JP2007085576A

JP2007085576A - フィルタ取付構造体

Info

Publication number: JP2007085576A
Application number: JP2005271637A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Hasegawa; 永長谷川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2005-09-20
Filing date: 2005-09-20
Publication date: 2007-04-05

Abstract

【課題】ファンフィルタユニットにおいて、クリーン空間でのフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省スペース化および、フィルタの厚みに関らず汎用性のある固定金具を提供することが実現ができることを目的とする。
【解決手段】固定金具１１は、一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８と、他端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０と、チャンバ４の側面とフィルタ６の側面に当接または近接する中央板部９とチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられた保護材１３からなり、チャンバ４表面とフィルタ６の側面に設けられたＣ型形状のフィルタ枠１２との間を挟持するように連結しているフィルタ取付構造体が得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットのフィルタ取付け構造体に関する。

従来、この種のフィルタ取付構造体は、形状の異なる接合部材やフックを組み合わせてフィルタを着脱可能に構成している（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−３３６８１５号公報（〔００１３〕〜〔００２９〕、図１〜図８）

このような従来のフィルタ着脱方法では、ファンボックスに固定金具を先に取り付けておく必要があり、設置後はシール性を向上するための微調整が難しいという課題があり、固定金具を現場で簡単に取り付けできるとともに、設置後もシール性を向上できることが要求されている。

また、フィルタ下面に接合部材を引っ掛ける構造とした場合は、ファンフィルタユニットを筐体に設置する際、フィルタ下面を直接筐体に固定することができなくなり、筐体設置において別部材が新たに必要となるという課題があり、直接筐体に固定できることが要求されている。

また、複数のフィルタを重ねて設置する場合に、全てのフィルタとファンボックスを省スペースで、横ずれしないように固定する間敏な方法がないという課題があり、複数のフィルタとファンボックスを省スペースで確実に固定できる構造が要求されている。

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、フィルタ取付の準備作業を省いてフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また複数枚のフィルタを積層した場合のチャンバへのフィルタ固定が省スペースで確実に行うことができるフィルタ取付構造体を提供することを目的としている。

本発明のフィルタ取付構造体は、上記目的を達成するために、ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも１枚以上からなるフィルタと、このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、断面コ字形状の固定金具を有し、この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた保護材と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合させたものである。

また、本発明のフィルタ取付構造体は、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたものである。

また他の手段は、固定金具をフィルタ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合させたものである。

また、他の手段は、固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第一の中央板部の他端と第二の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなるものである。

また、他の手段は、固定金具は、第一の開口穴を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第１の中央板部の一端と前記第２の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなり、前記第一の中央板部に設けた第一の開口穴と、前記第一の開口穴とチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを備えたものである。

また、他の手段は、固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部とチャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた保護材と他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と第一の開口穴からなる第一の中央板部と、前記チャンバおよび前記フィルタ側面に係合する側面押え部と第二の開口穴からなる一対の第二の中央板部からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものである。

また、他の手段は、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴と前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた緩衝材とからなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものである。

また、他の手段は、固定金具をチャンバ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合させたものである。

また、他の手段は、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを備えたものである。

本発明によれば、チャンバと１枚もしくは複数枚のフィルタを同時かつ容易に接合でき、また接合時のチャンバへのキズ防止が可能となる効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。

また、チャンバにチャンバ押え部を取り付ける際、力をかけることなく容易に取り付けることが可能となり、また同じくくの字部分に手をかけることでチャンバからチャンバ押え部を容易に取り外すことができる効果が得られる。

また、チャンバとフィルタを結合したファンフィルタユニットを筐体に取りつける場合、チャンバとフィルタの脱離や横ズレを防止できる効果のあるフィルタ取付構造体を提供できる。

また、弾性力によりチャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できる効果が得られる。

また、チャンバとの固定を行うことで、固定金具の脱離防止の効果が得られる。

また、チャンバおよびフィルタの縦横サイズに関わらず固定することが可能となる効果が得られる。

また、パッキンの弾性力によりチャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できる効果が得られるとともに、フィルタの厚みサイズに関わらず固定することが可能となる効果が得られる。また、チャンバおよびフィルタの縦横サイズに関わらずチャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上および、横ズレ防止の効果が得られる。

また、チャンバおよびフィルタの縦横サイズに関わらず固定ボルトの締め付け具合の調整が可能となり、チャンバとフィルタを確実に固定できる効果が得られる。

本発明の請求項１記載の発明は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた保護材と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合したものであり、チャンバと１枚もしくは複数枚のフィルタを同時かつ容易に接合でき、また接合時のチャンバへのキズ防止ができるという作用を有する。

また、本発明の請求項２記載の発明は、チャンバ押え部先端部分に、開き形状のくの字部を備えたものであり、チャンバにチャンバ押え部を取り付ける際、力をかけることなく容易に取り付けることが可能となり、また同じくくの字部分に手をかけることでチャンバからチャンバ押え部を容易に取り外すことができるという作用を有する。

また、本発明の請求項３記載の発明は、固定金具をフィルタ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合したものであり、チャンバとフィルタを結合したファンフィルタユニットを筐体に取りつける場合、チャンバとフィルタの脱離や横ズレを防止できるという作用を有する。

また、本発明の請求項４記載の発明は、固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第一の中央板部の他端と第二の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなるものであり、弾性力によりチャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できるという作用を有する。

また、本発明の請求項５記載の発明は、固定金具は、第一の開口穴を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第１の中央板部の一端と前記第２の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなり、前記第一の中央板部に設けた第一の開口穴と、前記第一の開口穴とチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを備えたものであり、チャンバとの固定を行うことで、固定金具の脱離防止という作用を有する。

また、本発明の請求項６記載の発明は、固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた保護材と他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と第一の開口穴からなる第一の中央板部と、前記チャンバおよび前記フィルタ側面に係合する側面押え部と第二の開口穴からなる一対の第二の中央板部からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものであり、チャンバおよびフィルタの縦横サイズに関わらず固定することができるという作用を有する。

また、本発明の請求項７記載の発明は、固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴と前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた緩衝材とからなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたものであり、パッキンの弾性力によりチャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上できる効果が得られるとともに、フィルタの厚みサイズに関わらず固定することができるという作用を有する。

また、本発明の請求項８記載の発明は、固定金具をチャンバ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合させたものであり、チャンバとフィルタとの固定時のシール性を向上および、横ズレ防止ができるという作用を有する。

また、本発明の請求項９記載の発明は、固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを備えたであり、固定ボルトの締め付け具合の調整が可能となり、チャンバとフィルタを確実に固定できるという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１〜図３に示すように、ファン１とモーター２からなるファンユニット３をチャンバ４に内蔵し、ファンユニット３の下流側にゴムなどの弾性体よりなるパッキン５と１枚以上のフィルタ６を配設し、断面コ字状の固定金具１１で連結することによりファンフィルタユニット７を形成する。

固定金具１１は、一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８と、他端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０と、チャンバ４の側面とフィルタ６の側面に当接または近接する中央板部９とチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられた保護材１３からなり、チャンバ４表面とフィルタ６の側面に設けられたＣ型形状のフィルタ枠１２との間を挟持するように連結している。

上記構成において、図３に示すように、まず固定金具１１を斜めにしてフィルタ押え部１０をフィルタ枠１２に係合させ、フィルタ押え部１０側を支点としてチャンバ押え部８を回動し、さらにチャンバ４表面に圧接状態で係合させることにより、チャンバ４とフィルタ６を挟み込んで結合させることができる。このとき、チャンバ４とフィルタ６の間にパッキン５が介在しているので、パッキン５の弾性力によりチャンバ４とフィルタ６間のシール性が確実に確保されることとなる。

また、チャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられたテフロン（登録商標）製などのテープ状の保護材１３を設けることで、固定金具１１の着脱時において、テープ表面の円滑性により、チャンバ押え部８が容易にスライドするため、着脱時に必要な力を軽減することができ、作業性が向上する。

（実施の形態２）
図４に示すように、固定金具１１ｂは、チャンバ押え部８の先端部分に開き形状をしたくの字部８ａを形成している。

上記構成において、チャンバ押え部８の先端部分に、くの字部８ａを形成することにより、固定金具１１ｂをチャンバ４に取り付けるときは、チャンバ押え部８の先端部分がチャンバ４の表面に当接しないので、入り難くなったりチャンバ４を傷付けることがなく、容易にチャンバ押え部８を係合させることができる。また、固定金具１１ｂを外すときは、チャンバ押え部８のくの字部８ａに指先を当てて、引き上げるように回動することにより、容易に外すことができる。

（実施の形態３）
図５〜図６に示すように、固定金具１１ｃをフィルタ四隅部分１４に挟持し、チャンバ４とフィルタ６を結合している。

上記構成において、固定金具１１ｃがフィルタ四隅部分１４に挟持することで、チャンバ４とフィルタ６の脱離およびチャンバ４とフィルタ６の横ズレを防止することができる。また、固定金具１１ｃのサイズについて、チャンバ４およびフィルタ６サイズと同等のサイズは必要なく、フィルタ四隅部分１４のみ固定できる小型サイズの固定金具１１ｃで十分機能は満足することができるため、小型軽量の固定金具１１ｃを提供できる。

（実施の形態４）
図７に示すように、固定金具１１ｄは一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８を設けた第一の中央板部１５と、一端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０を設けた第二の中央板部１６と、第一の中央板部１５の他端と第二の中央板部１６の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部１７からなる。

上記構成において、弾性性能を有したゴム状成型品もしくはスプリング状の第三の中央板部１７の弾性力により、チャンバ４とフィルタ６との圧着固定力が向上し、チャンバ４とフィルタ６間のシール性を向上することができる。

（実施の形態５）
図８〜図９に示すように、固定金具１１ｅは、第一の開口穴１８を設けた第一の中央板部１５ａと、一端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０を設けた第二の中央板部１６ａと、前記第１の中央板部１５ａの一端と前記第２の中央板部１６ａの他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部１７ａからなり、前記第一の中央板部１５ａに設けた第一の開口穴１８と、前記第一の開口穴１８とチャンバ側面に設けた取付穴１９に螺合するチャンバ固定ボルト２０を有してなる構造からなる。

上記構成において、チャンバ４とフィルタ６との固定の際、固定金具１１ｅは、チャンバ固定ボルト２０で締め付けることで、ファンフィルタユニット７に確実に固定可能となり、チャンバ４との固定を行うことで、固定金具の脱離防止の効果も得られる。

（実施の形態６）
図１０〜図１１に示すように、固定金具１１ｆは、一端にチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８と前記チャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられた保護材１３と他端にフィルタ枠１２に係合するフィルタ押え部１０と第一の開口穴１８からなる第一の中央板部１５ａと、前記チャンバ４および前記フィルタ６側面に係合する側面押え部２１と第二の開口穴２２からなる一対の第二の中央板部２３からなり、前記第一の開口穴１８と前記第二の開口穴２２を通してチャンバ４側面に設けた取付穴１９に螺合するチャンバ固定ボルト２０を有し、前記第一の開口穴１８と前記第二の開口穴２２の少なくとも一方を長穴とした構造からなる。

上記構成において、第二の中央板部２３をチャンバ４およびフィルタ６のサイズに合わせて可動することで、チャンバ４およびフィルタ６の縦横サイズに関わらず同じ固定金具１１でチャンバ４とフィルタ６を固定することが可能となる。またチャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられたテフロン（登録商標）製などのテープ状の保護材１３を設けることで、固定金具１１の着脱時において、テープ表面の円滑性により、チャンバ押え部８が容易にスライドするため、着脱時に必要な力を軽減することができ、作業性が向上する。

（実施の形態７）
図１２〜図１３に示すように、固定金具１１ｇはチャンバ側固定金具２４とフィルタ側固定金具２５からなり、このチャンバ側固定金具２４はチャンバ押え部８と第一の中央板部１５ｂと、この第一の中央板部１５ｂに設けた第一の開口穴１８ｂと前記チャンバ４の表面に係合するチャンバ押え部８に設けられた緩衝材２６とからなり、前記フィルタ側固定金具２５はフィルタ押え部１０と第二の中央板部１６ｂと、この第二の中央板部１６ｂに設けた第二の開口穴２２ｂからなり、前記第一の開口穴１８ｂと前記第二の開口穴２２ｂを通してチャンバ４側面に設けた取付穴１９に螺合するチャンバ固定ボルト２０を有し、前記第一の開口穴１８ｂと前記第二の開口穴２２ｂの少なくとも一方を長穴とした構造からなる。

上記構成において、ＥＰＤＭもしくはエプトシーラーもしくはゴムからなる緩衝材２６の弾性力によりチャンバ４とフィルタ６との固定時のシール性向上が得られるとともに、チャンバ４およびフィルタ６の厚みサイズに応じてフィルタ側固定金具２５を可動することで、チャンバ４およびフィルタ６の厚みサイズに関わらず、同じ固定金具１１ｇでチャンバ４とフィルタ６を固定することが可能となる。

（実施の形態８）
図６および図１４に示すように、固定金具１１ｈをフィルタ四隅部分１４に挟持し、前記チャンバ４と前記フィルタ６を結合している。

上記構成において、ＥＰＤＭもしくはエプトシーラーもしくはゴムからなる緩衝材２６の弾性力によりチャンバ４とフィルタ６との固定時のシール性向上が得られるとともに、チャンバ４およびフィルタ６の厚みサイズに応じてフィルタ側固定金具２５を可動することで、チャンバ４およびフィルタ６の厚みサイズに関わらず、同じ固定金具１１ｈでチャンバ４とフィルタ６を固定することが可能とチャンバ４とフィルタ６の脱離およびチャンバ４とフィルタ６の横ズレを防止することができる。

（実施の形態９）
図１５〜図１６に示すように、固定金具１１ｉのフィルタ押え部１０に取付穴２７を設け、この取付穴２７に螺合してフィルタ枠１２の裏面と圧接するフィルタ調整ボルト２８を有してなる。

上記構成において、ＥＰＤＭもしくはエプトシーラーもしくはゴムからなる緩衝材２６の弾性力によりチャンバ４とフィルタ６との固定時のシール性向上が得られるとともに、フィルタ調整ボルト２８の締めこんでいくことで、チャンバ４表面とフィルタ枠１２との距離が縮むことから、チャンバ４とフィルタ６間のシール性を向上することができるとともに、フィルタ調整ボルト２８は、Ｃ型形状のフィルタ枠１２内に設けられていることから、ファンフィルタユニット７の外周部分に余分な突起を生じることが無く、省スペース化が図れる。

固定金具を用いてパッキンを介在させた状態で、複数のフィルタのみを連結する用途にも適用できる。

本発明の実施の形態１の正面図同固定金具の外観斜視図同正面図本発明の実施の形態２の固定金具の外観斜視図本発明の実施の形態３の固定金具の外観斜視図同正面図本発明の実施の形態４の固定金具の外観斜視図本発明の実施の形態５の固定金具の外観斜視図同正面図本発明の実施の形態６の固定金具の外観斜視図同正面図本発明の実施の形態７の固定金具の外観斜視図同正面図本発明の実施の形態８の固定金具の外観斜視図本発明の実施の形態９の固定金具の外観斜視図同正面図

符号の説明

１ファン
２モーター
３ファンユニット
４チャンバ
５パッキン
６フィルタ
７ファンフィルタユニット
８チャンバ押え部
８ａくの字部
９中央板部
１０フィルタ押え部
１１固定金具
１１ｂ固定金具
１１ｃ固定金具
１１ｄ固定金具
１１ｅ固定金具
１１ｆ固定金具
１１ｇ固定金具
１１ｈ固定金具
１１ｉ固定金具
１２フィルタ枠
１３保護材
１４フィルタ四隅部分
１５第一の中央板部
１５ａ第一の中央板部
１５ｂ第一の中央板部
１６第二の中央板部
１６ａ第二の中央板部
１６ｂ第二の中央板部
１７第三の中央板部
１７ａ第三の中央板部
１８第一の開口穴
１８ｂ第一の開口穴
１９取付穴
２０チャンバ固定ボルト
２１側面押え部
２２第二の開口穴
２２ｂ第二の開口穴
２３第二の中央板部
２４チャンバ側固定金具
２５フィルタ側固定金具
２６緩衝材
２７取付穴
２８フィルタ調整ボルト

Claims

ファンとモーターからなるファンユニットを内蔵したチャンバと、前記ファンユニットの下流側に配設される少なくとも１枚以上からなるフィルタと、このフィルタと前記チャンバの間に挿入される弾性を備えたパッキンと、断面コ字形状の固定金具を有し、この固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と、前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた保護材と、他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と、前記チャンバの側面と前記フィルタの側面に当接または近接する中央板部とからなり、前記フィルタの側面に設けたＣ型形状のフィルタ枠と前記チャンバの表面との間を前記固定金具で挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合してなるフィルタ取付構造体。
チャンバ押え部先端部分に開き形状のくの字部を備えた請求項１記載のフィルタ取付構造体。
固定金具をフィルタ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合してなる請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第一の中央板部の他端と第二の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなる請求項１または請求項２記載のフィルタ取付構造体。
固定金具は、第一の開口穴を設けた第一の中央板部と、一端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部を設けた第二の中央板部と、前記第１の中央板部の一端と前記第２の中央板部の他端間に設けられた弾性を備えた第三の中央板部からなり、前記第一の中央板部に設けた第一の開口穴と、前記第一の開口穴とチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有してなるフィルタ取付構造体。
固定金具は、一端にチャンバの表面に係合するチャンバ押え部と前記チャンバの表面に係合する前記チャンバ押え部に設けられた保護材と他端にフィルタ枠に係合するフィルタ押え部と第一の開口穴からなる第一の中央板部と、前記チャンバおよび前記フィルタ側面に係合する側面押え部と第二の開口穴からなる一対の第二の中央板部からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたフィルタ取付構造体。
固定金具はチャンバ側固定金具とフィルタ側固定金具からなり、このチャンバ側固定金具はチャンバ押え部と第１の中央板部と、この第１の中央板部に設けた第１の開口穴と前記チャンバの表面に係合するチャンバ押え部に設けられた緩衝材とからなり、前記フィルタ側固定金具はフィルタ押え部と第２の中央板部と、この第２の中央板部に設けた第２の開口穴からなり、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴を通してチャンバ側面に設けた取付穴に螺合するチャンバ固定ボルトを有し、前記第１の開口穴と前記第２の開口穴の少なくとも一方を長穴としたフィルタ取付構造体。
固定金具をチャンバ四隅部分に挟持し、前記チャンバと前記フィルタを結合してなる請求項７記載のフィルタ取付構造体。
固定金具のフィルタ押え部に取付穴を設け、この取付穴に螺合してフィルタ枠の裏面と圧接するフィルタ調整ボルトを有してなる請求項７または請求項８記載のフィルタ取付構造体。