JP2006046806A - クリーンルーム - Google Patents
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Abstract
設置及び撤去が容易で、本体の費用や設置及び撤去に関わる費用が少なくて済むクリーンルームを提供する。
【解決手段】
第1床9と、第1床9の少なくとも一部を覆い第1床9との間に部屋Rを形成するように設けられた第1曲面体1a、1b、1c、1d、1eとを具備するクリーンルームを用いる。第1曲面体は、第1壁(1b、1c、1d、1eの少なくとも一つ)と、空気流路11とを備える。第1壁は、第1二重膜構造体の内部に気体を供給されて形成され、第1床9の上側に結合する。空気流路11は、その第1二重膜構造体内に設けられ、所定の範囲の清浄度を有する第1空気を部屋Rへ供給する。第1曲面体は、部屋Rへ供給されたその第1空気を第2空気として排出する送出口7を有している。第1曲面体は、第1壁により第1床9上で自立している。
【選択図】 図2
Description
本発明において、第1曲面体(1a、1b、1c、1d、1e)の少なくとも一部である第1壁(1b、1c、1d、1eの少なくとも一つ)が二重膜構造体で形成されていることは、クリーンルームを設置及び撤去する際に作業を効率的に行えて好ましい。その第1二重膜構造体内に空気流路(11、1a3)が設けられていることは、ダクトスペースが不要となり好ましい。第1壁(1b、1c、1d、1eの少なくとも一つ)により、部屋内部に陽圧を与えることなく自立した部屋(R)を形成することができる。部屋(R)へ供給される第1空気は所定の範囲の清浄度に入っているので、部屋(R)内も概ねその清浄度に保つことができる。その清浄度は、例えば、空気中の浮遊物(例示:浮遊微粒子、浮遊微生物)の数により定義することができる。
本発明において、第1天井(1a)が二重膜構造体で形成されていることは、クリーンルームを設置及び撤去する際に作業を効率的に行えて好ましい。
空気流路(11)が、二重膜構造体で形成されていることは、第1曲面体(1a、1b、1c、1d、1e)に重量負担がほとんど発生せず好ましい。また、クリーンルームを設置及び撤去する際に作業を効率的に行えて好ましい。
浄化装置(2)を用いることで、部屋(R)の清浄度を管理することができる。
送風装置(5)を用いることで、第1曲面体(1a、1b、1c、1d、1e)の形状を維持することができる。
部屋(R)を略直方体形状とすることは、クリーンルームを設置する空間、特に上方の空間をより有効に活用することができ好ましい。
本発明において、第1床(9)が二重膜構造体で形成されていることは、クリーンルームを設置及び撤去する際に作業を効率的に行えて好ましい。
本発明において、その気体と第1空気とが清浄度を実質的に同じにすることは、第1曲面体(1a、1b、1c、1d、1e)から部屋(R)へ気体が漏れても、クリーンルームの清浄度に影響がなく好ましい。ここで、実質的に同じとは、制御できる範囲で同じとのことであり、ある程度の誤差を含んでよい。
本発明において、複数の第1壁(1b、1c、1d、1e)が一体に形成されていることは、クリーンルームを設置及び撤去する際に、作業を効率的に行えて好ましい。
本発明において、第1曲面体(1a、1b、1c、1d、1e)の少なくとも一部が透明な材料で形成されることは、クリーンルーム内の照明をクリーンルーム外の照明で代替でき好ましい。部屋(R)の作業者を外部から確認でき、安全のためにも好ましい。
本発明において、部屋(R)内に占有体(8)を置くことで、第1空気を送風すべき領域を少なく出来る。
本発明において、断熱材(51、52、53)を設けることで、クリーンルームを設置する場所の温度の影響を部屋(R)が受け難くすることができる。
本発明において、エアシャワー室(33、60)を設けることで、部屋(R)へ出入する人間の持ち込む塵やゴミ、微粒子を低減することができる。
本発明において、第2曲面体(61a、61b、61c、61d、61e)の少なくとも一部である複数の第2壁(61b、61c、61d、61eの少なくとも一つ)が二重膜構造体で形成されていることは、クリーンルームを設置及び撤去する際に作業を効率的に行えて好ましい。
まず、クリーンルーム設置場所に床9を設置する。床9の上に空気の入っていないクリーンルーム本体1を載せる。クリーンルーム本体1は空気が入っていないので、この段階での占有面積も、床9の面積で充分である。その後、予め設定された設置場所に浄化装置2及び送風装置5をそれぞれ設置する。続いて、ダクト3を浄化装置2とクリーンルーム本体1の空気流路11とに接続する。ダクト4を浄化装置2とクリーンルーム本体1の壁1dとに接続する。同様に、ダクト6を送風装置5とクリーンルーム本体1の壁1dとに接続する。次に、浄化装置2と送風装置5とを駆動し、クリーンルーム本体1内に及び部屋Rに空気を満たす。空気を満たす際、クリーンルーム本体1は、クリーンルーム10の設置場所より外側にへ大きく広がることはない。それにより、クリーンルーム本体1が形成される。その後、出入部31の前に、エアシャワー室33を密接するように設置する。それに隣接して着替え室35を設置する。このようにして、クリーンルーム10が完成する。クリーンルームの解体は、上記プロセスを逆に行うことで実施することができる。
空気は、送風装置5から送出され、ダクト6から壁1dへ供給される。その空気は、各壁及び天井へ送出される。各壁及び天井は、二重膜構造であり風船のように閉じているので、クリーンルーム本体1が完成した後は、それほど多くの空気を送り込む必要はない。しかし、表面や縫製部分などから若干のリークがあるため、概ね常時空気を供給する必要がある。また、リークした空気が部屋R内へ向かうことを考慮し、送風装置5も清浄な空気を供給可能であることが好ましい。ダクト6にHEPAフィルタを装着するようにしても良い。
第1空気の出口である送出口77は、壁1eと対向する壁1cに設けられている。浄化装置72は、ダクト74を介して部屋Rの第2空気を吸引し、取り出す。
1a 天井
1b、1c、1d、1e 壁
2 浄化装置
3、4、6 ダクト
5 送風装置
7 送出口
8 占有体
9 床
10 クリーンルーム
11、15 空気流路
12、16 供給口
13、17 格子
21、23 仕切
22、24 縫製を施した箇所
31 出入部
33 エアシャワー室
35 着替え室
37 外気取入装置
38 ダクト
41、42、43 扉
51、52、53 断熱材
55 高床
56 架台
91 空気排出口
92 ダクト
Claims (14)
- 第1床と、
前記第1床の少なくとも一部を覆い、前記第1床との間に部屋を形成するように設けられた第1曲面体と
を具備し、
前記第1曲面体は、
第1二重膜構造体の内部に気体を供給されて形成され、前記第1床の上側に結合する第1壁と、
前記第1二重膜構造体内に設けられ、所定の範囲の清浄度を有する第1空気を前記部屋へ供給する空気流路を備え、
前記部屋へ供給された前記第1空気を第2空気として排出する送出口を有し、
前記第1壁により前記第1床上で自立している
クリーンルーム。 - 請求項1に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1曲面体は、
第2二重膜構造体の内部に気体を供給されて形成された第1天井を含み、
前記空気流路は、前記第1二重膜構造体内及び前記第2二重膜構造体内の少なくとも一方に設けられている
クリーンルーム。 - 請求項1又は2に記載のクリーンルームにおいて、
前記空気流路は、第3二重膜構造体の内部に前記第1空気を供給されて、前記第1空気が移動可能に形成されている
クリーンルーム。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記部屋の内側又は外側に設けられ、前記第2空気及び外部の空気の少なくとも一方の清浄度を所定の範囲になるように浄化して、前記空気流路へ前記第1空気として供給する浄化装置を更に具備する
クリーンルーム。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記部屋の内側又は外側に設けられ、前記第1曲面体に前記気体を送る送風装置を更に具備する
クリーンルーム。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記部屋は略直方体形状である
クリーンルーム。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1床は、第4二重膜構造体の内部に気体を供給されて形成されている
クリーンルーム。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記気体の清浄度は、前記第1空気の清浄度と実質的に同じである
クリーンルーム。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1壁は複数あり、一体に形成されている
クリーンルーム。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1曲面体の少なくとも一部は、透明な材料で形成されている
クリーンルーム。 - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記部屋内に設けられ、膜構造体の内部に前記気体及び前記空気のいずれか一方を供給されて形成され、前記部屋の一部を占有する占有体を更に具備する
クリーンルーム。 - 請求項1乃至11のいずれか一項に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1曲面体は、前記第1曲面体の一部又は全部の外側又は内側に断熱材を有する
クリーンルーム。 - 請求項1乃至12に記載のクリーンルームにおいて、
前記第1曲面体に隣接して設けられたエアシャワー室を更に具備し、
前記第1曲面体は、前記エアシャワー室に面した部分に、前記エアシャワー室に出入可能な出入部を有する
クリーンルーム。 - 請求項13に記載のクリーンルームにおいて、
前記エアシャワー室は、
第2床と、
前記第2床の少なくとも一部を覆い、前記第2床との間に空間を形成するように設けられた第2曲面体と
を備え、
前記第2曲面体は、
第5二重膜構造体の内部に気体を供給されて形成され、前記第2床の上側に結合する複数の第2壁と、
前記複数の第2壁の上側に結合する第2天井と、
前記空間内に設けられ、所定の範囲の清浄度を有する第3空気を前記空間の中心方向へ向かって放出する空気放出部と
を含み、
前記複数の第2壁のうちの一つは、人の出入可能な複数の第1スリットを有し、
前記複数の第2壁のうちの他の一つは、人の出入可能な複数の第2スリットを有し、
前記複数の第2壁により前記第2床上で自立している
クリーンルーム。
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