プレフィルタ−（７）付吸気口（ロ）を局所清浄装置（
１４）に備えさせる等、種々の改良が可能である。
更に、局所清浄装置（１４）の吹出し風量あるいは吹出
し風速を変更調節する構造としては、前述の如く、送風
ダクトウ１）に自動ダンパー（２４Ｊを介装するに代え
て、局所清浄装置（１４）自身に風量・風速調整装置を
備えさせたり、あるいは、空気加圧供給用ファンいユ）
、（ユλ′）に吐出風針可変型のファンを適用する等、
種々の調節構造を適用でき、それら調節構造を総称して
吹出Ｋｉｔ調節機構（２）と称する。 又、その調節操
作構造も、遠隔人為操作や、作業装置Ｈｏ）の自動動作
に連係させた自動制御操作等、種々の形態の操作構造を
適用できる。
し風速を変更調節する構造としては、前述の如く、送風
ダクトウ１）に自動ダンパー（２４Ｊを介装するに代え
て、局所清浄装置（１４）自身に風量・風速調整装置を
備えさせたり、あるいは、空気加圧供給用ファンいユ）
、（ユλ′）に吐出風針可変型のファンを適用する等、
種々の調節構造を適用でき、それら調節構造を総称して
吹出Ｋｉｔ調節機構（２）と称する。 又、その調節操
作構造も、遠隔人為操作や、作業装置Ｈｏ）の自動動作
に連係させた自動制御操作等、種々の形態の操作構造を
適用できる。
吹出状態調整装置１１９）は、前述の如く多関節型ロボ
ットを適用するに代えて、局所清浄装置（１４Ｊを向き
変更駆動操作自在に連結した支持台をレールに案内、移
動駆動操作自在に取付けて構成する等、その具体的可動
構造は種々の構成変更が可能であり、又、その操作構造
も、人為操作部１．晒による操作、及び、作業装置（１
１）に連係させる自動制御操作のうち一方のみを適用し
たり、あるいは、両操作を択一的Ｖこ行なえるようｔｒ
構成する等、種々の構成変更が可能である。
ットを適用するに代えて、局所清浄装置（１４Ｊを向き
変更駆動操作自在に連結した支持台をレールに案内、移
動駆動操作自在に取付けて構成する等、その具体的可動
構造は種々の構成変更が可能であり、又、その操作構造
も、人為操作部１．晒による操作、及び、作業装置（１
１）に連係させる自動制御操作のうち一方のみを適用し
たり、あるいは、両操作を択一的Ｖこ行なえるようｔｒ
構成する等、種々の構成変更が可能である。
本発明によるクリーンルームは、半導体素子、精密機械
部品、医薬品、あるいは、食品等種々の対象物に２ける
加工、検査、及び、包装等各種の工程に対して適用でき
る。
部品、医薬品、あるいは、食品等種々の対象物に２ける
加工、検査、及び、包装等各種の工程に対して適用でき
る。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示し、第１図は、
全体側面図、第２図は、局所清浄装置の拡大断面図、第
８図は、本発明の別実施例を示す拡大断面図、第４図（
イ）、（ロ）は、夫々従来構造を示す図である。 （１）・・・・・・室、（４）・・・・・・室内清浄用
換気設備、（ｌｌ）・・・・・・作業装置、（１４・・
・・・・作業台、州・・・・・・被作業物、（１４）・
・・・・・局所清浄装置、θη・・・・・・高性能フィ
ルター、＋１９）・・・・・・吹出状態調整装置、ヴ４
）・・・・・・吹出し風量調節機構、例・・・・・・自
動制御装置、（至）・・・・・・人為操作部。 代理人 弁理士 北 村 修
全体側面図、第２図は、局所清浄装置の拡大断面図、第
８図は、本発明の別実施例を示す拡大断面図、第４図（
イ）、（ロ）は、夫々従来構造を示す図である。 （１）・・・・・・室、（４）・・・・・・室内清浄用
換気設備、（ｌｌ）・・・・・・作業装置、（１４・・
・・・・作業台、州・・・・・・被作業物、（１４）・
・・・・・局所清浄装置、θη・・・・・・高性能フィ
ルター、＋１９）・・・・・・吹出状態調整装置、ヴ４
）・・・・・・吹出し風量調節機構、例・・・・・・自
動制御装置、（至）・・・・・・人為操作部。 代理人 弁理士 北 村 修
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ０）清浄空気を室＋１１円に流動させる室内清浄用換気
設備（４）を設け、前記室＋１１内に作業台（＋２１又
は作業装置（川を設け、前記作業台（＋２）又は作業装
置（１１）の被作業物（１四に向けて前記室内用清浄空
気よりも清浄度の高い空気をほぼ層流状態で吹出す高性
能フィルター（１７）付局所清浄装置（１４）を設けた
クリーンルームであって、前記局所清浄装置（１荀の吹
出し位置、及び、吹出し向きを変更する吹出状態調整装
置（１９）を設けであるクリーンルーム。 （２）前記吹出状態調整装置０＠の人為操作部（３均を
、前記作業台（ｌ′４又は作業装置（川の近くに設けで
ある特許請求の範囲第０項に記載のクリーンルーム。 ■ 前記作業装置（川の自動動作に連係して、その自動
動作に見合った吹出し位置、及び、吹出し向きとなるよ
うに前記吹出状態調整装置（１９）を操作す不自動制御
装置例を設けである特許請求の範囲第０項に記載のクリ
ーンルーム。 ■ 前記局所清浄装置＋１４）が吹出し風量調節機構（
財）を備えている特許請求の範囲第０項ないし第０項の
いずれかに記載のクリーンルーム。 ■ 前記室内清浄用換気設備（４）の空気供給装置（３
）と前記局所清浄装置（１４）を接続しである特許請求
の範囲第（１）項ないし第０項のいずれかに記載のクリ
ーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58247170A JPS60140034A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58247170A JPS60140034A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140034A true JPS60140034A (ja) | 1985-07-24 |
Family
ID=17159478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58247170A Pending JPS60140034A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140034A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62112031U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-16 | ||
| US5371565A (en) * | 1991-11-15 | 1994-12-06 | Nikon Corporation | Focal-plane shutter device |
| US6368208B1 (en) * | 1999-09-24 | 2002-04-09 | Nec Corporation | Cleanroom and cleanroom ventilation method |
| JP2014109427A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Airtech Japan Ltd | クリーンベンチ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010140B2 (ja) * | 1982-11-19 | 1985-03-15 | 京都機械株式会社 | 布帛のテンタ式熱風処理装置 |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP58247170A patent/JPS60140034A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010140B2 (ja) * | 1982-11-19 | 1985-03-15 | 京都機械株式会社 | 布帛のテンタ式熱風処理装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62112031U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-16 | ||
| US5371565A (en) * | 1991-11-15 | 1994-12-06 | Nikon Corporation | Focal-plane shutter device |
| US6368208B1 (en) * | 1999-09-24 | 2002-04-09 | Nec Corporation | Cleanroom and cleanroom ventilation method |
| JP2014109427A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Airtech Japan Ltd | クリーンベンチ |
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