JPH0240416Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0240416Y2 JPH0240416Y2 JP2121386U JP2121386U JPH0240416Y2 JP H0240416 Y2 JPH0240416 Y2 JP H0240416Y2 JP 2121386 U JP2121386 U JP 2121386U JP 2121386 U JP2121386 U JP 2121386U JP H0240416 Y2 JPH0240416 Y2 JP H0240416Y2
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- Japan
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- tunnel
- passage
- clean air
- clean
- section
- Prior art date
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- Expired
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 15
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はクリーンルームにおける空気清浄装置
に係るものである。
に係るものである。
（従来の技術）
第２図は従来のクリーンルームのベイ方式等で
使用されている空気清浄装置を示し、クリーンル
ームＡにおける両側トンネル部Ｂ，Ｂ及び同両ト
ンネル部Ｂに挾まれた通路部Ｃの各上方に、夫々
超高性能フイルタａの内蔵されたトンネル部の空
気清浄装Ｄ，Ｄ並に通路部の空気清浄装置Ｅが
個々に配設され、同各清浄装置Ｄ，Ｄ，Ｅの下面
から清浄空気が吹出されている。
使用されている空気清浄装置を示し、クリーンル
ームＡにおける両側トンネル部Ｂ，Ｂ及び同両ト
ンネル部Ｂに挾まれた通路部Ｃの各上方に、夫々
超高性能フイルタａの内蔵されたトンネル部の空
気清浄装Ｄ，Ｄ並に通路部の空気清浄装置Ｅが
個々に配設され、同各清浄装置Ｄ，Ｄ，Ｅの下面
から清浄空気が吹出されている。
図中ｂはフアン、ｃは給気ダクト、ｄ，ｃはレタ
ーン口、ｆは床下プレナム、ｇはレターンチヤン
バである。
ーン口、ｆは床下プレナム、ｇはレターンチヤン
バである。
（考案が解決しようとする問題点）
前記従来の空気清浄装置においては、一双のト
ンネル部とその中間に位置する通路部が夫々別の
空気清浄システムで空気の清浄化を図るように構
成されているので、経済性の面で問題があつた。
ンネル部とその中間に位置する通路部が夫々別の
空気清浄システムで空気の清浄化を図るように構
成されているので、経済性の面で問題があつた。
（問題点を解決するための手段）
本考案はこのような問題点を解決するために提
案されたもので、相対する両側トンネル部間に通
路部が配設されたクリーンルームにおいて、前記
各トンネル部の頂部に、同トンネル部及び前記通
路部に指向して開口する清浄空気吹出口を夫々下
面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を設け、
通路部頂部に前記各清浄空気吹出空間部に対する
清浄空気供給用の送風機及び超高性能フイルタを
内蔵したプレナムチヤンバを設けるとともに、同
チヤンバと前記清浄空気吹出空間部外側のレタン
チヤンバとを管路で接続してなることを特徴とす
るクリーンルームにおける空気清浄装置に係るも
のである。
案されたもので、相対する両側トンネル部間に通
路部が配設されたクリーンルームにおいて、前記
各トンネル部の頂部に、同トンネル部及び前記通
路部に指向して開口する清浄空気吹出口を夫々下
面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を設け、
通路部頂部に前記各清浄空気吹出空間部に対する
清浄空気供給用の送風機及び超高性能フイルタを
内蔵したプレナムチヤンバを設けるとともに、同
チヤンバと前記清浄空気吹出空間部外側のレタン
チヤンバとを管路で接続してなることを特徴とす
るクリーンルームにおける空気清浄装置に係るも
のである。
（作用）
本考案は前記したように構成されているので、
通路部の頂部に配設された送風機及び超高性能フ
イルタによつて通路両側部のトンネル部頂部に配
設された清浄空気レタ空間部に清浄空気が供給さ
れ、同各空間部の下面及び側面に配設された清浄
空気吹出口より清浄空気が吹出され、同清浄空気
によつてトンネル部及び通路部の両空間が清浄化
される。
通路部の頂部に配設された送風機及び超高性能フ
イルタによつて通路両側部のトンネル部頂部に配
設された清浄空気レタ空間部に清浄空気が供給さ
れ、同各空間部の下面及び側面に配設された清浄
空気吹出口より清浄空気が吹出され、同清浄空気
によつてトンネル部及び通路部の両空間が清浄化
される。
このように前記両空間が清浄化されたのち、レ
ターンエアの一部はトンネル部外側のレターンチ
ヤンバより再び前記通路部頂部のプレナムチヤン
バに両者を接続する管路を介して戻され、以下前
記のサイクルが反覆されてクリーンルームのトン
ネル部及び通路部の両空間が清浄化される。
ターンエアの一部はトンネル部外側のレターンチ
ヤンバより再び前記通路部頂部のプレナムチヤン
バに両者を接続する管路を介して戻され、以下前
記のサイクルが反覆されてクリーンルームのトン
ネル部及び通路部の両空間が清浄化される。
（考案の効果）
このように本考案においてはクリーンルームに
おけるトンネル部と通路部との両空間が通路部頂
部に配設された単一の空気清浄装置によつて清浄
化されるので装置が簡略化され、コストが節減さ
れる。
おけるトンネル部と通路部との両空間が通路部頂
部に配設された単一の空気清浄装置によつて清浄
化されるので装置が簡略化され、コストが節減さ
れる。
また本考案によればトンネル部には清浄空気吹
出面しか設置されておらず、空気清浄装置のすべ
てが通路部の頂部に配設れているので、送風機、
超高性能フイルタのメンテナンス作業が通路部に
おいて行なわれ、更にレターンチヤンバ内には送
風機等がないため、同チヤンバをユーテイリテイ
スペースとして有効に利用できる。
出面しか設置されておらず、空気清浄装置のすべ
てが通路部の頂部に配設れているので、送風機、
超高性能フイルタのメンテナンス作業が通路部に
おいて行なわれ、更にレターンチヤンバ内には送
風機等がないため、同チヤンバをユーテイリテイ
スペースとして有効に利用できる。
（実施例）
以下本考案を図示の実施例について説明する。
第１図においてＡはクリーンルーム、Ｂはその
両側に配設されたトンネル部、Ｃはトンネル部
Ｂ，Ｂに挾まれた通路部である。
両側に配設されたトンネル部、Ｃはトンネル部
Ｂ，Ｂに挾まれた通路部である。
前記各トンネル部Ｂの頂部には夫々清浄空気吹
出空間部１が設けられ、そのトンネル部Ｂに対向
する下面、及び通路部Ｃに対向する側面に亘つて
連続的に清浄空気吹出口２が配設されている。
出空間部１が設けられ、そのトンネル部Ｂに対向
する下面、及び通路部Ｃに対向する側面に亘つて
連続的に清浄空気吹出口２が配設されている。
また前記通路部Ｃの頂部にはプレナムチヤンバ
３が設けられ、同チヤンバ３内に前記各清浄空気
吹出空間部１に対する清浄空気供給用の送風機
４、及び超高性能フイルタ５が配設されている。
３が設けられ、同チヤンバ３内に前記各清浄空気
吹出空間部１に対する清浄空気供給用の送風機
４、及び超高性能フイルタ５が配設されている。
前記プレナムチヤンバ３とトンネル部Ｂの外側
に配設されたレターンチヤンバ６との間には管路
７が接続され、更に前記プレナムチヤンバ３には
給気ダクト８が接続されている。
に配設されたレターンチヤンバ６との間には管路
７が接続され、更に前記プレナムチヤンバ３には
給気ダクト８が接続されている。
図中９及び１０はレターンチヤンバ６、及び床
下プレナムチヤンバ１１に接続するレターン口、
１２は天井仕上材である。
下プレナムチヤンバ１１に接続するレターン口、
１２は天井仕上材である。
図示の実施例は前記したように構成されている
ので、前記通路部Ｃの頂部プレナムチヤンバ３に
内蔵された送風機４及び超高性能フイルタ５によ
つて前記各トンネル部Ｂの頂部の清浄空気吹出空
間部１に供給された清浄空気は、同空間部１の下
面から側面に亘つて連続して設けられた清浄空気
吹出口２よりトンネル部Ｂ及び通路部Ｃに亘つて
吹出され、同トンネル部Ｂ、並に通路部Ｃの両空
間を清浄化する。
ので、前記通路部Ｃの頂部プレナムチヤンバ３に
内蔵された送風機４及び超高性能フイルタ５によ
つて前記各トンネル部Ｂの頂部の清浄空気吹出空
間部１に供給された清浄空気は、同空間部１の下
面から側面に亘つて連続して設けられた清浄空気
吹出口２よりトンネル部Ｂ及び通路部Ｃに亘つて
吹出され、同トンネル部Ｂ、並に通路部Ｃの両空
間を清浄化する。
この際、前記清浄空気吹出口２が清浄空気吹出
空間部１の下面から側面に亘つて連続的に設けら
れているので、トンネル部Ｂの高清浄度空間に通
路部Ｃの低清浄度空間の空気が誘引されることが
なく、更に前記清浄空気吹出空間部１から通路部
Ｃに吹出される気流の水平成分がトンネル部Ｂか
ら通路部Ｃに指向しているため、同通路部Ｃで発
生した塵埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止され
る。
空間部１の下面から側面に亘つて連続的に設けら
れているので、トンネル部Ｂの高清浄度空間に通
路部Ｃの低清浄度空間の空気が誘引されることが
なく、更に前記清浄空気吹出空間部１から通路部
Ｃに吹出される気流の水平成分がトンネル部Ｂか
ら通路部Ｃに指向しているため、同通路部Ｃで発
生した塵埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止され
る。
前記したようにクリーンルームＡ内を清浄空気
で清浄化したのち、同空気はレターンチヤンバ
６、管路７を介して通路部Ｃの頂部のプレナムチ
ヤンバ３に戻される。
で清浄化したのち、同空気はレターンチヤンバ
６、管路７を介して通路部Ｃの頂部のプレナムチ
ヤンバ３に戻される。
このように前記実施例によれば、クリーンルー
ムＡにおるけるトンネル部Ｂと通路部Ｃとの両空
間が通路部Ｃ頂部に配設された単一の空気清浄装
置によつて清浄化されるので装置が簡略化され、
コストが節減される。
ムＡにおるけるトンネル部Ｂと通路部Ｃとの両空
間が通路部Ｃ頂部に配設された単一の空気清浄装
置によつて清浄化されるので装置が簡略化され、
コストが節減される。
またトンネル部Ｂの頂部には清浄空気吹出空間
部１しか設置されず、空気清浄装置のすべてが通
路部Ｃのプレナムチヤンバ３に配設されているの
で、送風機４及び超高性能フイルタ５のメンテナ
ンス作業が通路部Ｃにおいて行なわれ、またレタ
ーン給気６内には送風機等が配設されていないの
で、同チヤンバ６をユーテイリテイスペースとし
て有効に利用できる。
部１しか設置されず、空気清浄装置のすべてが通
路部Ｃのプレナムチヤンバ３に配設されているの
で、送風機４及び超高性能フイルタ５のメンテナ
ンス作業が通路部Ｃにおいて行なわれ、またレタ
ーン給気６内には送風機等が配設されていないの
で、同チヤンバ６をユーテイリテイスペースとし
て有効に利用できる。
更にまた前記トンネル部Ｂ頂部の清浄空気吹出
空間部１にその下面から側面に清浄空気吹出口２
が連続的に配設されていることによつて、通路部
Ｃの低清浄度空間の空気がトンネル部Ｂの高清浄
度空間に誘引されることがなく、また通路部Ｃで
発生した塵埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止され
る。
空間部１にその下面から側面に清浄空気吹出口２
が連続的に配設されていることによつて、通路部
Ｃの低清浄度空間の空気がトンネル部Ｂの高清浄
度空間に誘引されることがなく、また通路部Ｃで
発生した塵埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止され
る。
第１図は本考案に係るクリーンルームにおける
空気清浄装置の一実施例を示す縦断面図、第２図
は従来の装置の縦断面図である。 Ａ……クリーンルーム、Ｂ……トンネル部、Ｃ
……通路部、１……清浄空気吹出空間部、２……
清浄空気吹出口、３……プレナムチヤンバ、４…
…送風機、５……超高性能フイルタ、６……レタ
ーンチヤンバ、７……管路。
空気清浄装置の一実施例を示す縦断面図、第２図
は従来の装置の縦断面図である。 Ａ……クリーンルーム、Ｂ……トンネル部、Ｃ
……通路部、１……清浄空気吹出空間部、２……
清浄空気吹出口、３……プレナムチヤンバ、４…
…送風機、５……超高性能フイルタ、６……レタ
ーンチヤンバ、７……管路。
Claims (1)
- 相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記各トンネル部の
頂部に、同トンネル部及び前記通路部に指向して
開口する清浄空気吹出口を夫々下面並に側面に有
する清浄空気吹出空間部を設け、通路部頂部に前
記各清浄空気吹出空間部に対する清浄空気供給用
の送風機及び超高性能フイルタを内蔵したプレナ
ムチヤンバを設けるとともに、同チヤンバと前記
清浄空気吹出空間部外側のレタンチヤンバとを管
路で接続してなることを特徴とするクリーンルー
ムにおける空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2121386U JPH0240416Y2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2121386U JPH0240416Y2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62135042U JPS62135042U (ja) | 1987-08-25 |
| JPH0240416Y2 true JPH0240416Y2 (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=30817448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2121386U Expired JPH0240416Y2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240416Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP2121386U patent/JPH0240416Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62135042U (ja) | 1987-08-25 |
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