JPH08969Y2 - ファンフィルタユニット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造工場、バイオクリーンルー
ム、製薬会社、病院などの高度な清浄度のクリーンルー
ムなどに使用されるファンフィルタユニットに関する。

従来の技術 この種のファンフィルタユニットとして、ケーシング
内に電動モータ、ファンおよびフィルタがすべて内蔵さ
れたものが知られている。

考案が解決しようとする課題 ところが、上記のような従来のファンフィルタユニッ
トでは、電動モータ、ファンおよびフィルタがすべてケ
ーシング内に入れられているので、ユニット内で故障が
生じても外部から容易に判断できず、一部が故障しても
ユニット全体を分解する必要があり、メンテナンスに非
常に手間がかかるという問題がある。また、ユニット内
の空気の流れが偏り、室内の気流に強弱が生じ、フィル
タの一部に目詰りが生じて効率を悪くするという問題も
ある。

この考案の目的は、上記の問題を解決したファンフィ
ルタユニットを提供することにある。

課題を解決するための手段 この考案によるファンフィルタユニットは、ケーシン
グの上壁上面に、電動モータと、この電動モータにより
駆動されてケーシング内に空気を供給するファンが設け
られ、ケーシングの下部の空気吹出口に、フィルタが下
から装着され、ケーシング内に、ファンの吐出口に面す
るバッフル板が、高さおよび傾きの調整ができるように
設けられ、ケーシング内面およびバッフル板上面に防振
シートが設けられているものである。

作用 電動モータおよびファンがケーシングの上壁上面に設
けられ、フィルタがケーシングの下部に下から装着され
ているので、ユニット全体を分解せずに、外部から容易
に故障の判断およびメンテナンスができる。また、バッ
フル板の高さおよび傾きを調整して、ファンから吐出さ
れる空気をこのバッフル板で受けることにより、ケーシ
ング内の空気の流れがほぼ一様となり、消音効果も発揮
される。さらに、ケーシング内面およびバッフル板上面
に設けられている防振シートにより、消音および防振の
効果が一層高められる。

実施例 以下、図面を参照して、この考案の実施例について説
明する。

第１図は１つの室（１）のクリーンルーム設備の全体
構造を示し、第２図はその天井部の一部を拡大して示し
ている。

室（１）内の天井部に縦横複数の水平なビーム（２）
（３）が配置され、これらによって形成される長方形の
空間に複数のファンフィルタユニット（FFユニット）
（４）が１つずつ配置されている。また、ビーム（２）
（３）およびFFユニット（４）の下に、多数の穴があけ
られた水平パンチング板（５）が配置されている。そし
て、これらの上方の空間が、給気チャンバ（６）となっ
ている。なお、以下の説明において、第２図の左右方向
（第１図の紙面と直交する方向）を縦方向、第２図の上
下方向（第１図の左右方向）を横方向とする。

室（１）内にパンチング板製の床（７）が設けられ、
床下の空間が排気チャンバ（８）となっている。

室（１）内の両側にビーム（２）から床（７）に達す
る垂直な仕切板（９）が配置され、その外側の空間が還
気路（10）となっている。仕切板（９）の下部には、必
要に応じて、空気穴（11）が設けられている。

FFユニット（４）により、次のように、室（１）、排
気チャンバ（８）、還気路（10）および給気チャンバ
（６）で構成される循環路を空気が循環させられる。す
なわち、給気チャンバ（６）内の空気がFFユニット
（４）により吸込まれ、室（１）内に吹出される。FFユ
ニット（４）から室（１）内に吹出された空気の一部は
床（７）から排気チャンバ（８）に入って還気路（10）
に流れ、残りの一部は仕切板（９）の空気穴（11）から
直接還気路（10）に入る。そして、還気路（10）に入っ
た空気は、給気チャンバ（６）に戻り、上記同様に循環
する。

還気路（10）の下部に、排気チャンバ（８）および空
気穴（11）からの空気を還気路（10）の上部に導く適当
なガイド（12）が設けられている。還気路（10）の高さ
の中間部にプレフィルタ（13）が設けられ、上部に冷却
装置（14）が設けられており、還気路（10）内を流れる
空気を除塵および冷却が行なわれる。なお、冷却装置
（14）による冷却は、室（１）内の温度を温度センサ
（15）で検出し、この検出値が設定値となるように冷却
装置（14）の冷水圧調整弁（16）を制御することによっ
て行なわれる。

第５図および第６図に詳細に示すように、ビーム
（２）（３）は下部が開口したみぞ形材よりなり、各ビ
ーム（２）（３）の上面中央に吊下げ部（2a（3a）が設
けられている。吊下げ部（2a）（3a）はビーム（２）
（３）の長さ方向にのびた角筒の上面中央に吊りボルト
（図示略）を通すためのスリットが形成された形状を有
し、吊下げ部（2a）（3a）の適当箇所が吊りボルト（3
0）を介して天井スラブ（17）から吊下げられている。

縦ビーム（２）内の必要箇所に螢光灯などの照明灯
（18）が取付けられ、照明灯（18）が取付けられた部分
のビーム（２）の下部開口部に半透明板製のカバー（1
9）が取付けられている。

パンチング板（５）は、ビーム（２）（３）の下方に
たとえば15mm程度の適当な間隔をあけて配置され、ビー
ム（２）（３）とこれらの間の空間の下方のうち、照明
灯（18）の下方を除く部分を覆っている。

第３図および第４図に詳細に示すように、FFユニット
（４）は、直方体状のケーシング（20）を備えている。
ケーシング（20）の上壁（20a）上面に、電動モータ（2
1）と、これによって駆動される２個の遠心ファン（2
2）が取付けられている。ファン（22）は、モータ（2
1）を縦方向両側から挾むように配置されている。詳細
な図示は省略したが、ファン（22）の吸込口はケーシン
グ（20）の上方の空間すなわち給気チャンバ（６）に開
口し、吐出口はケーシング（20）の上壁（20a）に形成
された開口を通してケーシング（20）内に面している。

ケーシング（20）の下部全面が開口し、空気吹出口
（23）となっている。ケーシング（20）内の下部に、フ
ィルタ（24）が吹出口（23）を塞ぐように装着されてい
る。ケーシング（20）の側壁（20b）内面の高さの中間
部にフィルタ支持部材（25）が固定されており、この支
持部材（25）より下側のケーシング（20）内にフィルタ
（24）が下から挿入され、フィルタ（24）のフレーム
（26）の上部がねじなどの適宜な手段により支持部材
（25）に着脱可能に取付けられている。

ケーシング（20）内の上部であってファン（22）の下
方の部分に、ファン（22）の吹出口に面するバッフル板
（27）が取付けられている。バッフル板（27）は、ケー
シング（20）の上壁（20a）から吊下げられた適当数た
とえば６本の吊りボルト（28）の下端部に取付けられて
いる。吊りボルト（28）はケーシング（20）の上壁（20
a）を貫通して上方にのびており、この部分に調整ナッ
ト（29）がねじはめられている。そして、調整ナット
（29）で各吊りボルト（28）の上壁（20a）からの下方
突出長さを個別に調整することにより、バッフル板（2
7）の高さおよび傾きが任意に調整できるようになって
いる。

FFユニット（４）のケーシング（20）の下部がビーム
（２）（３）の間の空間にこれを塞ぐようにはめられ、
側壁（20b）の下部が図示しない適宜な手段によってビ
ーム（２）（３）に固定されている。ケーシング（20）
の下面は、ビーム（２）（３）の下面より少し上方に位
置している。なお、天井部の横方向（第１図の左右方
向）の半分と残りの半分とでファン（22）の向きが逆に
なるように、FFユニット（４）が配置されている。

給気チャンバ（６）内の空気はFFユニット（４）のフ
ァン（22）に吸込まれ、ケーシング（20）内に吹出され
る。このとき、バッフル板（27）があるので、ケーシン
グ（20）内の空気の流れはほぼ一様となり、フィルタ
（24）をほぼ一様に通過して、吹出口（23）から下方に
ほぼ一様に吹出される。このため、フィルタ（24）の一
部が目詰りを生じるようなことがない。また、バッフル
板（27）によって、消音効果も発揮される。なお、バッ
フル板（27）の上面、ケーシング（20）の上壁（20a）
および側壁（20b）の内面の適当箇所にネオプレンゴム
シートなどなどの防振シートが貼付けられている。この
ため、消音およびケーシング（20）の振動防止の効果が
一層高められる。

FFユニット（４）の吹出口（23）からほぼ一様に吹出
された空気は、パンチング板（５）を通って室（１）内
に吹出される。このとき、FFユニット（４）およびビー
ム（２）（３）とパンチング板（５）との間に間隔があ
けられているので、FFユニット（４）から吹出された空
気はビーム（２）（３）の真下にも流れ、室（１）内の
気流に強弱ができるようなことがない。また、照明灯
（18）がビーム（２）内に収められているので、照明灯
によって気流が乱れるようなこともない。

このFFユニット（４）では、モータ（21）およびファ
ン（22）がケーシング（20）の上壁（20a）上面に設け
られ、フィルタ（24）がケーシング（20）の下部に下か
ら装着されているので、外部から故障の判断およびメン
テナンスができ、作業が容易である。

還気路（10）は、室（１）の片側にだけ設けられても
よい。また、室が大きいような場合、中間部にも還気路
が設けられてもよい。

考案の効果 この考案のファンフィルタユニットによれば、上述の
ように、ユニット全体を分解せずに、外部から容易に故
障の判断およびメンテナンスができる。また、ケーシン
グ内の空気の流れがほぼ一様となって、室内の気流に強
弱ができるようなことがなく、高い消音効果および防振
効果が発揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示すクリーンルーム設備の
垂直断面図、第２図は第１図の天井部の一部を拡大して
示す平面図、第３図は第１図のファンフィルタユニット
の部分を拡大して示す正面図、第４図は第３図のファン
フィルタユニットの側面図、第５図は縦ビームの部分を
拡大して示す横断面図、第６図は横ビームの部分を拡大
して示す横断面図である。 （４）……ファンフィルタユニット、（20）……ケーシ
ング、（20a）……上壁、（21）……電動モータ、（2
2）……ファン、（23）……空気吹出口、（24）……フ
ィルタ、（27）……バッフル板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ケーシングの上壁上面に、電動モータと、
   この電動モータにより駆動されてケーシング内に空気を
   供給するファンが設けられ、ケーシングの下部の空気吹
   出口に、フィルタが下から装着され、ケーシング内に、
   ファンの吐出口に面するバッフル板が、高さおよび傾き
   の調整ができるように設けられ、ケーシング内面および
   バッフル板上面に防振シートが設けられているファンフ
   ィルタユニット。