JPS62186150A - クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置Info
- Publication number
- JPS62186150A JPS62186150A JP61027967A JP2796786A JPS62186150A JP S62186150 A JPS62186150 A JP S62186150A JP 61027967 A JP61027967 A JP 61027967A JP 2796786 A JP2796786 A JP 2796786A JP S62186150 A JPS62186150 A JP S62186150A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- clean air
- tunnel
- space
- plenum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 14
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルームにおける空気清浄装置に係るも
のである。
のである。
（従来の技術）
第２図は従来のクリーンルームのＲイ方式等で使用され
ている空気清浄装置を示し、クリーンルーム（勾におけ
る両側トンネル部（Ｂ）（Ｂ）、及び間両トンネル部（
Ｂ）に挾まれた通路部（Ｃ）の各上方に、夫々超高性能
フィルタ（ａ）が内蔵されたトンネル部及び通路部じ）
の空気清浄部（ＤＪに）が個々に配設され、同各清浄部
（Ｄ）（至）、（ト））の下面から清浄空気が吹出され
ている。
ている空気清浄装置を示し、クリーンルーム（勾におけ
る両側トンネル部（Ｂ）（Ｂ）、及び間両トンネル部（
Ｂ）に挾まれた通路部（Ｃ）の各上方に、夫々超高性能
フィルタ（ａ）が内蔵されたトンネル部及び通路部じ）
の空気清浄部（ＤＪに）が個々に配設され、同各清浄部
（Ｄ）（至）、（ト））の下面から清浄空気が吹出され
ている。
図中（６）はファン、（Ｃ）は給気ダク） ｓ （ｄｌ
（ｍｌはレターンロ、（ハは床下プレナム、（ｇ）はレ
ターンチヤンバである。
（ｍｌはレターンロ、（ハは床下プレナム、（ｇ）はレ
ターンチヤンバである。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来の空気清浄装置においては、−双のトンネル部
とその中間に位置する通路部が夫々別の空気清浄システ
ムで空気の清浄化を図るように構成されているので、経
済性の面で問題があった。
とその中間に位置する通路部が夫々別の空気清浄システ
ムで空気の清浄化を図るように構成されているので、経
済性の面で問題があった。
（問題点を解決するだめの手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記各トンネル部の頂部に
、同トンネル部、及び前記通路部に指向して開口する清
浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有する清浄空気吹出
空間部を配設し、前記トンネル部に隣接するレターンチ
ヤンバ頂部に前記清浄空気吹出空間部に対する清浄空気
供給用の送風機及び超高性能フィルタを内蔵したプレナ
ムチャンバを配設して、なることを特徴とするクリーン
ルームにおける空気清浄装置に係るものである。
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記各トンネル部の頂部に
、同トンネル部、及び前記通路部に指向して開口する清
浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有する清浄空気吹出
空間部を配設し、前記トンネル部に隣接するレターンチ
ヤンバ頂部に前記清浄空気吹出空間部に対する清浄空気
供給用の送風機及び超高性能フィルタを内蔵したプレナ
ムチャンバを配設して、なることを特徴とするクリーン
ルームにおける空気清浄装置に係るものである。
（作用）
本発明は前記したように構成されているので、レターン
チヤンバ頂部に設けたプレナムチャンバに内蔵された送
風機及び超高性能フィルタによって、前記トンネル部の
頂部に配設された清浄空気吹出空間部に清浄空気が供給
され、同空間部の下面及び側面に配設された清浄空気吹
出口よシ清浄空気がトンネル部及び通路部に指向して吹
出され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化され
る。
チヤンバ頂部に設けたプレナムチャンバに内蔵された送
風機及び超高性能フィルタによって、前記トンネル部の
頂部に配設された清浄空気吹出空間部に清浄空気が供給
され、同空間部の下面及び側面に配設された清浄空気吹
出口よシ清浄空気がトンネル部及び通路部に指向して吹
出され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化され
る。
このように前記各空間が清浄化されたのち、レターンエ
アは前記レターンチヤンバよシ再び前記プレナムチャン
バに戻され、以下前記のサイクルが反覆されてクリーン
ルームのトンネル部、及び通路部の各空間が・清浄化さ
れる。
アは前記レターンチヤンバよシ再び前記プレナムチャン
バに戻され、以下前記のサイクルが反覆されてクリーン
ルームのトンネル部、及び通路部の各空間が・清浄化さ
れる。
（発明の効果）
このように本発明によれば、クリーンルームにおけるト
ンネル部と通路部との各空間が、トンネル部頂部に配設
され、レターンチャンノζ頂部のプレナムチャン・２よ
シ清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部によって
同時に清浄化されるので、装置が簡略化され、コストが
節減される。
ンネル部と通路部との各空間が、トンネル部頂部に配設
され、レターンチャンノζ頂部のプレナムチャン・２よ
シ清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部によって
同時に清浄化されるので、装置が簡略化され、コストが
節減される。
（実施例）
以下本発明を図示の実施例について説明する。
第１図において（Ａ）はクリーンルーム、（Ｂ）はその
両側に配設されたトンネル部、（Ｃ）は間両トンネル部
に挾まれた通路部である。
両側に配設されたトンネル部、（Ｃ）は間両トンネル部
に挾まれた通路部である。
前記各トンネル部中）の頂部には夫々清浄空気吹出空間
部（１）が配設され、同空間部（１）のトンネル部（Ｂ
）に対向する下面、及び通路部（Ｃ）に対向する側面に
亘って連続的に清浄空気吹出口（２）が配設されている
。
部（１）が配設され、同空間部（１）のトンネル部（Ｂ
）に対向する下面、及び通路部（Ｃ）に対向する側面に
亘って連続的に清浄空気吹出口（２）が配設されている
。
トンネル部（Ｂ）に隣接するレターンチャンパウ）の頂
部にはプレナムチャンバ（３）が配設され、同プレナム
チヤンバ（３）には前記清浄空気吹出空間部（１）に対
する清浄空気供給用の送風機（４）及び超高性能フィル
タ（５）が内蔵されている。
部にはプレナムチャンバ（３）が配設され、同プレナム
チヤンバ（３）には前記清浄空気吹出空間部（１）に対
する清浄空気供給用の送風機（４）及び超高性能フィル
タ（５）が内蔵されている。
図中（７）及び（８）は夫々レターンチヤンバｑ）及び
床下プレナムチャンバ（９）に接続するレターンロ、（
１１は前記プレナムチャンバｚ（３）に接続する給気ダ
クトである。
床下プレナムチャンバ（９）に接続するレターンロ、（
１１は前記プレナムチャンバｚ（３）に接続する給気ダ
クトである。
図示の実施例は前記したように構成されているので、前
記レターンチヤンバＱ′）の頂部のプレナムチャンバ（
３）に内蔵された送風機（４）及び超高性能フィルタ（
５）によって前記トンネル部（Ｂ）の頂部の清浄空気吹
出空間部（１）に供給された清浄空気は、同空間部（１
）の下面から側面に亘って連続して設けられた清浄空気
吹出口（２）よシトンネル部（Ｂ）、並に通路部（Ｃ）
に吹出され、同各部（Ｊ３）（Ｃ）の空間を清浄化する
。
記レターンチヤンバＱ′）の頂部のプレナムチャンバ（
３）に内蔵された送風機（４）及び超高性能フィルタ（
５）によって前記トンネル部（Ｂ）の頂部の清浄空気吹
出空間部（１）に供給された清浄空気は、同空間部（１
）の下面から側面に亘って連続して設けられた清浄空気
吹出口（２）よシトンネル部（Ｂ）、並に通路部（Ｃ）
に吹出され、同各部（Ｊ３）（Ｃ）の空間を清浄化する
。
この際、前記清浄空気吹出口（２）が清浄空気吹出空間
部（１）の下面から側面に亘って連続的に配設されてい
るので、トンネル部（Ｂ）の高清浄度空間に通路部（Ｃ
）の低清浄度空間の空気が誘引されることがなく、更に
前記清浄空気吹出空間部（１）から吹出される空気流の
水平成分がトンネル部中）から通路部（Ｃｌに指向して
いるので、同通路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部
（Ｂ）への侵入が防止される。
部（１）の下面から側面に亘って連続的に配設されてい
るので、トンネル部（Ｂ）の高清浄度空間に通路部（Ｃ
）の低清浄度空間の空気が誘引されることがなく、更に
前記清浄空気吹出空間部（１）から吹出される空気流の
水平成分がトンネル部中）から通路部（Ｃｌに指向して
いるので、同通路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部
（Ｂ）への侵入が防止される。
かくしてクリーンルーム内向を清浄化した空気はレター
ンロ（７）を経てレターンチャンパ（Ｄ’）に入り、頂
部のプレナムチャンバ（３）に戻される。
ンロ（７）を経てレターンチャンパ（Ｄ’）に入り、頂
部のプレナムチャンバ（３）に戻される。
このように前記実施例によれば、クリーンルーム（ＡＲ
Ｋおけるトンネル部（至）と通路部じ）との雨空間がト
ンネル部中）の頂部に配設され、且つレターンチヤンバ
Ｑ′）頂部のプレナムチャンバ（３）より清浄空気の供
給を受ける清浄空気吹出空間部（１）によって浄化され
るので、装置が簡略化され、コストが節減される。
Ｋおけるトンネル部（至）と通路部じ）との雨空間がト
ンネル部中）の頂部に配設され、且つレターンチヤンバ
Ｑ′）頂部のプレナムチャンバ（３）より清浄空気の供
給を受ける清浄空気吹出空間部（１）によって浄化され
るので、装置が簡略化され、コストが節減される。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は本発明に係るクリーンルームにおける空気清浄
装置の一実施例を示す縦断面図、第２図は従来のクリー
ンルームにおける空気清浄装置の縦断面図である。 （Ａｌ・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ）・・・通路部 （Ｄ’）・・・レターン
チヤンバ（１）・・・清浄空気吹出空間部 （２）・・・清浄空気吹出口 （３）・・・プレナムチ
ャンバ（４）・・・送風機 （５）・・・超高
性能フィルタ代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名 第２図
装置の一実施例を示す縦断面図、第２図は従来のクリー
ンルームにおける空気清浄装置の縦断面図である。 （Ａｌ・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ）・・・通路部 （Ｄ’）・・・レターン
チヤンバ（１）・・・清浄空気吹出空間部 （２）・・・清浄空気吹出口 （３）・・・プレナムチ
ャンバ（４）・・・送風機 （５）・・・超高
性能フィルタ代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名 第２図
Claims (1)
- 相対する両側トンネル部間に通路部が配設されたクリー
ンルームにおいて、前記各トンネル部の頂部に、同トン
ネル部、及び前記通路部に指向して開口する清浄空気吹
出口を夫々下面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を
配設し、前記トンネル部に隣接するレターンチヤンバ頂
部に前記清浄空気吹出空間部に対する清浄空気供給用の
送風機及び超高性能フィルタを内蔵したプレナムチヤン
バを配設して、なることを特徴とするクリーンルームに
おける空気清浄装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027967A JPS62186150A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
| KR1019860008194A KR870008154A (ko) | 1986-02-13 | 1986-09-30 | 클린루움(청정실)에 있어서의 공기 청정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027967A JPS62186150A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186150A true JPS62186150A (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=12235659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61027967A Pending JPS62186150A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186150A (ja) |
| KR (1) | KR870008154A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430642A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430648A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430641A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JP2015166645A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 三機工業株式会社 | 排気の一部循環利用型安全キャビネットを利用した室内循環濾過空気風量の低減方法及び排気の一部循環利用型安全キャビネットの利用で清浄度維持室内循環風量を低減したクリーンルーム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54162841A (en) * | 1978-06-13 | 1979-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Structure of admission port |
-
1986
- 1986-02-13 JP JP61027967A patent/JPS62186150A/ja active Pending
- 1986-09-30 KR KR1019860008194A patent/KR870008154A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54162841A (en) * | 1978-06-13 | 1979-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Structure of admission port |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430642A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430648A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430641A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JP2015166645A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 三機工業株式会社 | 排気の一部循環利用型安全キャビネットを利用した室内循環濾過空気風量の低減方法及び排気の一部循環利用型安全キャビネットの利用で清浄度維持室内循環風量を低減したクリーンルーム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870008154A (ko) | 1987-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4649830A (en) | Clean tunnel conveying structure | |
| SE9804161L (sv) | Sätt och anordning vid rumsventilation för s.k. renrum | |
| CN1333205C (zh) | 空气净化器 | |
| JPS6096846A (ja) | 排気装置 | |
| JPS62186150A (ja) | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 | |
| JPS5950369B2 (ja) | 清浄空気領域形成装置 | |
| JPS62186149A (ja) | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 | |
| JPS61202028A (ja) | 除塵装置内蔵の壁部材 | |
| JPS6226785B2 (ja) | ||
| JPH0240416Y2 (ja) | ||
| JPS62190337A (ja) | クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 | |
| JPS61202026A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JP2597853B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPS5835341A (ja) | 温度制御機能を備えたクリ−ンユニツト | |
| JPH0429316Y2 (ja) | ||
| JP2004188374A (ja) | トリプルサイクロン式分離器とこれを用いた室内冷暖房装置 | |
| JPS641034Y2 (ja) | ||
| JPH0356827Y2 (ja) | ||
| JPH058417Y2 (ja) | ||
| JPS6034279Y2 (ja) | 無塵室装置 | |
| JPS63111913A (ja) | 放射気流型空気清浄装置 | |
| JPH0486439A (ja) | クリーンルーム内に設置されるベンチ式ユニット | |
| JPH08233316A (ja) | 空気清浄器 | |
| JPH02309144A (ja) | 空気清浄システム |