JP2001074286A - 清浄空間の形成方法及びクリーンブース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 イニシャルコストをより下げることが可能で
あるとともに、必要に応じて形成されるのにより好適な
清浄空間の形成。 【解決手段】 クリーンエア吹出部３を有するサプライ
チャンバ２とクリーンエアダクト５とからなるクリーン
エアの通気路を、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄
膜で構成し、この通気路にクリーンエアの供給源である
クリーンエア供給ユニット４を着脱可能に接続し、前記
クリーンエアの通気路にクリーンエアを供給し、内圧に
よって前記通気路が所定の形状となって一方向気流の清
浄空間１を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は清浄空間の形成方法
及びクリーンブースに関し、特に高清浄度空間を一時的
に形成するのに適した清浄空間の形成方法及びクリーン
ブースに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製品等を製造する工業用クリーン
ルームにおける製造装置内部または製造装置周辺の清浄
度は、その製造工程に必要とされる所定の清浄度に設定
されている。例えば加工中の半導体製品を出し入れする
空間等では０.１μｍ以上の粒子が１立方フィートの空
気中に１個以下（以後「クラス１」という）の高清浄度
が必要とされるが、それ以外の空間等では製品の清浄面
が直接空気に触れるわけではないのでそれほど清浄度を
高める必要がなく、０.３μｍ以上の粒子が１立方フィ
ートの空気中に１０００個以下（以後「クラス１００
０」という）程度の清浄度とされている。

【０００３】このように工業用クリーンルームにおける
清浄度は製造装置や製造工程によって適宜設定されてお
り、高清浄度（例えばクラス１）条件下での反応や加工
等の作業を行う製造装置であっても、製造装置周辺環境
と製造装置作業空間との気密性が確保されていることか
ら、それほど清浄度が高くない（例えばクラス１００
０）環境内に配置されている。このような製造装置とし
ては、各種の膜形成やエッチングのための反応炉等が挙
げられる。

【０００４】しかしながら、前述した環境に配置された
前記製造装置では、定期的なメンテナンスを行う際に不
都合が生じる。この不都合とは、例えば前記反応炉を例
に説明すると、メンテナンスを行うべく反応炉の蓋を開
けた時に、クラス１程度の高清浄度を必要とする反応炉
内部空間が、それほど清浄度の高くないクラス１０００
程度の反応炉周辺雰囲気に曝され、その結果反応炉内部
空間が汚染されてしまうことである。

【０００５】前述したような清浄度の違いに起因する製
造装置内部の汚染を防止する手段としては、高清浄度の
クリーンエアを供給可能なファンフィルタユニットを前
記工業用クリーンルームに予め設置し、前記ファンフィ
ルタユニットの運転によって必要時に高清浄度空間を形
成する手段や、工業用クリーンルーム内にクリーンブー
スを設置して必要時に高清浄度空間を形成する手段が知
られている。

【０００６】ファンフィルタユニットを利用する手段と
しては、特開平９−２５７２８９号公報に開示されるよ
うに、高清浄度空間と、この高清浄度空間に対して相対
的に低い清浄度の低清浄度空間と、高清浄度空間よりも
清浄度が低く低清浄度空間よりも清浄度の高いバッファ
空間とが形成される垂直層流方式のクリーンルーム（以
後「手段１」という）や、図７に示されるようにクリー
ンルームの天井に高清浄度クリーンエアを供給するファ
ンフィルタユニット２３のための移動用レール２７を設
け、この移動用レール２７に前記ファンフィルタユニッ
ト２３を吊り下げ、ファンフィルタユニット２３を対象
となる製造装置２５の直上へ必要時に移動し運転する手
段（以後「手段２」という）が知られている。

【０００７】またクリーンブースの設置による手段とし
ては、特開平６−２２１６３９号公報に開示されている
ように、空気流発生手段と、空気流中の微粒子を除去す
るフィルタ手段と、フィルタ手段を通過した空気（クリ
ーンエア）流が清浄空間に層流として送風されるための
層流発生手段と、清浄空間の外縁に前記層流よりも速い
指向性空気流を発生する空気流案内手段とを備えるクリ
ーンブース（以後「手段３」という）が知られている。
前述したこれらの手段（手段１〜３）は、高清浄度空間
を一時的に形成することにより、メンテナンス時などに
おける製造装置内部空間の汚染を防止しようとするもの
である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし前述した「手段
１」〜「手段３」のうち、前記ファンフィルタユニット
を利用する「手段１」及び「手段２」は、コスト面等に
おいて不都合があり改善の余地が残されている。すなわ
ち、「手段１」では、ファンフィルタユニットによって
必要に応じて所定の場所を高清浄度空間とすることがで
きるので、前記工業用クリーンルーム全体を高清浄度空
間とする場合に比べてランニングコストを下げることは
できるが、前記ファンフィルタユニットを予め所定位置
に設置しなくてはならないことからイニシャルコストを
下げることができない。

【０００９】「手段２」では、ファンフィルタユニット
の台数を低減できることから、「手段１」に比べてさら
にイニシャルコストを下げることができるが、移動用レ
ールとファンフィルタユニットの移動用スペースとを確
保する必要がある。前記製造装置の上方の空間には製造
装置のユーティリティー用ダクトや配管類が一般に設置
されていることから、ファンフィルタユニットの移動用
スペースの確保は困難な場合が多い。

【００１０】「手段３」では、必要に応じてクリーンル
ーム内にクリーンブースを搬入し高清浄度空間を形成す
ることができ、「手段１」及び「手段２」に比べてイニ
シャルコストを下げることができる。しかし、「手段
３」では清浄空間の外縁を決定する空気流案内手段を備
えることから、吹出部を含むクリーンエアの通気路が固
定形態となり形状の自由度がない。従って、クリーンエ
ア流は予め固定して設けられた空気流案内手段によりそ
の形状が決まり、前記製造工程の都合により随時清浄空
間を形成し撤去するというフレキシビリティに対する要
求には対応できない。すなわち、所期の位置、形状、大
きさの高清浄度空間を形成できない場合がある。また、
固定形状であることは不要時における収納スペースを低
減することができない。このように前記クリーンブース
には、必要に応じて使用されるクリーンブースとして改
善の余地が残されている。

【００１１】本発明は前記事項に鑑みなされたもので、
イニシャルコストをより下げることが可能であるととも
に、必要に応じて形成されるのにより好適な清浄空間の
形成を課題とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は清浄空間の形成
方法及びクリーンブースであり、前記課題を解決するた
めの手段として以下に示す構成とされている。すなわち
本発明における清浄空間の形成方法は、クリーンエアの
通気路から吹き出されるクリーンエアによって一方向気
流の清浄空間を形成するにあたり、所定の通気抵抗を有
する変形自在な薄膜によってクリーンエアの通気路を構
成し、この通気路にクリーンエアの供給源を接続してク
リーンエアを供給し、クリーンエアの供給により生じる
内圧によって前記通気路を所定の形状に形成し、このク
リーンエアの通気路の一面に設けた複数の細孔からクリ
ーンエアを吹き出すことを特徴とする。

【００１３】前記清浄空間の形成方法によれば、クリー
ンエアが供給された通気路は、変形可能な壁面により仕
切られることから、清浄空間周辺に配管等の障害物が配
設されていてもそれらを避ける形状になる。従って前記
清浄空間の形成方法は、局所または狭所等、清浄空間を
形成するのが困難な場合においても容易に清浄空間を形
成する。前記通気路は、クリーンエア供給後に所望の位
置に配置しても良く、またクリーンエア供給前に所望の
位置に配置しても良い。

【００１４】また本発明におけるクリーンブースは、ク
リーンエアを一方向気流として清浄空間へ供給するサプ
ライチャンバと、前記サプライチャンバに接続されクリ
ーンエアを供給するクリーンエア供給手段とを備えるク
リーンブースにおいて、前記サプライチャンバは、前記
清浄空間へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエ
ア吹出部を有するとともに、所定の通気抵抗を有する変
形自在な薄膜によって形成されることを特徴とする。

【００１５】前記クリーンブースによれば清浄空間を形
成するにあたり、折り畳まれた前記サプライチャンバを
所望の位置まで運び、前記クリーンエア供給手段と接続
し、クリーンエアの供給を開始することによって一方向
クリーンエア流の清浄空間が形成される。従ってダクト
や配管等が予め配設されている場所においても清浄空間
が容易に形成されるとともに、清浄空間の形成にあたっ
て清浄空間周辺の機器類を破損することがない。また不
要時においてサプライチャンバは折り畳んで保管される
ので、不要時における前記クリーンブースの収納スペー
スが小さくなる。

【００１６】また本発明におけるクリーンブースにおい
て、前記クリーンエア吹出部は通気性を有するとともに
均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成さ
れることを特徴とする。このクリーンエア吹出部によれ
ば、クリーンエアが清浄空間へ均質に供給されることか
ら層流式の清浄空間を形成するのに好ましい。

【００１７】また本発明におけるクリーンブースは、所
定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成され
るクリーンエアダクトで前記サプライチャンバと前記ク
リーンエア供給手段とが接続され、前記サプライチャン
バは前記清浄空間の上方に支持されることを特徴とす
る。この構成によれば垂直層流式の清浄空間が形成され
ることから、より清浄度の高い清浄空間を形成するのに
好ましい。

【００１８】また本発明におけるクリーンブースにおい
て、前記クリーンエア供給手段は、送風機と、前記送風
機から送られる空気中の汚染物質を除去する空気浄化手
段とを備えるクリーンエア供給ユニットであることを特
徴とする。この構成によればクリーンエアの供給源がよ
りコンパクトに構成され、所望の位置に清浄空間を形成
するのに好ましい。以下、本発明におけるクリーンブー
スの各構成について詳しく説明する。

【００１９】前記サプライチャンバは、前記クリーンエ
ア吹出部を有するクリーンエアの通気路である。サプラ
イチャンバにおける所定の通気抵抗とは、クリーンエア
が供給されたときにサプライチャンバ内部が外部に対し
て正圧となり所定の形状を形成する程度の通気抵抗であ
る。従ってサプライチャンバは前記通気抵抗を有してお
り、かつ変形自在であれば良いので、気密性が完全でな
くても良く、また通気性を有していなくても良い。サプ
ライチャンバを形成する前記薄膜はさらに軽量かつ丈夫
であると好ましく、前記薄膜としては例えば合成樹脂シ
ートや布等を例示することができる。

【００２０】またサプライチャンバは形成しようとする
清浄空間に合わせた形状であれば良く、クリーンエアが
供給されたときに所定の形状となるよう適切に補強され
ていると良い。この補強手段としては通気路を細分化す
る手段等が考えられ、例えば少なくとも一方の端部が閉
塞され、接続面が開口された前記薄膜の円筒状ユニット
の集合によってサプライチャンバを構成する手段や、開
口した接続面を有するボックス状、筒状等に形成された
サプライチャンバの対向面を適所で縫い合わせる手段等
を例示することができる。

【００２１】前記クリーンエア吹出部は、変形自在であ
り、前記サプライチャンバの内圧を維持しつつクリーン
エアを一方向に、そして均質に吹き出すものであれば良
く、例えばサプライチャンバに設けられた細孔やパンチ
ング孔、前述したように通気性を有するとともに所定の
通気抵抗を有する変形自在な薄膜等を例示することがで
きる。クリーンエア吹出部における所定の通気抵抗と
は、クリーンエアが供給されている前記サプライチャン
バの形状を保ちつつも、清浄空間へクリーンエアを吹き
出す程度の通気抵抗である。クリーンエア吹出部におけ
る前記薄膜としては、合成樹脂シートや布等を例示する
ことができる。

【００２２】前記クリーンエア供給手段は、クリーンエ
アを前記サプライチャンバまたは前記クリーンエアダク
トに供給できる手段であれば良く、クリーンエア供給手
段としては、例えば高清浄度のクリーンエアを生成する
クリーンルーム用のクリーンエア生成装置（例えばファ
ンフィルタユニットや低露点空気生成装置）や、前述し
たクリーンエア供給ユニット等を例示することができ
る。なお本発明におけるクリーンエアとは、粒子状汚染
物質である塵埃が除去された空気、無機ガス（酸性ガス
やアルカリ性ガス等）や有機ガスなどのガス状汚染物質
が除去された空気、あるいは、空気中の水分や水溶性ガ
スまたは極性の高い有機ガス等が吸着材によって除去さ
れた低露点空気、の少なくとも一つを含む概念である。

【００２３】前記クリーンエア供給ユニットにおける送
風機は、送風量を制御するインバータ機能を有するもの
であると、前記サプライチャンバまたは前記クリーンエ
アダクトへのクリーンエアの供給量を可変に制御するこ
とができるとともに、空気浄化手段の浄化能力の変動に
応じてクリーンエアの供給量を制御することができるの
で好ましい。

【００２４】前記クリーンエア供給ユニットにおける空
気浄化手段は、汚染物質（粒子状汚染物質またはガス状
汚染物質）を除去するものであれば良く、酸性ガス等の
水溶性ガスについてはエアワッシャ装置等を例示するこ
とができるが、前記汚染物質を捕集、あるいは吸着する
フィルタであると、クリーンエア供給ユニットをよりコ
ンパクトに構成することができ好ましい。前記フィルタ
としては空気中の塵埃を捕集するＨＥＰＡフィルタ（Hi
gh Effiency Particulate Air-filter）やＵＬＰＡフィ
ルタ（Ultra Low Penetration Air-filter）、あるいは
ガス状汚染物質を吸着するケミカルフィルタ等を例示す
ることができる。

【００２５】前記クリーンエアダクトは、前記サプライ
チャンバを所定の位置や向きに配置したい場合に、前記
クリーンエア供給手段とサプライチャンバとをつなぐク
リーンエア通気路を形成する。クリーンエアダクトにお
ける所定の通気抵抗とは前述したサプライチャンバと同
様、クリーンエアが供給されたときにサプライチャンバ
及びクリーンエアダクトによるクリーンエアの通気路内
部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する程度
の通気抵抗である。従ってクリーンエアダクトもサプラ
イチャンバ同様、前記通気抵抗を有するとともに変形自
在であれば、気密性が完全でなくとも良く、また通気性
を有していなくとも良い。クリーンエアダクトにおける
薄膜としてもサプライチャンバと同様、前記通気抵抗を
有するとともに変形自在で、軽量かつ丈夫な合成樹脂シ
ートや布等を例示することができる。

【００２６】またクリーンエアダクトは、例えば互いに
係合するファスナのような係合部材の一方がダクトの長
手方向における端部に周設され、他方がダクトの長手方
向における中央部に周設され、これらを係合させること
によってクリーンエア供給時におけるクリーンエアダク
トの長さを規制可能に構成しても良い。

【００２７】サプライチャンバまたはクリーンエアダク
トと前記クリーンエア供給手段との接続については着脱
に便利な接続であることが好ましく、例えばサプライチ
ャンバまたはクリーンエアダクトの上流側開口端と、ク
リーンエア供給手段の供給口（クリーンエア供給口）と
に設けられ互いに接続可能な接続部等を例示することが
できる。

【００２８】この接続部は接続箇所における気密性が確
保される接続部であることが好ましいが、クリーンエア
通気路内が外部に対して正圧となるのであれば、特に接
続箇所において気密性が確保されなくとも良い。この接
続部としては、互いに当接する一対のフランジとこれら
のフランジを挟持するクリップや、はめ込み式またはね
じ込み式の一対の管継手、あるいは通気路に周設される
ファスナなどの係合部材の係合による接続等を例示する
ことができる。

【００２９】またクリーンエア供給手段にクリーンエア
供給ユニットを使用する場合には、クリーンエア供給ユ
ニットの空気吸込み口にも同様の接続部を設けると、ク
リーンブースの撤収時にサプライチャンバまたはクリー
ンエアダクトの接続部とクリーンエア供給ユニット吸込
み側の接続部とを接続することができ、サプライチャン
バ内に残留するクリーンエアを速やかに抜くことができ
好ましい。

【００３０】サプライチャンバとクリーンエアダクトと
の接続については、ファスナ等の軽量な接続部による接
続が好ましいが、前述したクリーンエア供給手段の接続
部に接続可能な構成とすると、本発明におけるクリーン
ブースにおいて、クリーンエアの通気路の使用形態が多
様化するのでさらに好ましい。

【００３１】前記サプライチャンバはその内圧によって
自立するものであっても良く、あるいは支持部材によっ
て清浄空間の上方に支持されても良い。前記支持部材と
しては、サプライチャンバを上方から吊るためのフック
や、サプライチャンバを下方から支える伸縮自在な支持
ポール等を例示することができる。またサプライチャン
バと合体するエアマット、あるいはサプライチャンバ内
にクリーンエアの供給路とは独立している閉鎖空間、を
形成し、前記エアマットや閉鎖空間に圧縮空気等を給気
し、前記エアマットや閉鎖空間を支持することによって
サプライチャンバの形状を支持する構成とすると、サプ
ライチャンバへクリーンエアを連続供給しなくてもクリ
ーンブースの構造（清浄空間の形状）が保たれる。

【００３２】本発明のクリーンブースは一方向気流（層
流式）の清浄空間を形成することから、清浄空間へのク
リーンエアの供給量を適切に制御すれば周辺環境と清浄
空間とを特に区切る必要はないが、周辺環境の気流形状
等の状況によっては清浄空間を区画するためのカーテン
等を前記サプライチャンバの周囲に設けても良い。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の清浄空間の形成方
法及びクリーンブースの実施形態について、添付した図
面に基づき説明する。まず本発明におけるクリーンブー
スの構成について、図１及び図２に基づき説明する。

【００３４】本発明におけるクリーンブースは図１に示
されるように、清浄空間１へクリーンエアを一方向に吹
き出すクリーンエア吹出部３を有するとともに清浄空間
１の上方に支持されるサプライチャンバ２と、クリーン
エアを供給するクリーンエア供給ユニット４と、サプラ
イチャンバ２及びクリーンエア供給ユニット４を接続す
るクリーンエアダクト５とを備えている。サプライチャ
ンバ２は伸縮自在な支持用ポール６によって補助的に支
持されている。

【００３５】サプライチャンバ２は、合成樹脂シートや
布等、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さない程大き
な通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって構成されて
いる。サプライチャンバ２は所定の形状、例えば筒状あ
るいはボックス状等、に形成され、その形状を維持する
ように適所で縫い合わされ補強されている。またサプラ
イチャンバ２には、支持用ポール６の先端を内嵌する受
けカップ２ａが適所に配置されている。

【００３６】サプライチャンバ２の一面（下面）には多
数の細孔が設けられてクリーンエア吹出部３が形成され
ている。なお、クリーンエア吹出部３は、所定かつ均質
な通気抵抗を有する変形自在な薄膜、例えばポリプロピ
レンシート（三菱レイヨン・エンジニアリング株式会社
製 エアソック（商標名））によってサプライチャンバ
２の一部を形成する構成であっても良い。

【００３７】クリーンエア供給ユニット４は、ケーシン
グ内に収納されている送風機４ａと、送風機４ａの上流
側に形成されている空気吸込み口４ｂと、送風機４ａの
下流側に配置され空気中の粒子状汚染物質を捕集する空
気浄化手段であるＵＬＰＡフィルタ４ｃと、ＵＬＰＡフ
ィルタ４ｃを通過してなるクリーンエアが通るクリーン
エア供給口４ｄと、送風機４ａの運転を制御するインバ
ータ４ｅとを備えている。前記ケーシングにはクリーン
エア供給ユニット４の移動を円滑にするキャスタが設け
られている。

【００３８】クリーンエア供給口４ｄには図２に示され
るように、クリーンエア供給口４ｄの開口端を一周する
パッキン４ｆと、クリーンエア供給口４ｄの開口部外周
面に配置され先端で軸支されているコの字型アームがク
リーンエア供給方向に沿って進出、退行するバックル４
ｇとが設けられている。なお空気吸込み口４ｂとクリー
ンエア供給口４ｄとは同型に設けられ、空気吸込み口４
ｂの開口部外周面にもバックル４ｇが設けられている。

【００３９】クリーンエアダクト５は、サプライチャン
バ２と同様に、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さな
い程の通気抵抗を有する変形自在な薄膜で構成されてい
る。クリーンエアダクト５はサプライチャンバ２の形状
に合わせてサプライチャンバ２にクリーンエアを供給す
るのに好適な所定の形状、例えばボックス状あるいは筒
状等、に形成されている。

【００４０】クリーンエアダクト５には図２に示される
ように、クリーンエア供給ユニット４のクリーンエア供
給口４ｄ開口部に当接するフランジ５ａが設けられ、こ
のフランジ５ａの開口部外周面には前記コの字型アーム
を係止するフック５ｂが設けられている。また本実施形
態では、クリーンエアダクト５とサプライチャンバ２は
一体的に縫い合わせてあるものとして説明するが、例え
ばファスナ等の係合部材や前記フランジ５ａ等によって
着脱自在に接続されていても良い。

【００４１】次に本実施形態におけるクリーンブースに
よる清浄空間の形成方法を、工業用クリーンルーム内に
おける前記クリーンブースの設置手順を例に、添付した
図面に基づき説明する。まず前記工業用クリーンルーム
について説明する。

【００４２】工業用クリーンルームは図３に示されるよ
うに、天井プレナムチャンバ２０と、作業空間２１と、
床下プレナムチャンバ２２と、作業空間２１の天面を形
成するファンフィルタユニット２３及び天井パネル２６
と、通気孔を有し作業空間２１の床面を形成するグレイ
チング床２４とから構成され、循環型の乱流式クリーン
ルームとされている。作業空間２１には半導体製品を製
造する製造装置２５が設置されている。なお作業空間２
１の清浄度はクラス１０００であり、製造装置２５は前
記反応炉のように、内部空間にクラス１の清浄度が必要
な製造装置である。この製造装置２５の周囲に清浄空間
１を形成する方法について、図３から図５に基づき以下
に説明する。

【００４３】まずクリーンエア供給ユニット４と、サプ
ライチャンバ２及びクリーンエアダクト５とを作業空間
２１に搬入する。サプライチャンバ２及びクリーンエア
ダクト５は変形自在な薄膜で構成されているため、折り
畳まれた状態で作業空間２１に搬入される。クリーンエ
ア供給ユニット４を所定の位置に配置したら、バックル
４ｇのコの字型アームをフック５ｂに係止し、バックル
４ｇをアームとは反対側へ倒すことにより、クリーンエ
ア供給ユニット４とクリーンエアダクト５を接続する
（図３）。

【００４４】クリーンエア供給ユニット４とクリーンエ
アダクト５とが接続されたらクリーンエアの供給を開始
する。送風機４ａの運転によって作業空間２１内の空気
が取り入れられ、取り入れられた空気はＵＬＰＡフィル
タ４ｃを通過し、クラス１０００の雰囲気では許容範囲
内とされている塵埃等が取り除かれ、クラス１の清浄度
となったクリーンエアがクリーンエアダクト５へ供給さ
れる。クリーンエアダクト５は通気抵抗の大きい薄膜で
構成されていることから、クリーンエアの供給により、
クリーンエアダクト５の内圧が作業空間２１に対して正
圧となる。従ってクリーンエアダクト５は内圧によって
所定の形状を形成する（図４）。

【００４５】クリーンエアはクリーンエアダクト５から
サプライチャンバ２へ供給され、サプライチャンバ２の
内圧は作業空間２１に対して正圧となる。するとサプラ
イチャンバ２は所定の形状に形成されるとともに、クリ
ーンエア吹出部３からはクリーンエアが吹き出される。
この状態で支持用ポール６によってサプライチャンバ２
を適所で支えると、サプライチャンバ２の下方の空間に
クリーンエアが一方向気流として供給される。サプライ
チャンバ２下方の空間が作業空間２１のエアからクリー
ンエアに十分置換されて清浄空間１となったら、製造装
置２５の蓋を開け、内部のメンテナンスを開始する（図
５）。

【００４６】クリーンエアダクト５及びサプライチャン
バ２は、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さない通気
抵抗を有する薄膜で構成されていることから、製造装置
２５の周囲にユーティリティー用の設備（ダクトや配管
等）が設置されていても、その設備を避けつつクリーン
エアの通気路を形成する。従ってユーティリティー用ダ
クトや配管等と干渉して損傷を与えまたは受けることも
なく周囲の空間形状に合わせてクリーンエアの通気路が
形成される。

【００４７】またクリーンエア供給ユニット４はインバ
ータ４ｅを備えるが、クリーンエアダクト５へのクリー
ンエア供給開始にあたっては、送風機４ａに余裕をもっ
て運転してもクリーンエアダクト５及びサプライチャン
バ２からなるクリーンエア通気路の形成が確実に行われ
るような構成とする。ＵＬＰＡフィルタ４ｃが目詰まり
を起こした場合には、使用範囲内において送風機４ａの
回転数を上げるよう適宜制御することにより、クリーン
エアダクト５内及びサプライチャンバ２内は正圧に保た
れ、クリーンエアの供給量が一定に保たれる。

【００４８】またサプライチャンバ２は軽量の薄膜で構
成されていることから、支持用ポール６のような簡単な
支持手段によって容易に支持される。従って、支持用ポ
ール６によらず、天井等、上方からフック等によって吊
すことも可能である。

【００４９】製造装置２５のメンテナンスが終了した
ら、クリーンエア供給ユニット４のクリーンエア供給口
４ｄとクリーンエアダクト５との接続を解除し、クリー
ンエア供給ユニット４の空気吸込み口４ｂ側のバックル
４ｇによって、空気吸込み口４ｂとクリーンエアダクト
５とを接続してクリーンエア供給ユニット４を運転する
と、クリーンエアダクト５内に残留するクリーンエアが
空気吸込み口４ｂから吸い込まれ、クリーンエアダクト
５及びサプライチャンバ２内のクリーンエアが速やかに
吸引される。このようにバックル４ｇ及びフック５ｂに
よってクリーンエアダクト５及びクリーンエア供給ユニ
ット４を接続する構成としたことから、クリーンブース
の設置作業及び撤収作業が効率良く行われる。

【００５０】またサプライチャンバ２やクリーンエアダ
クト５は薄膜で構成されていることから、塵埃等によっ
て汚染された場合にはサプライチャンバ２及びクリーン
エアダクト５をクリーンエア供給ユニット４から取り外
して洗浄することができる。また、サプライチャンバ２
やクリーンエアダクト５はクリーンエア供給ユニット４
に対して着脱自在であり、前述した薄膜で構成されてい
ることから、サプライチャンバ２やクリーンエアダクト
５のみの交換が可能であり、また新たな作成も安価でか
つ容易である。従って、種々の形状や通気抵抗等の条件
に設定されたサプライチャンバ２やクリーンエアダクト
５を使用することによって、クリーンブースの様々な設
置条件に対して容易に対応することができる。

【００５１】また本発明におけるクリーンブースは前述
した実施形態に限定されるものではなく、例えば図６に
示されるように、サプライチャンバ２にフランジ５ａ及
びフック５ｂを設けるとともに内圧によって自立する形
状に構成すると、水平層流式の清浄空間１が形成され
る。このように形状等の工夫を適当に行うことで様々な
形態が実施される。従って、前記クリーンブースの用途
としても、工業用クリーンルーム内での製造装置２５の
メンテナンスに限定されず、治療用クリーンブースや、
開発、研究等に用いられる試験用クリーンブースとして
の応用が可能である。

【００５２】またサプライチャンバ２やクリーンエアダ
クト５が薄膜で構成されていることから、容易にかつ安
価にクリーンエアの通気路を作成することができるた
め、従来の局所清浄手段（前述した「手段１」〜「手段
３」）に比べてイニシャルコストが低くなる。そして、
前記「手段３」に比べて不要時における収納スペースが
大幅に低減されることから、仮設用のクリーンブースと
してより好適である。ただし、その使用形態も仮設に限
定されるものではなく、恒久的な清浄空間用設備として
の使用も可能である。

【００５３】

【発明の効果】本発明における清浄空間の形成方法は、
所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によってクリー
ンエアの通気路を構成するとともにこの通気路をクリー
ンエアの供給源に接続し、前記通気路に前記クリーンエ
アを供給し、クリーンエアの供給により生じる内圧によ
って前記通気路を所定の形状に形成し、このクリーンエ
アの通気路の一面に設けた複数の細孔からクリーンエア
を吹き出すことから、清浄空間を必要に応じて所望の位
置へ容易に形成することができる。

【００５４】また本発明におけるクリーンブースは、ク
リーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出口を有
しクリーンエア供給手段に接続されるサプライチャンバ
が所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成
される構成としたことから、移動及びセッティングが容
易であるとともに不要時の収納スペースをコンパクトに
することができる。またサプライチャンバが前記薄膜に
よって形成されることから、様々な形状のサプライチャ
ンバを容易に、かつ安価に製造することができるので、
従来技術に比べてイニシャルコストをより下げることが
できる。

【００５５】また本発明におけるクリーンブースは、前
記クリーンエア吹出部が通気性を有するとともに均質な
通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成される
と、より均質な層流式の清浄空間を形成することができ
る。また、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によ
って形成されるクリーンエアダクトでサプライチャンバ
と前記クリーンエア供給手段とが接続され、前記サプラ
イチャンバは前記清浄空間の上方に支持されると垂直層
流式の清浄空間が形成される。これらの層流式の清浄空
間の形成によって、より清浄度の高い清浄空間を形成す
ることができる。

【００５６】また本発明におけるクリーンブースは、前
記クリーンエア供給手段が、送風機とこの送風機から送
られる空気中の汚染物質を除去する空気浄化手段とを備
えるクリーンエア供給ユニットであると、コンパクトな
構成でクリーンエアを生成、供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明におけるクリーンブースの一実施形態の
概略構成を示す図である。

【図２】図１に示したクリーンブースのクリーンエア供
給ユニット４及びクリーンエアダクト５の接続部分を拡
大して示す要部拡大断面図である。

【図３】図１に示したクリーンブースの設置手順のう
ち、クリーンエア供給前のセッティング状態を示す正面
図である。

【図４】図１に示したクリーンブースの設置手順のう
ち、クリーンエアの供給開始時を示す正面図である。

【図５】図１に示したクリーンブースの設置手順のう
ち、清浄空間１が形成された状態を示す正面図である。

【図６】本発明におけるクリーンブースの異なる実施形
態の概略構成を示す図である。

【図７】従来技術における局所清浄空間の形成手段の一
例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 清浄空間 ２ サプライチャンバ ２ａ 受けカップ ３ クリーンエア吹出部 ４ クリーンエア供給ユニット ４ａ 送風機 ４ｂ 空気吸込み口 ４ｃ ＵＬＰＡフィルタ（空気浄化手段） ４ｄ クリーンエア供給口 ４ｅ インバータ ４ｆ パッキン ４ｇ バックル ５ クリーンエアダクト ５ａ フランジ ５ｂ フック ６ 支持用ポール ２０ 天井プレナムチャンバ ２１ 作業空間 ２２ 床下プレナムチャンバ ２３ ファンフィルタユニット ２４ グレイチング床 ２５ 製造装置 ２６ 天井パネル ２７ 移動用レール

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンエアの通気路から吹き出される
   クリーンエアによって一方向気流の清浄空間を形成する
   にあたり、 所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によってクリー
   ンエアの通気路を構成し、この通気路にクリーンエアの
   供給源を接続してクリーンエアを供給し、クリーンエア
   の供給により生じる内圧によって前記通気路を所定の形
   状に形成し、前記クリーンエアの通気路の一面に設けた
   複数の細孔からクリーンエアを吹き出すことを特徴とす
   る清浄空間の形成方法。
2. 【請求項２】 クリーンエアを一方向気流として清浄空
   間へ供給するサプライチャンバと、このサプライチャン
   バに接続されクリーンエアを供給するクリーンエア供給
   手段とを備えるクリーンブースにおいて、 前記サプライチャンバは、前記清浄空間へクリーンエア
   を一方向に吹き出すクリーンエア吹出部を有するととも
   に、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形
   成されることを特徴とするクリーンブース。
3. 【請求項３】 前記クリーンエア吹出部は、通気性を有
   するとともに均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜に
   よって形成されることを特徴とする請求項２記載のクリ
   ーンブース。
4. 【請求項４】 所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜
   によって形成されるクリーンエアダクトで前記サプライ
   チャンバと前記クリーンエア供給手段とが接続され、前
   記サプライチャンバは前記清浄空間の上方に支持される
   ことを特徴とする請求項２記載のクリーンブース。
5. 【請求項５】 前記クリーンエア供給手段は、送風機
   と、この送風機から送られる空気中の汚染物質を除去す
   る空気浄化手段とを備えることを特徴とする請求項２記
   載のクリーンブース。