JPS61202026A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61202026A JPS61202026A JP60038914A JP3891485A JPS61202026A JP S61202026 A JPS61202026 A JP S61202026A JP 60038914 A JP60038914 A JP 60038914A JP 3891485 A JP3891485 A JP 3891485A JP S61202026 A JPS61202026 A JP S61202026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zone
- outside
- supply chamber
- filter
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はユニット式のクリーンルームに係るものである
。
。
（従来の技術）
第２図は従来のユニット式クリーンルームな示し、天井
面（１）に配設されたサプライチャンバ（２）の吹出面
に設けた高性能フィルタ（３）の側縁よりビニール等で
構成された間仕切部材（４）で、前記フィル。
面（１）に配設されたサプライチャンバ（２）の吹出面
に設けた高性能フィルタ（３）の側縁よりビニール等で
構成された間仕切部材（４）で、前記フィル。
り（３）直下の高清浄度域（Ａ）と外側の低清浄度域（
至）とを区画し、前記フィルタ（３）からの吹出気流は
間仕切部材（４）の下端と床面（５）との間隙から外側
の低清浄度域（至）に排出し、同高清浄度域（至）より
サプライチャンバ（２）に吹出気流を供給するようにな
っている。
至）とを区画し、前記フィルタ（３）からの吹出気流は
間仕切部材（４）の下端と床面（５）との間隙から外側
の低清浄度域（至）に排出し、同高清浄度域（至）より
サプライチャンバ（２）に吹出気流を供給するようにな
っている。
図中（６）はファン、（７）は吸込口である。
（発明が解決しようとする問題点）
このように従来のクリーンルームでは、低清浄度域（至
）からサプライチャンバ（２）に吹出気流が供給される
ので、高性能フィルタ（３）の負荷が大きくなり、同フ
ィルタ（３）の交換時期が短かくなる。
）からサプライチャンバ（２）に吹出気流が供給される
ので、高性能フィルタ（３）の負荷が大きくなり、同フ
ィルタ（３）の交換時期が短かくなる。
（問題点を解決するための手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
ものであって、クリーンルーム上１ｓの清浄空気吹出面
より、同吹出面下に高清浄度域を画成する内側間仕切部
材、及び同高清浄度域を外側低借浄度域より区画する外
側間仕切部材を垂設し、前記内側間仕切部材下端と床面
との間に間隙を設け、前記内外両側間仕切部材間に吹出
空気流の前記吹出面に対するレターン経路を形成してな
ることを特徴とするクリーンルームに係るものである。
ものであって、クリーンルーム上１ｓの清浄空気吹出面
より、同吹出面下に高清浄度域を画成する内側間仕切部
材、及び同高清浄度域を外側低借浄度域より区画する外
側間仕切部材を垂設し、前記内側間仕切部材下端と床面
との間に間隙を設け、前記内外両側間仕切部材間に吹出
空気流の前記吹出面に対するレターン経路を形成してな
ることを特徴とするクリーンルームに係るものである。
（作 用）
本発明に係るクリーンルームは前記したように構成され
ているので１．クリーンルーム上部の吹出面より吹出さ
れた清浄空気流は前記内側間仕切部材下端と床面との間
隙より、同間仕切部材と外側間仕切部材との間に形成さ
れたレターン経路を通ってクリーンルームの上部清浄空
気吹出面に還流される。
ているので１．クリーンルーム上部の吹出面より吹出さ
れた清浄空気流は前記内側間仕切部材下端と床面との間
隙より、同間仕切部材と外側間仕切部材との間に形成さ
れたレターン経路を通ってクリーンルームの上部清浄空
気吹出面に還流される。
（発明の効果）
このように本発明においてはクリーンルーム上部の清浄
空気吹出面より内側間仕切部材を垂設して、同吹出面下
部に高清浄度域を確保するとともに、前記吹出面より外
側間仕切部材を垂設して高清浄度域を低清浄度域と区画
し、且つ内外両側間仕切部材間にレターン経路を形成し
、高清浄度域より前記吹出面にレターン空気流を還流す
るようにしたので、同吹出面に配設されたフィルタの負
荷が低減され、同フィルタの耐用年限が増大されるもの
である。
空気吹出面より内側間仕切部材を垂設して、同吹出面下
部に高清浄度域を確保するとともに、前記吹出面より外
側間仕切部材を垂設して高清浄度域を低清浄度域と区画
し、且つ内外両側間仕切部材間にレターン経路を形成し
、高清浄度域より前記吹出面にレターン空気流を還流す
るようにしたので、同吹出面に配設されたフィルタの負
荷が低減され、同フィルタの耐用年限が増大されるもの
である。
（実施例）
以下本発明を図示の実施例について説明する。
（１］）はクリーンルーム天井面１７Ｊに配設されたサ
プライチャンバ、（１３はその吹出口に配設された高性
能フィルタ、Ｉはファン、Ｑ５は吸込口である。
プライチャンバ、（１３はその吹出口に配設された高性
能フィルタ、Ｉはファン、Ｑ５は吸込口である。
前記吹出口の周縁より同吹出口直下に高清浄度域（Ａ）
ｗ確保するように、ビニール等より構成された内側間仕
切部材αＱを垂設する。なお同間仕切部材ａｅの下端と
床面ａηとの間には間隙が設けられて〜する。
ｗ確保するように、ビニール等より構成された内側間仕
切部材αＱを垂設する。なお同間仕切部材ａｅの下端と
床面ａηとの間には間隙が設けられて〜する。
更に前記内側間仕切部材αｅの外側に外側間仕切部材（
１８）がサプライチャンバ雑ｚの外周縁より垂設され、
同部材（１８によって高清浄度域（Ａ）を低清浄度域（
至）より区画するとともに、内外両側間仕切部材（ｌＥ
９Ｈ間に前記フィルタＣ１３からの空気噴流のレターン
経路を形成する。
１８）がサプライチャンバ雑ｚの外周縁より垂設され、
同部材（１８によって高清浄度域（Ａ）を低清浄度域（
至）より区画するとともに、内外両側間仕切部材（ｌＥ
９Ｈ間に前記フィルタＣ１３からの空気噴流のレターン
経路を形成する。
図示の実施例は前記したように構成されているので、前
記サプライチャンバ住ｚの高性能フィルタ０より高清浄
度域（Ａ）に吹出された清浄空気流は、内側間仕切部材
住ｅと床面面との間より、内外両側間仕切部材（１Ｇ
（１８間に形成されたレターン経路に入り、吸込口（Ｉ
！９よりサプライチャンバζα２に還流する。
記サプライチャンバ住ｚの高性能フィルタ０より高清浄
度域（Ａ）に吹出された清浄空気流は、内側間仕切部材
住ｅと床面面との間より、内外両側間仕切部材（１Ｇ
（１８間に形成されたレターン経路に入り、吸込口（Ｉ
！９よりサプライチャンバζα２に還流する。
このように図示の実施例によれば、前記内外両側間仕切
部材間に空気流のレターン経路を形成することによって
サプライチャンバａ３には高清浄度域より空気流が還流
されるので、前記フィルタ０の負荷が低減され、その耐
用年限が増大するものである。
部材間に空気流のレターン経路を形成することによって
サプライチャンバａ３には高清浄度域より空気流が還流
されるので、前記フィルタ０の負荷が低減され、その耐
用年限が増大するものである。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は本発明に係るクリーンルームの一実施例な示す
縦断面図、第２図は従来のクリーンルームの縦断面図で
ある。 （１３・・・サプライチャンバ、０・・・高性能フィル
タ、顛・−・内側間仕切部材、 （Ｉη・・・床 面、
（１８１・・・外側間仕切部材。 代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名
縦断面図、第２図は従来のクリーンルームの縦断面図で
ある。 （１３・・・サプライチャンバ、０・・・高性能フィル
タ、顛・−・内側間仕切部材、 （Ｉη・・・床 面、
（１８１・・・外側間仕切部材。 代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名
Claims (1)
- クリーンルーム上部の清浄空気吹出面より、同吹出面下
に高清浄度域を画成する内側間仕切部材、及び同高清浄
度域を外側低清浄度域より区画する外側間仕切部材を垂
設し、前記内側間仕切部材下端と床面との間に間隙を設
け、前記内外両側間仕切部材間に吹出空気流の前記吹出
面に対するレターン経路を形成してなることを特徴とす
るクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60038914A JPS61202026A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60038914A JPS61202026A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61202026A true JPS61202026A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12538469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60038914A Pending JPS61202026A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61202026A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635320U (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-14 | ||
| JPH0397137U (ja) * | 1990-01-18 | 1991-10-04 | ||
| JP2020159653A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| JP2020159654A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三機工業株式会社 | 空調システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP60038914A patent/JPS61202026A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS635320U (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-14 | ||
| JPH0397137U (ja) * | 1990-01-18 | 1991-10-04 | ||
| JP2020159653A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三機工業株式会社 | クリーンルームの空調システム |
| JP2020159654A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三機工業株式会社 | 空調システム |
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