JPH042346Y2

JPH042346Y2 -

Info

Publication number: JPH042346Y2
Application number: JP16409187U
Authority: JP
Priority date: 1987-10-27
Filing date: 1987-10-27
Publication date: 1992-01-27
Also published as: JPH0170042U

Description

【考案の詳細な説明】「産業上の利用分野」本考案は、クリーンルームシステム天井に関す
るものである。

「従来の技術と考案が解決しようとする問題点」従来のクリーンルーム方式には、例えば、次の
ものがあり、それぞれに一長一短がある。

全面層流方式この方式は、第３図に示すように、クリーンル
ーム１内全体に均一に清浄空気を流すものであ
り、図において、２は、天井チヤンバー、３は、
多数のフイルターから成るフイルター天井、４
は、床下のリターン空間、５は、通風床、６は、
天井チヤンバー２と通風床５との間に介在させた
空調機である。

この場合、全面層流となつているので、クリー
ンルーム１内の模様替えに対する適応性はよい
が、反面、クリーン域が部分的で足りる場合に
も、全体として運転しなければならず、無駄が多
い。

クリーントンネル方式この方式は、第４図に示すように、クリーンル
ーム１内にて、クリーン域を部分的にトンネル状
に形成するものであり、図において、２は、天井
チヤンバー、７は、天井の要部に配したフイルタ
ー、８は、空気を循環させるフアンである。

この場合、所要のクリーン域だけに清浄空気を
流せばよいので、経済的であるが、反面、クリー
ン域が固定的で、クリーンルーム１内の模様替え
に対する適応性が低い。

フアン付きフイルターユニツト方式この方式は、第５図に示すように、格子状の天
井フレーム９に適数のフアン付フイルターユニツ
ト１０……と盲板１１……とを位置替え自在に装
備させ、クリーンルーム１内にてクリーン域を部
分的に得るものであり、図において、２は、天井
チヤンバー、４は、床下のそして天井チヤンバー
へと通じるリターン空間、５は、通風床である。

この場合、フアン付フイルターユニツト１０…
…を位置替えできるので、クリーンルーム１内の
模様代えに対する適応性は比較的によく、また、
クリーン域を部分的に構成できて、経済的である
が、しかし、リターンスペースが固定されるた
め、未だ模様替えに対する適応性が十分とはいえ
ない。

天井内空調設備方式この方式は、第６図に示すように、格子状の天
井フレーム９に適数のフイルターユニツト１２…
…、リターンユニツト１３……及び盲板１１……
を位置替え可能に配し、また、適所に空調機６を
配して、該空調機をフイルターユニツト１２……
とリターンユニツト１３……との間に接続し、ク
リーンルーム１内にてクリーン域を部分的に得る
ものである。

この場合、フイルターユニツト１２……及びリ
ターンユニツト１３……を位置替えできるので、
クリーンルーム１内の模様替えに対する適応性は
比較的よく、また、クリーン域を部分的に構成で
きて、経済的であるが、しかし、天井内で面倒な
ダクト工事を要するため、模様替えに対する適応
性は未だ十分ではない。

そこで、本考案は、クリーンルーム内の模様替
えに対する適応性を高めると共に、クリーン域を
部分的に任意に構成できるようにして、経済性を
高めようとするものである。

「問題点を解決するための手段」本考案は天井チヤンバー２の下面に、リターン
口２２……と、フイルター２３……と、盲板２４
……とを、位置替え、交換自在に装備させ、ま
た、天井チヤンバー２内適所に送風機２５を設
け、該送風機の上流側を上記リターン口２２……
へフレキシブルダクト２８……にて連係し、下流
側を天井チヤンバー２内に開放させて成る。

「作用」如上の構成であるから、送風機２５に通電して
これを作動させると、該送風機がリターン口２２
……及びフレキトブルダクト２８……を通じてク
リーンルーム１１内の空気を導入し、天井チヤン
バー２へ供給する。

これにより、天井チヤンバー２内の気圧が高く
なり、天井チヤンバー２内の空気は、フイルター
２３……により清浄化されて、再びクリーンルー
ム１へと送られる。

クリーンルーム１内の模様替えの際には、リタ
ーン口２２……、フイルター２３……及び盲板２
４……を適宜に位置替え、交換すればよい。

「実施例」第１図、第２図は、本考案の実施例を示してい
る。

図示のものは、クリーンルーム１上にクリーン
ルームユニツトＵを配し、該クリーンルームユニ
ツトは、下面に格子状の天井フレーム２１を有す
る天井チヤンバー２を設け、該天井チヤンバー内
において、天井フレーム２１上に、適数のリター
ン口２２……と、HEPAフイルター２３……と、
盲板２４……とを、位置替え、交換自在に任意に
配置、装備させ、また、天井チヤンバー２内の中
央部に、ハウジング２６に収容した送風機２５を
配し、該ハウジングには、天井チヤンバー２内に
開口する適数の給気口２７……と空気を導入する
複数のフレキシブルダクト２８……を設けて、該
フレキシブルダクトを各リターン口２２……へ連
係して成る。

なお、クリーンルームユニツトＵは、クリーン
ルーム１の大きさに合わせて必要数配列すればよ
い。

「考案の効果」本考案によれば、リターン口２２……、フイル
ター２３……及び盲板２４……を簡単に位置替
え、交換でき、クリーンルーム１内の模様替え
に、そして、各種の方式に、容易に適合させるこ
とができ、適応性を大幅に向上できる。また、構
造がきわめて簡潔で、設備コストを低くおさえる
ことができ、かつ、運転の経済性を確保できる。

更に、送風機２５を比較的大型にできて、大風
量が可能であり、該送風機の取付け位置や消音手
段の配慮により騒音を低くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、本考案の実施例で、第１図
は、截断側面図、第２図は、截断平面図、第３図
乃至第６図は、それぞれ従来例を示す截断側面図
である。１……クリーンルーム、２……天井チヤンバ
ー、２１……天井フレーム、２２……リターン
口、２３……HEPAフイルター、２４……盲板、
２５……送風機、２６……ハウジング、２７……
給気口、２８……フレキシブルダクト、Ｕ……ク
リーンルームユニツト。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

天井チヤンバー２の下面に、リターン口２２…
…と、フイルター２３……と、盲板２４……と
を、位置替え、交換自在に装備させ、また、天井
チヤンバー２内適所に送風機２５を設け、該送風
機の上流側を上記リターン口２２……へフレキシ
ブルダクト２８……にて連係し、下流側を天井チ
ヤンバー２内に開放させたことを特徴とするクリ
ーンルームシステム天井。