JP2001330303A - クリーンルーム設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】天井面の状況に影響されることなく、且つ、室
内のレイアウト変更にも容易に対応することのできるク
リーンルーム設備を提供する。 【解決手段】本発明のクリーンルーム設備１０は、室１
２の天井面１２Ｂに気流制御板２６が吊り具２８に支持
されている。吊り具２８は、伸縮自在に構成され、吊り
具２８と気流制御板２６との連結部分は自由継ぎ手にな
っている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造や食品
・薬品工場などにおけるクリーンルーム設備に係り、特
に省エネルギでかつ低コスト化が要求されるクリーンル
ーム設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の高集積化、微細化に伴い、
クリーンルーム設備の室内に要求される清浄度が年々厳
しくなってきている一方で、省エネルギや低コスト化を
図ったクリーンルーム設備の建設が要望されている。ク
リーンルーム設備は、要求される室内の清浄度によって
除塵システムが異なるが、基本的には、清浄エアの吹き
出し気流方向と循環風量を可変することで対応してい
る。例えば、液晶装置、精密機械工業、薬品、食品工場
等に適用されるクラス１００から１００００程度の比較
的低清浄度のクリーンルーム設備では、室内に空気調和
機が設置され、この空気調和機が天井面に配設された除
塵装置にダクトを介して連結される。そして、前記空気
調和機によって調温調湿されたエアが前記除塵装置に送
気されると、該除塵装置によってエアに浮遊する微粒子
が高効率で除去され、その清浄エアが室内に吹き出され
る。ここで、前記除塵装置としては、ＨＥＰＡフィルタ
やＵＬＰＡフィルタなどの高性能エアフィルタが主に適
用され、室内と空気調和機とを循環するエアがこの除塵
装置を通過することによって、室内の塵埃濃度が希釈さ
れ、室内を所定の清浄度に保つことができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のクリーンルーム設備は、空気調和機と除塵装置を連
結するダクトや、天井面に設置する除塵装置が大量に必
要となり、クリーンルーム設備のイニシャルコストが高
くなるという欠点がある。また、除塵装置を天井面に設
置するための天井パネルも必要となるため、その工事費
用も発生し、コストパフォーマンスが良いとは言えな
い。

【０００４】一方、これらの欠点を解消するクリーンル
ーム設備として、図１３に示すようなクリーンルーム設
備１が考えられている。このクリーンルーム設備１は、
室２内に設置した空気調和機３の内部に除塵装置４が設
けられ、天井面５の近傍の吹出口６から清浄エアが吹き
出される。吹き出された清浄エアは、天井面５に沿って
気流を形成し、この気流が、天井面５に吊り下げられた
気流制御板７Ａ、７Ｂによって下方に方向転換される。
これにより、所望の位置に高清浄度空間を形成すること
ができる。上記クリーンルーム設備１によれば、空気調
和機３と除塵装置４を連結するダクトや、除塵装置４を
設置するための天井パネルが不要となり、イニシャルコ
ストを低減させることができる。

【０００５】しかしながら、このクリーンルーム設備１
は、天井面５に蛍光灯や帯電防止用イオナイザ等の凹凸
部８があると、気流制御板７Ｂのように、適切な位置か
らずらして取り付けなければならない欠点があった。こ
の場合、清浄エアの気流を所望の空間に向けるために、
気流制御板７Ｂの形状や設置高さをその都度、変えなけ
ればならない。したがって、上記クリーンルーム設備１
は、形状の異なる気流制御板７Ａ、７Ｂや、長さの異な
る吊り具９を複数用意しなければならないという欠点が
あった。

【０００６】また、クリーンルーム設備１は、室２内の
レイアウトを変更して作業領域を変えるたびに、気流制
御板７Ａ、７Ｂの形状や取り付け位置を変えなければな
らないという欠点があった。

【０００７】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、天井面の状況に影響されることなく、且つ、室
内のレイアウト変更にも容易に対応することのできるク
リーンルーム設備を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決する為の手段】請求項１記載の発明は前記
目的を達成するために、除塵手段を有するとともに、該
除塵手段によって除塵された清浄エアをクリーンルーム
設備の室内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空
気調和機と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気
調和機から吹き出された清浄エアの気流方向を制御する
気流方向制御部材と、を備えたクリーンルーム設備にお
いて、前記気流方向制御部材を支持する支持手段に、前
記気流方向制御部材の位置を調節する位置調節機構を設
けたことを特徴としている。

【０００９】請求項２記載の発明は前記目的を達成する
ために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段によっ
て除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内の側
方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機と、前
記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹き
出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御部
材と、を備えたクリーンルーム設備において、前記気流
方向制御部材を支持する支持手段に、前記気流方向制御
部材の姿勢を調節する姿勢調節機構を設けたことを特徴
としている。

【００１０】請求項３記載の発明は前記目的を達成する
ために、除塵手段を有するとともに、該除塵手段によっ
て除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内の側
方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機と、前
記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹き
出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御部
材と、を備えたクリーンルーム設備において、前記気流
方向制御部材は、変形可能に構成されることを特徴とし
ている。

【００１１】本発明によれば、天井面の状況により気流
制御手段を適切な位置に配置できない場合であっても、
気流制御手段の位置や姿勢を調節したり、気流制御板の
形状を変えることにより、簡単に所望の方向に清浄エア
の気流を向けることができる。また、室内のレイアウト
を変更した際にも、気流制御手段の位置や姿勢を調節し
たり、気流制御板の形状を変えることにより、簡単に対
応することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態について
詳説する。

【００１３】図１及び図２は、第１の実施の形態のクリ
ーンルーム設備１０の概略構造を示す縦断面図である。
これらの図において、室１２内の中央部には、装置１１
が設置されており、この装置１１の側方の作業領域にお
いて、高い清浄度を得ることが必要とされる。

【００１４】室１２の内部には、空気調和機１４が側壁
１２Ａに沿って配置されている。空気調和機１４は、エ
アの吸引口１６とエアの吹出口１８を有するとともに、
内部にファン２０、エアフィルタ（除塵手段に相当）２
２、及び温湿度調節装置２４を備えている。したがっ
て、ファン２０を駆動すると、吸引口１６からエアが空
気調和機１４内に吸引され、吸引されたエアが温湿度調
節装置２４で調温調湿度され、エアフィルタ２２で除塵
された後、清浄エアとして吹出口１８から室１２内に吹
き出される。吹出口１８は、天井面１２Ｂの近傍に設け
られており、吹出口１８から吹き出された清浄エアは、
天井面１２Ｂに沿って気流を形成する。したがって、気
流が壁面に沿いやすいというコアンダ効果によって、清
浄エアは、より遠くまで到達することができる。なお、
前記エアフィルタとしては、例えば、ＨＥＰＡフィルタ
やＵＬＰＡフィルタ等が使用される。

【００１５】前記室１２の天井面１２Ｂには、空気調和
機１４のエアの吹出方向に、気流制御板２６が設置され
ている。気流制御板２６は、湾曲されて形成され、空気
調和機１４の吹出口１８から吹き出された清浄エアの気
流を下方に向けて方向転換する。

【００１６】気流制御板２６は、吊り具２８によって天
井面１２Ｂに吊設されている。吊り具２８は、図３に示
すように、天井面１２Ｂに固着された内筒３２と、気流
制御板２６に連結された外筒３０とから構成される。こ
の内筒３２と外筒３０とは、外筒３０の端部に螺合され
たナット部材３４を締め込むことにより固定される。逆
に、ナット部材３４を緩めると、外筒３０を内筒３２に
対してスライドすることができる。これにより、吊り具
２８を伸縮することができ、気流制御板２６の位置を上
下方向に調節することができる。

【００１７】図４は、吊り具２８と気流制御板２６との
連結構造を示す断面図である。同図に示すように、外筒
３０の下端には、球形のボール３６が取り付けられてい
る。このボール３６は、気流制御板２６の曲面に沿って
形成されたレール３８（図３参照）の内部に挿入され、
レール３８内を移動することができる。したがって、気
流制御板２６をその曲面に沿ってスライドさせることが
でき、気流制御板２６の位置を上下方向、及び空気調和
機１４に対して前後方向に調節することができる。

【００１８】前記ボール３６は、レール３８に係合して
おり、気流制御板２６を外筒３０に対して全ての方向に
揺動することができる。即ち、気流制御板２６と吊り具
２８との連結部は、自由継ぎ手となっており、気流制御
板２６の姿勢を自由に変えることができる。

【００１９】前記外筒３０には球面座がね４２が挿通さ
れるとともに、外筒３０の外周面に形成された雄ねじに
球面ナット４０が螺合されている。この球面ナット４０
を締め込むと、球面ナット４０が球面座がね４２をレー
ル３８に押圧し、球面座がね４２とボール３６とでレー
ル３８を挟持することができる。これにより、外筒３０
がレール３８に対して固定され、即ち、気流制御板２６
が固定される。

【００２０】上記の如く構成されたクリーンルーム設備
１０において、図１の空気調和機１４の吹出口１８から
吹き出された清浄エアは、天井面１２Ｂに沿って気流を
形成し、天井面１２Ｂに設置した気流制御板２６に衝突
する。気流制御板２６に衝突した清浄エアは、下方に向
けて方向転換され、下降流を形成する。これにより、気
流制御板２６の下方に高清浄度空間を形成することがで
きる。

【００２１】次に上記の如く構成されたクリーンルーム
設備１０の作用について説明する。

【００２２】気流制御板２６は、ナット部材３４を緩め
て吊り具２８を伸縮したり、球面ナット４０を緩めて気
流制御板２６をレール３８に沿ってスライドさせること
により、気流制御板２６の位置を調節することができ
る。例えば、図５に示すように、吊り具２８を伸縮する
と、気流制御板２６の位置を上下方向に調節することが
できる。また、図６に示すように、気流制御板２６をレ
ール３８に沿ってスライドさせると、気流制御板２６を
空気調和機１４に対して前後方向に調節することもでき
る。このように、気流制御板２６の位置を調節すると、
気流制御板２６によって方向転換される清浄エアの風量
を大きく変えることができ、その結果、方向転換される
清浄エアの方向も変えることができる。

【００２３】また、気流制御板２６は、球面ナット４０
を緩めて気流制御板２６を揺動させることにより、気流
制御板２６を任意の姿勢に設定することができ、方向転
換される清浄エアの向きと風量を変えることができる。
例えば、図７に示すように、清浄エアの吹出方向と直交
する水平軸を中心として気流制御板２６を揺動させる
と、方向転換される清浄エアの向きを、空気調和機１４
に対して前後方向に大きくずらすことができる。これに
より、清浄エアによって形成される高清浄度空間を前後
方向にずらすことができる。同時に、気流制御板２６を
揺動させたことによって気流制御板２６の高さも変わる
ので、方向転換された清浄エアの風量も増減する。な
お、図７に二点鎖線で示す気流制御板２６は、実線で示
す気流制御板２６よりも、空気調和機１４に対して後方
に気流を方向転換している。

【００２４】図８に示すように、清浄エアの吹出方向と
平行な水平軸を中心として気流制御板２６を揺動させる
と、方向転換される清浄エアの向きを、清浄エアの吹出
方向に対して左右方向に大きく変えることができる。こ
れにより、図２に示すように、清浄エアの向きを左右方
向に変えて、高清浄度空間を左右方向にずらすことがで
きる。

【００２５】同様に、図９に示すように、鉛直軸を中心
として気流制御板２６を揺動させても、清浄エアの方向
を左右方向に変えることができ、高清浄度空間を左右方
向にずらすことができる。

【００２６】このようにクリーンルーム設備１０によれ
ば、吊り具２８を伸縮させたり、気流制御板２６をレー
ル３８に沿ってスライドさせたり、気流制御板２６を揺
動させることにより、気流制御板２６の位置と姿勢を自
由に設定することができる。したがって、気流制御板２
６によって方向転換する清浄エアの方向と風量を簡単に
調整することができ、高清浄度空間の位置を簡単に調節
することができる。これにより、天井面１２Ｂに蛍光灯
やイオナイザが設置され、吊り具２８を適切な位置から
ずらして取り付けた場合であっても、気流制御板２６の
位置や姿勢を調節することにより、所望の領域に高清浄
度空間を形成することができる。即ち、従来のように、
形状の異なる気流制御板２６や吊り具２８を取り付ける
必要がないので、取り付け作業にかかる時間を短くする
ことができ、コストを削減することができる。

【００２７】また、クリーンルーム設備１０は、方向転
換される清浄エアの方向と風量を調節することにより高
清浄度空間の位置を簡単に調節することができるので、
室１２内のレイアウト変更に伴って、作業領域を変えた
場合にも迅速に対応することができる。

【００２８】なお、吊り具２８と気流制御板２６との連
結部分の構造は、上述した実施の形態に限定されるもの
ではなく、気流制御板２６を揺動自在に支持するもので
あればよい。

【００２９】また、気流制御板２６は複数の吊り具２８
によって支持してもよい。例えば、図１０に示す気流制
御板２６は、２個の吊り具２８によって支持されてい
る。この場合、吊り具２８、２８の長さをそれぞれ別々
に調節することによって、気流制御板２６の姿勢を自由
に設定することができる。

【００３０】次に第２の実施の形態のクリーンルーム設
備について説明する。

【００３１】図１１は、第２の実施の形態における気流
制御板５０の構造を示す分解図である。同図に示すよう
に、気流制御板５０は、多数の板材５２、５２…を連結
することによって構成されている。吊り具２８は、板材
５２の一つに自由継ぎ手５４を介して連結されており、
気流制御板５０を首振り自在に支持している。

【００３２】図１２は、板材５２と板材５２との連結部
分を示す斜視図である。同図に示すように、板材５２、
５２の端部にはそれぞれ、重なり部５６、５６が突出し
て形成されており、この重なり部５６、５６同士が重ね
合わされる。重なり部５６、５６のうち、内側に配置さ
れる重なり部５６には、ねじ孔５８が形成され、外側に
配置される重なり部５６には、通し孔６０が形成されて
いる。重なり部５６、５６同士は、ねじ６２を外側から
通し孔６０に挿通し、ねじ孔５８に締め込むことにより
連結される。したがって、ねじ６２を緩めると、重なり
部５６、５６同士がねじ６２を支点として揺動自在にな
る。即ち、ねじ６２を緩めることにより、板材５２、５
２の角度を変えることができ、ねじ６２を締め込むこと
によって板材５２、５２をその角度で固定することがで
きる。これにより、気流制御板５０全体の形状を変える
ことができる。

【００３３】このように第２の実施の形態におけるクリ
ーンルーム設備は、気流制御板５０が変形自在に構成さ
れているので、気流制御板５０によって方向転換される
清浄エアの方向と風量を簡単に調整することができ、高
清浄度空間の位置を簡単に調節することができる。

【００３４】なお、上述した第１、２の実施の形態にお
いて、気流制御板２６、５０は、複数であってもよい。
その場合、空気調和機１４から離れた気流制御板２６、
５０ほど、大きくなるように設定すると、全ての気流制
御板２６、５０に清浄エアが衝突しやすくなる。また、
気流制御板２６を、通気性を有する部材、例えば多孔板
によって構成してもよい。

【００３５】また、上述した実施の形態は、一方の側壁
１２Ａに空気調和機１４を設置した例であるが、これに
限定するものではなく、全ての側壁１２Ａに空気調和機
１４を配置してもよい。

【００３６】また、上述した実施の形態では、気流制御
板２６、５０を天井面１２Ｂに支持したが、これに限定
するものではなく、側壁１２Ａや装置１１に支持しても
よい。

【００３７】また、上述した実施の形態では、気流制御
板２６、５０と吊り具２８との連結を自由継ぎ手とした
が、吊り具２８と天井面１２Ｂとを自由継ぎ手としても
よい。また、吊り具２８をフレキシブルチューブのよう
な可撓管によって構成してもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明のクリーンル
ーム設備によれば、気流制御手段の位置や姿勢を調節す
ることができるので、清浄エアを任意の方向に方向転換
することができ、所望の空間を高清浄度領域にすること
ができる。また、気流制御手段の形状を変形することが
できるので、清浄エアを任意の方向に方向転換すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態のクリーンルーム設備の概略
構造を示す縦断面図

【図２】図１のクリーンルーム設備の平面断面図

【図３】図１の気流制御板の支持構造を示す斜視図

【図４】図３の気流制御板と吊り具との連結構造を示す
断面図

【図５】気流制御板の位置調節機構を説明する側面図

【図６】気流制御板の位置調節機構を説明する側面図

【図７】気流制御板の姿勢調節機構を説明する側面図

【図８】気流制御板の姿勢調節機構を説明する正面図

【図９】気流制御板の姿勢調節機構を説明する平面図

【図１０】図３と異なる支持構造を示す斜視図

【図１１】第２の実施の形態のクリーンルーム設備にお
ける気流制御板を示す斜視図

【図１２】図１１の気流制御板の板材同士の連結構造を
示す斜視図

【図１３】従来設備を説明する縦断面図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム設備、１２…室、１４…空気調和
機、２２…エアフィルタ、２６…気流制御板、２８…吊
り具、３８…レール

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】除塵手段を有するとともに、該除塵手段に
   よって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内
   の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
   と、 前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹
   き出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御
   部材と、を備えたクリーンルーム設備において、 前記気流方向制御部材を支持する支持手段に、前記気流
   方向制御部材の位置を調節する位置調節機構を設けたこ
   とを特徴とするクリーンルーム設備。
2. 【請求項２】除塵手段を有するとともに、該除塵手段に
   よって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内
   の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
   と、 前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹
   き出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御
   部材と、を備えたクリーンルーム設備において、 前記気流方向制御部材を支持する支持手段に、前記気流
   方向制御部材の姿勢を調節する姿勢調節機構を設けたこ
   とを特徴とするクリーンルーム設備。
3. 【請求項３】除塵手段を有するとともに、該除塵手段に
   よって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内
   の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機
   と、 前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹
   き出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御
   部材と、を備えたクリーンルーム設備において、 前記気流方向制御部材は、変形可能に構成されることを
   特徴とするクリーンルーム設備。