JP2524214Y2 - クリーンルーム設備 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造工場、バイオクリーンルー
ム、製薬会社、病院などのクリーンルーム設備に関す
る。

従来の技術 この種のクリーンルーム設備として、室の天井部に縦
横複数の水平なビームが配置され、電動モータ、電動モ
ータにより駆動されるファンおよびフィルタを備えたフ
ァンフィルタユニットがビームの間の空間に配置され、
多数の穴が開けられたパンチング板がビームの下面に接
触するようにビームおよびファンフィルタユニットの下
に配置され、パンチング板の下に照明灯が配置されてい
るものが知られている。

考案が解決しようとする課題 上記のクリーンルーム設備では、ファンフィルタユニ
ットから吹出された空気がパンチング板を通って室内に
吹出されるが、パンチング板がビームの下面に接触して
いるので、ビームの真下には空気が流れず、室内の気流
に強弱が生じるという問題がある。また、パンチング板
の下に配置された照明灯によって渦が生じ、気流が乱れ
るという問題もある。

この考案の目的は、上記の問題を解決したファンフィ
ルタユニットを提供することにある。

課題を解決するための手段 この考案によるクリーンルーム設備は、 室の天井部に縦横複数の水平なビームが配置され、電
動モータ、電動モータにより駆動されるファンおよびフ
ィルタを備えたファンフィルタユニットがビームの間の
空間に配置され、多数の穴が開けられたパンチング板が
ビームおよびファンフィルタユニットの下に配置されて
いるクリーンルーム設備において、 下面が開口したみぞ形材よりなるビームの内部に照明
灯が取付けられ、パンチング板がビームおよびファンフ
ィルタユニットより下方に間隔をあけて配置され、照明
灯の下方を除く部分を覆っていることを特徴とするもの
である。

作用 パンチング板がビームおよびファンフィルタユニット
より下方に間隔をあけて配置され、照明灯の下方を除く
部分を覆っているので、ファンフィルタユニットから吹
出された空気は、ビームの両側からビームの真下に流れ
込み、照明灯の下方を除いた部分すなわちパンチング板
が配置された部分においては、パンチング板を通って室
内に吹き出され、一方、照明灯の下方すなわちパンチン
グ板が配置されていない部分においては、ビームの両側
から流れてきた空気が合流して下方に流れて室内に吹き
出され、室内の気流に強弱ができるようなことがない。
また、みぞ形材よりなるビームの内部に照明灯が取付け
られており、ビーム内を空気が流れないので、照明灯に
より渦が生じて気流が乱れるようなことがない。

実施例 以下、図面を参照して、この考案の実施例について説
明する。

第１図は１つの室（１）のクリーンルーム設備の全体
構成を示し、第２図はその天井部の一部を拡大して示し
ている。

室（１）内の天井部に縦横複数の水平なビーム（２）
（３）が配置され、これらによって形成される長方形の
空間に複数のファンフィルタユニット（FFユニット）
（４）が１つずつ配置されている。また、ビーム（２）
（３）およびFFユニット（４）の下に、多数の穴があけ
られた水平パンチング板（５）が配置されている。そし
て、これらの上方の空間が、給気チャンバ（６）となっ
ている。なお、以下の説明において、第２図の左右方向
（第１図の紙面と直交する方向）を縦方向、第２図の上
下方向（第１図の左右方向）を横方向とする。

室（１）内にパンチング板製の床（７）が設けられ、
床下の空間が排気チャンバ（８）となっている。

室（１）内の両側にビーム（２）から床（７）に達す
る垂直な仕切板（９）が配置され、その外側の空間が還
気路（10）となっている。仕切板（９）の下部には、必
要に応じて、空気穴（11）が設けられている。

FFユニット（４）により、次のように、室（１）、排
気チャンバ（８）、還気路（10）および給気チャンバ
（６）で構成される循環路を空気が循環させられる。す
なわち、給気チャンバ（６）内の空気がFFユニット
（４）により吸込まれ、室（１）内に吹出される。FFユ
ニット（４）から室（１）内に吹出された空気の一部は
床（７）から排気チャンバ（８）に入って還気路（10）
に流れ、残りの一部は仕切板（９）の空気穴（11）から
直接還気路（10）に入る。そして、還気路（10）に入っ
た空気は、給気チャンバ（６）に戻り、上記同様に循環
する。

還気路（10）の下部に、排気チャンバ（８）および空
気穴（11）からの空気を還気路（10）の上部に導く適当
なガイド（12）が設けられている。還気路（10）の高さ
の中間部にプレフィルタ（13）が設けられ、上部に冷却
装置（14）が設けられており、還気路（10）内を流れる
空気の除塵および冷却が行なわれる。なお、冷却装置
（14）による冷却は、室（１）内の温度を温度センサ
（15）で検出し、この検出値が設定値となるように冷却
装置（14）の冷水圧調整弁（16）を制御することによっ
て行なわれる。

第５図および第６図に詳細に示すように、ビーム
（２）（３）は下部が開口したみぞ形材よりなり、各ビ
ーム（２）（３）の上面中央に吊下げ部（2a）（3a）が
設けられている。吊下げ部（2a）（3a）はビーム（２）
（３）の長さ方向にのびた角筒の上面中央に吊りボルト
（図示略）を通すためのスリットが形成された形状を有
し、吊下げ部（2a）（3a）の適当箇所が吊りボルト（3
0）を介して天井スラブ（17）から吊下げられている。

縦ビーム（２）内の必要箇所に蛍光灯などの照明灯
（18）が取付けられ、照明灯（18）が取付けられた部分
のビーム（２）の下部開口部に半透明板製のカバー（1
9）が取付けられている。

パンチング板（５）は、ビーム（２）（３）の下方に
たとえば15mm程度の適当な間隔をあけて配置され、ビー
ム（２）（３）とこれらの間の空間の下方のうち、照明
灯（18）の下方を除く部分を覆っている。

第３図および第４図に詳細に示すように、FFユニット
（４）は、直方体状のケーシング（20）を備えている。
ケーシング（20）の上壁（20a）上面に、電動モータ（2
1）と、これによって駆動される２個の遠心ファン（2
2）が取付けられている。ファン（22）は、モータ（2
1）を縦方向両側から挾むように配置されている。詳細
な図示は省略したが、ファン（22）の吸込口はケーシン
グ（20）の上方の空間すなわち給気チャンバ（６）に開
口し、吐出口はケーシング（20）の上壁（20a）に形成
された開口を通してケーシング（20）内に面している。

ケーシング（20）の下部全面が開口し、空気吹出口
（23）となっている。ケーシング（20）内の下部に、フ
ィルタ（24）が吹出口（23）を塞ぐように装着されてい
る。ケーシング（20）の側壁（20b）内面の高さの中間
部にフィルタ支持部材（25）が固定されており、この支
持部材（25）より下側のケーシング（20）内にフィルタ
（24）が下から挿入され、フィルタ（24）のフレーム
（26）の上部がねじなどの適宜な手段により支持部材
（25）に着脱可能に取付けられている。

ケーシング（20）内の上部であってファン（22）の下
方の部分に、バッフル板（27）が取付けられている。バ
ッファ板（27）は、ケーシング（20）の上壁（20a）か
ら吊下げられた適当数たとえば６本の吊りボルト（28）
の下端部に取付けられている。吊りボルト（28）はケー
シング（20）の上壁（20a）を貫通して上方にのびてお
り、この部分に調整ナット（29）がねじはめられてい
る。そして、調整ナット（29）で各吊りボルト（28）の
上壁（20a）からの下方突出長さを個別に調整すること
により、バッフル板（27）の傾きが任意に調整できるよ
うになっている。

FFユニット（４）のケーシング（20）の下部がビーム
（２）（３）の間の空間にこれを塞ぐようにはめられ、
側壁（20b）の下部が図示しない適宜な手段によってビ
ーム（２）（３）に固定されている。ケーシング（20）
の下面は、ビーム（２）（３）の下面より少し上方に位
置している。なお、天井部の横方向（第１図の左右方
向）の半分と残りの半分とでファン（22）の向きが逆に
なるように、FFユニット（４）が配置されている。

給気チャンバ（６）内の空気はFFユニット（４）のフ
ァン（22）に吸込まれ、ケーシング（20）内に吹出され
る。このとき、バッフル板（27）があるので、ケーシン
グ（20）内の空気の流れはほぼ一様となり、フィルタ
（24）をほぼ一様に通過して、吹出口（23）から下方に
ほぼ一様に吹出される。このため、フィルタ（24）の一
部が目詰りを生じるようなことがない。また、バッフル
板（27）によって、消音効果も発揮される。なお、バッ
フル板（27）の上面、ケーシング（20）の上蓋（20a）
および側壁（20b）の内面の適当箇所にネオプレンゴム
シートなどを貼付けておけば、消音およびケーシング
（20）の振動防止の効果が一層高められる。

FFユニット（４）の吹出口（23）からほぼ一様に吹出
された空気は、パンチング板（５）を通って室（１）内
に吹出される。このとき、FFユニット（４）およびビー
ム（２）（３）とパンチング板（５）との間に間隔があ
けられているので、FFユニット（４）から吹出された空
気は、ビーム（２）（３）の両側からビーム（２）
（３）の真下に流れ込み、照明灯（18）の下方を除いた
部分すなわちパンチング板（５）が配置された部分にお
いては、パンチング板（５）を通って室（１）内に吹き
出され、一方、照明灯（18）の下方すなわちパンチング
板（５）が配置されていない部分においては、ビーム
（２）（３）の両側から流れてきた空気が合流して下方
に流れて室（１）内に吹き出され、室（１）内の気流に
強弱ができるようなことがない。また、照明灯（18）が
ビーム（２）内に収められており、ビーム（２）内を空
気が流れないので、照明灯によって気流が乱れるような
こともない。

このFFユニット（４）では、モータ（21）およびファ
ン（22）がケーシング（20）の上壁（20a）上面に設け
られ、フィルム（24）がケーシング（20）の下部に下か
ら装着されているので、外部から故障の判断およびメン
テナンスができ、作業が容易である。

還気路（10）は、室（１）の片側にだけ設けられても
よい。また、室が大きいような場合、中間部にも還気路
が設けられてもよい。

考案の効果 この考案のクリーンルーム設備によれば、上述のよう
に、ファンフィルタユニットから吹出された空気がビー
ムの真下にも流れ、室内の気流に強弱ができるようなこ
とがなく、また、照明灯により渦が生じて気流が乱れる
ようなこともない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示すクリーンルーム設備の
垂直断面図、第２図は第１図の天井部の一部を拡大して
示す平面図、第３図は第１図のファンフィルタユニット
の部分を拡大して示す正面図、第４図は第３図のファン
フィルタユニットの側面図、第５図は縦ビームの部分を
拡大して示す横断面図、第６図は横ビームの部分を拡大
して示す横断面図である。 （１）……室、（２）（３）……ビーム、（４）……フ
ァンフィルタユニット、（５）……パンチング板、（1
8）……照明板、（21）……電動モータ、（22）……フ
ァン、（24）……フィルタ。

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】室の天井部に縦横複数の水平なビームが配
   置され、電動モータ、電動モータにより駆動されるファ
   ンおよびフィルタを備えたファンフィルタユニットがビ
   ームの間の空間に配置され、多数の穴が開けられたパン
   チング板がビームおよびファンフィルタユニットの下に
   配置されているクリーンルーム設備において、 下面が開口したみぞ形材よりなるビームの内部に照明灯
   が取付けられ、パンチング板がビームおよびファンフィ
   ルタユニットより下方に間隔をあけて配置され、照明灯
   の下方を除く部分を覆っていることを特徴とするクリー
   ンルーム設備。