JPH0248771Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンルーム内の被作業物回りの
みを高清浄度に確保することにより、大風量の室
内用清浄空気に要求される清浄度ならびにその風
量を軽減して、清浄環境維持のための全体として
のライニングコストの低減化を図つたクリーン装
置に関する。より詳しくは、被作業物の作業進行
に伴う位置変化に拘わらず、この被作業回りの高
清浄度を常に適切に維持することができるよう
に、室内に設けた作業台又は作業装置の被作業物
に向けて清浄空気を吹出す局所清浄装置と、この
局所清浄装置の吹出し位置を変更する吹出状態調
整装置とを備えたクリーン装置に関する。

〔従来の技術〕

ウエハ等の被作業物の処理機能を備えたクリー
ンルームを構成する場合、従来では、クリーンル
ームに、前記局所清浄装置及び吹出状態調整装置
を備えたクリーン装置を設けるとともに、クリー
ンチユーブで搬送されてきた被作業物の作業台又
は作業装置への移送や作業台又は作業装置で処理
された被作業物の次工程への移送などを行うため
のハンドリング装置を備えた作業ロボツトを配備
して構成していた（文献を示すことができない）。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この従来のクリーンルームで
は、クリーン装置と同様に、被作業物の作業進行
に伴う位置変化に対応した動きのできる作業ロボ
ツトが別途必要で、しかも、この作業ロボツトを
クリーン装置に同調して作業制御しなければなら
ないため、クリーンルームに占める装置スペース
が非常に大きくなるとともに、制御系を含めた全
体構成が複雑化し、設備コストが高騰する問題が
ある。

本考案の目的は、クリーン装置が本来有する動
作機能を有効利用した合理的な改造により、被作
業物の処理機能を備えたクリーンルームをスペー
ス面及び設備コスト面で有利な構成できるように
する点にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案によるクリーン装置は、前記局所清浄装
置に、前記被作業物に対するハンドリング装置を
取付けてある事を特徴とするものであり、それに
よる作用・効果は次の通りである。

〔作用〕

吹出状態調整装置によつて局所清浄装置の吹出
し位置が被作業物の位置変化に対応して調整され
るから、この局所清浄装置自体に被作業物に対す
るハンドリング装置を取付けることにより、この
ハンドリング装置を被作業物の位置変化に追従さ
せるための駆動装置を削減することができるとと
もに、局所清浄装置とハンドリング装置との同調
制御も容易に行うことができる。

〔考案の効果〕

このように局所清浄装置の吹出し位置を変更す
るための吹出状態調整装置をハンドリング装置の
駆動装置に兼用構成することができるから、従来
に比してクリーンルームに占める装置スペースを
大幅に小さくすることができるとともに、制御系
を含めた全体構成の簡素化と設備コストの低廉化
とを図ることができたのである。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

他室と気密状に間仕切された室１の天井２を、
その全面にわたつて換気空気吹出し用器具として
の多孔板で形成し、ブロアーフアン３を備えた空
調器４から中性能フイルター５を介して天井懐部
の送風チヤンバー６に加圧供給された空気を、天
井部の全面にわたつて並設した高性能フイルター
７を介して天井２から室１内に、下方向き層流状
態で供給するように構成すると共に、床８をその
全面にわたつて換気空気吸込み用器具としての多
孔板で形成し、床８を通して室内から床下部の排
気チヤンバー９に回収された空気を排気フアン１
０により屋外に排出するように構成してある。

そして、自動加工作業装置１１を備えた半導体
製品製造用作業台１２を室内に設置すると共に、
天井２から吹出し供給される清浄空気よりも清浄
度の高い空気を作業台１２の被作業物１３に向け
て局所的に吹出す局所清浄装置１４を備えたクリ
ーン装置Ａを設けて、ウエハ等の半導体製品を清
浄環境下で製造するためのクリーンルームを構成
してある。

前記局所清浄装置１４を構成するに、吹出空気
供給用の可撓性ホース１５の先端に接続した筒状
ケーシング１６に、ホース１５からの供給空気を
天井２からの清浄空気よりも高い清浄度にまで
過処理する高性能フイルター１７を着脱交換自在
に内装し、過処理された高清浄度の空気をケー
シング１６の軸芯方向に沿つた層流状態で吹出さ
せるための整流格子体１８をケーシング１６の吹
出し口部に設けると共に、筒状ケーシング１６
を、それの被作業物１３に対する相対位置、及
び、向きを変更操作する可動アーム型の吹出状態
調整装置１９に連設支持してある。この吹出状態
調整装置１９の操作により、作業状況に応じて適
切な吹出し位置から、かつ、適切な向きで層流状
態の高清浄度空気を被作業物１３に対して吹出し
供給できるように構成してある。

前記中性能フイルター５を内装するフイルター
ボツクス５Ａと送風用チヤンバー６とを連通接続
するダクト２０に対して分岐接続した分流空気用
送風ダクト２１の下流側端を、間仕切壁１ａに気
密状に貫通させる状態で室内に臨ませると共に、
その送風ダクト２１の室内側開口端に、前記可撓
性ホース１５の上流側端を連通接続し、もつて、
前記空調器４から供給される空気の一部を局所清
浄装置１４に供給するように構成してある。

前記分流空気用送風ダクト２１には、分流空気
を局所清浄装置１４に加圧供給するブロアーフア
ン２２と、作業台１２に付設した人為操作具２３
により遠隔に操作される風量調節用の自動ダンパ
ー２４とを介装して、局所清浄装置１４から吹出
される高清浄度空気の風量ないし吹出し風速を、
作業状況に応じて作業台１２部から適宜変更調節
できるように構成してある。

前記吹出状態調整装置１９を構成するに、油圧
モータ２５により縦軸芯P₁周りで回転駆動自在
にベース２６に取付けた旋回台２７に、縦向き姿
勢の第１アーム２８を油圧シリンダ２９により横
向き軸芯Q₁周りで前後揺動自在に取付けると共
に、先端部に二次元方向に屈曲揺動駆動自在な小
手アーム３０を連接した横向き姿勢の第２アーム
３１を、第１アーム２８の上端に横向き軸芯Q₂
周りで油圧シリンダ３２により上下揺動自在に連
結してある。

そして、前記局所清浄装置１４の筒状ケーシン
グ１６を小手アーム３０の先端に連結支持して、
この筒状ケーシング１６を三次元方向に位置変更
可能に、かつ、二次元方向に向き変更可能に構成
すると共に、前記筒状ケーシング１６には、前記
被作業物１３に対するハンドリング装置の一例
で、クリーンチユーブで搬送されてきた被作業物
１３の高清浄作業域への移送や高清浄作業域で処
理された被作業物１３のクリーンチユーブへの移
送など、局所清浄装置１４からの清浄空気吹出経
路内に位置する被作業物１３の室内搬送を司るマ
ニピユレータ３６を取付けてある。

このマニピユレータ３６は、開閉自在な一対の
挾持爪３７，３７と、この挾持爪３７，３７を開
閉作動及び筒状ケーシング16の軸芯と平行な軸芯
周りで回動させるアクチユエータ３８とから構成
されている。

前記吹出状態調整装置１９の各アクチユエータ
２９，３２及びマニピユレータ３６のアクチユエ
ータ３８に対して作動制御信号を出力するマイク
ロコンピユータ内蔵の制御装置３４を吹出状態調
整装置１９に組込んである。この制御装置３４で
は、予め設定されたタイムスケジユールに基づい
て前記加工作業装置１１を自動制御操作する作業
用制御装置３３からの指令に基づいて、局所清浄
装置１４の吹出し位置、及び、吹出し向きが作業
進行に伴なう加工作業装置１１の自動動作に見合
うように吹出状態調整装置１９の可動部を自動制
御することにより、作業進行に伴なう被作業物１
３の向き変化や、加工作業装置１１の位置変化に
起因した渦流発生等の悪条件が生じないような適
切な局所清浄を自動的に維持できるように構成し
てある。また、前記作業台１２に設けた人為操作
部３５の遠隔操作信号に基づいて、吹出状態調整
装置１９の各アクチユエータ２９，３２及びマニ
ピユレータ３６のアクチユエータ３８を作動制御
することにより、一対の挾持爪３７，３７にて挾
持された被作業物１３を所定箇所に搬送できるよ
うに構成してある。

次に、別の実施例について説明する。

室１内の全体にわたつて清浄装置を流動させる
設備としては、前述の如く天井２から床８に向つ
て清浄空気を層流状態で垂直方向に流動させる型
式に代えて、一方の壁部から対向する壁部に向つ
て清浄空気を層流状態で水平方向に流動させる型
式や、あるいは、天井(2)に分散配設した高性能フ
イルター７付吹出し口から室１内に清浄空気を乱
流状態で供給する型式等、種々の型式を適用する
ことができ、それら種々の型式の設備を総称して
室内清浄用換気設備４と称する。

局所清浄装配１４における具体的な高性能フイ
ルター１７内装構造、高清浄度空気の層流化構
造、及び、ケーシング構造等は種々の改良が可能
であり、又、局所清浄装置１４に対する空気供給
構造も、前述の如く室内清浄用換器設備４が備え
るフアン等の空気供給装置３に局所清浄装置１４
を分岐的に接続するに代えて、局所清浄装置１４
に対する専用の空気供給装置を室外に設けたり、
あるいは、吹出し空気源として室内空気を吸気す
るフアン、及び、その吸気のためのプレフイルタ
ー付吸気口を局所清浄装置１４に備えさせる等、
種々の改良が可能である。

更に、局所清浄装置１４の吹出し風量あるいは
吹出し風速を変更調節する構造としては、前述の
如く、送風ダクト２１に自動ダンパー２４を介装
するのに代えて、局所清浄装置１４自身に風量・
風速調整装置を備えさせたり、あるいは、空気加
圧供給用フアンに吐出風量可変型のフアンを適用
する等、種々の調節構造を適用でき、それら調節
構造を総称して吹出風量調節機構２４と称する。
又、その調節操作構造も、遠隔人為操作や、作業
装置１１の自動動作に連係させた自動制御操作
等、種々の形態の操作構造を適用できる。

吹出状態調整装置１９は、前述の如く多関節型
ロボツトを適用するに代えて、局所清浄装置１４
を向き変更駆動操作自在に連結した支持台をレー
ルに案内移動駆動操作自在に取付けて構成する
等、その具体的可動構造は種々の構成変更が可能
である。

要するに、この吹出状態調整装置１９の可動構
造としては、局所清浄装置１４の吹出状態調整機
能とマニピユレータ等のハンドリング装置３６に
よる所定のハンドリング機能とを確実に達成する
ことのできるものであれば如何なる構造に構成し
てもよい。

また、本考案のクリーン装置は、半導体素子、
精密機械部品、医薬品、あるいは、食品等種々の
対象物における加工、検査、及び、包装等各種の
工程に対して適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本考案に係るクリーン装置の
実施例を示し、第１図は要部の一部切欠拡大図、
第２図はクリーンルーム全体の側面図である。 １……室、７……高性能フイルター、１１……
作業装置、１２……作業台、１３……被作業物、
１４……局所清浄装置、１９……吹出状態調整装
置、35……操作部、３６……ハンドリング装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 室１内に設けた作業台１２又は作業装置１１
   の被作業物１３に向けて清浄空気を吹出す局所
   清浄装置１４と、この局所清浄装置１４の吹出
   し位置を変更する吹出状態調整装置１９とを備
   えたクリーン装置であつて、前記局所清浄装置
   １４に、前記被作業物１３に対するハンドリン
   グ装置３６を取付けてあるクリーン装置。 前記室１が清浄空気を室１内に流動させる室
   内清浄用換気設備４を備えたものである実用新
   案登録請求の範囲第項に記載のクリーン装
   置。 前記吹出状態調整装置１９が前記局所清浄装
   置１４の吹出し向きを変更する手段を備えたも
   のである実用新案登録請求の範囲第項又は第
   項に記載のクリーン装置。 前記ハンドリング装置３６が作業台１２近く
   に設けた操作部３５によつて遠隔操作されるも
   のである実用新案登録請求の範囲第項乃至第
   項の何れかに記載のクリーン装置。 前記局所清浄装置１４が前記室内用清浄空気
   より清浄度の高い空気をほぼ層流状態で吹出す
   高性能フイルター７を備えたものである実用新
   案登録請求の範囲第項に記載のクリーン装
   置。