JP2008275233A - 温調用ブース - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空気温調装置15からの温調空気が導入されるチャンバ10(10a,10b)を頂部に有するブース本体2と、このブース本体2の周囲に配設されてブース空間3を外部空間4と仕切る仕切部材5とを備え、空気温調装置15からの温調空気をチャンバ10a,10bを介してブース空間3に導入するようにした温調用ブース1において、仕切部材5を、所定間隔を存じて内外に配設した二重のシート材5a,5bにて構成することにより内外シート材5a,5b間に内外シート材間空間35を形成し、内外シート材間空間35と下流側チャンバ10bとを連通する連通孔41を設けるとともに、内外シート材間空間35とブース空間3とを連通する開口部40を設ける。
【選択図】図2
Description
図3に示す温調用ブース101は、図示されない空気温調装置からの温調空気が導入されるチャンバ110を頂部に有するブース本体102と、このブース本体102の周囲に配設されてブース空間103を外部空間104と仕切る仕切部材105とを備えて構成されている。
この温調用ブース101においては、チャンバ110の下側の面板が樹脂製ネット(あるいはパンチングメタル)よりなる吹出し面板121とされ、この吹出し面板121の吹出し面積に応じて、所要個数(図3では一側の3個しか描かれていないが他側の3個も含めて合計6個)のエアフィルタユニット126がチャンバ110内に配設され、チャンバ110内に導入された温調空気をそれらエアフィルタユニット126を通して浄化し、浄化された温調空気を吹出し面板121の全体から均一な下降流として吹き出させることができるようになっている。
そこで、仕切部材を二重のシート材にて構成することにより内外シート材間に空間を形成することが行われている(例えば、特許文献1参照)が、内外シート材間に形成された空間内の空気が流動しないことから該空間の温度が外部空間の温度によって変化することによりブース空間の温度が影響を受け、断熱性が十分に得られないという問題があった。
図1(a)(b)に示す温調用ブース1は、温調用クリーンブースとも呼ばれるもので、ブース本体2と、このブース本体2の周囲に配設されてブース空間3を外部空間4と仕切る仕切部材5とを備えている。
ブース本体2は、該ブース本体2の頂部に配されるチャンバ10と、床面FL上に立設される4本の支柱11とを有し、チャンバ10の四隅が4本の支柱11の上端部に連結されて構成されている。
そして、この温調用ブース1においては、空気温調装置15からの温調空気がダクト16を介してチャンバ10内に導入され、チャンバ10内に導入された温調空気がブース空間3に導入されるようになっている。
下流側チャンバ10bは、図2に示すように、四角枠状のチャンバ枠フレーム20に組み付けられる樹脂製ネット(あるいはパンチングメタル)よりなる吹出し面板21と、この吹出し面板21の上方にその吹出し面板21と対向して配される天板22と、これら吹出し面板21及び天板22の間の空間を取り囲むように四方に配される側板23とより構成されている。
上流側チャンバ10aは、下流側チャンバ10bにおける天板22の中央に形成された温調空気の導入開口部24に対応する温調空気の吹出し開口部25を有する箱型構造体よりなり、吹出し開口部25の吹出し面積が、下流側チャンバ10bの吹出し面積、つまり吹出し面板21の吹出し面積よりも小さく設定されてなるものである。
こうして、空気温調装置15からダクト16を介して上流側チャンバ10aに導入された温調空気をエアフィルタユニット26を通して浄化し、浄化された温調空気を下流側チャンバ10b内に送り込むようにされている。
従来の温調用ブース101では、本実施例の下流側チャンバ10bに相当するチャンバ110に温調空気が直接的に導入される構成とされているから、チャンバ110内にそのチャンバ110内空間全体を上下に二分割するように所要個数(6個)のエアフィルタユニット126を組合せ配置しなければならないが、本実施例では、下流側チャンバ10bにその下流側チャンバ10bの吹出し面積よりも小さな吹出し面積の吹出し開口部25を有する上流側チャンバ10aを付設し、温調空気を一旦この上流側チャンバ10aに導入した後に下流側チャンバ10bに導入するようにされているから、使用されるエアフィルタユニット26としては上流側チャンバ10aにおける吹出し開口部25の開口面積に対応するものであればよく、従来の温調用ブース101と比べて、エアフィルタユニットの使用個数を大幅に削減することができる。
なお、このとき、圧損の増大が問題となる場合には、所要の送風能力の送風機を上流側チャンバ10a内に設けることで対応すればよい。
より具体的には、天板22における導入開口部24の直下において、その導入開口部24の開口面積と略同面積の拡散板30がエアフィルタユニット26の吹出し面26bと対向し、かつその吹出し面26bと吹出し面板21との間に略等間隔で配設されている。
拡散板30は、縦横に所定ピッチで多数の孔30aが穿設された平板で構成されており、天板22の導入開口部24を取り囲んで天板22から吊り下げられ、エアフィルタユニット26により清浄化された温調空気を側方に向けて吹き出す開口部分31aが四方の側面に設けられた枠体31によって支持されている。
これにより、内側シート材5aと外側シート材5bとの間に空間35(以下、「内外シート材間空間35」という。)が形成される。
内側シート材5a及び外側シート材5bはいずれも塩化ビニル樹脂等の合成樹脂製のシートからなるカーテンよりなり、内側シート材5aはチャンバ枠フレーム20の内周部にカーテンレールアッセンブリ36を介して吊り下げられる一方、外側シート材5bはチャンバ枠フレーム20の外周から外方に張り出されたカーテンレール取付ブラケット37にカーテンレールアッセンブリ36を介して吊り下げられている。
こうして、内側シート材5aの下端と床面FLとの間に隙間Sを設けることにより、内外シート材間空間35とブース空間3とを連通する連通手段としての開口部40を形成することができる。
また、外側シート材5bはブース空間3の陽圧により外側に膨張するのに対し、内側シート材5aは陽圧の影響が相殺されるため、内外シート材5a,5bが接することがなく、内外シート材間空間35を確実に確保することができる。
こうして、下流側チャンバ10b内の温調空気を、連通孔41を通して、内外シート材間空間35に導入することができる。
なお、複数の連通孔41を通して内外シート材間空間35に導入される温調空気の流量は、適宜に連通孔41をホールプラグ等で塞ぐことにより調整することができる。
上流側チャンバ10aに導入された温調空気はエアフィルタユニット26を通過する際に浄化され、浄化された温調空気はエアフィルタユニット26の吹出し面26bから下流側チャンバ10b内に吹き出される。
エアフィルタユニット26の吹出し面26bから下流側チャンバ10b内に吹き出された温調空気は拡散板30に吹き付けられ、拡散板30に吹き付けられた温調空気は、その一部の温調空気が枠体31の四方の側面に設けられた開口部分31aを通って四方に拡散され、残りの温調空気が拡散板30に設けられた孔30aを通って下方へと流下される。
こうして、下流側チャンバ10b内全体に温調空気が分散される。
こうして、内外シート材間空間35内に温調空気を流下させることができるので、内外シート材間空間35の温度が外部空間4の温度によって変化することを確実に防止することができ、十分な断熱性を確保することができる。
2 ブース本体
3 ブース空間
4 外部空間
5 仕切部材
10 チャンバ
10a 上流側チャンバ
10b 下流側チャンバ
15 空気温調装置
25 吹出し開口部
26 エアフィルタユニット
30 拡散板
35 内外シート材間空間
40 開口部(連通手段)
41 連通孔(連通手段)
Claims (3)
- 空気温調装置からの温調空気が導入されるチャンバを頂部に有するブース本体と、このブース本体の周囲に配設されてブース空間を外部空間と仕切る仕切部材とを備え、空気温調装置からの温調空気をチャンバを介してブース空間に導入するようにした温調用ブースにおいて、仕切部材を、所定間隔を存じて内外に配設した二重のシート材にて構成することにより内外シート材間に空間を形成し、内外シート材間に形成した空間とチャンバとを連通する連通手段を設けるとともに、内外シート材間に形成した空間とブース空間とを連通する連通手段を設けたことを特徴とする温調用ブース。
- 内外シート材間に形成した空間とブース空間とを連通する連通手段は、内側シート材の下端と床面との間に隙間を設けることで形成される開口部としたことを特徴とする請求項1記載の温調用ブース。
- チャンバは、温調空気流れ下流側に配される下流側チャンバと、温調空気流れ上流側に配され、下流側チャンバの吹出し面積よりも小さな吹出し面積の吹出し開口部を有する上流側チャンバとよりなり、上流側チャンバの吹出し開口部と下流側チャンバとの間にエアフィルタユニットを介設するとともに、下流側チャンバ内に拡散板をそのエアフィルタユニットに対応させて設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の温調用ブース。
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---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011257019A (ja) * | 2010-06-05 | 2011-12-22 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム区画ユニット及びクリーンルーム区画方法 |
JP2014052129A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温調システム |
JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2016070606A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 三機工業株式会社 | チルドコンベヤ用作業ブース |
WO2017138356A1 (ja) | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低湿度空間における静電気除去構造 |
EP2722456B1 (de) | 2012-10-16 | 2021-04-07 | Schilling Engineering GmbH | Reinraumbegrenzungseinheit |
JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266341A (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-19 | Matsushita Seiko Co Ltd | 空気清浄装置 |
JP2549910B2 (ja) * | 1989-01-11 | 1996-10-30 | ダイニック 株式会社 | 二重空気膜構造クリーンルーム |
JPH1183104A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-26 | Hitachi Air Conditioning & Refrig Co Ltd | 低温クリーンブース |
JP2000104967A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Hitachi Air Conditioning & Refrig Co Ltd | 温調付クリーンブース |
JP2004024253A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-01-29 | Iseki & Co Ltd | 接ぎ苗順化装置 |
JP2006046806A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Fusen Kobo Takumi:Kk | クリーンルーム |
JP2007100437A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Ohbayashi Corp | 二重窓の通気システム |
-
2007
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266341A (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-19 | Matsushita Seiko Co Ltd | 空気清浄装置 |
JP2549910B2 (ja) * | 1989-01-11 | 1996-10-30 | ダイニック 株式会社 | 二重空気膜構造クリーンルーム |
JPH1183104A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-26 | Hitachi Air Conditioning & Refrig Co Ltd | 低温クリーンブース |
JP2000104967A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Hitachi Air Conditioning & Refrig Co Ltd | 温調付クリーンブース |
JP2004024253A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-01-29 | Iseki & Co Ltd | 接ぎ苗順化装置 |
JP2006046806A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Fusen Kobo Takumi:Kk | クリーンルーム |
JP2007100437A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Ohbayashi Corp | 二重窓の通気システム |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011257019A (ja) * | 2010-06-05 | 2011-12-22 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム区画ユニット及びクリーンルーム区画方法 |
JP2014052129A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温調システム |
EP2722456B1 (de) | 2012-10-16 | 2021-04-07 | Schilling Engineering GmbH | Reinraumbegrenzungseinheit |
JP2014169816A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
JP2016070606A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 三機工業株式会社 | チルドコンベヤ用作業ブース |
WO2017138356A1 (ja) | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低湿度空間における静電気除去構造 |
JPWO2017138356A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2018-02-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 低湿度空間における静電気除去構造 |
US10798807B2 (en) | 2016-02-08 | 2020-10-06 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | Structure of removing static electricity in low-humidity space |
JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
JP7102032B2 (ja) | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
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