JP5225936B2 - ファンフィルタユニット - Google Patents
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Description
3 フィルタ 4 モータ
5 ファンランナ 6 保護装置
7 パチン錠 8 開口
9 アルミフレーム 10 フィルタの下流側パッキン
11 下パッキン 12 上パッキン
20 ファンフィルタユニット 21 上部補強材
22 パッキン
Claims (1)
- クリーンルームのアルミフレームに設定されるファンフィルタユニットが、送風装置、エアチャンバー、及びフィルタの3つの構成部品から成り、前記エアチャンバーが前記送風装置と前記フィルタとの間に挟まれる分割構造とし、前記エアチャンバー同士を重ねられるような構造にしたファンフィルタユニットであって、
前記エアチャンバーは、縦断面が台形形状に形成された枠体構造を有し、該エアチャンバーの上部には前記送風装置を取り付ける開口部を備え、当該エアチャンバーの下部には前記フィルタを装着するために開放されており、
前記送風装置は、前記エアチャンバーの前記開口部に対して、パチン錠によって上パッキンを介して気密を保って取り付けられ、前記上パッキンは前記送風装置側に予め取り付けられており、
前記フィルタは、前記エアチャンバーの下部に対して、下パッキンを介して気密を保って取り付けられており、
前記下パッキンは、前記フィルタ側に予め取り付けられていることにより、
前記フィルタがクリーンルームの前記アルミフレームにパッキンを介して設置され、前記エアチャンバーが前記フィルタの上面に前記下パッキンを介して設置され、前記エアチャンバーの上に前記上パッキンを介して前記送風装置が搭載され、前記パチン錠で前記上パッキンを締め付けることにより、前記エアチャンバーとその上に搭載した送風装置の接合を気密に保つ
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
Priority Applications (1)
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JP2009134618A JP5225936B2 (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | ファンフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009134618A JP5225936B2 (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | ファンフィルタユニット |
Publications (2)
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Family
ID=43537139
Family Applications (1)
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JP2009134618A Active JP5225936B2 (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | ファンフィルタユニット |
Country Status (1)
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2009
- 2009-06-04 JP JP2009134618A patent/JP5225936B2/ja active Active
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