JP2006284149A - サプライチャンバおよびクリーンブース - Google Patents

Abstract

【課題】 クリーンブースにおいて，たれ壁等を使用することなく，斜め方向の気流を形成して，周囲の汚染空気の巻き込みを少なくする。
【解決手段】 チャンバの吹き出し面１１に通気性を有する布を使用し，吹き出し面１１と対向する非通気面１２と，吹き出し面１１とをチャンバ内で紐２１で結ぶ。紐２１の長さＬは，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，紐２１で結ぶ設定位置Ｐを除いて，その内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。これによって，吹き出し面１１の周辺部下方には，斜め外側に向かう気流が形成され，周囲の塵埃を巻き込むことが抑えられる。
【選択図】 図４

Description

本発明は，清浄空気を供給するためのサプライチャンバに係り，所定の通気抵抗を有する変形自在な通気性を有する布等をチャンバの吹き出し面に採用したサプライチャンバ，および当該サプライチャンバを用いたクリーンブースに関するものである。

従来から，例えば工業用クリーンルーム内において限られた空間内の清浄度をより高くするため，クリーンルーム内にクリーンブースを設置して必要時に高清浄度空間を形成する手段が知られている。

しかしながら従来の一般的なクリーンブースは，図１３に示したように，清浄空気１０１の一方向流（例えばダウンフロー）と，ほぼ静止している汚染物質を多く含む周囲空気１０２の界面においては，一方向流が周囲環境の空気と塵埃を誘引するために，周囲空気１０２の汚染雰囲気が清浄領域１０３に入り込み，本来の清浄領域１０３の周辺部に塵埃拡散領域１０４が形成されてしまう現象が生じることがあった。この現象による清浄領域１０３の縮小を防止するために，従来は，以下に示す対策がなされてきた。
（１）吹き出し面の周囲に，たれ壁１１１を設け，その端部をできるだけ床面１１２近くまで下げて，このような周囲空気１０２の汚染雰囲気入り込みを小さくし，塵埃拡散領域１０４の縮小を図る（図１４（ａ），（ｂ））。
（２）吹き出し面の下面に，斜め下方にも吹き出し部分を備えたパンチング板１１３を設けたり（図１５（ａ）），ＵＬＰＡフィルタのろ材１１４自体を外側に凸の形状に成型し，これによって斜め方向の気流を形成して，汚染域の入り込みを抑制する（図１５（ｂ））。
この点に関し本出願人は，半開放型のクリーンブースとして，クリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出口を有し，クリーンエア供給手段に接続されるサプライチャンバが所定の通気抵抗を有する変形自在なシート状の材料によって形成されるタイプのものを出願した（特許文献１）。これは移動，セッティングの容易さ，不要時の収納スペースのコンパクト化等にとって有利であり，作業性や保守性を大幅に向上させたものであった。

特開２００１−７４２８６号公報

しかしながら，図１４に示した例は，汚染領域が清浄領域に入り込むことを抑える点では確実であるが，このたれ壁１１１によって吹き出し面下での作業スペースが規制され，作業性等が低下する。しかもたれ壁１１１が必要となることからその分コストが上昇する。図１５（ａ），図１５（ｂ）に示した例も，パンチング板１１３や湾曲形状のＵＬＰＡフィルタ１１４を別途用意する必要があり，また製作コストの上昇を招く。またこれらの部材を別途吹き出し面に取り付けるのは，クリーンブースの軽量コンパクト化，不要時の収納容易性を阻害する。また特許文献１に記載のものも，かかる点に関しては改善の余地があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり，前記したような「たれ壁」や，パンチング板，ＵＬＰＡフィルタの形状を利用することなく，一方向流の外側に斜め方向の気流を形成して，周囲の汚染空気の巻き込みを少なくして，従来に比べて少ない送風量，小型のチャンバで高清浄な領域を広く確保することを目的とする。

前記目的を達成するため，本発明のサプライチャンバにおいては，チャンバ本体は，吹き出し面と，当該吹き出し面と対向する非通気面と，前記吹き出し面と非通気面との間の側面を構成する非通気性の周面とを有している。そして前記吹き出し面は通気性を有する布，不織布又はシートとで形成され，前記非通気面と，吹き出し面との間の一部とが連結部材によってチャンバ内で結ばれ，チャンバ本体内にクリーンエアを供給した際に，少なくとも前記吹き出し面における周辺部が，前記連結部材の設定位置を除いて，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように，前記連結部材の長さが設定されていることを特徴としている。

前記した従来の技術の問題は，垂直層流のみによって清浄空間を形成している点に起因する。この点本発明によれば，チャンバにおける吹き出し面と対向する非通気面の一部と，吹き出し面の一部との間とが連結部材によってチャンバ内で結ばれ，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，少なくとも前記吹き出し面における周辺部が，前記連結部材の設定位置を除いて，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように，前記連結部材の長さが設定されているので，吹き出し面における周辺部においては，外側へと向けられた斜めの気流が形成される。これによって，外側の非清浄空間の雰囲気を，吹き出し面からの気流によって形成される清浄空間内に巻き込むことが抑えられる。

前記連結部材は吹き出し面全体が凸に湾曲して，本来の特定空間のみに清浄空気を供給するという目的を達成できないことを防止するための，いわば膨らみ防止機能を発揮しているが，この連結部材には線材を用いて，非通気面と吹き出し面とが，吹き出し方向から見て点状に結ぶことが好ましい。こうすることで，吹き出し面は「点」ごとに膨らみが防止され，チャンバ内は全体して均一な内圧が達成され，吹き出し面から均一にクリーンエアを供給することが可能である。また吹き出し面に沿って，湾曲した剛性のある補強材を使用する必要がない。線材には，例えば紐や糸を用いることができる。

前記連結部材は隔壁構成部材であって，非通気面と吹き出し面とが，吹き出し方向から見てこの隔壁構成部材によって線状に結ばれ，かつ前記隔壁構成部材の一部は開放しているようにしてもよい。そのように一部を開放しているので，チャンバ内は全体して均一な内圧が達成され，吹き出し面から均一にクリーンエアを供給することが可能である。前記一部は，吹き出し面における端部に設定してもよい。そうすれば隔壁の遠い側（チャンバ内でエアを取り入れる部位から離れた側）の側面からも放射状の気流を形成してブース（局所空間）内に供給することができる。前記隔壁構成部材は可撓性を有する帯状の材料によって構成されていることが好ましい。またこの場合の帯状の材料は通気性を有するものでも非通気性のものでもよい。

チャンバにおける吹き出し面と対向する非通気面は，変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されていてもよい。かかる場合，さらに周面も非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成されていれば，チャンバ内にエアを供給していない状態ではサプライチャンバ全体を折りたたんでコンパクトにすることが可能である。

さらにまた周面の少なくとも一部も，通気性を有する布，不織布又はシートで形成されていてもよい。

また本発明によれば，前記した各サプライチャンバと，このサプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，前記サプライチャンバは，前記ダクト又は支持部材によって前記清浄空気供給装置と一体化されて，かつ吹き出し面が下面に向くように水平に支持されていることを特徴とする，クリーンブースが提供される。

このようなクリーンブースによれば，コンパクトでかつ特定空間に対して，上方から下方へと清浄空気を供給して当該空間を高さ方向に渡って，周囲より高い清浄度の雰囲気とすることが容易であり，また周囲の清浄度の低い空気を当該空間内に巻き込むことが抑えられ，効率よく当該空間の清浄度を高めることができる。なお本発明における「クリーンブース」の語は，単に「局所的に清浄空間をつくる装置」の意味で使用しており，ＪＩＳＺ８１２２に見られるような「天井面にフィルタを組み込む」，「周囲をビニールのカーテンで区画する」というような要素を持ったものとしては用いていない。このことは後述の実施の形態，ならびに本発明の本質，効果からして明らかである。

また本発明によれば，前記サプライチャンバと，前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，前記サプライチャンバの吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置上に設けられていることを特徴とする，クリーンブースが提供される。

かかる構成のクリーンブースによれば，水平方向に清浄空気を供給して当該空間を周囲より高い清浄度の雰囲気とすることが容易であり，また周囲の清浄度の低い空気を当該空間内に巻き込むことが抑えられ，効率よく当該空間の清浄度を高めることができる。したがって，例えば病院の手術台や，より清浄な雰囲気を必要とする物がベルトコンベア上にある場合など，清浄空気の供給対象が水平にある場合には，特に有効である。

そしてチャンバ吹き出し面と対向する非通気面および周面が，各々変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されているサプライチャンバと，前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，このダクトは非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成され前記サプライチャンバと一体化され，前記ダクトは，前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられ，前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，前記ダクトが起立し，かつ前記サプライチャンバは，その吹き出し面が下面に向くように前記ダクトによって水平に支持されるように構成されたことクリーンブースも提案できる。
このようなクリーンブースでは，クリーンエアの供給停止時にはサプライチャンバ，ダクトともコンパクトに折りたたむことができ，クリーンブース全体しても小型，軽量化できる。

かかる場合，前記ダクトは略角筒形状を有し，さらに少なくとも対向する１組の面同士が，ダクト内において膨らみ抑制のための連結部材を介して結ばれていてもよい。連結部材としては，既述したような線材，紐，糸，可撓性を有する帯状のものを用いることができる。

そして前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され，前記サプライチャンバおよびダクトを，前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ，形状とすれば，例えば不使用時には，ケーシング内にサプライチャンバ，ダクトを収容することが可能である。この場合，周面を形成する材質が変形可能なものでなくともよいが，チャンバ吹き出し面と対向する非通気面および周面が，各々変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されている場合には，全体して変形可能なやわらかい材質のもので形成されることになり，不使用時の場合には有利である。

さらにまた本発明においては，チャンバ吹き出し面と対向する非通気面および周面が，各々変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されているサプライチャンバと，前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，前記サプライチャンバが起立し，その吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられているクリーンブースが提案できる。この場合，周面を形成する材質が変形可能なものでなくともよいが，すべてチャンバ吹き出し面と対向する非通気面および周面が，各々変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されている場合には，全体してやわらかい材質のもので形成されることになり，不使用時の場合には有利である。

かかる場合も，前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され，前記サプライチャンバを，前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ，形状とすればさらに好ましい。

なお清浄空気供給装置の下面にキャスタを設ければ，クリーンブース全体の移動が容易であり，必要なときにだけ所望の場所に清浄空間を創出することが簡易迅速になしえる。

本発明によれば，格別な部材を外部に取り付けることなく，周囲の空気の巻き込みを抑えることができ，従来と比較して少ない送風量で，所期の清浄な領域を確保することが可能である。

図１は，本実施の形態にかかるクリーンブース１の側面を示しており，このクリーンブース１は，例えば半導体製造プロセスが行われるクリーンルームＲ内に設置され，さらにクリーンルームＲ内において高清浄度の作業空間を創出する際に使用される。

クリーンブース１は，清浄空気供給装置２と，この清浄空気供給装置２からサプライチャンバ３へとクリーンエアを送るためのダクト４とを有している。清浄空気供給装置２は，ケーシング内にファン，ＵＬＰＡフィルタ等を有しており，周囲の空気を吸い込んでこれをろ過し，ダクト４へとクリーンエアを供給する構成を有している。清浄空気供給装置２の下面には自在キャスタ５が設けられている。

サプライチャンバ３のチャンバ本体１０は，図２，図３，図４に示したように，吹き出し面１１と，吹き出し面と対向する非通気面１２と，吹き出し面１１と非通気面１２との間の周面を構成する非通気性の側板１３とを有し，全体として略直方体の形状を有している。

吹き出し面１１は通気性を有する布，不織布またはシートで形成されている。吹き出し面を形成する通気性を有する布としては，例えばポリエステル１００％長繊維の織物で通気性のあるもの（クリーンルーム用無塵衣として一般的に使われているもの）を挙げることができる。また通気性を有する不織布としては，ポリエステル１００％長繊維の不織布や，テフロン（デュポン社の登録商標）メンブレン，あるいは布と不織布をラミネート構造にしたものを用いてもよい。このような複合素材によって，ケバ立ち等が無くなり，不織布のフィルタ性能を維持しつつ布としての耐久性が向上する。テフロンメンブレンラミネート構造品，例えばゴアテックス（ゴアテックス社の登録商標）を用いてもよい。通気性を有するシートとしては，微細な孔が多数形成された合成樹脂性のシートを例示できる。

非通気面１２には，適宜のパネル材を用いてもよいが，本実施の形態では，非通気性の布やシートを用いている。非通気性の布としては，例えばポリエステル１００％長繊維の織物で通気性の小さいもの（例えばファン付きの陰圧クリーンスーツに使われているもの）を挙げることができる。非通気性のシートとしては，例えばポリエチレンフィルム，軟質塩化ビニルのシートを用いることができる。また完全な非通気性を持たなくとも，例えばＪＩＳ Ｌ １０９６による通気度が２（ｃｃ／ｃｍ^２／ｓｅｃ）以下のものであれば，好適に使用することができる。

いずれにしろ，サプライチャンバ３に使用する通気性，非通気性の布，不織布，シートは，洗濯が可能で，発塵が少なく，また繰り返しの折り曲げ等に強い，軽量でも引き裂き・引っ張り強度が高い，伸びが少ない等の条件を満たすものが好ましい。

そして吹き出し面１１と非通気面１２との間は，図４に示したように，チャンバ内で紐２１よって結ばれている。本実施の形態においては，図２，図３に示したように，格子の交点部分（設定位置Ｐ）に，点状になるように複数の箇所で吹き出し面１１と非通気面１２とが等間隔でほぼ均等に結ばれている。その際のチャンバ内の紐２１の長さＬは，図４に示したように，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，前記紐２１で結んだ設定位置Ｐを除いて少なくとも前記吹き出し面１１における周辺部，すなわち側板１３に近い側が，そのときの内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。

本実施の形態にかかるクリーンブース１は以上のように主要部が構成されており，清浄空気供給装置２からのクリーンエアがダクト４を介してサプライチャンバ３のチャンバ内に供給されると，図４に示したように，吹き出し面１１から下方にクリーンエアが吹き出される。送風条件としては，平均面風速で０．１〜０．５ｍ／ｓ程度で，チャンバ内の内圧（周囲空気との差圧）は５０〜２００Ｐａが好ましい。

そのようにしてクリーンエアが吹き出されるときの吹き出し面１１は，設定位置Ｐを除いて吹き出し方向側に凸に湾曲する。したがって，湾曲した領域の周辺部分では，外側に向けて斜めの気流が形成される。その結果，吹き出し面１１の周辺部では，周囲雰囲気との界面部分での周囲雰囲気の巻き込みが抑えられ，吹き出されたクリーンエアによって形成される清浄空間への塵埃等の侵入が抑制される。これによって，従来のように清浄領域Ａが縮小することはない。
さらにまた本実施の形態においては，吹き出し面１１と非通気面１２とが紐２１を介して複数の設定位置Ｐにてほぼ均等に等間隔で結ばれ，紐２１の長さＬが同一であるから，クリーンエアがサプライチャンバ３内に供給されると，サプライチャンバ３全体の厚みがほぼ均一なものとなる。

しかも従来のようにたれ壁を使用する必要はないので，図1に示したように，サプライチャンバ３の下方の清浄領域Ａには，機器Ｇを操作する作業員Ｈの作業を妨げるような障害物は何もなく，作業環境は良好である。なおクリーンブース１が設置される環境が，例えば横方向からの気流が強い場所（たとえば近傍に水平方向の気流を吹き出す装置が設置されている場所）では，クリーンブース１によって形成された清浄領域を確保するために，シート状の垂れ幕などをサプライチャンバ３の側面（周面）に，面ファスナーやファスナー，その他留めボタンなどを利用して取り付けてもよい。

次に本発明の効果を調べるために図１０の装置を使用して実際に行った実験結果を示す。実験条件については，まずクリーンブース１が設置されている周囲環境Ｘの塵埃濃度（０．１μｍ径以上の大きさを有するパーティクルの数）は，３４８６０個／ｍ^３（９８７個／ｆｔ^３）であった。そして吹き出し面１１を構成する布の通気度が４９．８（ｃｃ／ｃｍ^２／ｓｅｃ）の前記ラミネート素材を使用した。吹き出し風速については，図５に示したように，設定位置Ｐの下方で，０．４〜０．７ｍ／ｓ，それ以外の部分（凸に湾曲した面の下方）では，平均で０．２７〜０．３５ｍ／ｓであった。そして吹き出し面１１の垂直下方の領域を本来の清浄領域Ｙとして，それより少し外側の領域を測定領域Ｚとした。そして測定領域Ｚ内において，清浄領域Ｙよりも５０ｍｍ外側の位置の上下に測定箇所Ｍ，Ｎを設定した。測定箇所Ｍは，吹き出し面１１よりも５００ｍｍ下方の位置，測定箇所Ｎは，測定箇所Ｍよりもさらに５００ｍｍ下方の位置に設定されている。すなわち図５において，Ｄ１＝５０ｍｍ，Ｄ２＝５００ｍｍ，Ｄ３＝５００ｍｍである。

そして測定箇所Ｎ，測定箇所Ｍにおいて，塵埃濃度（０．１μｍ径以上の大きさを有するパーティクルの数）を測定した結果，いずれも０個／ｍ^３（すなわち，塵埃のカウント数が０）であった。したがって，本来の清浄領域Ｙにおいても，当然塵埃濃度は０個／ｍ^３であり，また結果的に清浄領域が本来の清浄領域Ｙよりも少なくとも５０ｍｍ外側に広がったことが確認できる。

前記実施の形態にかかるクリーンブース１は，垂直下方にクリーンエアを吹き出すべく，サプライチャンバ３がダクト４によって水平に支持されたものであったが，ダクト４によって支持する必要はなく，例えば適宜の支持部材によって水平に支持してもよい。

さらにまた図６に示したクリーンブース３１のように，デスクワークを行う環境においては，サプライチャンバ３を清浄空気供給装置２の上に垂直に支持して，吹き出し面１１を水平方向に向けるようにしてもよい。またこのような構成のクリーンブース３１は，たとえば患者を診察する診察台，手術する手術台の脇に設置することで，上からの照明を妨げることなく，これら診察台，手術台の置かれた空間を容易に高清浄度空間とすることができる。

さらに前記実施の形態においては，吹き出し面１１と非通気面１２とは，吹き出し方向からみて紐２１によって点状となるように結ばれていたが，図７，図８，図９に示したように，チャンバの内部で帯状の隔壁部材４１によって線状に結ばれていてもよい。

かかる場合，図７〜図９の例では，吹き出し面１１におけるダクト４側の端部４２から対向する端部４３側へと線状に結ばれ，さらに端部４３側近傍では，開放している。すなわち隔壁部材４１の長手方向の長さＷ１は，吹き出し面１１における端部４２，４３間の長さＷ２よりも短くなっている。なお隔壁部材４１は，非通気面１２に採用した材料と同じ非通気性のシート等を使用している。また隔壁部材４１の長さ（高さ）Ｌは，前記した紐２１と同様，図８，図９に示したように，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，設定位置Ｑを除いて少なくとも前記吹き出し面１１における周辺部が，そのときの内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。

このように線状に吹き出し面１１と非通気面１２とを結べば，例えば大きなチャンバを形成するような場合でチャンバ内の圧力を高くする必要が生じたときに，吹き出し面１１と非通気面１２との結合強度を高くしてこれに対処することができ，また線状に力を受けてこれを分散させることが可能であり，チャンバの強度を好適に高めることができる。なお製作にあたっては，例えば吹き出し面１１と非通気面１２を構成する布の間に，チャンバ高さと同じ非通気性の布の帯を置いて外から例えばミシンで縫えば，容易にこれをなしえる。

また本実施の形態では，端部４３側近傍が開放しているため，チャンバ内の圧力は均一になり，しかも端部４３近傍での吹き出し面も，クリーンエア供給の際には，吹き出し方向側に凸に湾曲してこれを膨出させることができ，端部４３の下方においても，外側に向かう斜めの気流を形成して，周囲雰囲気からの塵埃の巻き込みを抑えることが可能である。なお端部４２側では，ダクト４が配置されているので，このダクト４がいわば「たれ壁」として機能するので，端部４２下方においては，もともと周囲雰囲気からの塵埃の巻き込みはほとんどない。

なお以上の実施の形態においては，周面を構成する部材に，非通気性の側板１３を使用したが，それに代えて，非通気性の布，シート等の薄膜材を用いてもよい。さらに非通気性の側板１３に代えて，通気性のある布，不織布，シートを使用すれば，周面方向にも容易に清浄空気を供給することが可能である。

図１０にはさらに他の実施の形態にかかるクリーンブース５１を示した。このクリーンブース５１に使用されるサプライチャンバ５２の吹き出し面５３は，前記した実施の形態におけるクリーンブース１のサプライチャンバ３における吹き出し面１１と同様，設定位置Ｐにおいて非通気面５４と紐を介して結ばれており，また非通気面５４についても，サプライチャンバ３の非通気面１２と同様非通気性の布やシートが用いられている。そしてこのサプライチャンバ５２の周面を形成する４つの側面５５についても，非通気性の布やシートが用いられている。

このサプライチャンバ５２は，ダクト６１と一体化されている。このダクト６１は，全体として角筒形状をなし，その材質には非通気面５４と同様，非通気性の布やシートが用いられている。そしてダクト６１において対向する１組の面６２，６３が，サプライチャンバ５２と同様に紐６４を介して格子の交点の位置にて，ほぼ均等に等間隔で結ばれている。

本実施の形態にかかるクリーンブース５１に採用された清浄空気供給装置は，ファンフィルタユニット７１である。このファンフィルタユニット７１は，図１１，図１２にも示したように，ケーシング７２内に収容されている。ファンフィルタユニット７１自体は，下部に吸い込み口７３を有し，それに続いて上部に送風機７４を備え，さらに送風機７４の吹き出し側に，例えば四面がパネル材等によって囲まれたＨＥＰＡフィルタなどの浄化フィルタ７５が設けられている。そして浄化フィルタ７５の下流側に吹き出し口７６が形成されている。

ケーシング７２は底面が開口し，４つの側面がパネル材７７によって構成されている。そしてケーシング７２の上部開口部の縁部には，この開口部を閉鎖自在な蓋体７８がヒンジ等によって回動自在に設けられている。ダクト６１の端部開口部６１ａは，ファンフィルタユニット７１の吹き出し口７６に気密に設けられている。本実施の形態においては，フランジ８０でダクト６１の開口部周縁を挟み込んで蝶ナット等の締め付け固定部材７９で締め付け固定している。

本実施の形態にかかるクリーンブース５１は，以上の構成を有しており，ファンフィルタユニット７１を作動させると，吹き出し口７６から吹き出されるクリーンエアは，ダクト６１を経由してサプライチャンバ５２に供給され，その吹き出し面５３から下方に吹き出されるが，本実施の形態においては，非通気面５４のみならず，周面５５，ダクト６１が非通気性の布やシートで構成されているので，図１０に示したようにクリーンエア供給時の内圧で，サプライチャンバ５２，ダクト６１が膨らんで，各々略直方体の形状となって，この形状が維持される。そしてダクト６１自体は，それを構成する対向する１組の面６２，６３が，紐６４を介してほぼ均等に等間隔で結ばれているので，ダクト６１の厚みが全体として均一なものとなる。しかも複数の紐６４によってダクト６１にかかる圧力が分散されているので，十分な強度が確保されている。

そしてファンフィルタユニット７１の作動を停止すれば，ダクト６１，サプライチャンバ５２の内部圧力は外部と同一になり，図１１に示したように略直方体の形状を失って，ほぼ扁平な袋状となる。したがって，これを折りたたむことにより，図１２に示したように，ケーシング７２内に収納することができる。図１２に示したように蓋体７８を閉じれば，格別梱包しなくとも使用した環境と同じクリーン度で密閉できる。密閉性をさらに高めるには，適宜ガスケットを挿入したり，さらにはバックルなどによって蓋体７８とパネル７７との密閉性を向上させればよい。

また本実施の形態では，ダクト６１とサプライチャンバ５２が一体化され，あたかも１つの袋状になっていて，ダクト６１の開口部がファンフィルタユニット７１の吹き出し口４６に蝶ナット７９によって締め付け固定されているので，ダクト６１，サプライチャンバ５２をファンフィルタユニット７１から取り外すことが容易であり，その交換が簡単で，またダクト６１，サプライチャンバ５２が汚れた場合には，これらを洗濯して再使用することも可能である。

この実施の形態にかかるクリーンブース５１は，サプライチャンバ５２，ダクト６１をすべて布，不織布，シート等の材料で構成したが，これら材質を適宜選択することで，クリーンエア供給時のこれらクリーンブース５１は，サプライチャンバ５２自体からの発塵を抑えることができる。

なおこの実施の形態にかかるクリーンブース５１において，サプライチャンバ５２，ダクト６１のエア供給時の自立性，形状維持度を高めるには，図１０に示したように，例えば伸縮自在なポール８０，８１を各々サプライチャンバ５２の内部又は外部の両側，ダクト６１の内部又は外部の両側に取り付ければよい。

この実施の形態にかかるクリーンブース５１は，いわば図１に示したクリーンブース１のサプライチャンバ３，ダクト４を全て布，不織布，シート等の変形可能な材質で構成し，不使用時においてはサプライチャンバ５２，ダクト６１をケーシング７２内に格納できるようにしたものであったが（伸縮自在なポール８１，８２がある場合にもこれらをケーシング７２内に格納可能である），同様にして，図６に示した水平吹き出しタイプのクリーンブース３１についても，吹き出し面１１のみならず，それと対向する非通気面，さらには周面について布，不織布，シート等の変形可能な非通気性の材質で構成することにより，使用時には図６のようにチャンバ内に供給されるサプライチャンバ３自体が起立し，不使用時には図１２に示したようにサプライチャンバ３をケーシング内に収納できる構成とすることが可能である。

実施の形態にかかるクリーンブースの側面図である。 図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの底面図である。 図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの斜視図である。 図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの縦断面図である。 図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの効果を調べる様子を示す縦断面図である。 他の実施の形態にかかるクリーンブースの側面図である。 他の実施の形態にかかるサプライチャンバの斜視図である。 図７のサプライチャンバの底面図である。 図７のサプライチャンバの縦断面図である。 他の実施の形態にかかるクリーンブースの斜視図である。 図１０のクリーンブースのエア供給停止時のケーシング内の様子を示す側面図である。 図１０のクリーンブースの不使用時のケーシング内の様子を示す側面図である。 従来技術にかかるサプライチャンバの問題点を示す説明図である。 図１３のサプライチャンバにたれ壁をつけた様子を示す説明図である。 従来技術を示す説明図であり，（ａ）は吹き出し面にパンチング板を取り付けた例，（ｂ）は吹き出し面にＵＬＰＡフィルタを凸に湾曲させて取り付けた例を示している。

符号の説明

１，３１，５１ クリーンブース
２ 清浄空気供給装置
３，５２ サプライチャンバ
４ ダクト
５ キャスタ
１１ 吹き出し面
１２ 非通気面
２１ 紐
４１ 隔壁部材
４２，４３ 端部
Ａ 清浄領域
Ｌ 長さ
Ｐ，Ｑ 設定位置

Claims (16)

1. クリーンエアを一定の空間に供給する際に用いるサプライチャンバであって，
   チャンバ本体は，吹き出し面と，当該吹き出し面と対向する非通気面と，前記吹き出し面と非通気面とに直交し，これらの間の側面を構成する周面とを有し，
   前記吹き出し面は通気性を有する布，不織布又はシートで形成され，
   前記非通気面の一部と吹き出し面の一部との間が，チャンバ内で連結部材を介して結ばれ，
   チャンバ本体内にクリーンエアを供給した際に，少なくとも前記吹き出し面における周辺部が，前記連結部材の設定位置を除いて，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように，前記連結部材の長さが設定されていることを特徴とする，サプライチャンバ。
2. 前記連結部材は線材であって，非通気面と吹き出し面とが，吹き出し方向から見てこの線材によって点状に結ばれていることを特徴とする，請求項１に記載のサプライチャンバ。
3. 前記線材は紐または糸であることを特徴とする，請求項２に記載のサプライチャンバ。
4. 前記連結部材は隔壁構成部材であって，非通気面と吹き出し面とが，吹き出し方向から見てこの隔壁構成部材を介して線状に結ばれ，かつ前記隔壁構成部材の一部は開放していることを特徴とする，請求項１に記載のサプライチャンバ。
5. 前記一部は，吹き出し面における端部であることを特徴とする，請求項４に記載のサプライチャンバ。
6. 前記隔壁構成部材は可撓性を有する帯状の材料によって構成されていることを特徴とする，請求項４又は５に記載のサプライチャンバ。
7. チャンバの非通気面は，変形可能な非通気性のシート状の材料によって構成されていることを特徴とする，請求項１〜６のいずれかに記載のサプライチャンバ。
8. 前記周面は，非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成されていることを特徴とする，請求項７に記載のサプライチャンバ。
9. 少なくとも前記周面の一部は，通気性を有する布，不織布又はシートで形成されたことを特徴とする，請求項１〜８のいずれかに記載のサプライチャンバ。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載のサプライチャンバと，
    前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，
    前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，
    前記サプライチャンバは，前記ダクト又は支持部材によって前記清浄空気供給装置と一体化されて，かつ吹き出し面が下面に向くように水平に支持されていることを特徴とする，クリーンブース。
11. 請求項１〜９のいずれかに記載のサプライチャンバと，
    前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，
    前記サプライチャンバの吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置に設けられていることを特徴とする，クリーンブース。
12. 請求項１，８又は９に記載のサプライチャンバと，
    前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，
    前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，
    前記ダクトは非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成され，前記サプライチャンバと一体化され，
    前記ダクトは，前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられ，
    前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，
    前記ダクトが起立し，かつ前記サプライチャンバは，その吹き出し面が下面に向くように前記ダクトによって水平に支持されるように構成されたことを特徴とする，クリーンブース。
13. 前記ダクトは略角筒形状を有し，さらに少なくとも対向する１組の面同士は，ダクト内において膨らみ抑制のための連結部材を介して結ばれていることを特徴とする，請求項１２に記載のクリーンブース。
14. 前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され，前記サプライチャンバおよびダクトは，前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ，形状を有していることを特徴とする，請求項１２又は１３に記載のクリーンブース。
15. 請求項１，８又は９に記載のサプライチャンバと，
    前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，
    前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，
    前記サプライチャンバが起立し，その吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられていることを特徴とする，クリーンブース。
16. 前記清浄空気供給装置はケーシング内に収容され，前記サプライチャンバは，前記清浄空気供給装置からのクリーンエアの吹き出し停止時にはこのケーシング内に収容可能な大きさ，形状を有していることを特徴とする，請求項１５に記載のクリーンブース。

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