JP2006284149A - サプライチャンバおよびクリーンブース - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャンバの吹き出し面11に通気性を有する布を使用し,吹き出し面11と対向する非通気面12と,吹き出し面11とをチャンバ内で紐21で結ぶ。紐21の長さLは,チャンバ内にクリーンエアを供給した際に,紐21で結ぶ設定位置Pを除いて,その内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。これによって,吹き出し面11の周辺部下方には,斜め外側に向かう気流が形成され,周囲の塵埃を巻き込むことが抑えられる。
【選択図】 図4
Description
(1)吹き出し面の周囲に,たれ壁111を設け,その端部をできるだけ床面112近くまで下げて,このような周囲空気102の汚染雰囲気入り込みを小さくし,塵埃拡散領域104の縮小を図る(図14(a),(b))。
(2)吹き出し面の下面に,斜め下方にも吹き出し部分を備えたパンチング板113を設けたり(図15(a)),ULPAフィルタのろ材114自体を外側に凸の形状に成型し,これによって斜め方向の気流を形成して,汚染域の入り込みを抑制する(図15(b))。
この点に関し本出願人は,半開放型のクリーンブースとして,クリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出口を有し,クリーンエア供給手段に接続されるサプライチャンバが所定の通気抵抗を有する変形自在なシート状の材料によって形成されるタイプのものを出願した(特許文献1)。これは移動,セッティングの容易さ,不要時の収納スペースのコンパクト化等にとって有利であり,作業性や保守性を大幅に向上させたものであった。
このようなクリーンブースでは,クリーンエアの供給停止時にはサプライチャンバ,ダクトともコンパクトに折りたたむことができ,クリーンブース全体しても小型,軽量化できる。
さらにまた本実施の形態においては,吹き出し面11と非通気面12とが紐21を介して複数の設定位置Pにてほぼ均等に等間隔で結ばれ,紐21の長さLが同一であるから,クリーンエアがサプライチャンバ3内に供給されると,サプライチャンバ3全体の厚みがほぼ均一なものとなる。
2 清浄空気供給装置
3,52 サプライチャンバ
4 ダクト
5 キャスタ
11 吹き出し面
12 非通気面
21 紐
41 隔壁部材
42,43 端部
A 清浄領域
L 長さ
P,Q 設定位置
Claims (16)
- クリーンエアを一定の空間に供給する際に用いるサプライチャンバであって,
チャンバ本体は,吹き出し面と,当該吹き出し面と対向する非通気面と,前記吹き出し面と非通気面とに直交し,これらの間の側面を構成する周面とを有し,
前記吹き出し面は通気性を有する布,不織布又はシートで形成され,
前記非通気面の一部と吹き出し面の一部との間が,チャンバ内で連結部材を介して結ばれ,
チャンバ本体内にクリーンエアを供給した際に,少なくとも前記吹き出し面における周辺部が,前記連結部材の設定位置を除いて,クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように,前記連結部材の長さが設定されていることを特徴とする,サプライチャンバ。 - 前記連結部材は線材であって,非通気面と吹き出し面とが,吹き出し方向から見てこの線材によって点状に結ばれていることを特徴とする,請求項1に記載のサプライチャンバ。
- 前記線材は紐または糸であることを特徴とする,請求項2に記載のサプライチャンバ。
- 前記連結部材は隔壁構成部材であって,非通気面と吹き出し面とが,吹き出し方向から見てこの隔壁構成部材を介して線状に結ばれ,かつ前記隔壁構成部材の一部は開放していることを特徴とする,請求項1に記載のサプライチャンバ。
- 前記一部は,吹き出し面における端部であることを特徴とする,請求項4に記載のサプライチャンバ。
- 前記隔壁構成部材は可撓性を有する帯状の材料によって構成されていることを特徴とする,請求項4又は5に記載のサプライチャンバ。
- チャンバの非通気面は,変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されていることを特徴とする,請求項1〜6のいずれかに記載のサプライチャンバ。
- 前記周面は,非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成されていることを特徴とする,請求項7に記載のサプライチャンバ。
- 少なくとも前記周面の一部は,通気性を有する布,不織布又はシートで形成されたことを特徴とする,請求項1〜8のいずれかに記載のサプライチャンバ。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のサプライチャンバと,
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と,
前記清浄空気供給装置に設けられ,この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し,
前記サプライチャンバは,前記ダクト又は支持部材によって前記清浄空気供給装置と一体化されて,かつ吹き出し面が下面に向くように水平に支持されていることを特徴とする,クリーンブース。 - 請求項1〜9のいずれかに記載のサプライチャンバと,
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し,
前記サプライチャンバの吹き出し面が水平方向に向くように,当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置に設けられていることを特徴とする,クリーンブース。 - 請求項1,8又は9に記載のサプライチャンバと,
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と,
前記清浄空気供給装置に設けられ,この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し,
前記ダクトは非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成され,前記サプライチャンバと一体化され,
前記ダクトは,前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられ,
前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって,
前記ダクトが起立し,かつ前記サプライチャンバは,その吹き出し面が下面に向くように前記ダクトによって水平に支持されるように構成されたことを特徴とする,クリーンブース。 - 前記ダクトは略角筒形状を有し,さらに少なくとも対向する1組の面同士は,ダクト内において膨らみ抑制のための連結部材を介して結ばれていることを特徴とする,請求項12に記載のクリーンブース。
- 前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され,前記サプライチャンバおよびダクトは,前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ,形状を有していることを特徴とする,請求項12又は13に記載のクリーンブース。
- 請求項1,8又は9に記載のサプライチャンバと,
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し,
前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって,
前記サプライチャンバが起立し,その吹き出し面が水平方向に向くように,当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられていることを特徴とする,クリーンブース。 - 前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され,前記サプライチャンバは,前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ,形状を有していることを特徴とする,請求項15に記載のクリーンブース。
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